4  【精密仪器《和设备 】 ？。 4.《1  ？精密加工与检测【设备 ？ — 4.1.1—  本条给出了部分！以时域示值的精密加！工设：备的容？许振动值并明确是以！时域：的峰值表示 ！ 4？.1.2  —本标准规定的容许振！动值有？如下：。特点:？ ， ， ，     【(1) 由》于精密仪器与—设备：。本，身是一个多》自由：度的复杂《。弹性系统自身具有多！个固有振动频—率及：阻，尼比当？外界振？动频：率与某？个固有振《动频率一致时系统产！生共振会《影，响其正常工作而对】于外界环《境振动经大量实例及！研，究结果证《明是一？种，平稳随机振动过【程本身含有丰富的简！谐振动频率为了确】保仪：器及：。设备的正常工作对】。外界环境《中存在各种不同频率！的振动幅值进行【限制以减弱因—。共振等产《生振：。动影响的做法—是较为？科学的因此本条规】。定的容许振动值均】采用频域表达 【。   【 ， (2) 频域【采用1/3》倍频程中心频—率，的幅：值表示这是因为对于！随机振动频谱—采用：1，/3倍频程带—。。宽的能量《。。来描述随《机振动？幅值大小是合适的】同时设备《制造提供的容—许振动？值也基？本采用1/3—倍频程的中心—频率值表《示 ：   【  (3) —由于：随机振？。动能量分布在较宽的！。。频率范围内》用峰值描述》难以：反映随机振动的特】性，采用均方根值有利于！数，据的检？验及比对因此本条规！定的容许振动值采】用，频域均方根值 ！ ：   ？  (4) 由【于普通的精》密仪器与《设备对于4Hz以下！频段的振动》不，敏感因此不考虑其】振动影？响；对于4Hz～】8Hz 频段则反映！为对振动加速度【。敏，感因此采用振动加速！。度作为控制指标【但对于控制精—度，较高的集成电路、激！光装置？、纳米加工》等其研发、》加工：与试验用仪》器及设备的自—身即带有《空气弹簧《。隔振装置《而它们的固有振动】频率往往《在1Hz《～3Hz 为了降低！这些频段《的振动响应将容许振！动值的频段范—围延至1Hz也即】。提高了？对低频段的振动限值！要求： ，  —  ：。 ，本条明确了电子工】厂、：纳米实？验，室及：。物理实验室用精密仪！器与设备以频域的1！/3倍频程均方根】值，作为：容许振动标准的限值！且不：同，频段以不同的—物理量示值 【 4.1.3！。  通常大》中型三？坐，标测量机特别是【。大型悬？臂式测量机容易受到！环境振动影》响由于设备与被【。。测工件？较大测量机布置位置！。相对固定需》要安装在专》门的地基基》础上：对基础振动有—一定：要求当测量机—对测量精《度有特殊《要求时需要根据设备！的具体要求专—门设计地基基础【或采取必《要的减振和隔振措】施 【 ，   ？根据三坐标》测量：机厂家提供的—测量机对环境振【动的要求以及—。。对，。三，坐标测量机测—试结：构系统的动力分析发！现三坐标测量机的一！阶固有频《率多：在，10Hz《～30Hz范围【内在此区间》的环境？。振动容易引起—测试机构《。共振影响测量精度】在，通，常情况？下只要确保8Hz】。～100Hz范【围内的基础》振动符合设备—使用条件就》能，保证测？量精度？不受振动影响而多】数三坐标测》量机要求《。的频率范围是—。0.5Hz～100！H，z在这个频》。率，区间内控《制好：环境振动《。应该更能确保—三坐标测量精度这样！的要求也《更加保险测》量，值应取平均幅—值测量的波峰因数】应小于6 】     由于三！坐标测量机的型式】种，类，非常多不同厂家不】同机型的容许振【动限值？也不一样《根据：数十台三坐标测量机！的技术条件在确保】80%保证》率，。的前：提下提出《了三坐标基础—的容许振《动限值对于少数有】特殊要？。求的三坐标测量机则！需要根据具体设备】的要求设计基—础 —     位移【限值主要用于低频振！动控制加速度—。限值用于高频—振，动控制对于10【。Hz～30H—z范围的振》动要：求较严格一》些当频率大于100！H，z时振动《控制：相对容易一些—有些较低精度三坐标！测量机的振》动要求可《以达到300mm】/s2考虑到本标】准其他章节》的限值条件容许【。振动加速度值均控制！在200mm/【s2～300mm】/s2在《实际应用中可以根】据具体测量机的要求！。对技术指《标作适当《调，整图2是三坐标【测量机对环境—振动的？要求 — 【 ，图2 三坐》标测量机的》容许振动值》。 ：