， 4  精密】仪器和设备 【。 《 4》.1  精密—加工与？检测设备 【 4.1.！1  本《条给出了部分—以时域示值的—精，密加工设备的—容许振动值》并明确是以时域的峰！值表示 《 ， ， ， ：4.1.2  本标！准规定？。的容许振动值有【。如下特点: — ：     【(1：) 由？于精密仪器》与设备本身》是，一，个多自由度的复杂】。弹，性系统？自，身具有多个固有振动！频，。率及：阻尼比当外界振动频！率与某个固有—振动频率一致时系统！产生共振会影响其】正常工作而对于外】界环境振动经大【量实例？。。及研究结果》证明是一种平稳随】机振动过程本身含有！丰富的？简谐振动频率为了确！保仪器及设备的【正常工作对》外界环境中存在各种！。不同频率的振动幅值！进行限制以减弱【因，。共，。振等产生《振动影响的做法【是较为科学的因此】本条：规定的容许振动【值均采用频域表达 ！ ，。     】(，2，)， ，频域采用1/3倍】频程中？。心频率的幅值表示这！是因为？对于随机《。振动：频谱：采用1/3》倍，频程带宽《的能量来描述随机】振动：幅值大小是合适的同！时设：备制造？提，供的容许振动值也】基本采用《1/3倍频程的中心！频率值？表，示  】。  ： ，(3)？ 由于随机振动能】。量分：布在较宽的频率范】围内用峰值》描述难？以，反映随机振动—的特性采用均方根】值有利于数据的【检验及比对因此【本条规定的》。容许振动值采用【频，域均：方根值 【     (【4) 由于普通的】精密仪器与设备【对于：4Hz以下频段【的振动不《敏感因此不考虑其振！动影：响；对于4H—z～：8Hz 《频段：则反：映为对振动加速度】。敏感因？此采用振动加速【度作为控《制，指标：但对：于控制精度较高的】集成电路《。、激：光装置、《纳米加工等》其研发？、加工？与试验用《仪，器，及设备的自身即带有！。空气：弹簧隔？振装置？。。而它们的固有—振动：频率往往在》1Hz～3Hz 为！了，降低这些频段的【振动响应《将容许振动值—的频段范围延至1】Hz也即提高了【对，低频段？的振：。动限值要求 ！    》 本条明确了电子工！厂、纳？米实验室及物理【。实验室？用精密仪器与设备以！频域的1/3—倍频程均方根值作为！容，。许振：动标：准，的限值且不同—频段以不同的—。物理量示值 — 《 4.1.》。3  通常大—中型三坐标测量机特！别是大？型悬臂？式测量机容易受【到环境振动影响【由于设备与被—测工件较大测—量，机，布置位置相对固定】需，。要安装在专》门的地？基基础上对基础振动！有一定要求当—测量机对测量精度有！特殊要求时需—要根据设备的具【体要求专门》设计地基基础—或采取必要的减【。振和隔振《措施： 《 ：。 ，   根据三—坐标测量机厂家提】供的测量《机对环境振动的要】求以及对三坐标测】量机测试结构系统的！。动力分析《发现三？坐标测量机》的一：。阶固有频率多在1】。0，H，z～：30Hz范围—内在：此区间的环境振【动容易引《起测试机构共振【影响测量精度在【通常情况下只要确】保8Hz～》。1，00：Hz范围内的基础】振动符合设》备使用？条件就？能保证测量》精度不受振动影响而！多数三坐标》测量机要求的频率范！围是0.5H—z，～100Hz—在这个？频率区间内控制好环！境振：动应该更能确—保，三坐标测《量精度这《样的要求也更加保】险测量值应取平【均幅值测量的波峰】因数应？小于6 ！    由于三【。坐标测？量机的型式种类【非常多不同厂家不】同，机型的容许振—动限值？也不一样根据数【十台三坐标测量机】的技术条件在确【保80%保》证率的前提下提出】了三：坐标基础的容许振】动限值对《于少数有特殊要求】的三坐标《测量：机则需要《。根据具体设备的要求！设计基础 】     位【移，。限值主要用于—低频振？。动控：制加速？度限值？用于高频振》动控制对于》10Hz～》30H？z范：围的：振动要求较严—格一些当频率大于】。100Hz时振动】控制相对容易一些有！些较低精《度，三坐标测量机—的振动要求可以达】到300mm/s2！考虑到本标准—。其他章节的限值条件！容许：振动加速度值—均控制在200m】m/s2～300】mm/s2在实【际，应用中可以》根据具体测》量机的要求对技【术指标作适》当调：整图2？是三坐标测》量机对环《境振动的《要求 ！ ： 图2 —三坐标测《量机：的容许振动值— ：