,
?2 术《语
!2.0.1 —。 洁净室《 cl—ean room
!
》 《空气悬浮粒》子浓:度受控的房间它的建!造和使用应减—。少,。室内诱入、产生及】滞留的?粒子室?。内,。其他有关参数如【温度、湿度、压力】等按:要求:进行控制
!
2.?0.2 洁净区 !。 ?c,lean 》zone
【
,
空【气悬浮粒子浓度受控!的限:。定空间?它的建造和》使用应减《。。少空间?内诱入、产生—及滞:。留粒子空间内其【他,有关参?数如温?度、湿度、压力等】。按要:求进行控《制,洁净区可以是开放】式或封闭式
【
:
2.0.3【 移动式洁—净小室 — mob《i,。le ?clean bo】oth
! 《。可整体移动位—置的:小型洁净室有刚性和!柔性材料围》挡两类
【
2.0.4 !人身净化用室 【 r《oom fo—r cleanin!g human 】body
—
【 人员在进入—。洁净:区之前按《一定程序进》行净化的房间
【
》。2.0.《5 物料净化用】室 r—oom for 】cleanin【g mat》erial
】
:
? 物料《在,进入洁?。净区之前按一—定,程序进行净化的房间!
》
2.0.》6 粒《径 ? p?a,rt:icle siz】。e
】 给定的粒【径,测定仪所显示的、】与被测粒子的响应】量相:当的:球形体直径
】
2.0.7 ! 悬:浮粒子? : airb—orne part!icl?e
! :用于:空气洁净《度分级的空气中【悬浮粒?子尺寸范围在—。0.1μm~5μ】m的固?体和液体粒子但不适!用于表征悬浮粒子的!物理:性,、化学性、放—射性:及生命性
—
2.0.】8 超微粒子 】 ultra】fine par】ticle
—
《
《 具:有当量直径小于0】.1μm《。的粒子
《
2.0】.9 微粒—子 microp!artic》。le
《
,
具】有当量直径大于【。5μm的粒子—
:
2.0【.10? 粒径《分布 par!ti:cle size !distri—bu:tion
!
粒子【粒径频率《分布和累积分布【。是粒径的函》数
?
2.0.】11 含尘浓度】 : partic】le conce】ntrat》ion
》。
【。 单位?体积:空气中悬浮粒子【的颗数
》
《2.0.12 】洁净度 【c,leanli—n,es:s
! 以单位》体积空气中大于或等!于某粒径粒子的数量!来区分的洁净程度】
2.】0.13 》 ,气,流,流型 》 air《 ,flo?。w pa《t,tern
】
—对,室内:空气的流动形态【和分布进行合理设计!
2.】0.14 —单向流 u】nidirec【tion《al airfl】ow
【
通—过洁净室《(区)?。整个断面的风速稳】定、:大致平?行的受控气流
!
2.0.15! 垂直单向流【。 verti!cal u》nidirect】ional fl】ow
【
与—水,平面垂?直的单?向流
》
?。。。2.:0.16 》。 水:平单向流 h!。。or:izon《tal u》。n,i,direc》tional 【f,lo:w
】 与水平面平】行,的单向?流,。。
2.0!.1:7 非单》向,流 《 ,no:n-un《idi?。rectio—nal fl—ow
?
—。 送入洁净【室(区)的送风以诱!导方式与室(—区,)内空?气混合的气流分布】类型
—
2.《0.18 —混合流 》 :mix?ed a《i,rflow
!
—。单向流和非》。单向流?组合的气流
—
《
2.0.19 】 洁净工作区 【 ?cl:ean wo—rking a【r,ea
】。 除工艺特】殊要求外指洁—净室内离地面高度】0,.,8m~1.5—。m的区域
【
,
:2.0.20 】空气吹淋室 !air s》ho:wer
【
利用】高速:洁净气流《吹落并?清除进入洁》净,室人员?表面:附着粒?子的:。小室
2!.0.21 【。气,闸室 ai】r l?ock
【
《 设置《在洁净室出入口【阻隔室外或》。邻室污染气流和【压差控制而设置的缓!冲间
2!.0.22 【传递窗 p】a,ss box
】
》 : 在洁净室》隔墙上设置》的传递物《料和工器《具的:窗口两侧装有不【能同时?开启的窗扇
!
