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《11.3《 管?道,安装 《 —Ⅰ 主控项—。目 《 11.3【.2 稀》有,系统冷箱内阀门公】。称直径很小很—。容易堵?塞影响稀有系统的】调试整个系统的管】道应有很高的清洁度!。多次吹扫能清除杂质!保证系统清》洁 — ,Ⅱ 一般项目 ! 11—.3.7《 稀有气体系统低温!液体管?。道采用套管绝热套】管的连接方式有法】兰连接、焊接—连接两?种方式?为了保证绝热效【果套管连接要求很】好的密封 —