。
6.—。3 ?气流流型和送风量】
》
6.3.【1 : 气流流型的设【计应符合下》列规定
—
— 1 ? 洁净室(区)的气!流流:型和送风《量应符合表6.3】.3的要求空气洁净!度等级要求严于4级!时应采用单向流;】空气洁净度等级【为4级~5级时应】采,用单向流;空气【洁净度等级为—6级~9级》时应采?用非:单向流
《
》 2 — 洁净室工作区的气!流分布应均匀
【。
》 3》 :洁净室工作区的气流!流,速应符?合生产工艺要求【
《。
6?.3.2 —洁净室的送风—量,应取下列三》项中的最《大值
《
:
? 1 》 满足空气洁净度等!。级要:求的送风《量
?
【 2 ? 根:据热、湿负》荷计算确定的送【风量:
! 3 按本规【范第6.1.5条】的要:求向洁?净室内供给的—新,鲜空气量
!
6.3.3 【 为保证空》。气洁净?度等级的送风量【应按表6.3.3】。。中的有?关数据进行计算【或按室内发尘量【进行计算
!
表:6.3?.3 ?气流流型和送风【量
!
:
,
注1 换气次数适!用于:层高小于4.0m】的,洁净:室;
—
2 应根据室】内人员?、工艺设备的布置以!及物料传输等情【况采用上、下限值
!
:
6.3.4】 洁?净室内?各种设施的》布置应考虑对气流流!型和空气洁净度的影!响并应符合下列【规定
》
— 1: 单向流洁—净室内不宜布置洁净!工作台非《单向流洁净室的【回风口宜远离洁净】工作台
! 2》 需排《风,的工艺?。设备宜布《置,在洁净室下风—侧
! 3 《 有发热设备时应】采取措施减少热【气流对气流分布的】影响
《
,
? 《4 余压》阀宜布置在洁净气】流的下风侧》
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