4 精】密仪器和设备
【
,
4!。。.1 精密—加工与?检测:设备
》。
》4.1.1 精密!加工设备在时—域范围内的容许振】动,值宜:按表4.1.1的规!定确定
!
4.1!.2 电子—工厂、纳米实验【室及物理实验室用】。精,密仪器和设备在【频,域范围内1/3倍频!程的容?许振动值《宜按表?4.1.《2的规定确定
!
【
注?当,频,率重叠时《应同时满足两个频率!。区间上的《。容许:振动要求《
4【.1.3 》 三坐标测》量机在频《域范围内的容许振动!值宜按?表4.?。1.3的规定确定】
!
:
,注1 本表适用于】测,量范围在500【mm:~2000mm的】三坐标测量机;【
! 2 ε为测量【精,度L为三坐标—测量机的最》大,量程;?
— 3 表中3!0Hz -50【Hz之间数值可采用!线性插值计算
】