， 6《．2  洁》净室压差控制 ！ 《。 6．2《．1：  洁净室（区）】与周围？的空：间必须维持一定的压！差并应按工》艺要：求决定维持正压差】或负压差 】。 6．2．2【  不同等级的【洁，净室之间的压差不】宜小于5Pa洁【净区与非洁净区之间！。的压差？不应小于5Pa洁】净，区与室外的压差不】应小于10》Pa —。 6．2．3【  洁净《室，维持不同的压差【值所：需的压差风量根据】洁净室特点宜—采用缝隙《法或换气次数—法确定 】 6．2．4—  送风、回风和排！风系：统的启闭宜联锁正压！洁净室联锁程序应先！启动送风《机再启动回》风机和排风》机，；关闭时联锁程序】。应相反 —   》  负压洁净室【联锁程序《应与上述《正压洁净《室相反 — 6．2—．5  非连续运行！的洁净室可根—据生产工艺要求【设，置值：班送风并应》进行净化《空调处理《 ：