《4  精密仪—器和设？。备 ： 《 《。 4.1  精【密加工与检测设备】 《 4.1.1！  本条给出了部分！以时域示《值的精密加工设备的！容许振动值并—明确是以《时域：的峰值表示 【 ？ 4：.1.2  —本标准规《定的容？许振：动值有如下特点:】 ：  》   (1) 由】于精密仪器与—设备本身《是一个多自由度的】复杂弹性系统自【身具有多个固有振动！频率及阻尼比当外】界振动频率与某个】固，有振动频率一致时系！统产生共振会影【响其正常《工作而对于外界【环境：振动经大《量实例及研》究结：果证明是一种平稳】随机振动过程—本身：含有丰富的简谐【振动频率为了确【保仪：器及：设备的正《常工作对外界—环，境中存在各种不【同频：率的振动幅值进行限！制以减弱因共振等】产生振？动，影响的做法是较为】科，学，的因此本《条规定的容》许振：动值均采用频域表达！ 》。    《 (2) 》频域采用1》/3倍？频程中心频》率的幅值表示这是因！为，对于随机振动频谱】采，用1/3《倍频：。程带宽的能量来描】述，随机振？动，幅值大小《是，合适的同时设备【。制造提供的容—许，振，动值也？基本：采用1/3倍频程】的，中心频？率，值表示 —   》  (3) —由于随机振动能【量分布在较宽的【频率：范围内用峰值描【述难以反映随—。。机振：动的特性采》用均方？根值有利于数据的】检验及比《对，因，。。此本条规定的容【许振：动，值，采用：频域均方《根值 ？ ： ？ ，。   (4) 【由于普通的精密仪】器与设备对于4H】z以下频段的振【动不敏感《因此不考虑其振动】影响；对于》4H：z，～8Hz 频段则反！映为对振动加—速度敏感因》此采用？。振动加速《度作为控《制指：标但对？于控制精度较—高的：集，成电路、激光装置】、，纳米加工等》其研发、加工与试验！用仪器及设》备的自身《即带有？空气：弹簧隔？振装置而它们的固有！振动频？率往往在1》Hz～3Hz 为了！降低这？些频段？的振动响应将容【许振动值的频—段范围？延至1Hz也—即提高了对》低频段的振动限值】要求 】。 ，   本条明确【了电子工厂、纳【。米实验室及物理实】验室用精密仪器与设！。备以频域的1/3倍！频程均方根值作【为容许振动标准的限！值且不同频段以不同！的物理量示值 】 4.1【.3：  通常大中型【三坐标测量机特别是！大型悬臂《式，。测量机容易受到环】境振动影响由于设备！与被测？。工件较大《测量机布置位置【。相对固定需要安【装在专门的地—。。基基础上对基—础振：。。动有一定《要求：当测量机对测量【精度有？特殊要求时》需要：根据：。设备的具体要—求专门设计》。地基基础《或采取必要的—减振和隔《振措施 ！   ？ 根：据三坐标《测量机厂家提供【。。的测量机对环境振】动的要求以及对【三坐标？测量：机测试结构系统【的动：力分析发《现三坐标测量机的一！阶固有频率多—在1：0Hz～30H【z范围内在此区间】的环境振动容—易引起测试机构共】振影响测量》精度：。在通常情况下—只要确保8Hz～】100Hz》范围内的基础振动符！合设备使用条—件就能保《证测量精《度不受？振动影响《而多数？三坐标测量机要【求的频率范围—是0.5Hz～1】00：Hz在这《个频率区间内控制好！环境振动应该更能确！保三坐标测量—精度这样的》要求也更《。加保险测量值应取】平均幅值测量的波峰！因数应小于6 】。     由！于三：坐标：测量机的型式—种类非常多不同厂家！不同机型的》容许振？动，限，值也不一样根据【数十台三坐标测量机！的技术条件》。在，确保：80%保证率的前提！下提出了三坐标基础！的容许？振动限值对于少数有！特殊要求的三—坐标：测量机则需要根据】。具体：设备的要求设计基】础 【  ：  位移限值主要用！于低频振动控制加】速度限值用于高频振！动控制对于10H】z～30Hz范围】的振动要求较严【格一些当频率大于1！00Hz时振动【控制：相，对容易一些有—些较低精《度三坐标测量机【的振动？要求可以达》到300mm—/s2考《虑到本标准》其他章节《的限值条件容许振】动加速度《值均：控制在2《。00mm《。/，s2～300mm】。/s：。2在实际应用中可】以根：据具体？测量机的《要求对？技，术指标作适当调整图！。2是三坐标测量【机，对环境？。振动的要求 】 ？ 图2】 ，三坐标？测量机的容许振【动，值 ？