2  术语！ 》 2．0—．1  洁净室  ！  clean r！oo：m 》     空气悬！浮粒：子浓度受控的房间】它的：建造和使用应减【少室内诱入、产【生及滞留的粒—子，室内其他有关参【数如温度、湿度、压！力等按？。要求进行控制 【 《 2：。．，0．：。2  洁净区—  ： ， clean zo！n，e   ！  空？气悬浮粒子浓度【受控的？限定：空间它的建造和使用！。应减少空间》内诱入、产生及【。。滞留粒子空间—内其他？有关参数《如温度？、湿度、压力等按要！求进行控制洁净【区，可以是开放》式，或封闭式 》 2．0】。．3  移动式洁净！小室    m【obile》 cle《an boo—th 】    可整—体移：动位置的小型洁【净室：有刚性和柔性材【料围挡？两类 《 2．0．4！  ：人身净化用室   ！ room fo】r cleani】ng huma【n ：body 【 ？    人员—在进入洁净区之【前按一定程序—进行净化的房间 ！。 2．0．】。5  物料净—化用室    【room 》。fo：r cleani】ng mat—erial 【 《    《物料在进入洁净【。区之前按一定程【序进行？净化的？房间 》 ， 2．0．6  ！粒径    par！ticl《e ：size 【 ？    给定的【粒径测定仪》所显：示的、与被测—粒，子的响应量相当的】球形体直径 】 2．0．【7  悬浮粒子 】   airb【or：n，e par》t，ic：l，e， —  ：  用？于空气洁《。净度：分级的空气中悬浮粒！子尺寸范围在0.1！μm：～，5μm的固》体和液体粒子但不适！。用于表征《悬浮粒子的物理【性、化学性、放射】性及生命《性 2】．0．8 》。 超：微粒子 《   ultra】fine p—articl—e  】  ： 具有当量》直径：小于0.1μm的】粒子 《 2．0．】9  微粒子  】micropar】ticle 【。 ？     具有当】量直径大于5—μm：的粒子？ —2．0．10  】粒径分布  —  ：particle】 size d【ist？ribu《ti：。on ？  —。   粒子粒径频率！分，布和累？积分布是粒径的【函数 】2，．0．11  含尘！浓度  《  parti【cle 《concent【ration— ， ：    — 单位体积空气【中悬浮粒《子的颗数 — ， ： 2．0．12【  洁净度》    cl—ea：nli？ness 【 ，     以单位！。。体积空气中大于【或，等于：某粒径粒子的数【量来区分的洁净程】度 — 2．0．13【  气流流型—    air f！low 《pat？tern 】     对室内！空气的？流动形态和分布进行！合理设计 — 2．0【．14 《 单向流  —  unid—irectio【nal 《a，irf？low？ ？   》。  通过《。。。洁净室？（区）整个断面【的风速稳定、大【致平行的受控—气流 《 ？ 2．0《。。．15  垂直单】向流    —vertic—al unidir！ectional】 flow — ： ：     与水【。平面垂直的单—向流： ？ ： 2：．0．16  水平！单向流    h】ori？zont《。al uni—di：rectiona】l fl《ow： 《 ：    与水—平面平？行，的单向？。流 — 2．0．1—7  非单向流  ！  non-u【nidir》ecti《onal 》flow 【 ：     送入【洁净室（区）的【送风以诱导方式与室！（区）？内空气混合的气流】分布类型 ！ 2．0《．18 《 混合流  —  mixe—d airflow！    ！ 单向流和非单向流！组合的气《流 》 2．0．19】 ， 洁净工作区 【   ？clea《n work—ing area ！ 》    除工艺【特殊要求外》指洁净室内》离地面高度0.【8m：～1.5m》的区域 《 《 2．0．20 】 空气吹淋室 【   air s】hower 】   》  利用高速洁净】。气流吹落《并清除进《入洁净室人员表【面附：着粒子的小室— 》 2．？0，．21  气—闸室：   ？ air lock！ ？    — ，设置：在洁净室出入—口阻隔室外或邻室】污，染气：流和压差控制而设】置的：缓冲：间 ： 2．0】．2：2 ： ，传递：窗，    p》。ass box ！。 ？     在洁净】室隔墙上设置的【传递物？料和：工器具的窗口两侧装！有不能？同时开启《的窗扇 】 2．0《．23  洁净工】作台   》 ，clean b【ench — 《 ，   能够保持操作！空间所？需洁净度的》工作：台， ： 《2．0？．24 《 洁净？工作：服    cle】an wo》rking —gar？。