安全验证
《4  ?精密仪器和设备【 】 :4.1  精密加工!与检测?设备 】 4?.,1.1?  精密《加工设备在时域范围!内的容许振》动值:宜,按表4.1.1【的,规定确定 】 — 4.《1.2  》电子工厂、纳米实】验室及物理》实验室用精密仪器】和设备?在频域?范,围内1?/3倍?频程的容许振动【。值宜按表4.1.】2的规定确》定, , , ! 注当频《率重叠时应同时【。满足两个频率—区间上?的容许振动要求 ! 《4.1.3 — 三坐?标测量机在频—域范围内的容许振动!值宜按表4》.1.3的规—定确定? ? 】 注:1 本表适用于测量!范围在50》0m:m~2000mm的!三坐标测量机; 】  —  : 2 ε为》测量精度L为三坐标!测量机?的最大?量程; 》 ?   ?。。  3 表中30】Hz -50—。Hz之间数值—可采用线性插值【计,算 ?