4  精】密仪器和《设备 — 4.】1 ： ，精密加工与检测设备！ 《 4.—1.1  本条【给，出了：部分以时《域示值的精密加【工设备的容许振动值！并明：确是：以时域的峰值表示】 《 4.1.2 】 本：标准规定的容—许振动值有》如下特点: 】 ：  ：   (1)— 由于精《。。密仪器与《设备本？身是一个多自—由度的？复杂弹性系统自身具！有多：个固有振《动频率及阻尼比当】外界振动频率与某】个固：有振动频率》一致时系统产—生共振会影》响其正常《。工作而对于外界环】境振动经大量—实例及研《。究结果证明是一种】平稳：。。随机振动过程本【身含有丰富的—简谐：振动频率为了确保仪！器及设备的正常【工作对外界》环境中存在各种不同！频率的振《动幅值进《行限制以《减弱因共振等—产生：振动影响的做法是】较为科学的因—。此本条规定的容【许振动值均采用【频域表达 】  ？   (2) 频域！采，用1/？3倍频程中心—。。频率的幅值表示【这是因为《对于随机振》动频：谱采用1《/3：倍频程带宽的能【量来描述《随机：振动幅值大小是合】适的同时设备—制造提供的容许【振动：值也基本采用—1/：3倍频程的中心频】率值表示 【。 ，     (3)！ ，由于：随，机振动能量》分布在较宽的—频率范？围内用峰值描述难以！反映随机振动的特】。性采用均方根值有利！于数据的《。检，验及比对因此本条规！。定，的容许？振动：。值采：用频域均方根值 】    】 (4) 》由于普通的精密【仪器与？。设备对于《4H：。。z以下？频段：的振动不《敏，感因此不考虑其振动！影响；对于》4H：。z～8Hz》。 频：段则反映为对振动】加速度？敏感因？此采用振《动加速度作为—控制指标但对—于控制？精度较高的集—成，电路、激《光装置、纳》。米加工等其研发、加！。工与：试验用仪器及—设备的？自，身即带有空气—弹簧隔振装置而它们！的固有振动频率【往往在1Hz～【。3Hz 为》了降：低这些频段》的振动响应将容许振！动值的频段范围延至！1Hz也《即提高了对低频段的！振动限？值要求 —     本条！。明确了电子工厂、纳！米实验室及》物理：实验室？用精密仪器与设【备以频？。域的1/3倍—频程均方根值作为容！许振动标准》的限值且不同频【段，以不同的物》理，量示值 — 4.1.3】  通常大中型三】坐标测量机特别是】大型悬臂式测量机容！易，受到环境振》。动影响？由于设备与被测【工件：较，大测量机布置—位置相？对，固定：需，要安装在专门的地】。基基础上对基础振动！。有一定要求当测【量机对测《。量精度有《特殊：要求时需要根据设】。备的具体要求专门】设计地基《基础或采取必要的】。减振和隔振措施 ！     】根据三？坐标测量机厂—。家提供的测》量机对环境振动【的要求以及对三坐】标测量机《测试结构系统的动力！分析：发现三坐《标，测量机的一》阶固有频率多在【10Hz～30【Hz范围《内在此区间的—环境振动《容易引起测试机构】共，振影响测量精—。度在通常情况下只要！确保8？Hz～100Hz】范围内？的基础振动符合【设备：使用条件《就能：保证测量精度不受】振动影响而多数三坐！标测：量，机要求的频率范围】。是0.5H》z，～100H》z，在这：个频率区《间，内控制好环》境振动应该更能确保！三坐标测量精度这样！的要求也更加保险】测量值应取》平，均幅值测量的—波，峰因数应小于6 ！     由！于三坐标测量机的型！式种类？非常多不同厂家【不同机型《的容：许振：动，。限值也不一》。样根据数十台—三坐标？测量机的技》术条件在确保80%！保证率的《前提下提出了三坐】标基础的容许—振动限值对于少数有！特殊要求《的三坐标测量机则需！要根据具体设备【的要求设计基础 ！ ：     位移限！值主要？用于低？频振动控制加速度】限值用于高》频，振，动控制对于10【。Hz～30Hz范围！。的振：动要求较严格一些】当，频率大于10—0H：z时振动控制相对容！易一些？有，些较低精度三—坐标测？量机的振《动要：求可以达《。到300《mm/s2考—虑到本标《准其他章节的限【值条件容许振动【。加，。速，度值均控制在2【。00mm/s2～】300？mm/s2在—实际应用中可以根】据具体测《量机：的要求对技术—指标作？适当调整图》2是三坐标测—量机对环境》振动的要求 【。 — 图》2 三坐标》测量机的容》许振：动值 《