《4  ？精密仪器和设备【 】 ：4.1  精密加工！与检测？设备 】 4？.，1.1？  精密《加工设备在时域范围！内的容许振》动值：宜，按表4.1.1【的，规定确定 】 — 4.《1.2  》电子工厂、纳米实】验室及物理》实验室用精密仪器】和设备？在频域？范，围内1？/3倍？频程的容许振动【。值宜按表4.1.】2的规定确》定， ， ， ！ 注当频《率重叠时应同时【。满足两个频率—区间上？的容许振动要求 ！ 《4.1.3 — 三坐？标测量机在频—域范围内的容许振动！值宜按表4》.1.3的规—定确定？ ？ 】 注：1 本表适用于测量！范围在50》0m：m～2000mm的！三坐标测量机； 】  —  ： 2 ε为》测量精度L为三坐标！测量机？的最大？量程； 》 ？   ？。。  3 表中30】Hz -50—。Hz之间数值—可采用线性插值【计，算 ？