： 4  精密【仪器和设备 ！ ？ ， 4.《1  ？精密加工与检测设】备 ： 4】.1.？1  本条给出了部！分以时域示值的精密！加工设备的容许振】动值并明确是—以时域的峰值表示】 》 4.1《.2  《本标准规定》的容许振动值有如】下特点？: —     (1【。) 由于精密仪器与！设备本？身是一？个，多自由？度的复杂弹性—系统自身具有多【个固有振动频率【及阻尼比当》。外界振动频率—与某个固有振动【频，率一致时《系统产生共振会影】响其正常工作—而对：于外界环境振动经大！量实例？及研究结果证明是一！种平：稳随：机振动过程本身含有！丰富的简谐振动频率！为了确保《仪器及？设备的正常工作【对外界环境中存在各！种不同频率的振动幅！值进行限制》以减弱因共振等产】。生振：动影响？的做：。法是较为科学的因此！本条规定的容—许振动值均采用频域！表，达 — ，    《(2) 频域采【。用，1/3倍《频程中心频率的幅值！表示这是因》为对于随机振动频】谱采用1/3—倍频程？带宽的？能量来描述随机【振动幅值大小是【合适的同时设—备制造？提供的容《许振动值也基本【。采用1/3倍频程的！中心频率值表示【   】。  ：(3) 由》于随机振动》能量分布在较宽的】频率：范围内用峰值描【述难以反映随—机振动的特》。性，采用均？。方根值有利于数据】的检：验及比对因此本条】规定的？容许振动值采用频域！均方根值 【  《 ，  (4) 由于】普通的精《密仪器与设备对【于4Hz《以下频段的》振动不敏感》因此不考虑其振【动影响；对》于4Hz～8Hz ！频段则反映为对振】动加：速度敏感因此采用】振动加？速度作？为控制指标》但对于控《制精度较高》的集成电路》、激光装置、—纳米加工等其研【发，、，加工：与，试验用仪《器及设备的自—身即带有空气弹【。簧隔振装置》而它们的《。固，有振动？频率往往在1H【z，～3Hz 为了【降低这些频段的振】。动响应？将容许振动值—。的，频段范围延》至1：Hz也即提高了对低！频段的振《动限值要求 【  》   本条明确【了电子？工厂、纳米实验【室及物？理，实验室用精密—仪器与设备以频域的！1/3倍频程均【方，根值作为容许—振动标准的限值且不！同频段以不同的物】理量示值 】 4.1.—3  通常大中型三！坐标测量机》特别是大型悬臂【式，测量机容易》受到环境振动—影响：由于设备与被测工】件较大测量机—布置位置相》对固：定需要安装在专门的！地基基础上对基【础振动有一定要求当！测量机对测》。量精：。度有特殊要求时需要！根据：设备的？具体：要求专门设计地【基基础或采取必【要的减振和隔振措施！ —    根据三【坐标测量《机厂家提供》的测：量，机对环境《振动的要求以及对】三坐标？测量：。机测试结《构系统的动力分【析发现三坐标测量机！。的一阶？固有频率多在10H！z～30Hz范【围内：在，此，区间的环境振动容易！引起测试机构共振影！响，测，量精度？在通常情况下只要确！保8Hz～100】Hz范围内的—基础：振动符合设备使【用条件就能保证测】。量，精度不受振动影响】而多数三坐标测量】机要求的频率范【围是：0.5H《z～1？00Hz在这个频】率，区间内？控制好环境振动【应该更能确》保三坐标测量—精度这样《。的要求也更加保险测！量值应取平均幅值】测量的波《峰因数应《小于6 《  —   由于三坐标】测量机的型式种【类非常多不同厂家】不同：机型的容《许振动限值也不一】样根：据数十台三》坐标：。测量机的技》术，条件在？确保80%保—。证，率的前提下》提出了三坐标—基础：的容许振动限值对】于少数？。有特殊要求》的三：坐标测量机则—需要根据《具体设备的要求设计！基础 】    位移限值主！要用于低频振动【控制加速度限值用】于高：频振动？控制对于《10H？z，。～30Hz》范围的振动要求较】严格一些当频—率，大于：100Hz时振动】控制：相，对容易？一些有？些较低精度三坐【。标测量机的振动【要求可？以达到300mm】/s：2考虑到本标—准其他？章节的限值条件【容，许振动加速度—值均控制在2—00mm/s2～3！00mm/s2在实！际应用中《可以根据具》体测量机的》要求：对技术？指标作适当调整图】2是三坐标测量机对！环境振？动的要求 ！ ， 图2 ！三坐标测量机的【容许振动值 — ，