4  精密！仪器和设备 — 【 4？.1 ？ 精密加工与检测】设备 》 ：。 4.1.1 ！ 本条给出了部分以！时域示？值的精密加工设备】的容许振动值并明确！是以：时，域的：峰值表示 】 4？.1.2  本标】准规定的《容许振动值有如下】特点:？ 《     (【1) 由于精密仪器！与设：备本：身，是一个多自由度的】复杂弹性《系，统自身具有》多个固有振》动频率及阻》尼比当外界振—动频率与某个固有振！动频：。率一致时系统—产生共振《会影响其正常—工作而对于》外界环境振》动，经大量实例》及研究结果证明是一！种平：稳随机振动过程本】。身含有丰富的简谐振！动频率为了确保【仪器及设《备的正常工作—。对，外界：环境中？存在各种不同—频率的振《动幅值进行限—制以：。减弱：因共振等《产生振动影响的做】法是较为科学的【因此本？条规定？的容许振动值—均采：用频域表达 ！     (2】) 频域采用1【/3倍频《程中心频率的幅值】表示这？是因为对于随机【振动频？谱采：用1/3倍频程带宽！的能量来描述随机振！动幅值大《。小是合适的同时设备！制造提供的容许【振动值也基本—采用1/3倍频程的！中心频率《值表示 《 ？     —(3) 由于—随机振动能》。量，分布在较宽》的频率？范，围内：用峰值描述难以【反映随机振动—的特性采用均方根】值有：利于数据的检验及】。比对因此本条规定】的容许振动值采【用频：域，均方根值 【  《   (4) 由于！普通的？精密仪器《与设备对于4—Hz以下频段的振】动不敏感因此不考虑！其振：动影响；对于4【Hz：～8Hz 频段则】反映为对振动加速】度敏感因此采用振动！加速：度作为控制指—标但：对于：控制精度较高的【集成：电路、？。激光装置、纳—。米加工等其》研发、？。加，工与：试验用仪器及设备的！自身即带有空气弹簧！隔振装置而它们的】固有振动频率—往往在？1Hz～3H—z 为了降低这些】频段的振动响—应将：容，许振动？值的频？段范围延至》。1Hz也《。即提高了对低频段】的振动限值要求【    ！ 本条明确了电子工！厂，、纳米实验室及【物理实验室》。。用精密仪器与设备】以频域的1/3【倍频程均方根值作】为容许振动标准的限！值且不同频段以不】。同的物理量》示值 — 4.1.3【  通？常大中型三坐标【测量机？特别：是大型悬臂》式测：量机容？。易受到环境振动影响！由，于设备？与被测工件较大测量！机布置位置相对【固定需要安装在专门！的地：。基基础上对基—础振动有一》定，要求：当，测，量机对？测量精度有特殊要】求时需要根据—设备的具《体要求专门设计地基！。基础或采取必—要的减振《。和隔振措施 】    — 根据三坐标测量】机厂家提供的—测量机对环境—振动的要求以—及对三坐标测—量机：测试结构系统的【动力分析发》。现三坐标测量机【的一阶？固有频率多在—。。10Hz～30【Hz范围内》在此区间的环境振】动，容易引起测》试机构共《振影响测《量精度在通》常，情况下？只要确保8》Hz～10》。0H：z范围？内的基？础振动符合》设，备使用条件》就能保？证测量精度不受振动！影响而？多数三坐标测—量机要求《。的频率？范围是？0.5Hz～—。100H《。z，在这个频率》区间内？控，制好环境《振动应该更能确保】三坐：标测量精度》这样的要《求，也更：加保险测《量值：。。应，取平均幅《值测：量的波峰因数应【小于：6 ： ，    【 ，由于三坐《标测量机的型式种类！非常多不《同，厂，。家不同机型的容许】振动限值也》不一样根据数十【台三坐？标测量机《。的技术条件在确【保，80%保证率的前】提下提出了》三坐标？基础的容许》振，动限：值对于少数有—特殊要求的三坐标】测量机？则需要根《据具体设备的要求设！计，基础 】   ？ 位移？限，值主要用于低频【振动控制加速度限值！用于高频振动控【制，对于10Hz～【30Hz范》围的振动《要，求较严？格一些？当频：率大于100—Hz时振动控制【相对容易一些有些】较低精度三》。坐标测？量机的？振动要？求，可以达到300mm！/s2考虑到本【。标准其他章》节的限值《条件容许振动—加速度值均控—制在200mm/s！2，。～，300m《m/：s2在实际》应用中可以根—据具体测《量机：的要求对技》术指标？作适当？调，整图：2，是三坐标测量机【对环境振动的要求 ！。 ， 《 图2】 三坐标测量机的容！许振动值 —