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4 精密—仪器和设备
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4.1 — ,精,密加工?与检测设备
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4?.1.1 精【密加工设《备在时?域范围?内的容许振动—值宜:按表:4.1?.1的规定确定
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4.1.2! 电子工厂—、纳米实验室及物】理,实验室用精密—仪,器和设?备在频?域范围内1》。/3倍频程的容许振!动值宜按《表4:.1:.,2的规定确》定
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—。注当频率重》叠时应同时满足【两个频率区间上的】。。容许振?动要求
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4.1.3 】三坐标测量机在频】域范围内的容—许振动值宜按表4】.1:.3的规《定确定?
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注—。1 本表适用—。于测量范围在500!。mm~2000【mm的三坐标测量机!;
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《 :2,。 ,ε,为测量精《度L为三坐》标测量?机的最?大量程;
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3— 表中30Hz【 -50Hz之【间数值可采用线【性插:值计算
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