《。6.:3 气流流型和送!风量
【。。
6.3—.1 《气流流型的设计应】符合:下列规定
】
? 1 洁净】室(区?)的气流流》。型和:送风量应符合表【6.3.3》的要求?空,气洁净度等级要【求严于4级时应采】用单向流;空气洁】净度等?级为4级《。~5级时《应,采用单?向流;空气》洁净度?等级为6级~9【级时应采用非单向流!
! 2: 洁?净室工作区的—气流分布《应均匀
—
《 ?3 :。 洁净室工作—区,的气:流流速?应符合生产工—艺要求
!6.:3.2 洁净室】的送风量应》。取下:列三:项中的?。最大值?
— 1 满足!空气:洁净度?等级要求《的送风量
【
《 2 》 根据热、湿负荷】计算确定《的送:风量
【
》3 ?按本规范第6.1】.5条的要求向洁净!室内供给的新鲜【空气量
《
6.3】.3: :为保:证空气洁净度—等级的送风量应【按,。表6.3.3—中的有关数据进【行计算或按室内【发尘量进行计算【
—表6.3.3 气】流流:型和送?风量
【
【注,。1 换气次数适【用于层?高,小于4.0》m的洁?净室;
!2 应?根据:室内人员、工艺【设备的布置》以及物料传输等【情,况采用上、》下限值
【
6.3》.4 洁净室内】。各种设施《的布置?应考虑对《气,流流型和《。空气洁净度的—影响并应符合下列】规,定
】 1《 单向《流洁:净室内不宜》。布置洁净工作台【非单向流洁净—室的回风口宜远【离洁净工作》。台
【 2 需】排风的工艺设备【宜布置在《洁净室下风侧
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? ,。 3 》 ,有发热设备时应采取!措施减?少热气流《对气:流分布?的影响
《
— 4 余压阀!宜布置?在洁:净气流的《下风侧
》