。 11—.2  氖氦—提取：。设备 【 ， 11.2.【5 氖？氦系统采用冷凝吸】附法除？氮装：置，是由：吸附：。器、换热器、—气液分离器、杜瓦】容器（负压液氮储槽！）组成？的整体？装置 — 11.2.6】 真空泵是》除氮装？置的附属《设备负压液氮储槽需！要抽真空 ！ 11.2》.7 膜式压—缩机使？。被压缩？的气体不与任何【润滑剂？接触可？保证气体的高度纯洁！适于压缩少量不【允许被润滑剂污染的！气体特别适用于珍】贵且纯度高的稀【有气体的压缩输送或！装瓶 ？ ，