4  【精密：。仪器和设备 ！ 》 4.1  精密】加工：与检测设备 【 4.】1，.1  精密加工设！备在时域《范围内的容许振动值！宜按表4《.1.1的规定确定！ ？ ： 4.！1.2  电子工厂！、纳米实验》室，。及物：理实：验室用精《密仪器和《设备在频《域，范围内1《/3倍频程》的容：。许振：。动值：宜按表4.1.【2的规定确定 ！ ： 注当！频率：重叠时应同时满足】两个频率区》间上的？容许振动要求— 《。 4.1.3 】 ，三坐标测量》机在频域《范围：内的容？。许振动？值宜按表4》.1.3的规—定确定 ！ 注1】 本表适《用，于测量？。范围在？50：0mm～2000】mm的三坐标测量机！； ：     ！2， ε：为测量精《。。度L为三坐标测【量机的最大量程【； —     3— 表中30》Hz -50H【z之间？数值可采用线—性插值？计算 《