11.2】  ：氖氦：提取设备 》。 —。 11.《2.5 氖氦—系统采用冷凝吸附法！。除氮装置是由吸附器！、换热？器、气液分》离器、杜瓦容—器（负压《液氮：储槽）组成的整【体装置？ 11】.2：.6 ？真空：泵是除氮装置的附属！设备负压液氮储【槽需要抽真空— 1【1.2.7 —膜式压缩《机使被压缩的—气体不与《任何润？滑剂接触《可保证气体的高【度纯洁适于压—缩，。少，量不允许被润—滑剂污染的气—体特别适用于珍贵】且纯度高《的稀有气体的压【缩，输送或装瓶》 ：