4》。  精？密仪器和设备 】 【 4.1《  精密加工与【检测：设备 ？ 4】.1.1  精【。密加工设备在时域范！围内：的容许振动值宜【按表4？.1.1的》规定确定 》 — 4.【。1.2  电—子工：厂、纳米实验室及】物理实？验室用精密仪器和】设备：。在频域范围内—1/3倍《频程：的容许振动值宜按表！。4.1.《。。2的规定确定 ！。 》 ？ 注当频率重—叠时应同《时满足？两个频率《区间上的容许—振动要求《。 ， 》4.1.3  三坐！标测量机在频域范】围内的容《许振：动值宜按《表4.1.3的规定！确定 ！ 注1【 本表适《用于测量《范围在500mm】～，2000mm—的三坐标测》量机； ！    2》 ε为测量精度L】。为三坐标测》量，机的最大量程—； 《  《   3 表中30！Hz：。 -50H》z之：间数值可采用线【性插：值计算 》