6．2  ！洁净室压《差控制 》 ？ ： 6．2．1 【 ，。洁净室？（区）与周围的空间！必须维持一定的压差！并，应按工艺要求—决，定维持正《压差：或负：压差 6！．2．2  不同】等级的洁净室—之，间的压差不宜—小于5Pa洁净【区与非洁《。净区之间的压差【。不应小？于5Pa洁净区【与室外的压差—不应小于10P【a 6】．，2．：3  洁净》室维持不同》的压差？值所需的压差风量根！据，洁净室特点宜采用】缝隙法？或换气次数法确定】 》 6．2．4  送！风、回风和排风系统！的启闭宜联锁正【压洁：净室联锁《程序应先启动送风】机再启动《回风机？和排风机；关闭时联！锁程序应相反 【     ！负压洁净室联锁【程序：应与上述正压洁【净，室相：反 《 6．2—．5  非连续【运行：的洁净室可根—据生：。。产工艺要《求设置值班送—风并应进行净化空调！处理 《