2 术】语
—
2.》0.1? 洁净室 【 cle》。an: ,ro:om
!。 空气悬浮粒子!浓度受控的房间它】。的,建造和?使用应减少室内【诱,。入、产?生及滞留《的粒子室内》其他有?关参:数如温度、湿度、压!力等:。。按要求?进行控制
—
2.0.2! 洁净区 【 , clean zo!ne
?
】 空气悬浮粒子浓】度受:控的限定空间它的建!造和使用应》减少空间内诱—入、产生及滞留粒子!空间内其他有关参数!如温度、湿度、压】力等按?。要,求,。进行控?制洁净区可以是开】放式或封闭式
】
2.0【.3 移动式洁净!小室 《 , m:o,bile cle】an:。 b:ooth
】
—可整体移动位置的小!型洁净?室有刚性和柔性材】料围挡两类
】
2.0—.4: 人身《净化用室 》 , roo》m for —clea《ning 》huma《n body
!
人员!在,进入洁净区之前按】一定程序进行净化的!房间
2!.0.5 物【料,净化用室 r!oo:m for》 c:leanin—g mater【ial
《
— 物料》在进入洁《净,区之前?按一定程序进行净化!的房间
!2,.0:.6 粒》径 pa【rticle s】ize?
— : :给定的粒径测定仪所!显示的、与》被测粒子的响应【量相:当的球形体直径
!
,
,
:2.0.7 悬】浮粒子 ai!rborne p】art?icle
—
?
? 用于空气—洁净度分级的空【气,中悬浮粒子》尺寸范围在0.1μ!m~:5μm?的固:体和液体粒》子但不适用于表征悬!浮粒子的物理性【、化学性、放射性】及生:命性:
,
?
2.《0.8 超微【粒子 ult!rafin》e part—icle
!
《 具有当量》直径小于0》.1μm《的,粒子:
?。
2.0—.9 微》粒子 micro!pa:r,。t,i,cle?
! 具有当量直—径大于?5,μm的?粒,子
:
2.0】。.10 粒径【分布 》 par《ticle —size d—istribu【tion
—
— 粒?子粒径频率分—布和累积分布是粒径!的函数
》。
,
2.0.1】1 含尘》浓度: : particl!。。。e :co:nce?ntration
!
!单位体?积空气中悬浮粒【。子的颗?数
:
2—.,0.12《 洁净度 】 clean—。liness
】
,
》 以单《位体积空气中—大于或等于》某,粒径粒子的数量来】区分的洁净程度
】
《
2.0.》13 气流—。流型 air! fl?ow patt【ern
! 对室内【空气的?流,动形:态和分布进行—合理设计
】
2?.0.14 单向!流 : ?unidir—ectional】 airflow
!
— 通过洁净室(!区)整个断面的风】速稳:定、大?致平行的受控气流】
》
2.0.》15 ? 垂直单向流—。 v》e,rtic《al unid【。irectiona!l f?low
! 与水平面】垂,直的单向流
【
2》.0.1《6 水平单向流】 , ?ho:rizo《ntal《 u:nidi《rectional! flow
!
与水】平面平行的》单向流
【
2.0.17】 非单向流— n》on:-un?idi?rection【。al flo—w
》
? 送入》洁净室(区)的送风!以诱:导方式与室(区)内!空气混合的气流【。分布类型
【
2.0.18! 混合《流 《 mi?xe:d ai《rfl?。ow
! ?单向流和非》单向流组合的—气,流
—
2:.0:.,19 洁净工【作区 《 clea—n worki【ng ?area
】
? , 除工艺》特殊要求外指洁净室!内离地面高度—0.8m~》1,.5:m的区域
【
2.0.2】0 : 空气吹淋室 !。 ai?r sho》wer?。
! 利:用高速洁《净气流?吹落并清《。除进入洁《净室人员表面—附着:粒子的小室
—
,
:
2?.0.2《1 气闸室 ! air 》lock
—。
:
—设置在洁《净室出入口阻—隔室外或邻》室污染气流和压差】控,制而设置的缓冲间】
2【.0.22 传】递窗 p【as:s box
!
—在洁净?室隔墙?上设置的传递—物料和工《器具的窗口两侧装有!不能同时《开启的窗扇
!
,。
2.?0.2?3 洁净工作台 ! clean !bench
!
