《。6.3 气—流流型?和送风量《
:
?
6.3—.1 ? 气流流型的设计应!符合下列规》定
】 ,。 1 洁净室】(区)的气流—流型和送《风量:应符合表6.3【.3的要求空气【洁净度等级要求【严于4级时应—采用单?。向流:;空气洁净度等级】为4级~5级时【应采用单向流—;,。空气:洁净度等《级为:6级~?9级:时,应采用非单》向流
《
》 2 洁净】室工作?区的气流分布应均匀!
,
!3, , 洁净?室工作区的气—流流:速应符合生产工艺】要求:
》
6.3《。.2 洁净—室的送风量应取【下列三项中的—最大值
—
,
—1 满《足空气洁净度—等级要求的》送风:量
—。
2— 根据热、湿【负荷计算确定的送】风量
【。
3 按!本规范第6.1【.5条的要求向洁】净室内?供给的新鲜空气量】
《
6.《3.3 为保证】。空气洁净《度,等级的?送风:量应按表6.3.】3中的有关数据【进行计算或按室内发!尘量:进行计算
【
表《6.3.3》 气流流型和送风量!
:
!
注1? 换气次数适—用于层?高小于4.0m的】洁净:室,;
》
2 应》根据室内人员、【工艺设备的》布置以及物料传输】等情:况采用上、下限值】
》
6.3.4— 洁净室内各【种设施?的布:置应考虑对气流流】型,和,空气洁?净度的?影响:并应符合《下列规定
!。
?。 1 《 ,。单向流洁净室—内不宜布置洁净【工作台非单》向流洁净室的回【风口宜远《离洁净工作台—
,
【 2 《 需排风的工艺设】备宜布?置在洁净室下风侧】
?
》 3 有发热】设备时应《采取措施减少—热气流对气流分布的!影,响
?
,
,
4【。 余?。压阀宜?布置在?。洁,净气流的下》风侧
?
,