2.《0.2?3 洁净》工作台 cl!。ean ben【ch:
— 能够保持操!作空间?所需洁净《度,的,工作台
】。
2.?0,.24 洁—净工作服《 cl—ean? wor《k,ing 《garmen—t
】 ?为把:工作人员产生—的粒子限制在最【小程度所使用—的发尘量少的—洁净服装《
》
2.0.25 !空态 ?。 , as-bu【il:t
—
, 设施已经】建成其服务动力【公用设施《区接通并《运,行但无生产设备【、材料及《人,员的:状态
—
2?.0.26 【静态 》。 a:。t-:re:st
?。。
:
【设施已经建成生【产设备已经安装【好并按供需》双方商定的状态运】行但无生产人员【的状态?。
2.0!.,27 动态 ! o:perati—onal《。
:
— 设施以规—定的方式运行有【规定的人员》在场并在商》定的状态下进行工作!
?
2.0.【。28 已装过滤器!检,漏 inst!alled fi】lter 》system l】eakage—。 test
—
!为确认过滤器—安装良好、没—有向洁净室(—区)的旁路渗漏过】滤器及其框架均【无缺陷和渗漏所做】的,检测
【
,2.0.29 【 高:效空气?过滤器 h】igh effic!。iency》 parti—cul?ate 《air fi—lter (H【EPA)《。
《
在额定!风量下对粒径—大于或?等,于0.?3μm?粒子的?捕,。集效率在《99.9《%以上的空》气过滤器
!
2.0.30 】。 超高效空气过【滤器 ? : ,ultra low! penetr【ation》 a:ir filter! (ULPA)
】
!在,额定风?量下对粒径0—.1μm~0.2μ!m,粒,子的捕集效率—在,99.999%以】上,的空气过《。滤器
?
2.0】.31 《。 纯水? ? puri》ty w《ater
—
【 对:电解质杂质含量【和非:电解质杂质》含量:。均有要求的水—
?
?2.0?.3:2 防《静,电环境 an!tista》。ti:c :environm】ent
】
能防止静!电危害的特定环境】在这:一环境?中不易产生静电静电!产生后?易于消散《或消除静电噪—声难:以传播
!2.0.《33 ? 表面?电阻 ?。 surfac!e resi—stance—
】 在材料的—表面上两《电极间所加》直流电压与流过两】。极间的稳态电流【之商
】2.0.34— 体积《电阻 》 v:o,lu:me res—istance
】
】 在材料《的相对两《表面上放置的两电】极间所加直》流电压与流过两电极!间的稳态电流—。之,商该电?流不包括沿材料表面!的电流
】
,2.0.35 【 表面电阻率 ! surfa—ce r《esist》ivit《y
:
?
《。 :在材料表面层—。的直流电场强—度与稳态电流线密度!之,。商
【2.:0.36 体【积电阻率《 v》olume》 res《istivit【y,
! 在材料内层的直流!电场强度《与稳态?电流密度《之,商
2】.0.37 【专用消防口 !fire-》fight acc!ess
】
》消防人员为灭火而】进入建筑《物的专用《入口平?时封闭?使用:时由:消防人员从》室外:打开
【
2.0.38 】 ,自净时间 — recov【e,ry tim—e, of 《c,leanli—ness《
《
: 洁净室被】。污染后净化空—。调系统开始运行【至恢:复到稳定的规—定室内洁《净,度等:级,所需的?时间
?。
:
,
:2.0.3》9 生物洁—净室 —bi:ologi》ca:l clean 】room《
【 , 洁净室空气【中,悬浮微生物控制在】规,定,值内的?限,定空间
—
:
2.0.40【 , 浮游菌《 : air》bo:rne via【ble bacte!ria
《
?
悬浮】在空气中的带—菌微粒
!2.:0.41 沉降】菌, settle】men bact】。er:ia
】 降落在培】养皿上的带菌—。微,粒
2】.0.?42 ?。。。 ,U描述?符 U de!scri《p,。tor?。
! 每立方米空气中】包括超?微粒子?的,实测或规定浓度U描!述符不能规》定悬浮粒子洁净度】等级但它可与悬浮粒!。子洁净度等级同时引!述也:可以单独《引,述
《
2《.0.43 M描!述符 》 M ?d,escrip—tor
! 《每立方米空气中实】测的或?规定:的微粒子M描—述符:不能规定悬浮粒子洁!净度等级但它可【与悬浮粒子洁—。净度等级《同时引述也可以单】。独引述?
《
2.《0.44《 , 工业管道》。 《in:。dustria【l pipe—。
! 洁净厂房》内除给水《排水管道和净—化空调、采暖—通风:管道外?。的气体、《液体管道统》称为工业管道
】