2》 :术语
—
2.—0.:1 : 洁净室 】clea《n r?oom
】
》空气悬浮粒子浓度】受控的房间》它的建造和使用应】减少:室内诱入《、产生及滞留—的粒子室《内其他有关参—数如温度、湿度、】压力等按《要求进行《控制
》
:
2.0.2 【 洁净区《 ? clea》n zo《ne
】 空气悬浮】粒子浓度受控—的,限定空间它》的建:。造和使用应减—少空间?内诱入?、产生及滞》留粒子空间》内其他有关参—。数如温度、湿度、压!力等按要求进行控】制洁净区可以是开放!式或:封闭式
《
?
2.0.3 !移动:式洁净小室 【 mobile】 ,clean boo!t,h
【 ? 可整体移动位置】的小型洁净室有刚】性和柔性材料围挡】两类
?。
》2.0.4 人身!净化用室 】room f—or cleani!ng hu》ma:n body
【
?。
,
: 人员在进入】洁净区?之前按一定程—序进行净《化的房间
】
,
2.0.5 物!料,净化用室 》 ro》。om for c】leaning m!ateri》a,l
?
?
《 物料在《进入洁净区之—前按:一定程序进行—净化的房间》
2.0!.6 粒径 ! p:ar:ticle siz!e,
:
给!定的粒径测定仪【所显示的、与—被测粒子的响应量】相,当的球形体直径【
,
2.0.!。7 悬浮粒子【 airb】o,rne 《particle
!
!。用于空气洁净—度分级的《空气中悬《浮粒子尺寸范围在】0.1μ《m~5μm的固体】和液体粒子》但不适用《于表征悬浮粒子的物!理性:、化学性、放射性】及生命性
—
2》.0.8 》 超微粒子 】。 ultrafin!e :partic—le
?
,
,
《 ?具有:当量直?径小于0《.1μm的粒子【
2【.,0,.9 微粒—。子 micro】parti》cle
】
《 具:有当量直径大于5】μ,m,的,粒子
2!.0.10 粒径!分布 pa】rtic《le s《ize d》istribut】ion
】
, , ?粒子粒径频》率分布和累积分布是!粒径的函数》
2.0!。.11 含—。尘浓度 《 part【icle c—oncentra】。ti:on
—
单【位体积空气中悬浮粒!子的颗数
!
2.0.》12 洁净—度 《 clea》nl:iness
!
,
》以单位体《积空气中大于或【等于某粒径粒子的数!量来区分的洁净程度!
2.0!.13 气流流】型 air !flow patt!er:n
《
对】。室内空气的流动形态!和分布进《行合理设计》
2【.0.14 — 单向?流 》。unidirec】tional— airflow】
— 通》过洁净室(区)整】个断面?的风速稳《定、大致平行的【受控气流
】
2?.0.15 垂直!单向流? 《verti》cal unidi!r,ecti《onal flo】w
【 与水平面垂!直,的单向流
!
,2.0.16 】水平单向流 !。h,。orizont【al unidi】rectiona】l fl《o,w
【 与水平面】平行的单向流
】
:
2?.,0.17 》 非单向《流 : n《o,n-unidir】ection—al fl》ow
】 送入—洁净室(区)—的,送风以诱导》方式与室(区)【内,空气混合的气流【分布类型
【
2.0.【18 混合流 】 mix—ed airf【lo:w
?
单!。向流和非单》向流组合的》气流:
—2.0.19 【。 洁净工作区 】 , clean 【wo:rkin《g area
】
》 除工艺特殊要!求外指洁净室内离地!面高度?0.8m~》1.:5m的区《。域
—
2:.0.20 — 空气吹淋室 !。 ,a,ir s《hower
【
?
?。 :利用高速《洁净气流吹落—并清:除进入?洁净室人员表面附】着,粒子的小室》
2.】。0.21 气闸】室 》air loc【k
】 : 设置在洁净室【出入口阻隔室外或】邻室:污,染气流和压差控制而!设置的缓冲间
!
2.0.22! 传?递窗: pass !box?
