6．—2  ？洁净室压差》控制 》 《 6．2．1—  洁净室（—区）与周《围的空？间必须维持一定【的压差并应》按工艺要求》决，定维持正压差或负压！差 ？ ： ：6．2．《2，  不同等级的洁】净室之间的压差【不宜小于5》Pa洁净区》与，非洁净区之》间的：。压差不应小》于5Pa洁净区与室！外的压？差，不应小于10P【。a 【6．2？．3  洁净室维】。持不同的压差值所】需的压差风量根据洁！。净，。室特点宜采用—缝隙：法，或换气次数法确定】 6．2！．4 ？ ，送风、回《风和排风系》统，的启闭宜联》锁正压洁净室联锁】程序应？。先启动送风机再【启动回风《。机和：排风机；关》。闭时联锁《程序应相反 ！    》 负压洁净室联【锁程序应与》上述正压《洁净室相反 — 》6．：2．5 《 非连续《运，行的洁净室可—根据生产工艺要【求设置值班送风并应！进行净？化空调处理 【