， 4  精密】仪器和设备 【。 》 ， 4.1 — 精密加工与检【测设备 — ： 4.1—.1  本》条给出了部分以时】域示值的精密加【工设备的容许振动】值，并明确是以时域【的峰值表示 — ？。 4.1.—。2 ： 本标准规定—的，容，。。许振动值有》如下特点: 】 ？ ，   (1) 由】于精密仪器》与设备本身是一【个多自由度的复杂】弹性系统自身具有多！个固有振动》频率：及阻尼比当》外，界振：动频率与某个固有振！动频率？一致时系统产生共振！会，影响其正常工—作而对于外界环境】振动经大量实—例及：研究结果证》明是一种平稳随机】振动过程本身含【有丰富的简谐—振动频率《。为了确保仪器—及，设备的正常工作对外！界环境？中，存在各种不同—频，率的振动幅值进行】限制以减弱因共振】等产生振《动影响的做法—是较：为科学的因此本条规！。定，的容：许振动？值均采用频域表【达   ！  (？2，) 频域采用1/3！倍频程中心频—率的幅值表示这是因！为对于随《机振：动频谱？采用1？/3倍？频程带宽的》能量来？描，。述随机振动幅值【大，小是合适的同时设】备制造提供》的容许振动值也基】本采用1《/3倍频《程，的，中心频率《值表示 》  》   (《3) 由于随机振】动能量分布在—。较宽：的频率范《。围内用峰值描述【难，以反映随机振动的特！性采用均方根值【有利于数据》的检验及比对因此本！条规定的容许振动值！采用频域均方根值】 ？     (】4) 由于》普通：。的精密仪《器与：设备：对于4Hz以下频】段的振？动不敏感因此—不考虑其《振动影？响；对于《4H：z～8Hz 频段则！反映为对《振，动加速度《。敏感因此《采用振动加速—度作：。为，控制指？标但对于《控制精度较高的集成！电路、激光装置【、纳米？加工：等其研发、加—工与试验用仪器及设！备的自身即》带，有空气？弹簧隔振装》置，而它们的《。固有：振动频率往往—在1Hz～3H【z 为了降低—这些频段的》。振动响应将容—许振动？值的频段范围延至】1Hz也即提高了对！低频：段的振？动限值要求》    ！ 本条明《确了电子工厂—、纳米实验》室及物理《实，验室用精密仪器【。与设：备以频域《的1/3倍》。。频程均方根》值作为容许振动【标准：的限值且不同频段以！不同的物《理量示？值 — 4.？1.3  通常【大中型三坐标测【量机特别是大型悬臂！式测量机容》易受到环《境，振动影响由于—。。设备与被测工件较】。大测量机布置位置】。相对固定需要安装在！。专门的地基》基础上对基础振【动，有一定要求当测量机！对测量精度有特【。殊要求时需要根据设！备，的具：体要求专门》设计地基基》础或采取《必要的减振和隔振】。措施  ！   根据》三坐标测量机厂家提！供的测量机对环【境振：动，的要求以及对—三坐标测量机—测试结构系统的动力！分析发现三坐标测量！。。机的一阶固有频率多！在1：0Hz～30—Hz范围《内在：此区间的环境振动容！易引起测试》机构共振影响测【量精度在通常—情，况下只？要确保？8Hz～100Hz！范围：内的基础振动符合】设备使用条件—就能保证测量—精度不受振动影响而！多数三坐标测量机要！求的频率范围—是0.5Hz～1】。。00：H，z，在这个频率区间【内控制好环境振【动应该更《能确保三坐标测量精！度这样的要求也【更，加保险测量值应取】平均幅值测量—的，波峰因数应小于【6 《     由】于三坐？标测量机的》型式种类非常多不】同，厂家不同《机型的容许振动限】值也：不一样根据》数十台三坐标测【。量机的？。技术条件在确保80！%保证率的前提下提！。出了三坐《标基：础的容许振动限值对！于，少数有？特殊：。要求：的三坐标测量机【则需：要根据具体设备【的要求？设计：基础 《 ？。 ， ，   位移限值主】要用于低频振—动控制加《速度限值用于高【频振动控制对—于10Hz》～3：。0Hz范围》的振动要《求较严格一些当【频率大于《100H《z时振动控制相对容！易一些有些较低【。精度三坐《标测量机《的振：动要求可以达—到，300mm》/s2？考虑到？本，标准其他章节的限值！条件容许振动加【速度值均《。。控制在2《00mm/s2～3！00：mm/s2在实际】。应用中？可以根据具体—测量机的要求对【技术指标作适—当调整？图2是三坐标测量】机对环？境振动的要求 【 》 《 图？2 三坐标测量机】的容许振动值 【 ，