— 在洁—净室隔墙上设置的传!递物料?和工器?具的窗?口两侧装有不能同时!开启的?窗扇
—。
2?.0.23 — 洁净工作台 ! clean 【b,ench
】
: 能》够保持?操,作空:间所:需洁净度的工作台】
《
2.0》.24 《 洁:净工作?服, ?。 cl?ean?。 ,worki》ng gar—ment《
— 为》把工作人员》产生的?粒,子,限制在?最,小程:度所使?用的发尘量少的洁】。净服装
—
2.0.2】5 空态 】 as-bui【。lt
《
【 设施已经》建成其服务动力【公用设施区接通并】运,行但无生产设—备、:材料及?人员的状态
!。
:2.0.26 静!态 a—t-rest—
:
【 设施已经建成生】产设备已经安装好】并按供需双》方商定的状态运行】。但无生产人员的【。状态
《
:
2.0.27】 动态《。 op—er:atio《nal
—
设施!以规定的方式—运行有规定的人【员,在场并在商定—的状态下进行工【作
《
2.0.28!。 已装过滤器【检,漏 ? instal】led? filter【 s:ystem le】akage tes!t
!。 :为,确认过滤《器安装良好、没有向!洁净室(《区)的?旁路渗漏过滤—器及其?框,架均:无缺陷和渗漏所【做的检测
【
2.》0.29 —。。高效空气过滤器 】。 ,。 hi《gh ef》ficiency】 p:artic》ulate —air f》ilter (H】E,P,A,)
—
? 在额《定风量下《对粒径大于或等【于0:.3μm粒子的【捕集效率在9—9.9?%,以,上的空气过滤器【
2.】。0.30《 超高效空气过】滤,器 ? ultr—a l?ow pene【tration 】air filt】er (U》LPA)
—
?
, 《在额定风量下对粒】径0.1μm~【0.2μm粒子【的,捕集效率在99.9!。。99%以《。上的:空气:过滤器
】。
2.0《.31 纯水【 purit!y w?ater
【
对电!解质:杂,质含量和非电解质】杂质含?量均有要求》的水
《
2.0.】32 ? 防静电环境 】 ant》istatic e!nvironm【ent
《。
?
能【防止静电危》害的特?定环境在这一环境中!不易产生静电静电】产生后易于消散【或消除静电噪声难以!传播
2!.0.33 表】面电阻 su!。rface re】sis?tan?。ce
】 , 在材料的表】面上两?电极间所加直流电压!与流:。过两极间《的,稳态电流之商
【
,
2.—0.:34 体积电阻 ! , vol》ume resi】stance
【
【 在材料的—相对:两表面上放置—的两电极《间所加直流电压与流!过,两电:极,间的稳态电流之商该!电流不包《括沿材料表》面的电流
—
2》。.0.35 表】面电阻率 — surfa【ce resis】。t,i,vity
【。
,
: 在材—料,表面层的直流电【。场强度与稳态电【流线密度《之商:。
》
2.0.36【 体积电阻率 】 : volume【 resisti】vi:ty
—。。
在材料!内层的直流电—。场强度与稳态—电流密度之商—
?
:
2.?0.37 —专用消防口 【 fire—-fight— access
】
,
《 : 消?。防人员为灭》火,而进:。入建:筑物的专用》入口平时封闭使用时!由消防?。人员从室《外打开
!。2.0.38 】自净时间 》。 reco【v,ery 《t,ime of cl!eanl《ine?ss
】 ? 洁净室被污染【后净化空《调系统开《始运行至恢复到稳定!的规定室内洁净度】等级所需的时—间
【2.0.3》9 生物》洁,净,室 biol!ogical 【clean roo!m
?
》 洁净室空【气中悬?浮微生?物控制在规定值内】的限定?空间
—
2.0.40 !。 浮游菌 》 ,。 airborn!e, vi?able 》b,ac:teria
!
: 悬浮在空】气,中的带菌微粒
!
2.》0.4?1 沉降菌— se《ttle《men ba—cter《i,a
! , ,降落在培养皿—上的:带,。菌微粒
!2.0.42 U!描,述符 《 U? de?script—or
—
每【立方米空《气,中包括超微》粒子的实测或规定浓!度U描述符不—能规定悬浮粒子洁】净度等级但它可【与悬浮粒子》洁净度等《级同时引述也可【以单独引述
【
2.0.4!3 : M描述符 !M, d:escrip—tor
《
:
每】立方米空气中实测】的或规定的》微,粒子M?。描述符?不能规定悬浮粒子洁!。净度等?级但它可与悬浮【粒子洁净度》等级同时引述也可】以单独引述
【
2.0.】。44: , 工业管《道 《。 ind《ustri》a,l pi《pe
?。
—。。 , 洁净厂房内【除给水排水管道和净!化空调、《采暖通风管道外【的气体、液体管道统!称为工业管道
】