?。
,3 空气洁净度等!级
—
3《.0.1 》 洁净室及》洁净区内空气中悬浮!粒子空气洁》净度等级应符合下列!规定
—。。
1【 洁净《室及洁净区》空气洁净度整数等】级应按?表3.0.1确定
!
表3【.0.1《 ,。。洁净室及《洁净区空《。气洁净度整数—等级:。。
《
:
注按】不同:的测量方法各等【级水平的浓度数据的!有效数字不》应超过3位
!
2【 各?。种要求粒径D的【最大浓度《限值Cn应》按下式计算
】。
:
式中!Cn大于或等—于要求粒径的最【。大浓度限值(pc】/,m3)Cn是四舍】五入至相近的整数有!。效位数不超过三位数!;
:
! N空气》洁净度等级数字不超!过9洁净度等—级整数之《间的中间数可以按】0.:1为最小允许递【增,量;
《
【 D要求—的粒径?(μm?);:
?
? ? 0.》1常数其《量纲为μm
—
《
3 】当工艺要求粒—径不止一个时—相邻两?。粒径中的大》者,与小者之比不得小于!1.5?倍
—
4 空!气洁:净度等级的粒径范围!应为:0.1μ《m~0?.5:μm超出粒》径范围?。时可采用U描述符或!M描述符补充说【明
:
3.0.!2 ?空气洁净度等—级所处状态包—括空态、静态、【动态空气洁》净度等级所处—状态应与《业主协商确》定
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3.0.》3 空气洁净【度的:。。测试方法应按本规】范附录A的要—求进行
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,
,。
3.0.4— , 当洁净《。室(区)内的产品生!。。。。产工艺要求》控制微生物》。、化学污《染物时应根据—。工艺特?点对各空气洁净度等!级规定相《应的微生《物、化学污染物【浓度:限值
《