,
2 —术语
?
?
?
2.0.1 】洁净室 c】lean roo】m
?
:
《 空气《。。悬浮粒子浓度受【控的房间《。它的建造和使—用应减少室》。内诱:入、产生及》滞留的粒《子室:内其他有关参数如温!。度、湿度、压力等按!要求进行控制
】
2》.0:。.2 《。洁净区 — cl?。ean z》。one
】
?。 空气悬浮—粒子浓度受控的限】定空间它的建—造,和使用应减少空间内!诱入:、产生及滞留粒子】空间内其他有关参】数,如温度、湿度、【压力:等按要求《进行控制洁》净区:可以是开放》式,或,封闭式?
:
2.0.3!。 :。移动:。式洁净?小室 《 mobi—le clea【n booth
】
!可整体移动位置【的小:型洁净室有刚性和柔!性材料围挡两—类
—
2.0.4 】人,。身净化用室 【。 room fo!r cl《eani《ng huma【n body
!
《 ?人员在进入洁净【区之前按一定程序】进行净化《的房间
—
2.》0.5 《。 物料?净化用室 【 roo《。m for》 cleanin】g,。 m:aterial
】
《
: 物料在—进入洁净区之—前按一定程序进行净!化的房?间
2.!0.6? 粒径 》 parti】。cle size】
— 《给,定的粒径测定仪所显!示,的、与被测粒子的】响应量相当的球形体!直径
《
?
,2.0.7 【悬浮粒子 a!irb?orne part!icl?。e
》
用于空!气洁净度分级的空气!中悬浮粒子尺寸范围!在,0.1μm~—5μ:m的固体和液—体粒子但不适用于】表征悬浮粒子的【物理性、化学性、】放射性及《生命性
《
?。
2.0》.8 超微粒子 ! u《。ltrafine !particle
!
— 具有当—量直径?小,于0.1μm的粒】子
《
:
2.0《.9 微粒子【 :micropart!。icle
】
具【有当量直径》大于5μm的粒子
!
,
2.—0.10 粒径分!布, 《p,arti《cle size !dist《ribution
!。
,
,
粒子!粒径频率分布和累】积分布是粒径的函数!
?
,
2.0.11 ! 含:尘浓度 》 parti【cle? c:。on:。cent《ration
!
《 单位体—积空气中悬》浮粒子的《颗数
—
2.0.1【2 洁净度 】 , cleanli】ness《
《
: ? 以单位体积空【气中大于或等于某粒!径粒子的《数,量来区?分的洁净程度
【
《。
2.0.1—3 气流流—型 air】 fl?ow ?patt《ern?
【 , :。对室内空气的流动形!态和分布进行合理设!计
2.!0.:14 《单向流 — uni《d,。irectio【nal a》irflow
【
《
通过洁净!室,(区)整个断面的风!速稳定?、大致平行的受【控气流
】
2.0.15 】 垂直?。单向流 ve!rtical u】nidirecti!onal f—l,ow
?
?
《 与?水平面垂直的—单向:流
《
?2.0.《16 水平单向】流 h—orizontal! uni《directio】nal f》low?
:
,
与水!平面平行《的单向?流,
《
2.0.17 ! 非单向流 !no:n-u?nidire—ctional f!。l,ow
?
【 送入洁》净,室(区)的送风以】诱导方式与》室(区)《内空气混合的气流】分布类型《
2.0!.18 混—合流 m【i,xed air【flow
】
《。 单向流和非【单向流组合的气【流
【2.0.19— 洁净工作区 ! :clean w【or:king are】a
《
? ? 除工艺特殊要求】外指洁净室内离【地面高度《0.8m《~1.5m的—区域
?
,
2.0.2!0 空气吹—淋室 a【ir show【er
【
: 利《用高速洁《净气流吹落并—清除进?入洁净?室人:员,表面附着粒子的小】室
:
2.0.!2,1 : 气闸室《 ? air 》lock
【
设置!。在,。洁净室出《入口阻隔室》外,或邻:室污染?气流和压差》控制而设《置的缓冲间
—
《
2.0《。.22 传递窗 ! pass b!ox
《
《 在洁净【。室隔墙上设置的传】递物料和工》器,具,的窗口两侧》装有不能同时—开启的窗扇
】
:
,2,.0.23 洁净!工作台 — c:lean be【nch
【
—能够保持操作—空间所需洁净度【的工作台
】
:2.0.《。24 洁净工作】服 cle】an wo》rkin《g garmen】t
】 : 为:。把工作人员产生的】粒子限制在最小程】度所使用的发—。尘量少的洁》净服装
!2.0.25 空!态 as-b!uilt
!
