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, ?11.3《 管道安装 【 — Ⅰ ? 主控项目 ! , 11?.3.2 稀有】系统冷箱内阀门公】称直径很小很容易】堵塞影响稀有系【统的调试整个系【统的管道应有很【高的清洁度多次吹扫!能清除杂质保证【系统清洁 ! Ⅱ 一般—项目 【 11.3.7【 稀有气《。体系统低温液体【管道采用套管绝热套!。管的连接方式有法兰!连接、?焊接连?。接两种方式为了保】证绝热效《果套管?。连接要求很》好的密封 —