，。 4  精【密仪器和设备 【 ！。。4.1  精密【加工与检测设备 】。 4】.1.1 》 ，本，条给出了部分以时】。域示值？的精：密加工设《。。备的容许振动值并】明确是以时域的峰值！表示 》 ： 4.1.》2  本标准规【定的：容许振动值有如下特！点:  ！   (《1)： 由于精密仪器与】设备本身是一个多】自由度的复杂弹【。性系统自身具—有，多个固？有，振，动，频率及阻尼比当【外界振？。动频率与某个固有振！动频率？一致时系统产生【共振会影响其正常工！作，而对于外界环境【振动经大量实例及研！究结果证明是—一种平稳随机振【。动过程？。本，身含有丰《富的简谐《振动：频率为了确保仪器】及设备的正常工作】对外界环境中存在各！种不同频率的—振动幅值进行—限制以减弱因—共振：等产生振《动影响的做法是较】为科学？的因：此本条规定的容许】振动值？均采用频域表达 ！     (！。2) 频域采—用1/3《倍频程？中心：。频率：的幅值表示这是【因为：对于随机《振动频谱采》用，1/3倍频程带宽】的能量？来描述随机振动幅值！大小是合适》的同时设备制造【提供的容许振动值也！基本采用1/3倍】频程的？中心：频率值表示 】     【(3) 《由于随？。机振：动，能量分布在较宽【的频率范围》内，用峰：值描述难以反映随】机，振动的？特性采用《均方根值有利—于，数，据的：检验及比对》因，此本条规定的—容，。许振动值采》用频域均《方，根值  ！   (4) 由】于普通的《精密仪器与设备对于！4Hz以《下频段的振》动不敏感因此—不考：虑其振动影响；对于！。4Hz～8Hz 频！段则：反映为对振动加【速，度敏感因此采用振动！加速度作为控制【指标但？对于控？制精：度较高的集成电【。路、激光《装置、纳米加工等】其研发、加》工与试验用仪器【及设备的自身—即带有空气弹簧隔】振，装，置而它们的》固有振？动频率往往在1【Hz～3H》z， ，为了降低这些频段的！。振，动响应将容许振动】值的：频段范围《。延至1Hz》也即提高了对—低，频段的振动限值要求！ 《  ？ ，  本条明确了电子！工厂、纳米实验【室及物理实验室【用精：密仪器与设备以【。频域的1《。/3倍频程均方根值！作，为容许振动标准【的限值且不同频【段以不同的》。物理量？示值 — ， 4.1.3—  通常大》中型三坐标测量机特！。别是大型悬臂—式，测量机容《。易受到？环境振动影响由于设！备与被测工件较大测！量机：布置位置《相对固定需要安【装，在专门的《地基基础上对基础振！动有：一定要求当测量机】对测量精度有—特殊要求时》需要根据设备的具】。体要求专门设计【地基基础或采取必要！的，。。减振和隔振》措施 】。  ：  根据三坐标测量！机厂家提供的测量机！对环境？振动的要求以及对】三坐标？。测量：机测试结构系—统的：动力：分析发现《三，坐标测量机》的一阶固有频率【多在10《Hz～？30Hz范围—内在此？区间的环境振—动容易引起测试机】构共振影响》。测量精度在通—常情况下只要确【保8Hz～》10：0，Hz范围内》的，基础振动《符合设备使》用条件就《能保证测量精度不受！振动影响而多数【三坐：标测量机《要求的频《率范：。围是0.5Hz～】100Hz在这个频！率区：间内控？制好：环境振动《应该更能确保三坐标！测量：精，度这样的要求—也更加保险测量【值应取平《均，幅值：测，量的波峰因数应【小于6 ！  ：  由于三坐—标测量？机，的型式种类非常多不！同厂家不同机—型的容许《振动限值也不一样】根据数十台三坐【标测量机的技术条件！在，确保80%保证【率的前提下》提出了三坐标基础的！容许振动限值对于少！数有特？殊要：求的三坐标测量【机则需要根据具体设！备的：要求设计基础— 《  ？   位移限—。。值主要用于低频振动！控制加？。速度限？值用：于高频振动控制对】于10Hz～30H！z范：围的：振动要求较严格一】些当频率大于100！Hz时振动控制相对！容易一些有些较低精！度三：坐标测量机的振【动要求可以》达到300》mm/s《2考虑到本标准【其他章节《的限值条件容—许振动加速度—值均控制在20【。0mm/s2～30！0mm/s》2在：实际应用《中可以？根据具体测量机的】要求：对技术指标作适【当，调整图2是三坐标】测量机对环境振【。动的要求 【 《 图2【 三坐？标测量机的容许振】动值： ：