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:3 ?空气洁净度》等级
【
3.0.1 !。 洁净室及洁净区内!空气中悬《浮,粒子空气洁净度等】级应符合下》列规定?
?
—。 1 洁净室【及洁:净区空气洁净度整数!。等级应按《表3.0.1确定
!
表3.】0.1 洁》净室及?洁净区空气洁—净度整数等》级
》
:。
《
注?按不同的《测量方法各》等,级水:平的浓度数据的有效!数字不应《。超过3位
【
《 2 》 各种要求粒—径D的最大》浓度限值C》n应按?下式计算《
【
式中Cn!大于或?等于要求粒径—的最大浓度》限值(pc/—。m3:)Cn?是四舍?五入至相近的整数】有效:。位数不?超过三位数》;
—
? N空气【洁净度等级》数,字不超过9洁净度】等,级整数?。之间:的中:间数:可以按0.》1为最小允许递增量!;
:
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D!。要求:的粒径(μm);】
》
0.!1常数其《量纲为μm
!
3【 当?工艺:要求粒径不止一个】时相邻两粒径中的】大,者,。与小者?之比不得小于1.5!倍
】 ?4 空气洁净【。度等:级的粒径范》围应为0.》1μm~0》.5:μm超?出粒径?范围时可《采用U描述》符或M?。描述符补充说明
!
3.0.】2 : 空气洁净度等级】所处状态包》括空态、静态、动态!空气洁净度等级【所处状态应与业主协!商确定
】
3.0.3 【 空气洁净度的【测试方法应按—本规范?附录A的《要求进行
!。
,3.0.4 当】洁净室(区)—。内的产品生产工艺要!求控制微生物—、化学污染物时应】根据工艺特点对【各空气洁净度等【级规:定相应的微生物、化!学污染物浓度—。限值
《