3 — 空气洁净度等【级
—
?3.0.1 洁净!室及洁?净区内空《气中悬浮粒子—空气洁?净度等?级应符合下列规定】
》
《 1 《洁净室及《。洁净区空《气洁净?度整数等级应按表】3.0.1确定【
表【3.0.1 洁净】室及洁净《区空气洁净度—整数等级
!
:
《
注按不同的测【量方法各等》。级水平的浓》。度数据的有效—数字不应超过3位】。
《
2 】 各种要求粒径D的!最大浓度限》值Cn应按下式计算!
—
,
式—中Cn大于或等【于,要求粒径的》最大浓度限》值(pc/m3)C!n,是四舍?五入至?相近的整《数有效位数不超【过三位数;
!
? N空气】洁净:度等级数字不超过9!洁净度等《级整数之间的中【间数可以按0.1为!最小允许递增—量,;
?
】 D要求的粒径】(μm);
】
— 0《.1常数其量纲为μ!m
:
》 3 【当工艺要求粒径不】止,一个时相邻两—粒径:中的大者与小者【之比不得小》于1.?5倍
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《 4 》空气:洁净度等级的—粒,径范:围应为0.1μ【m~0.《5,μm:超出粒径范围时可】采用U描《述符或M描述符补】。。。充说:明
3.!0.:2 空气洁—净度等级所处状态包!括空态、《静态:。、动态空气洁净度】等级所处状态应【与业主协商确定
】
3.【0.3 空气【洁净度的测试—方法应按《本规范?。。附录A的要》。求进行
】
3.0.4 【 当洁净室(区【)内的产品》生,产,工艺:要求控制微生物【、化学污《。染物时应根据工艺】特点对各空气洁净】度,等级规定相》应的微生物、化学污!染物浓度限值
】