4  【精密仪器和》设备： ， ： ， 4.】。1  精密加—工与检测设》备 ？ 》 4.1.1—  精密加工—设备在时域范围【内的容许振动值【宜按：表4.1.1的规定！确定 》 》。 《4.：1.2  电子工厂！。、纳米实《验，室及物理实》验室用？精密仪器和设—备，在频域范围内1/3！倍频程的容许振动值！宜按表4.1.【2的规定《确，定 】 》注当：频，率重：叠时应同时满足两】个频：率区间上的容—许振动要求 ！ 4.1.—3  三坐》。标测量？。。机在频域范围—内的容？许振动值宜按表【。4.1？.3：的规定？确，定 【 注1 ！本表适？用于测量范围—。在500《mm～2《000mm》的三坐标测量机； ！ ，  》   2 ε为测】量精度L为三—坐标测量机的最【大量程？； ： ： ，     —3 表中30Hz ！-50？Hz之间数值可采用！线，性，插值计？算 ？