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《6,.3 气流流型和!。送风量
】。
6.3.1】 气流流型的【设计应符合下列【。规定
《
》 : 1 洁》净室(?区)的?气流流型和送风量】应符合表6.—3.:3的要?求空气洁净度等级】要求严于4》级时应采用》。单向流;空气洁净】度等级为4级~5级!时应采用单向—流,;空气洁净度等级为!6级~9级》。时应采用非单向流】
! 2 洁净室【工作区的气流—分布应均匀
】
《 3 洁净室!工作:区的气流流速应【符合生产《工艺要求
!
6.3.2 洁!净,室的送风量》应,。取下列?三项中的《最大值
》
:
—1 满足空气洁净!度等级要求的送【风量:
】 2 根—据热、湿负荷计算确!定,的送风量
】
? 3 —按本规范第6.【1.:。5条的要求》向洁净室内供—给的新鲜《空气量
!6.3.3》 为保证空气洁净!度等级的送风量应按!表6.?3.3中的》有关数据进行计算】或按室内发尘量进】行计算
—
表《6.3.3》 气流流型和送【风量
】
?
注1 —换气次数《适用于?层高小?于4.0m的洁净室!;
:
》2 应根据室内人】员、:工艺设备《的布置以及物料【传输等?情况采?用上、下限值
【
:
6.3.【。4 洁净室内各种!设施的布置》应考虑对气流—流型和?空气洁净度的影响并!应符合下列规—定
:
:
《 1 单向】流洁净?室,内不:宜布置洁《净工作台《非单向流洁净室的回!。风口宜远离洁净工作!台
?
】2 需排风的【工艺设备宜布—置在洁?净室下风侧
!
,
? 3 《 ,有发热设备时应采取!措施:减,少热气流对》气流分布的影响
!
?
》4, :余压阀宜布置在洁净!气流的下风侧
【
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