4》  精密仪器和设】备 【 4.1 】 精密加工与检测】设备 《 》 4.1《.1  本条—给出了部分》以，时域示值的精密加】工设备的容》许振动值《并明确是以时—。域的峰值表示 【 ？ 4.1.2 】 本标准规定的【容许振动值有如【下，特点: —     【(1) 由于—精密仪器与设备本身！。是一个多自由度的复！。杂弹性系统自身【具有多个固有—振动频率及阻尼比】当外界振动频率【与某个固有》振，动频率一致》时系统？产生共振会影—响其正常工作而对】。于外界环境》振，动经大量实例—。及研究结《果证明是《一种平稳随机振动过！程，本身含有《丰富的简谐振动频率！为了确？。保仪器及设备的正常！工作对外界环境中存！在各种不《同频率？的振：。动，幅值进行限制以减弱！因共振等《产生振动影响—的做法？是较为科学的因此】本条规定的容许振】动值：。均采用频域表达 ！ ？。     (2【。) 频域《采用1/3倍频【程，中心频率的幅—值表示这是》因为对于随》机振动？频谱：采用1/3倍频程带！宽的能量来描述随】机振动幅值》大，小是合适《的同时设备制—造提供的容许振动值！也基本采用1/3】倍，频程的中心频率【值表：示 ？ 《    (3) 由！于随机振动能—量分布在较宽的频率！范围内用峰值描【述难以反映随机【振，动，的特性？采用均方根值有利于！数据的检验及比对】因此本？条规：定的：容许振动值》采，用频域均方根值【   】  (4) 由于】普通的精密仪器【与设备对于4—Hz以下频段的振】动不敏感因此不考虑！其振动影响》；，对于：4Hz～《8H：z 频？段则：反映为对振动加速】度敏感因此采—用振动加速度作【为控制？指标但对于》控制精度较》高，的集：成电路、激光装置】、纳米加工等其研】发、加？工，与试验用仪器及设备！的自身即带有空气弹！。簧，隔振装置而它们的】固，。有振动频率往往【。在1：Hz～3Hz 为】了降低这些》频段的振动响—应将容许振动—值的频段范围延至1！H，z也即提高了对低】频段的振动》限值要？求   ！  本条明确了电】。子，工厂：、纳米实验室—及物理实验室用精】密仪器与设备—以频域的1/3倍频！。程均方根值》。。作为容许《振动标准的》限值且不同频段以不！同的物理量示值 ！ 《。4.1.《3 ： 通：常大中型三》坐，标测量机特》别是大型悬臂式【测量：机容易受到环境【振动影响由于设备与！被测工件较大—测量机布置位置相对！固定需要《安装在？专门的地《基基础上《对基础？振动有一定要求当】测量机对测量精度】有特殊要求时需【要根据设《备的具体要求专门设！计地基基《。础或采取必要的【减振和隔《振措：施  】 ， ， 根据三坐标—。测量机厂家提—供的测量机对环境】。。振动的要求以—及对三？坐标测量机测试结】构系统的动》力分析发现》三坐标测《量，机的一阶固有频【率多在？。1，0Hz～30H【z范围内在》此区间的环境振动容！易，。。引起测试机构—共振影响测》量精度在《通常情况下只要【确，保8Hz～10【0Hz范围内—的基础？振动符合设备使用】条，件就能保证》测量精？度不受振动》影响而？多数三坐标测—量机：要求的频《率范围是0.5【Hz～100Hz在！这个频率区间内控制！好环境？振动：。应该更能确保三【坐标测量精度这【样的要求也更—加保险测量值—应取平？均幅值测量》的波：峰，因数应小于6 ！   》  由于三坐标测量！机的型式种类非常多！不同：厂家不同机》型的容？许振动限值》也不一样根》据，数，十台三坐标测—量机的？技术条件在确—保80？%保证率的前提【下提出了三坐标【基础的容许》振动限值《对，于少：数，有，特殊要求的三坐【标测量机《则需要根《据具体设备的要【求设计基础 ！   《。  位？移限值主要用于低】频振动控制》加速度限值用于高频！振动控制对于—10Hz～30【Hz范围的振—动要求？较严格？一些当频率大—。于1：00Hz《时振动控制相对【容，易一些有些较—低精度三坐标测【量，机的振？动要求可以达到3】00mm/s2考】虑到本标准其他【。章，节的限值条件容许】振动加速度值均【控制在2《0，0mm/s》2～300mm/】s2在实际应用中】可以根？。据具体测《量机的要求对技术】指标作？。适当调？整图2是三坐标测量！机对环境振动—的，要求 《 ： 】。图2 三坐标测量机！的容许振动值 【 ，