?。 , 设施?已经建成《。其服:务动力公用设—施区接?通并:运行但?无生产设备、—材料及人员的—状态
《
2.—0.26 静态】 at—-re?st
—。
设施】。已经建成生产设备已!经安装好并按供需】双,。方商定的状态运行】但无生产人》员的状态
—
:
2.0.2【7 动态 【 operat】ional
!
设施以!规定的?方式运行有规定的】人员在场《并在商?定的状态下》进,行,工作
》
2.0.28! 已装过滤器检漏! ? i:nst?alled fil!te:r system】 leak》ag:e test
】。
:
,
: : 为确认《过,滤器安装良好—、没有向洁净室(区!),的旁路渗漏》过滤器及其》框架均无缺陷和渗】漏所做的检测—
《
2?。.,0.29 高效空!气,过滤器 h】igh eff【icien》cy partic!ulate air! filter【 (HEPA)【
《
》 在额定《风量下?对,粒径大于《或等于0.3μm粒!子的捕集效率在9】9.9%以上—的空:气过滤器
》
:
2.0.30! 超?高效空气过》滤,器 ? ul《tra 《low p》enetra—tion air】 filte—r :(ULPA)—
— , 在额定风量下!对粒径?0.1μm~0【.,2μm?粒子的捕《集效率在99.【999%以上的【空,气过滤器
》
2.【0.3?。1 纯水 !purity w】ater
】
,
《 对电解质杂质含】。量和非电解质杂【质含量?均有要求的》水,
《
2.0》.3:2, 防静电环—境 ant】is:tatic e【nvir《onm?ent
! 《能防止静电危害的特!。定,环境在这一环境中】不,易产生静电静—电产生?后易于消散或—消除静电噪声—。难以传?播
》
2.0.33】。 表面电》阻 su【rface r【esista—nce?
》
在材料】的表面上两电—极间所加直流电【压与流过两极间的】稳态:电流之商
—。
:
:2.0.34 体!积电阻 vo!lume re【sistance
!
?
在材】。料的相?。对两表面上放置的】两,。电极间所加直流电压!与流过两《电极间?的稳:态电流之商该—电流不?包括沿材料》表面的?电流
《
2.0.3!5 表面电阻率】 surfa!ce ?resist—iv:ity?
?
— 在材料表》面层的直流》。电场强?度与稳态电流—线,密度之商
》
2—.0.3《6, 体积《电阻率 《 vol—ume res【is:tivit》y
】 , 在?材料内层的直—流电场强度》与稳态?电流密度《之商
2!.0.37 【。。专用消防口 】 fire》-fight— acces—s
【 消防人员为!灭火而进《入建筑?物的专用入口—平时封闭使用时由消!防人员从室外—打开
】2,.0.38 【。自净时间 】reco《very tim】。e :。of cle—anliness】
【 ,。 洁净室被—。污,。染,后净化空调》系统开始运行—至,恢复到稳定的—。规定室内洁净度【等级所需的》时间
【
2.0《.3:9 ?生物洁净室》 b》io:log?i,cal clean! roo《m
《。
,
洁【净室空气中悬浮【微生物控制在规定值!内,的限定空间
—
2.0.!40 《浮游菌 【air?bor?n,e viab—le bacte】。r,。。。。ia
】。 悬浮—。在空气中的带—菌,微粒
?
》2.0.41 【 沉降菌 se】ttlemen【 bacte—ria
—
降落!在培养皿上的带菌微!粒
2】.0.42 U描!述,符 《 U ?descript】。。o,r
! :每立方米空气中包括!超微粒子的实—测,或,。规定浓度U描述符】不能规定《悬浮粒?子,。洁,净度等级但它—可与悬?。浮粒子?洁净度?等级同时引述—也可以单独引述
】
》2.0.43 【 M描述《符 M— descript!or:
:
每!立方米空气》中实测的或规—定的:微粒子M描述符不】。能规定悬《浮,粒子洁净《度,等级但它可与悬【浮粒子?洁净度等级同—时引述也可以单独】引述
】2,.0:.44 工业管】道 indu!strial 【pi:pe
】 《。洁净厂房《内除给水《排,水管道和净》化,空调、采暖通风【管道外?的气体、液体管【道统称为工业管道
!
,