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6.2 洁!净,室,压,差控制
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,6,.2:。.1: , 洁净室(区)【与周围的空间必须维!持一定的《压差:并应:按工艺要求决定维】持正压差或负压【差
【6.2?。.2: 不同《等级的洁《净室之间的压差不宜!小于5P《a洁净区与》非洁净区之间的【压差不?应小于?5Pa洁净区—与,室外的压《差不应?小于10Pa
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6.2【.3 洁净室【维,持不同的《压,差值所需的压差风量!。根据洁?净室:特点:宜采用?缝隙法或换气次数法!确定
】6,.2.4《 送风《、回风?和排风系《统的启闭宜联锁【正压洁净室联锁程序!应先启动送风机再】启动回风机和排【风机;关闭时联【。锁程序应相反—
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《 负压洁净室联锁程!序应与上述正压【洁净室相反》。
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6.》2.5 》非连续运行》的洁净室可》根据生产工艺要【求设置?值班送风并应—进行净化《空调处理
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