《4  精密仪器【。和设备 》 4！.1：  精密加》工与：检测设备 ！ 4.1.1】  精密加》工设备在时域范【围内的容许》。振动：值宜按表4.1.1！的，规定确定 》 ！ 4.《1.2？  电？子工厂、纳米实验】室及物理实验室用精！密仪器？和设备在频域—范，围内1/3倍频程】的容许振动值宜按】。表4：。.，。1，.2的规定确定【 ？ —。 ？注当频率重叠时应同！时满足两个频率区间！上的容许振动要【求 4】.1：。.3 ？。 三坐标测量机在频！域，范围内的容许—振动值宜按表4.1！.3的规定确定 】 ， ！。 注1 本表适用】。于测：量范围？。在500mm—～20？00mm的三坐标测！量机； —  《   2 ε—为测量精《度L为三坐标测量】机的最大《量程； —  《   3 》表中30H》z -50》Hz之？间数值可采》。用线性插值计算【 ：