， 4  精【密仪：器和设备《 — 4.—1 ： 精密加《工与检测设》备 【 4.《1.1  》精密加工《设备在时域范围内】。的容：许振动值宜按表4.！1.1的规》定确定？ 【 》4.：1.2  电子工厂！。、纳米实验室及【物理实验室》用精密仪《器和设备在》频域范围《内1/3倍》频程的容《许振动值宜按—表4.1.2的【规，定确定 【 》 注当》频率重叠时应同【时，满足两个频》率区：间上的容许振动【要求 】4.1.3  三】坐标：测量机在频》域范围？内的容许振》动值宜按《表4.1.3的【规定确定 ！ — 注1 本》。表适用于测量—范围在500mm～！2000mm的【三坐：标测量机； 【 ， ，     —2 ε为测量精度L！为三坐标测量机的最！大量程？；  】   3 表中3】0H：。z -5《0Hz之间数值【可，采用线？性插值计算 【