11.2.5 氖氦系统采用冷凝吸附法除氮，装置是由吸附器、换热器、气液分离器、杜瓦容器（负压液氮储槽）组成的整体装置。

11.2.6 真空泵是除氮装置的附属设备，负压液氮储槽需要抽真空。

11.2.7 膜式压缩机使被压缩的气体不与任何润滑剂接触，可保证气体的高度纯洁，适于压缩少量不允许被润滑剂污染的气体，特别适用于珍贵且纯度高的稀有气体的压缩输送或装瓶。