1》1.：。2  氖《氦提：。取设备 — 11【.2.？5 氖氦系统采【用冷凝？吸附法除氮装置是由！吸附：器、换热器》、气液分离器—、杜瓦容器（负【压液氮储槽）组【成的整？体装置 】 11.《2.6 真空泵是】除氮装置《的附属？设备：负压液氮《储槽：需要抽真空 ！。 11《.2：.7： 膜式压缩机使【被压缩的气体—不与：任，何，润滑剂？接触可保证气—体的高？度，纯洁适？于压缩少量不允许】被，润滑剂污染的—。。气体特别适用—于珍贵且《纯度高的稀有气【体的压缩输送—或装瓶 》