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3 ? 空气洁净度—等级
》
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3.0.1】。 洁净《室及洁净区》内空气中悬浮粒子空!气,洁净度等级应符【合下列规《定
】 1 洁【净,室及洁净《区空气?。洁,净度整数等级—应,按表3.《0.1确《定
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表—。3.0.1》 洁净室及洁净区】空气洁净度整数等】级
》
《
注》按不:同的:测量:方,。法各等?级水平?的浓:度数据的有效数【字,不应超过3位
】
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, 2 各】种,。要求粒?径D的最大浓度限值!C,n应按下式计—算
】。
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式中Cn大于!或,等于要?求粒径的最大—浓度限值(pc/】m3)Cn》是四舍五入》至相近的整数有【效位数不《超过三位数;—
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— N空气》洁净度等级数字不超!过9洁?。净度等级整数之【间的中间数可以按0!.1为最小允许递增!量;
! D—要,。求的粒径(μm【);
】 《 0.《1常数其量纲为μm!
?
3】 当工艺要—求,粒径不止一个时相邻!两粒:径中的大者与小者之!比不得小于1.【5倍
【
《 4 空气—洁,净度等级《的粒径范《围应为0.1μ【m~0.5μm超】出粒径范围时—可采用U描》述符或M《描述符?补充说明
》
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3.0.2! 空气洁净度等】级,所处:状态:。包括:空态、静态、动态】。。空,气洁净度等级所【。处状态应与业主协】商确定
》。
3.—0.:3 空气洁净度的!测试方法应按—本规范?附录:A的:要求进行
】
3.0》.4: 当?洁净:室,(区:)内的产品生产工艺!。要求控?制微:生物、化学污染物】时应根据工艺特点】对各空气洁净度等级!规定相应的微生【。物、化学污染物浓度!限值
《