？ 11.3  管道！安装 】 Ⅰ  主—控项：目 — 11.《。3.2  》稀有系统冷》箱内阀门公称—。直径：很小很容易堵塞【影响稀有系统的【调试整？个系统的管道—应，有很高的《清洁度多次吹扫能清！除杂质？保证系统清洁 】 Ⅱ  【一，般项目 》 ， 11.—3.：7 稀有气体系统低！温液体？管道采用套管绝热套！管的：连接方式有法兰连接！、焊接连《接，两种方式为了保证绝！热效果套管连接【要求很好的密封【 ：