3.3【 化?学品供应《管道系统
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3?.3.1 》 电子工厂的—化学:品属于危险性物质管!道架空敷《设有利于《管道的运行》管,。理可及时发现问【。。题并便于《维修:
—3.3.2 — 化:学品供应管》道设计流向》一,般应从下《。往上这主要是为了】消除系统中的气【泡利于介质的—流动
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《3.3.3 为防!止管路中的下—述部位发生泄漏规】。定酸:。碱类、研磨液、腐】蚀性溶剂化》学品双?套管的内管应—无,焊接:点任何存《在转接?头、三?通、:大,小头、焊接等—连接点的部位—都应安装在箱体内
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3.3】.4: ,。 由于研磨液化学品!的,黏度较?大输送较为困难规定!研磨液化《学品管道应尽量【缩短化学《品供应?设备到使用点的距离!并尽量减少弯头数量!
—3.3.5》 , 非腐蚀性溶剂【类化学品通常具【有易燃易爆性质同时!考虑电子工艺—对化学品纯度—的要:求规定该类化学品采!用,不锈钢?。管道
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3.3.7 】条文中关于管—道,与阀门、设备连接时!应采用阀门》、设备相同的—连结方式是指阀【门、设备配》置的如法兰、双【卡,。套、扩口、入珠【、焊接等连接方式
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