？ 4  精》密仪器和《设备 【 ： 4.1  精！密加工与检测设备】 】4，.1.？1  本条》给出了？部分以时域示—值的精密加工—设备的容许振动【值并明？确是以时《域的峰值表示— ？ 4.》1，.2  本》标准规定的容—许振动值有》如下特点:》 ，  —   (1) 由】于精密仪器与设【。备本身是一个多自】由度的复杂弹性【。系统：自身具有多个—固有：振动频率及阻尼比】当外界振动》频，率与某个固有振动】频率一致时系统【产生共振会影—响其正？。常工作而对于外界环！境振动经大》量实例及研究结果】证，明是一种平》稳随：机振：动过程本身含有丰】富的简？谐振动？频率为了确保仪【器及设备的正常【工作对外界环境中存！在各种不同频率的】振动：。幅值进？。行，限，制以减弱因》共振等产生振动【影响：的做法？是较为科学的因此本！条规定的《容许振动值》均采用频域表达 】 》    (》2) 频域采用1】/3倍频程》中心：频率的幅值》表示这是因为—对于随机振动频谱采！用1：/3倍频程》带宽：的能量来描》述随机振动幅值【。大小是？合适的同时设备【制造提供的》容许振动值也基本采！用1：/3倍频程的中心频！率值表？。示 《     【(3) 《由，于随机振动》能，量分布？在较宽的《频，率，范围内用峰值—描述难？以反：映随机振动的特性】采用均方《根值：有利于数据》的检验及《比对：因此：本条规定的容许振】动值采用频域均方】根值 【     》(4)？ 由于普《通的精密《仪器与设《备对于4Hz以下】。频，段的振动不》敏感因此《不考虑其振》。。动，。。影响；对于》4Hz～8H—z 频段则反映【为对振？动，加速度敏感因此采】用振动？加速度作为控制指】标但对于控》制精：度较：高的集成《电路、激光装置、】纳米加工等其研【。发、：加工与试验用—仪器及设备的自身即！带有空气弹簧隔振】装置而它们的固【。有振动频率往—往在1Hz～3H】z 为了降低—。这些频段的振动响应！。将容许振动值的频段！范围延至1Hz【也即提高了对低【频段的？振，动限值要《求 ？   —  本条明确—。了电子工《厂、纳米实》验室及物理实验【。室用精密仪器—与设备以频域的1】/，3倍频程均》方根值作为容—许振：动标准的限值且不】同频段？以不：同的物？理，量示：值 ： 4.1.！3  通常大中型】三坐标测量机特【别，是大型？悬臂：式测量机容易受【到环境振《。动影响由于设备与】被测工件较大测量】机，布置位置相对固定需！要安装在《。专门的地《基基：础上：对基础振《动，有一定要求当测【量机对测《量精度有特殊要求】时需要根据设—备，的具体要《求专门设计地—基基：础或采取必》要的减振《和隔振？措施：    ！ ，根据三坐《标测量机厂家提供】的测量机对环境振】动的要求以及对三】坐，标测量？机测试结构系统的动！力分析发现》三坐标测量》。机的：一阶固？有频率多在1—0Hz～30H【z范围内在此区间】的环境振动容易引起！。测，试机构共振影—。响测量精度》在通常情《。。。况下只要确保8H】z～100》Hz范围内》的基础振动符合设备！使用条件就能—保证测量《精度不受振动—影响：而多数三坐标测量】。机要：求的频率范》围是0？.，。5H：z，～100Hz在这个！频率区间内控制好】环境振动《应该更能确保三【坐标测量精度这样】的要求也更加保险】测量值？应取平均幅》值测量？的波：峰因数应小》于6 】    由于—。三坐标测量机的【型式种类非常多不】同厂家不同机型的】容许：振动限值也不一【样根据？数十台三坐标—测量机的技术条件在！确保80%保—证率的前提下—。提出了三坐标基础】的容许振动限值【对于少数有》特殊要？求的三坐标测量【机则需要根据具体设！备的要求设》计基础 】   ？  位移限》值主：要用于低频振—动控：。制加速度限值用【于，高频振？动控：制，。对于10《Hz：。～30H《z范围的振动要【求较严格《一些当频率大于1】00H？z时振动控制相对】容易一些有》些较低精度三坐标测！量机：的振动要求可以【达到300mm【/s2考虑到本标准！。其他章节的限值条】件，容许振动加速—度值：均控制在200mm！。/s：2～30《0mm/s》2，在实际应用中—可以：。根据：具体：测量机的要求—对技术指《标作适当调整—图2是三坐标—测量机对环境—振动的要求 【 ， — ： ，图2： 三坐标测量机的容！许振动值 —