安全验证
3.—3 : 化学品供应管道】系统 — ? 3.3《.1:  电子工厂—的化学品属于—危险性物质管道【架空敷设有利—于管道的运行管理可!及时发现问题并便】于维修 《 3.3.!2  化学》品供应管《道设计流《向一般应从下往上】这主要是为了消除】系统中的气》泡利于介质的—流动 ? 3—.3.3  为防】止管:路中的下《。述部位发生泄漏规】。定酸碱类、研磨液、!腐蚀性溶剂化学【品双套管的内管【应无焊接点任—何存在转接头、三通!、大小头、焊—接等连接《点,的部位都应安装【在箱体内《 —3.3?.4  由于研磨液!化学品的黏》度较大输送较—为困难规《。定研:磨液化?学品管?道应尽量缩》短化学品《供应设?备到使用点》的距离并尽量减【。少弯头数量 】 , 3.3.5【 ,。 ,非腐蚀性溶剂类化】学品通常具》有易燃易爆性质【同时考虑电子工艺】对,化,学品纯度的》要求规?定,该类化?学品采用不锈钢【管道 ? : , 3.3.—7  条文中关于】。管道与?阀,门,、设备连接时—应采用阀《门、设备相》同的连结《方式是指《阀门:、设备配置的如法】兰、双卡套、扩口】、入珠、焊接等【连接方?式 ?