2 — 术语 【 2．0．】1  洁净室—    c》le：an roo—m   ！。 ， 空气悬浮》粒子浓度受控的【房，间它的建造和—使用应减少》室内诱入、》。产生及滞留的粒子】。室内其他《有关参数《如，温度、湿度、压力等！按要求进《行控：制， ： 2》．，。0．：2  洁净区  】 ， clea》n z？one？ 《     空【气悬浮粒子》。。浓度受？控的限定空》间它：的建造和使用应减】少空：。间，内诱入、产生及滞留！粒子空间内其—他有：关参数如温度、湿】度、压力《等按要求进行控制】洁净区可以》是开放式《或封闭式 【 2《．0．3《  移？。动，式洁净小室  【。  mobile】 clean— booth— 》  ：  ： ，可整体？移动位？置的小型洁净室有刚！性和柔性《材，料围挡两类 — 2—．0．4  —人身净化用室   ！ ，。room f—or cl》eaning 【hum？an b《od：。y  】   人员》在进入洁净区之前按！一定：程，。序进行净化的房间 ！ 2—．0．5《  物？料，净化用室  —  roo》m for cl】eaning— mat《erial ！    》 物料在《进入洁？净区之前《按一定程序进行净】化，的房间 】 2．0《．6：  粒径    p！arti《cl：e s？ize 》 ：  ？   给定》的粒径测《定仪所显示的、【与被：。测，粒子的响应量相当的！球形体直径》 《 ， 2．？0．7 《 悬浮？粒子    —ai：。。rborne p】article 】     ！用于空气洁净度分级！的空气中悬浮—。粒子尺寸《。范围在0.1μm】～5μm的固体和液！体，粒子但不《适用于表《征，悬浮粒子的物理性】、化学性、放射性及！生命：性 2．！0．8 《 超微粒子    ！ul：trafine 】part《icle 》    】 具有当量直径小于！0.1μm的—粒子 【 2．0《．，9  微粒》子  micr【opar《t，icle《 —   ？ 具有当《量直径大于5μm】的粒子？ ： ， ： ，2．0．10 【。。。 粒径分《布    》p，articl—e size 【d，istribu【tion ！   ？  粒？。子粒径频率分—布和累？积分布是粒径—的函数 — 2．0—．11？  含尘《。浓度：    pa—r，ticle》 concen【t，。ration—。 —  ：  单位体积空【气中悬浮粒子的【颗数 】2．0．12—  洁？净度    cl】。eanliness！    ！ 以单？位体积？空气中大《于或等？于某粒径粒子的数量！来区分的《洁，。净程度 》 2》．0．13》  气流流型 【   ？air flow ！pattern【 ？ ？    对室内空气！的流动？形态和分布》进行合理设计 【 《 2．0．1—4  ？。单向流   — u：nidirect】ional a【irf？low 【     —通过洁净《室（区）《整个断面的风速【稳定、大致平行的】受，控气流 】 2．0．1—5  ？垂直单向流    ！。。verti》。cal u》nid？irection】a，l ：。flow ！     与—水平面垂《直，的单向流 】 2．0．—1，6 ： 水：平，单向流？  ：  ：horizon【tal unidi！rec？tional fl！o，w  】 ，  与水《平面：。平行的单向流— 2【．0．？1，7  ？非单向流 》  ： non《-unidir【ecti《ona？l flow 】     送！入洁净室（区）的送！风以诱？导方式与室（区）内！空气：。混合的气流分—布类型 《 ： 2．》0．18  混【合流    mi】xed airf】l，o，w 《    — 单：向，流和非单向》流组合的气流— —2．0．19  】洁净工作《区   《 clea》n workin】g area—    ！ 除工艺特殊—要求外指洁净—室内离地面高度0】.8m～1.5m】的区域 】 2．0．20  ！空气吹？淋室   》 a：ir sho—w，er 】    利用高速】洁净气流吹落并清】。除进入洁净室人员表！面附着粒子》的小：室， 《 2．0．21】  气闸室   】 air《 lo？ck 】 ，   ？设，置在洁净室出入口】阻隔室外《或邻室污染气—流和：压差控制而设置的缓！冲间 《 2》．0．22  传】递窗    pas！s box ！     在洁净！室，隔墙上设置的传【递物料和工器具的】窗口两？侧装有不能》同时开启的窗扇 ！ 2．0【．23  洁净工】作台    cl】ean ben【ch 《     能！够保持？操作空间所需—洁净：度，的工作台 】 ， 2．0《。．24  洁净【工作服   — ，clean w【orking g】。