6．2  ！洁净室？压差控制 【 ？ 6．2．1 】 洁净？室（：区）与周围》的空间必须维持【一定的？压差并应按工艺要求！决定维？。。持正：压差或负《压差 【 6．2．》2 ：。 不同等级》的洁净室之间的压】差不宜？小于5？Pa洁净区与—。非洁净区之间的【压差不？应小于5P》a洁净区与室—。外的压？差不：应小于10Pa ！ 《6．2？．3：  ：洁净室维《持不同的压》差值所需的》压差风量根据洁净】室特点？宜采用？缝隙法或换气—次数法确定 【 6．—2．4  》送风：、回风？和，排风系统的启—闭宜：联锁：正，压，。洁净室？联锁程序应先启【动送风机再启动回】风机和排风》机；关闭时联锁程序！。应，相反 ？ 》。 ，   负压洁—净室联锁程序应与上！述正：压洁净室《。相反 【 6．2《．5  非连—续运行的洁》净室可根据生产工艺！要求设置值班送【风并应进行净化空调！处理 ？ ，