4  【。精密仪器和》设备 《 【 4.1  精【密加工与检》测，设备 【 ？4.1？.1  《精密：。。加，工，设备在时域范围【内的容？许振动值宜按表4.！1.1的规定确定 ！ 》 ？ 4.1.2】  电子工》厂、纳米实》验室及物理实验室】用精密仪器和设备在！频域范？。围内1？/3倍频《程的容许《振动值宜按表4.1！.2的规《定确定 — ：。 注】。当频率？重叠时应同时—满足两？个频率区《间上的容许振—动，要求 —。 4？.1：.3 ？ 三坐标《测，量，机在频域范围内的容！许振：动值宜按表4—.1.3的规定【确定 ！ ， 注1 本】表适用于测量—范围在500m【m～2000m【m的三坐标测量机；！   】  2 ε为测量精！度L为？三坐标测量机—的最大量《程； 】。    3 表中3！0H：z -50》Hz：之，间数值可采用线性】插值：计算 ？ ，