4 — 精密仪器和设备】 ： 4！.1：  精密加工与检测！设备 ？ 《。 4.1—.1 ？ 本条给出》了，部分以时域示值的精！密，加工设备的容许振动！。值并明确是以时域】的峰值表示 — 4.1】.2  本标准规】定的容许振》动值有如《下特点:《 —。    (1) 】由于：精密仪器《与设备本身是一个】多自由度的复杂弹性！。系统自身具有—多个固有振动频率】及阻：尼比当外界振动频】率与某个固有振【动频率一致》时，系统产生共》振会影响其正—常工：作而对？于外界？环境振动经》大量实例及研究【结果证明《是，一种平？稳随机振《动过程本《身含有丰《富的简谐振动频率为！了确保仪器》及设备的正常工【。作对外？界环境中存在各【种不同？频，率，的，振动幅值进行限制以！减弱：因共振等产生振【动影：响的做法是较为科】学的因？此本条规定的容【许振：动，值均采用《频域表达 【 ， ，     》(2：)， 频域采用1/3倍！频程中心频率的幅】值表示这是因—为对于随机振—动频谱采用1/3】倍频程带宽的能量来！描述随？机振动幅值》大，小，。是，合适的同《。时设：备制造提供的容许振！动值也基《本采用1/》3倍：。频程的中心》频率：值表示 】 ，    《。(3)？ 由于随机振动能量！分布在较宽的频【率范围内用峰值【描述难？以反：映随机振动的特【性采：用均方根值有利【于数据的检》验及比对因》此本条规《定的：容许振动值采用频域！均方根值 】 ：。    (4)【 由：于普通的精》密仪器与设备对于】。4H：z以下频段的振【动不敏感因此—不考虑其振动—影响：；对：于4Hz～》8Hz 频段—则反映为对振动加速！度敏感因《此采：用振动加速度作为】控制指标但对—于控制精《度较高的集成电路】、激光？装置、纳米加工【等其研发、加工与】试验用仪《器及：设备：的自身即带有空【气弹簧隔《。振装：置而它？们，的固有？振动：频，率往往在1Hz～3！Hz 为了降低这些！频，段的：振动响应将容—许振动值的频段范围！延，至1Hz也即提【高了对低频段的振动！限值要求 》  — ，  本条明》。确，了电子工《厂、纳？米实验室《及物理实《验室用精密仪—器与设备以频域的1！/3倍？频，程均方根值作—为容许振动标准的】限值且不同》频段：以不同的物》理量示？值 4.！1，.3：  通常《大中型三坐标测量】机特别是大》型悬臂？式测量机容易—受到环境《振动影响由于设【备与被测工件较大】测量：。机布置位置相对固】定需要安装在专门】的地基基础》上，对，基础振？动有一定要求当测】量机对测量精度有】特殊要求时需要根据！设备的具体要—求专门设计地基基】础或采取必要—的，减振和隔振》措施 【     》根据三？坐，标测量机厂家—提供的测量》机对环？。境振动的《要求以及《对三坐标测量—机测试结构系统【的动力分《析发现三坐标测量】机的一阶固有频【率多在10Hz～】30Hz范围—内在此区间》的环境振《动容易引起测试机构！共振影响《测量：精，度在通常情况—下只要？确保8Hz～10】0Hz范围内的【基础振动符》合设备使用条件就能！保证测量《精度不？受振动影响而多数】三坐标测量机—。要求的频率》范，。围是0.5H—z，～100Hz—在这个频率区间【内控制好环境振动】应该更能《。确保三坐《标测量精《度这样的要求也更加！。保，险，。测量值？应，取平：。均幅值测量》的波峰因《数应小于6 —   【  由于三坐标【测量机的型式种类】非常多不同厂家不】同，机型的容许振动限值！也，不一样根据数十台】。三坐标测《量机：的技术条件在—确保80%保证【率的前提下提出了三！坐标基？础的容许振动限【值，对于少数有特—殊要求的三坐标【。测量：机则需要根据具体设！备的要求设计基础 ！  —   ？位移限值主要用【于低频？。振动控制加速—度限值用《于高频振动控制对于！。10Hz～3—0Hz？范围的振动要求较严！格一些当《频率大于100【Hz时振动控制相对！容易一些有些较【低精度三《坐标测量机的振动要！求可以达到》300？mm/s《2考虑到本标准其】他章节的限》值条件？。容许振动加速度值均！控制在2《。00mm《/s2～300【mm/s《2在实际《应用中可以根据【具体测量机的要【求对：技术指标《作适当？调整图2是》。三坐：标测量机对环—境振动的《要求： ！ ？。图2 三坐标测量机！。的容：许振动值 —