4》  精？密仪器和设备 ！ 》 4.1》 ， 精密加《工，。与检测设备 】 4.1.！1  ？精密加工设备在时域！范围内？的容：许振动值宜按表4】.1.1的规定确定！ ： 《 ， ， 4.1【。.，2  电子工厂、】纳，米实验室及物理实】验室用精密仪器和设！备在：频域范围内》1/3倍频程的【容许振动值》宜按表？4.1？.2的规定确定 】 】 注当频率【重叠时应同时满【足两：个频率区间上—的，容，许振动要求 】 4.1.【3  ？三坐：标测量？。机在频域范围内的容！许振动值宜按表4.！1.3的《规定确定 — ！ ，注1 本表适用【于测量范围在5【00：mm～2000【mm的三坐标—测量机；《 ：  》   2 ε为测】量精度L为》三，坐标测量《。机的最大量程—； 》  ？。 ，  3 表中30H！z -50Hz【之间数值可采用线性！。插值计算 —