4  精密！。仪器和设《备 》 ： 《4.1  精密加工！与检：测设备 】 ：。 4：.1：.1：。。。  精密《加工设？备在时域范围—内的：。容许振动值宜按表】4，.1.1的规定确】定，。 《。 》 4.》1.2 《。 ，电子工厂、纳米【实验室及物理—实验室用精密仪器和！设备在频域范围内1！/3倍频程的容许振！动值宜按表4.【1.2的《规定确定 》 ： ？ 《。 ， ，注当频率《重叠时应同》时满足两个频率区】间上的容《许，振动要求 — 4.1【.3  三坐标测】量机：在频域？范围内的容许振【动，值宜按？表4.1.》3，的规定？确定 — 》 ，。 注1《 本表适《。。用于测量《范围在500—mm：～2000mm【的三坐标测量机【； 《    — 2 ε为测量【精度L为三坐标测量！机的最大量程； 】。 》    3 —表，中3：0Hz？ -50《Hz之间数值可采】用线性插《值计算 》