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4 ?。 精:密仪器和设备—
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4.1 !。精密加工与检测设】备
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4.1—.1 精密加【工设备在时域范围】内的容许《振,动值:宜,按,表4.1《.1的规定确—定
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4.1.2【 电子工厂—、纳米?。。实验室及物理实验室!用精密仪器和设【备,在,频域:范围内1/3倍频程!的容许振动值—宜按表4.1.2】的,规,定确定
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注《当频率重叠》时,应同时满足两—个频率区间上的容许!振动要求
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4.《。1.3 三坐【标测量机在频域【范围内的容许振【动值宜按表4—.,1.3?。的规定确定
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注1 本表适!用于测量范围在【500?mm~20》0,0mm的三》坐标测量《机;
】 2 ε【为测量?精,度L为三坐标测量机!的最大量程;—
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【 :。3, 表中30H—z -50》Hz之间数值可采】用线性插值》计算
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