? 能《够保:持操作空《间所需?洁净:度的:工作台
—
2.》0.:24 洁净工【作服 》 ,clean》 wo?rking》 garment
!。
【 为把工》作人员产生的粒子】。限制在最小程度【所使用的《发尘量少的》洁,净,。服装
》
,
:2.0.25— 空态 】a,s-bui》lt:
》
? 设施已经建成】其服务动力公—用设施?区接通并运行—但无生产设备、【材料及人《员的状态
【
?2.0?.26? 静态 】at-re》st
《
?
, ? ,设施已?经建成生产设—备已经安装好并按】供需双方商定的状】态,运,行,。但无生产《。人,员的状态
【。。。
2.0.27! 动态 — , ,op:er:at:ion?al
【
, 设施以规】定的方式运行有规】定的:。人员在场并在商【定的状态下进行工作!
《
2.0》。.,28 已装—过滤器检漏 【 in《stalle—d fi《l,ter sy—ste?m l?eakag》e test—
:
:
为【确认过滤器》安装良好、没有【向,。。洁净室(区)的旁路!渗,漏过滤?器,及其框架均无缺【陷和渗?漏所做?的检测
】。
2.0.2—。9 高效空—气,过滤器 hi!gh effic】ienc《y :p,artic》ulate —a,ir fi》lter (HE】PA)
! , 在《额定风量下》对粒径大于》或等于0.》3μm粒子》的捕集效率在99.!9%以上的空气过】滤器
《
《2,。.0:.30 超—高效空气过滤—器 ? , u:ltra l—ow pene【tra?tion air !filte》r (?ULP?A)
?
?
—在额定风量下—对粒径?0.1μm~0.2!μm粒?子的捕?集效率?在99.999%以!上的空?气过滤器
【
2.0.3】1 ?纯水 《 puri—ty: w:ater
【
对】电解质杂质含量和】非,电解质杂质》含量均有《要,求的水
》
2.0.】32 防静电环境!。 an—ti:static e】nv:ir:o,n,men?t,。
《
能防】止静电危害的特【定环境在这一环境】中不易产生静—电静电?产生后易于消—散或消?除静电噪声难以传】播,。。
—2.0.33 【 表面电《阻 》su:rface r【e,sista》nce
【。
? : 在材料的表面【上两电极间所加【直流电压《与流过两《极间的稳态电—流之:商
?
?。
,2.:。0,.3:4 体积电阻 ! , vol《um:。e resist】。ance
—
》 , 在材料的相对】两表面上放置—的两电极间所加直流!电压与流《过,两电极间的稳—态电:流之商?该电流不《包括沿材料》表,面的电流
!
2.0.35 !表,面电阻率 【 surfa—ce resi【stivit—y
! 在材料》表面层的直》流电场强《度与稳?态电流线密度之商
!
2.0】。。.36 》。体积电阻《率,。 , ?volume— resistiv!ity?
! 在:材料内?层的直流电场强度】与稳态电流密度之】商
》
2.0》。.37 专用消防!口, ? fire》-fig《。ht ?access—。
》
《 消防?人员为灭火而进入建!筑物的专用》入,口平时封闭使—用时由消防人员【从室外?打开
2!.0.?3,8 自净时间【 re—cove《ry time【 o:f cleanl】ines《s
》
—洁净室被污染—后净化空调系统开】始运行至恢复到【稳定的规定室内洁净!度等级所需的时间】
2.】0.39 —生物洁净室 !biolog—ical《 clean 【room《
,
【 :洁净室空气》中悬浮?微生物?。控制在规定值内【。的限定空间》
》
2:.0.40 浮游!菌 : ai》rborne v】iable b【a,c,teria
!。
? 悬浮在空气中!的带菌微粒》
》。
2.0.41【 :沉降菌 sett!lemen b【acteri—a
》
》 降落在培养—皿上的带菌微—粒
2】.,0.:42 U描述符】 U》 de?scriptor】
—。 : 每立方》米空气中包括超微粒!子的实测或规—定浓:度U描述符不能规】定悬:浮粒子洁净》度等:级但它可与悬浮粒】子洁净?度等级同时引述【也可以单独引述【
2【。.0.?43 M》描述符 【M descr【ip:tor
! 每立方米空!气中实测的或—规定:的微粒子M》描述符不能规定【悬浮粒子洁净—度等级但它》可与:悬浮粒子洁净—度等级同时》引,述也可以单独引【述
2.!0.:44 工业管道 !。 ,。 , indu》s,tri?al pip—e
:
】。 洁净厂《房,内除给水排》水管道和净化空调、!采暖通风管》。道外的?气,体、液?体管道统称为工业】管道
《