6.3 】 气流流型和送【风量
》
:
:
6.3.1 【 气流流型的设计应!符合下列规定
】
【 ,1 :。 洁净室(区)的】。气流流型和送风量】。应符合表6.3.】3的要?求空气洁《净,度等级要求》。严于4?级时应采用单向【流,;空气洁净度—等,级为4级《。~5级时《应采用单《向流;?空气洁净度等级为6!级~9级时应采【用非单向流
】
:
:。 2《 洁净室工—作区的气流分—。。布应均?匀,
,
!3 ?洁,净室工作区的气流】流速:应符:合生产工艺要求
】
,
?
6.3.2 【 洁净?室的送风量应取【。下列三项中的—最大值
》
《 1 【满足空?气洁净度等级—要求的送风量
!
,。
,
》2 根据热、【湿负荷计算确定的】送风量
! 3 按】本规范第6》.1.5条》。的要求向洁净室内供!给的新鲜空》气量
6!.3.3 —为保证空气洁净度】等级的?送,风,量应:按表6.3》.3中的有关数【据进行?计,算或按室内发尘量】进行计算《
表6.!3.3 气流流【型,和,送风:量
【
—注1:。 换气次数适用于】层,高小于4.》。0m的洁《净室;?
2 应!根据室内人员—、工艺设备的布置】以及物料传输等【情况采用《上、:下,。限值
—
,
6.3.4— , 洁净室《内各种?设施的?布置应考虑对—。气流流型和空—气洁净?度的影响并应符合】下,列规定
—
? ? 1: 单?向流洁?净室内不宜布置洁净!工作台非单向流【洁净室的回风—口宜远离洁净工【。作台
【
2 】需排风的工》艺,设备宜布置》在洁净室《下风侧
《
:
3】 有发热设备【时应采取措》。施减少热气流—对气流分布的—影响:
】 4 余压【阀宜:布,置在洁净气流的下风!侧
?