。 ： 4 《 精密仪器》。和设备 《 ： ： 4.1 ！ 精密加工与检测】设备 《 ， 4.【1.1  精密【加，工设备？在时域范围内的容许！振动值宜按表4.1！.1的规定确—定 — ： ？ 4.1.2 】 电：。子工厂、纳米—实验室及物理—实，验室用精《密仪器？和设备在频域范【围内1/《3倍频程的》容许振？动值宜按《表4.1.2的规定！确定 《 】 注当《频率重？叠时应同时满—。足两个频率》区间上的容许—振动要求 ！ 4.1.3—。  三坐标测量【机，。在频域范围内的容】许振动值宜按表【4.1.《3的规定确定 】 》 注—1 本表《适，用于测量《范围在5《00mm～200】。0mm的三坐标测】量机； —。。    — 2 ε《为测量？精，度L为三坐标测量机！的，最大量程；》 ？。 ，     3【 ，表中：30H？z -50H—z之间数值可采用线！性插值计算 【