？ 3  空气洁【净度等？。级 】 3．？0．1  》洁净室及洁》净区内空《气中悬浮粒子空气洁！净度等级应符合下列！规定 【     1 【 洁净室及洁净区空！气洁：净度整数等级应按表！3，．，0．：1确定 】 表3．0．1 】洁，净室及洁净区空气】洁净度整数等级 】 ？ 》 注按不同【的测量方法各等级】水平的浓度数据的有！效数字不应》超过3？位  】   2  各种要！。求粒径D的最—大浓度限值Cn【应按下？式计：算 》 》 式中Cn大于！或等：于要求粒《径的最大浓度—。限值(pc/—m3)Cn》是四：舍五入至相近的整】数有效？位数不超过》三位数； 》。    】   ？N空：气洁净度等级数字不！超过9洁《净度等级整数之【间的：中间数可以按—0.1为最小—允许递增量》；   ！    D》。要求的粒径（μ【m）； — ？     》 0.1常数—其量纲为μm ！    — 3  当工艺【要求粒径不止一个时！相邻两粒径》中的大者与小—者，之比不得小于1.】5倍 —     4  ！空气洁净《。度等级的粒》。径范围应为0.1】μm～0.5μm】。超出粒径范围时【可采用？U描述符或M描【述符补充说明 ！ 3．》0．2？  空气洁净度等】级所：处状态包括空—态、静态、》。动态空气洁净度等级！所处状态应与业主】协商确定 】 3．0．3  ！空气：洁净度的测试方【法应按本规》范附录A的要求进】行 ？ 3．0．4！  当洁净室（【区）内的产》品生产工艺要求【控制微生物》。、化：学污：染物时应根据—。工艺特点对各空气洁！净度等级规定相【应的：微生物、化学—污染物浓度限值 ！