： ：。11.2《  氖氦提》取设备 】 ： 11.2.5 氖！氦系统采用》冷凝吸附法除氮装】置是：由吸附器、换—热器、气液分离器、！杜瓦容？。器（负压液氮储槽）！组成的整体装置 】 11【.2.6 真空泵是！除氮装置的》附属设备负压—液氮储槽《需，要抽真空《 1【1.2.7 膜式】。压缩机使被压—缩的：气体不与任何—润滑剂接触可保证气！体的高度纯》洁适于压缩少量【不允许被润滑剂污染！。的气体特别适用【于珍贵且纯度—高的稀有气体的【压缩输送《或装瓶 》