。。 6．2  ！洁净：室，压差控制 ！ ， 6．2》．1  洁》净室：（区）与《周围的空间必须维】持一定的《压差：并应按？工艺要求决定维持】正压差？或负：压差 — ， ，6，．2．2 》 不同等级的洁净室！之间的压差不—宜，小于5Pa洁净区】与非洁净《区之间的压差—不应：小于5Pa洁—净区与室外》的压：差不应？小于：1，0Pa？。 6．2！．3  洁净—室维持？。不同的压差值所需】的压差？风量根据洁净室特点！宜采用缝隙法或换】气次数法确定— 》 ，6．2．4  送风！、回风？。和排：风系：。统的启闭宜联锁正压！洁净室联《锁程序应先启动送风！机再启动回风—机和排风机；关闭时！。联锁程序应相反【   】  负？压洁净室联》锁程序应与上述正压！洁净室相反》。。 ： 《6．2？．5 ？。 非连续运行的洁】净，室可根？据生：。产工艺要求设置【值班送风《并应：进行净？化空调处理 【