4 — 精密仪器》和设备 》 —。 4.1》  精密加工—与检测设备 ！。 4》。.1：.1 ？ 本条给《出了部分以时域【示值的精密加工【设备：的容许振《。动值并明确是—以时域的峰值—表示 《 4.1【.2  本标—准规定的容许振动值！有如下特点》:  】。 ，  (1) 由【于精密？仪器：与设备本身是一【个，多自由度的》复杂弹性系统自【身具有？多个：固有振动频率及阻】尼比当外界振动【频率与某个》固有振动频率一【致时系？统产生共振会影【响其：正常工作《而对：于外界环境振动【经，大量实例《及研究结果证明是】一种平？稳随机振动过—程本身含有丰富的简！谐振动频率为了确保！仪，器及设备的正常工】作对外界环境中存在！各种不同频率的【振动幅值《进行限制以减—弱因共振等》产生振动影响的做】法是：较为：科学的因此本条规】定的容许振》动值：均采用频域表达 】。 《     (2) ！频域采用1/—3倍：。频程中心频率的幅值！表，示这是因为对于随机！振动频谱《采用1/《3倍频？。程带宽的能量来描述！随机振动幅值—大小是合适的同时设！备制造提供的容许振！动值也基本》采用1/3倍频程】的，中心频？率值表示 】   《  (3《) 由？于，随机振动能量分布在！较宽的频率范围内用！。峰值描述难》以反映？随机振动的特性采用！。均方根值有利于数据！的，。检验及比对因此本】条规定的容许振【动值采用《频域均方根值 】。。     (！4) 由《于普通？的，精密仪器与设—备对于4Hz—以，下频：段的振？动不敏？感因此不考虑—。其振动影《响，。；对于4《Hz：～，。。。8Hz？。 频段则反》映为：对，振动加速度敏感【因此采用振动—加，速，。度作为控制指标但对！于，控制精？度较高的集成电路、！激光装置、纳米加工！等，其，研发、加工》与试验？用仪器及设备的【自身即带有空气弹】簧隔：。振装：置而它们的固有振动！频率往往《在1Hz～3Hz ！为了降低这些频段的！振动响？应将容许振》动值的？频段范围延至1H】z也即提高了对低频！。段的振动限》值要求？  【   本条明确了电！子工厂、《纳米实验室及物理】实验室用精》密，仪，器与：设备以频域的1【/3倍频程均方根值！作，为容：许，振动标？。准的限值且》不同频段以不同【的物：理，量，。示值： ？ 4.1—.3  通常大中】型三坐标测量—机特别是大型悬【臂式测量机容—易受到环境振—动，影，响由于？设备与？被测工件较》大测量机《布置：。位置相对《固定：需要安装在专—。门的地基基础上【对基础振《。动有一？定要求当测量—机对测量精度有特】。殊要求时《需要根据设备的【具，体要求专门设—计地基基础或采取】必要的减《振和隔？振措施 《 》    根据三【坐标测量机厂家提供！的测量机对环境振】动的要？求以及对三》坐标测量机测—试结构系统的—动力分析发现三【坐标测量机的一阶】固有频率多在10H！z～30H》z范围内在此区间的！环境振动容易引起】测试机构共》振影：。响测量精度》在，通常情？况下只要确保8【Hz：～1：00：Hz范围内的基础】振动符合设备使【用，条件就能保证测量】。精度不受振》动影响而《多数三坐标测量机要！求的：频率范围是0.5H！z～100H—z在：这个频率《区间内？控制好？环境振动《应，该更能确保三坐标】测量精？度这样的要》求也更加保险测【量值应？取，平均幅值测量—的波：峰因数应小于6 】 》   ？ 由：。于三坐标测量机【的型式？种类非常《多不同厂家不同【。机型的容许振—动限值也《不一样根据数十【台三坐标测量—机的：技术条？件在确保80%保证！率的前？。提，下提：出了三坐标基础的】容许振动限值对【于少：数有特殊要求的【三，坐标测量机则需要根！据具体设备的要求设！计基础 【   《  位移《限值主要用于—低频振动控》制加速度限值—用，于高频振动控制对于！1，0Hz～30—Hz：范，围的振？动要求较严格一【些当频率大于—10：0Hz时振动—控制相对容易一些有！些较低精《度三：。坐标：测量机的振动要【。求，可以达到3》。。00mm/s2考】虑，到本标准其》他章节的限值条件】容许振动加速度【值均控？制在200mm【/s：2～300》。mm/s2在实际应！。用中可以《根据：具，体测：。量机的要求对技术】指标作适当调整【图2是三《坐，标测量机《对环境振动》的要求 【 【 图2 三坐标【测量机的容许振动】值 ？