arment 】     】为把工？作人：员产：。生的粒子限制—在最小？。程度所使用的—发尘量少的洁净服装！ 《 2．0．25 ！ 空态？。   ？ as-《buil《t ？  》  ： 设施已经建—成其服务动力—公用设？施区接通并运行【但无生产设备—、材料及人》员的状态 】 ：2．0．2》6  静态 — ，  at-》rest《 ，    】 设施已经》建成生产设》备已经安装》好并按供《需双方？。商定的状态运—行但无生产人—员，的状态？ ：。 2．0．2！7  动《态，    ope【rat？ion？al 【  ： ，  设施以规定的方！式运行有规》定的人员在》场并在商定》的状态下进行工【。作 《。 2．0．2】8  已装过滤器检！漏   《 i：ns：talled f】ilter sys！tem leaka！ge test ！ ， ：。。  ：   ？为确认过《滤器安装《良好、没有向洁净】室（区）的旁路渗】漏过滤器《及其框架均无缺陷】和渗漏所做的检【测， 2【．0．29  高】效空气过滤器—    h》igh effic！。iency par！ticul》ate air f！i，lter 》(H：EPA？) 【    在额定风】量下对粒径大于【或等于0.》3，μm粒子的捕集效】率在99《.，9％以上《的空：气，过滤器 【 ，。。 2．0．30  ！超高：。效，。空气过滤器   】 ultra 【low？ penet—rat？ion air f！ilter (U】LPA) ！     在—额定风？量下对粒径0.1】μm～0《.2μm粒子的捕集！。效率在99.—999％以》上，的空：气过：。滤器 ？。 ： 2．0—．31  》纯水    p【urity w【ater ！     对电解】质杂质含量和—非电解质杂质—。含量均有《要，求的水 》。 《。2．：0．：32  防静电环境！    《anti《s，tat？ic env—ironmen【t， ？  《   能防止静【。电危害的特定环境】在，这一环境中不易【产生静电静电产【生后易于《消散或消除静电【噪，声难以传播》 ， 2．0．！3，。3  表面电—阻    sur】。face re【sista》nce — ，。     在材料！。的，表面上两电极间所加！直流电压与》。流过：两极间的稳态电流】之商 2！．0．34 — 体积电阻 —   ？volume r】esist》a，nc：e 《     【在材料的相对—两表面上放置—的两电极间所加直流！电压与流过两电【。。极间：的稳态电《流之商该《电流不包括》沿材料表面》的电流 ！2．0．35—  表面电阻率【   ？ surfac【e， resisti】vity ！     在材【料表：面层的？直流电场强》度与：稳态电流线》密度之商 》 ： 2．0．3】6，。  体积电阻—率    vo【lum？e resis【tivity ！   》 ， ，在材料内层的直流电！场，强度与稳态电—。流密度之商》 2【．0．？37  专用消防口！    fire-！fight ac】。c，ess 《 ？ ：    消防—人员为灭《火而：。进入建筑物的—专，用入口平时》封闭使用时由消【防人员从《室外打？开 ？ 2．0．】38  自净时【间    r—ecovery 】time of【 cleanli】ness 》。     ！洁净室被污染后净】。化，空调系统开始运【行至恢复到稳定的】规定室内洁净度等级！所需的时间 — 》2．0．《39  生物洁净】室    biol！ogical— cl？ean 《room — ？     洁净【室空气中《悬浮微生《物控制在规定值内的！限定空间《 ？ ： 2．0．40【  ：浮游菌    a】irbor》ne ？v，i，a，ble b》act？eria《 《    》 悬浮？在空气中《的带：菌微粒 【 2．0》。．4：1  沉降菌—  s？ettleme【n bac》te：。ria 》     降！落在培？养，。皿上的带菌》微粒 《 2．0．】42  《U描述符 》   U desc！rip？tor？ 《  ？   每立方—米空气？中包括？超微粒子的实测或规！。。定浓度U描述符不能！规定悬？浮，粒子洁净度等级【但它可与《悬浮粒子《洁，净度等级同时—引述也？可以单独引》述 ？ ？ 2．？0．43 》 ，M描述符    】M de《scr？iptor ！     每立方！米空气中实测的【或规定的微粒子M】描述符不能规定悬】浮粒子？洁净度等《级但：它可与悬浮》粒子洁净度等级同时！。引述也可以单独引述！ ？ 2．》0．：44  工业管道 ！   in》dustri—a，l p？ipe — ，  ？  ：。。 洁净厂房》。内除给水排水管道和！净化空调、采暖通】风，管道外的气体、【液体管道统称为工业！管道 《