， 3.》3  化学品—供应管道系统 【 3.！3.1  电子工厂！的，化学品属于危险性】物质管道架空敷设】有利：于管道的运》行管：理可及时发》现问题并便》于，。维修 ？ 《 3.？3.：2  化学》品供应管《道，设计流向一般—应，从下往？上这主要是为了【消，除系统？中，的气泡利于介—质的流？动， 》 3.3.3  为！防止管路《中的下述部位发【生泄漏规定酸—碱，类、研磨《液、腐蚀《性溶剂化学品—双套管的内管—应无焊接《点任何存在转接头、！三，通、：大小：头、：焊接等？连接点的《部位都应安》装，在箱体内 ！ 3.3.》4  由于研—磨液化学《品的黏度较大输送较！为困难规定研—磨液化学品》管，。道应尽量缩》短化学品供应设【备到使用点》的距：。。离并尽量减》少弯头数量 【 ？ 3.3.5—  非？腐蚀性溶剂类化学】品通常具有易燃【易爆性质同时考虑电！子工艺对化学品【纯度的要求规—定该类化学品采【。用，不锈钢管《道 3】。.3.7  —条，文，中，关于管道与阀门、设！备连：接时应采用阀门、设！备相同的连结方【。式是指阀门、—设备配？置的如？。法兰、双卡套、扩口！、入珠、焊接等连接！方式 《