《4 ： 精密仪器和设备 ！ ？ 4.】1  精密》加工与检《测设备 《 ？ ， ： 4.1.1  】本条给出《了部分以时域—示值的精密加工【设备：的容许？振动值并明确是【以时域的峰值表示 ！ ？ 4.1.2 】 本标准《规，定的容许振动—值有如下特点: 】    】 (：1) 由于精—密仪器？与设：备本：身，是一个多自由度【的复杂弹《性系统自身》具有多个固》有振动？频率及阻《尼比当外界》。振动频？。率与某个固有振动频！率一致时系统—产生共振会影响其】正，常工作？而对于外界环境振】动经大量实例及【研究结果证明—。是一种平稳随—机振动过程》本，身含有丰富的—简谐振动频率为了确！保，仪器：及设备的正》常工作对外界环境中！存在：各种不同频率的振】。动，幅值进行限制以减】。。。。弱因：共振等产生振动影响！的做法是较为科学的！因，此本条规定的容许振！动值均采用频域表达！  【   (2》) 频域《采用1/3倍频程】中心频率的幅—值表示这《是因为？对于随机振动频谱采！用1/3倍频—程，带宽的能量来—描述随机振动—幅值大小是合—适的同时设备制【造提供的容》许振动？。值也基本采用1/3！倍频程的中》心频率值表示 【 》。    (3) 】由于随机振动能【量分布在较宽的【。频率范？围内用峰值描述【难以反映《随机振动的特性【采，用均方根《值有利于数》据的：检验及比对因此本条！规定的容《许振动值采用—频域均方《根值 】    《(4) 由于普通】的精密仪器与设备对！于4Hz《以下频段的振动不敏！感因：此不考虑《其振动影《响；对？于4Hz《～8Hz 频段则】反映为对振动加速】度敏感因此采用振动！加速度作为控—制指：标但对于《控制精度较高的【集成电路、激—光装置、纳米加【。工等其研发》、，加工与试验用—仪器及设《备的自身即带有空气！。弹，。簧隔振装《置而它们的固有振】动，频率往往在1—Hz～3H》z，。 为了降低这些频】段的振动响应—将容许振动值—的频段范围延至1H！z也即提高》了对：低频段的振动—限值要求 ！  ：   本条》明确了电子工厂、】纳，米实验室及物理实】验室用？精密仪器与设备【以，频域的1/3倍频】程均方根值作为容许！振动标准《的限：值且不？同频：段以不同《的物理量《示值 】4，.1.3《。  通常《大中型？三坐：标测：量机特别是大型悬】臂式测量机》容易受？到环境振动影响由】于，设备与被测工件【较，大测量机布置位【置相对固定需要安装！在，专门的？地基基础上对基础】。振动有一定要求当】测量：机对测量精度—有特殊要求时—需要根据设备—的具：体要求专门设计【地，基基础或采取必要】的减振和隔振措【施 — ， ，。   根《据三坐标测量机厂】家提供的测》量机对环境》振动的要求以及对三！坐标测？量机测试结》构系统？的动力？分析发现三坐标测量！机的一阶固有频率多！。在，10Hz～30H】z范围内在此—区间的？环，境振动容易引起测试！机构共振影响—测量精度《在通常情况下只要确！保8Hz～100】Hz范围内的基【础振动符《合设备使用条件就】能，保证测量《精，度不受振动影响而多！数三坐标测量机【要求的频率范围【是0.5Hz～【。100Hz在—这个频率区间内【控制好环境振动应该！更能确？保三坐标测量—精度这样《的要求也更》加保险测《量值应取平》均幅值测量的波峰】因数应小于6 【  —   由于三—坐，标测量机的型式种类！非常多不《同厂家不同》机型的容许振—动限值也不一—样根据数《十台三坐标测—。量机的技术》。条，件在确保80—%保证率的前提【下提出了三坐标基】础的容许《振动限？值对于少数有—特殊：要求：。的三坐标测》。量机则需要根据【具体设备的要求设计！基础 《  》 ，。  位移《。。限值主要用于低【频，振动控制加速度限值！用于高频振》动控制对于1—0Hz～《。。30：Hz范？围的振动要》求较：严格一些当频率大】于，100Hz时振动控！制相对容易一—些有些较低精—度三坐标测量机的振！动，要求：可以达到《300m《m/s2考虑—到本标准其他—章节的限值条件容】许振动加速度—值均控制在2—0，0，mm/？s2～300—mm/s2在—实际应用中》。可以根据《具体测量机》的要求对技术指标】作适：当调整图2是三【坐标测量机对环境振！动的要求 》 ，。 —。 图2 三】坐标测量机的容许】振动值 》