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:。 1?1.:。2 : 氖氦提取设备【 》 1《1.2.5 氖【氦,系统采用冷》凝吸附法除氮装【置是由吸附器、换热!器、:气液分离器、—杜瓦容器(负压液氮!储槽:)组成的整》体装置 !。11.2.6 真】空泵是除氮装置的附!属设备负《。压液:氮,储槽需要抽真空【 》 11?.2.7 膜式【。压缩机使被压—缩的气体不与任【何润滑剂接》触可保证气体的高度!纯洁适于压缩—少量不允许被润【。滑剂污染的气体特别!适用于珍贵且纯度】高的稀有气体的压缩!。输送或装瓶 【