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6.《3 气《流流型和送》风量:
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》
6.3.1 气!流流:型的设计应符—合下列规定
!
—1 洁净室—(区:)的气流流》型和送风量》应符合?表6.3《.3的?要求空气洁净度【等级要求《严于4级时应—。采,用单向?流;空?气洁净度《等级为?4,级~5级《时应采用单向—流;空气洁净度等】级,。为6级~9级时应】。采用非单向流—
— : 2 洁净室】工作区的气》流分布?应,均匀
》
— 3 《洁净室?工作区的气流流速应!符合生产工艺要求
!
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6.3.2 ! 洁净室的》送风:。量应取下列三—项中的最大值—
《
? , 1 满足空气!洁净度等级要求的】送,风量
【
2 【 根据热、湿负荷计!算,确定的送《风量
—
? 3 》 按本规范第6.】1.5条的要求【向洁:净室内供《给,的,新鲜空气《量
《
6.》3.3 为保证空!。气洁净度《等级的送《风量应按表6.3.!3中的有关》数,据进行计算》或,按室内?发尘:量进行计算
—
?
表6《.3:。.3 气《流流型和送风—量
?
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注》。1 换气次数—适用于层高小—于4.0《m的洁净《室,;
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2 【应根据室内人员、】工艺设备的》布,置以及物料传输等情!况采用上、下限值】
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6.3.】4 洁《净室内各种设施【的布置应考虑对【气流:流型和空气洁净度】的影响并应》符合下?列规:。定
】 1《 单?向流洁净室内不宜布!置洁净工《作台非单向流洁【净室的回《。风口宜远离洁净工】作台
! 2 需排风!的工艺?设备宜布置在洁【净室下风侧
!
》 3 ? 有发热设备时应】采取措施减少热气】流对:气流分布的影响
】
,
【 4 余》压,阀宜布置《在洁净气流》的下风侧
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