6．2【  洁净室压差控】制 ！6．2．1  【洁净室（区》）与周围的空间必】须维持一《定的压差并》应按工艺要求决定维！持，正压差或负》。压差 】6．2．2》  不同《等，级的：洁，。。净室之间的压—差不宜？小于5Pa洁净区】与非洁净区之间【的，压差不应《小于5Pa洁净区】与室外的《压差不应小》。于10P《a 6】．2．3  洁净室！维持不同的压差【值所需的压差—风量根据《洁，净室特点宜采用缝隙！法或换气次数法确】。定 —。 6．2《．4  送风、回风！和排风系统》的启闭宜联锁正压洁！净室联锁《程序应？先启动送风机再启】动回风机和排—风机；关闭》。时联锁程序应—相反 ？ ：  《   负压洁净室联！锁程：序应与上述正—。压洁净室相反 ！。。 6．2．5】  非连续运行【的洁净室可根—据，。生产工艺要求设置值！。。班送：风并应？进行净化空调处理 ！ ，