me：nt ？ ：   》  ：为把工作人》员产：生的粒子限制在最小！程度所？使用的？发尘量少的洁净【服装 ？ ？ ， 2．0《．25 《 空态    a】s-built ！  》   设施已—经建成？其服务动力公用【设，施区接通并运—行但：。无生产设备、材料】及人员的状》态， 》 2．？0．26  静态】    a》t-res》t  】   ？设施已经《建成生产设备已经】安装好并按供需双方！商定的状《态，运行但无生产—人员的状态 ！ 2．0．2【7  动《。。态  ？  operat】ional 【。   —。  设施以规—定的方式运行—有规定的《人，员在场并在商—定的：状态：下进行工作 【 2．—0．28  已装】过滤器检漏  【。  install！ed filte】r syste【m ：。。leakage t！。e，st 》     【为确认过滤器安装】良好、没《有，向，洁净室（区）的旁路！渗漏过滤器》及其框架均无—缺陷和？渗漏所做的》检测 【 2．0．29【  高效空气过滤】器    high！ eff《ic：iency p【artic》ulate —air fil【ter 《(HEPA) 【 ，    【 在额定风》量，下对粒？。径大于或等于0.】3μm粒子的—。捕集效率在》99.9％以上的空！。气过滤器 ！ 2．0．》30  超高效【空气过滤《器，   ？ u：ltra low ！penet》ra：ti：o，。n air f【ilter (U】LPA) 】 ：    《在额定风《量下对粒《径，0.1μm～0.2！μm粒子的捕集【效率在99.—999％以》上的空气过滤器 ！ 2．—0．31《  纯水    】purity— wate》r，   】  对电解质杂【。质含量和非电解质】杂质含量《均有要？求的水 《 ？ 2．《0．32《  ：防静电环境   】 ant《ista《t，ic en》vi：ronment ！ ？     》能，防止静电《危害的特定环境在这！一环境中不易产生静！电静电产生后易于】。消散或消除静电噪】声，难以传播 — 2．0【．，33  表面电阻】    sur【f，ac：e ：resista【。nce？    ！ 在材料的表面上两！电，极间所加直流电压与！流过两极间的—稳态电流之商 【 2．0】．，3，4  体积电阻 】。  ： volume r！es：istance ！     在！材料的相《对两表面上放置的】。两电极间所加直流电！压与流？过两电极《间的稳？态电流之商该—电流不包括沿材【料表面？的电流？ ， ？ ， 2．0．35  ！表面电阻率   】 ，surfa》ce r《esist》。ivit《y ？ ，。     在材！料表面层的直—流电：场强度与稳态—电流线密度》之，商 》 2．0．3【6，  体积电阻率 】   v《olume —。。resis》tivity— 《 ：  ：  在？材料内层的直—流电场强度与稳态】。电流密度之商 】 ：。 2？．0．37  专】用消防？口    fir】e-fight a！cces《s   ！  消防人员为灭火！而进入建《筑物的专用入口【。。平时：封，闭使用时由消防人】员从室外《打，开 ？ 《2，．，0．38 》 自净时间   】 recovery！ time》 o：。f clean【lin？。ess —  《   ？洁净室被《污染后净化空调系】统开始运行至恢【复到稳定《的规定？室内洁净度等级所】需的时间 ！ 2．0．39【 ， 生物洁净》室    bio】logica—l cl《。。ean r》oo：m 【    洁净室【空气中？悬，浮微生物控制在规定！值内的限定空间 】。 《 2：．0．40  【浮游菌？ ，   ai》rbor《。ne via—ble ba—cteria 【 ？ ，     悬浮在空！气中的带菌微粒【 《 2．0》．41 《。 沉降菌  set！。tle？m，e，。n ：b，ac：teria ！。 ：    降》落在培养皿上的带菌！微粒 — 2．0．42 ！。 ，U描述符 》   U 》descr》i，ptor 【     每立！方米空气中包括超】微粒：子的实测或规定【浓度U描《述符：不能规定悬浮粒子洁！净度：等级但它可与悬浮】粒子洁净度等—级同时引述也可以】单独引述 】。。 ， 2．0．》43 ？ M描述符    ！M d？e，。scrip》tor 《 ， ？    《。 每立方米空气【中实：测的或规定的微粒子！M描述符不能规定】悬浮粒子《洁净度等级但它可】与悬：浮粒子？洁净度？等级同时引述也可】以单：独引述 【 2．0．44 ！ 工：业管道   — ，indus》trial p【i，pe —     洁净厂！房内除给水排水管】道和净化空调—、采：暖通风管道外—的气：体、液体管道统称为！工业管道 —