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3 空气洁】。。净度等?级
?
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3》.0.1 —洁净室及洁净区内空!气中悬浮粒》。子空气洁净度等级】应符合下列规定【
! 1 洁净室及洁!净区空气《洁净度?。整数等级应按表【3.0.《。1确定
—
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表3.0—.1 ?洁净室及洁净—区空气洁净度整【数等级
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注】按不同的测量方【法,各等级水平的浓【度数据的有效数字不!应超过?3位
! 2 》。 各种?要求粒径D》的最大浓度限—值Cn应按下—式计:。算
—
《
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:式中Cn大于或【等于要求粒径的最大!浓度限值《(pc?/m3?)Cn是四舍—五,入,至相近的整数有效位!数不超?过三位数;
!
【 N空气《洁净度等级数字不】超过9洁《。净度等级整数之【间的中间数可以按】0,.1为最小允许递】增量;
—。
!D要:求的粒径(μ—m):;
【 ? ?。0.1常数其量纲为!μm
】 《3 当工》艺要求粒径不止一】个时:相邻两粒《径中的大《者与小者之比不得】。小于1.5倍
】
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4 ! ,空,气洁净度等》。级的粒径范围应【为,0.:1μm?~0.5μm超【出粒径?范围时?可采用U描述—符或M描述符补【。充说:明
—。
3.0.2 】空气洁净度等级【所处状态包括空态】、静态、动态空气】洁净度等《。级所处?状态应与业主协商确!。定,
—3.:。。。0.3 《。 空气洁净度的【测,试,方法:。应,按,本规范附录A的【要求:进行
》。
3.0.4 ! ,当洁:净室:(区)内的产品生】产工艺要求控制【微生:。物、化?学,污染物时应根据【。工艺:。特点对各空气洁【净度等级规定相应的!微生物、化》。学污染物浓度—限值
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