安全验证
, 4  精【密仪:器和设备《 — 4.—1 : 精密加《工与检测设》备 【 4.《1.1  》精密加工《设备在时域范围内】。的容:许振动值宜按表4.!1.1的规》定确定? 【 》4.:1.2  电子工厂!。、纳米实验室及【物理实验室》用精密仪《器和设备在》频域范围《内1/3倍》频程的容《许振动值宜按—表4.1.2的【规,定确定 【 》 注当》频率重叠时应同【时,满足两个频》率区:间上的容许振动【要求 】4.1.3  三】坐标:测量机在频》域范围?内的容许振》动值宜按《表4.1.3的【规定确定 ! — 注1 本》。表适用于测量—范围在500mm~!2000mm的【三坐:标测量机; 【 , ,     —2 ε为测量精度L!为三坐标测量机的最!大量程?;  】   3 表中3】0H:。z -5《0Hz之间数值【可,采用线?性插值计算 【