： 4  精密仪器！和设备 《 ， 《 4.—1  精密加工与】检测：设备： 》 4.1.1】  本？条给出？了部：分，以时域示值的精密】加工设备的容许振】动值：并明确是以时域的峰！值表示？ 4.1！.2  本标准规】定的：容许振动值有如下】特点:？ ： ？     》(1) 《。由于精？密仪器与《设备：本身是一个》多自：由度的复杂弹性【系统自身具有—多个：固有振动频率及阻尼！比当外界振动频率与！某个固？有振动频率一致时系！统产生共振会—影，响其正？常，工作而对于外界【。环境：振动经大量》实，例及研究《。结果证明《是一：种平稳？随机振动过程—本身含有丰富—的简谐振动频率【为，了确：保仪：器及设备的正常【工作：对外：界环境中《存，在各种不同频率的】振动幅值进行限制以！减弱因共《振，等产生振动》影响的？。。做法是较为科学的因！此本：条，规定的容《许振：动值均采用》频域表？达 ？     (！2) 频域采用1】/3倍频程中心频率！的幅值表《示这是因为对于【随机振？动频谱采用1/3】倍，。频程带宽《的能量来描述随机】振动幅值大小—。是合：适的同？时设备制造提供的容！许振动值也基本采用！1/3倍频程的中心！频率值表示 】。     (】3) ？由于随机振》动，能量分布在较宽的频！率范围内《用峰：值，描述难以反》映，随机振动《的特性采用均—方根值有利于数据的！检验及比对因此本条！规定的容许振动【值采用频《域均：方根值 ！   ？ (4)《 ，由于：普，通，的精密仪器》与设备对《。于4Hz以下—频段的振动不敏感因！此，不考虑其振》动影：响；对于4H—z～：8Hz 《频段则反映》为对：振动加速度敏感【因此采用《振动加？。速度作为控制指【标但对于控》制精度较高的集成电！路、激光装置、纳米！加，工等其研发、—。加工与试验》用仪器及设备的自】身即带有空气—弹簧隔振装置而它们！的固有振动频—率往往？在1Hz～3Hz ！为了降低这》些频：段的振动《响应将容许振—动值的频段》范围延至《1Hz也即》提高：了对低？频段的振动》限值：要求  ！   本条明确【了电子工厂》、纳：米实：验室及物理》实验室用精》。密仪器与《设备以频《域的1/3倍频【程，均，方根值？作为容许振动标【准的限值且不同频段！以，。不同的物理》量示值 — 4.1—.3：  通？常大中型三坐标测】量机特？别是大型悬臂式【测，量机容易受到环境】振动影响由于设备与！被测工件《较大测量机》布置：位置相？对固定需要安装【在，专门的地基基础上对！基础振动有》一定要？求当测量机对—测，量精度？有特殊要求时—需要根据设备的具体！要求专门设》计地基基础或采取】。必要的？减振和？隔振措施 】   《  根据《三，坐标测量机厂家提】供的测量机对环境振！动的要求以》及对三坐标测量【机测试结《构系统的动力分【析发现三坐标测量】机的一阶《固有频？率多在10H—。z～30Hz范围内！在此区间的环境振动！容易引起测》试机构共振影响【测量精？度，在通常情况下只要】确保8H《z～100Hz范】围内的？基础振？动符：合设备使用条件就能！保证：测量精度不受振动】。影响：而多数三《坐标测量机要求的】。频率范围《。是0.？5Hz？～100《H，z在这个《频率区间内》控制好环境振动应】该更能确《保三：坐标测量精度这【样的要求也更加【保险测量值》。应取平均幅值—测量的？波峰因？数应小于6 ！ ，。。     由—于三坐标测量机的】型式种类《非常多不同厂家【不同机型的》容许振动《限值也不一》样根据数十台三【坐标测量机的—。技术条件在》确保80%》保证率的前提—下提出了三坐标基】础的容许振》动，限值对？于少：数有特殊要求—的三：坐标测量机则—需要根据《具，体设备的要求—设计基础《 《 ：  ：  位移限值—主要用于低频振动控！制加速度《限值用于高频—。振动控制《对于10《Hz～3《0Hz范围的振动要！求较严格一些当【频率大于1》。00Hz时振动控制！相，对容易一些有些【较低：精度：三，坐标测量机的振动】要，。求，可以达到300mm！/s2考虑到本【标准其他《章节的限值条件【容许振？动，加速度值均控制【在200mm/s】2～：3，00：mm/？。s2在实际应用【中可以根据》具体测量机的要求】对技术指标》作适：当调整图《2，是三：坐标测量机》对环境振动的—要求 — ？ 》图2 三坐标—测量机的容许振动值！ ：