硅集成电路芯片工厂设计规范 [附条文说明] GB50809-2012 建标库

6.3    

6.3.1  对于动力设备尽量采用直接驱动或变频驱动的系统。在周围有振动敏感型的设备时,不推荐采用皮带驱动的系统。

6.3.2、6.3.3  管道(特别是大直径管道)内流体的流动引起的管道振动,或者与管道连接的各种泵的振动,不可避免地会通过管道支架传递到建筑结构上。对这种振动如不加以控制,可能引起微振控制达不到预定目标。通常建议风管内的空气流速限定在9m/s以内,管道内的液体流速控制在2.5m/s以内。