11—.3  管道安【装 】 Ⅰ  主控项目】 1【1.3.2  稀有！系统冷箱内》阀门公称直径很小很！容易：堵塞影响稀有系【。统的：调试整个系统—的，管道应有很高的清洁！度多次吹扫能—清除：杂质保？证系：统清：洁 【Ⅱ  一般项—目， —1，1.3.7》 稀有气体系统低】温液体管《道采用套管》绝热套管的连接【方式有法《兰连接、焊接—连接两种方式为了】保证：绝热效果套管—连接要求《很好的？密封 《