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3.2 》 化学品《供应设?备
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3【.2.1 制定】本条规定的依据和】参考资料如下
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》 1《 电子工厂所【用化学品基本—都具有酸《碱腐蚀、《易燃易爆、》有毒:等特性制《定“将补充单—元的设备、》管路应设置于箱【柜内箱柜顶部—宜,装设高效过滤器”等!规定是出于》。对,生产与?职业生命安全的【考虑将危《险性的设备与化学品!通过封闭的箱—体与:生产场所分》开;:在美国?。消防协会颁布的N】FP:A :318洁净室—。防,护标准5. 1.5!.1中规定危险【化学品?应存贮在《密闭的贮柜或工【作站内;
】
: 2 — 操:作人员可以通过化】学品种类等信息的】条形:码读码?机了解系《统信息正确》与安全地操作系统】;
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— 3 》设,置清洗和《吹扫槽车快速—接头的纯水枪和氮】气枪是为《。了,。保证化学《品系统的《洁净:由于有?机溶剂会与水发生】化学反应规定有【机溶剂化学》品补:充单:元,不设纯水枪;—
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《 4《 规定不同化学】品采用不同型号【和不同尺寸的快速】接头是为《了防:止接头误用造成生产!与安全事故;
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》。 5 可燃溶剂!化学品供应单—元,设置防静电接地是为!了消除设备与—管道产?生的静电杜绝安全隐!患;单元接地线与桶!槽或槽?车连接也是》为了导除其设备【产生的静电;
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《 6 美国消防!协会发布的》NFPA 31【8,洁净:室防护标准5.【1.5.3中—规定:。贮柜应该用不低【于18号的钢—材制造门应该是自闭!。式的并设有栓锁装置!;
】 :。 7 化学品泵送!设备或氮《气输:送设备设计备用【装置是为了满—足系统在故障情【况下连续运行保证】主系统的正常运作;!
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: 8 化】学品桶槽用氮气【密封是为了》防止化学品》与空气接触污—染系统?;
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【9, 供应单元的出】口设:自动:和手:动阀是?。控制:。开关的?需要自动阀与监控】系统连接是为了能实!现自动控制》
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3.2.【2 化学品供应单!元设备设计过流量】计和紧急停止按【钮是为了在系—统流:量过大或不符合【工艺要求时系统能】够自:动停机
!3.2.3》 制定《本条规定《的依据?和,。参考:资料如下
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《。。 : 1 滚—筒,。输送台用《于运送20》0L化学品》桶槽;
【
》 2 《补,充单元为封闭柜【体补充单《。元柜体与供应—单元柜体有许多【相似之处所以规定补!充单元的其他—设,。计应:符合本节3》.2:.1条的相关规【定
3】.2.4 压缩空!气是化学品单元【。。柜,体,气动元件《的动力源《
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《3.:2.5 制定【本条规定的依据【和参:考资料如下
【
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【1 化学》品系统?是电子工厂的重【。要支持?系统为保证》系统:不间:。断运行?。循环泵的设计应二】组并联一台备用【;
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, 2》 电子工厂常用】浓度计有超》声波浓度计、电【导式浓?度计:、滴定式浓度计【;
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》 ?。3 : 连续式《是采用流《量计并搭配静态搅】拌,器系统批次式是【采用高精度泵称【并搭配?。循环系统;
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《 4 》 稀释单元为封【闭柜体补充单元柜】体,与,供应单元《柜体有许《多相似之处所以【规定补充单元的其】他设计?应符合本节》3.2.1条的【相关规定
】
3.2.—6 ?可燃溶剂《化学:品供应单元设—计热感应与》火焰探测器是为了】快速发现可燃溶【剂,化学:。品的泄漏及火—灾隐患及时启动二】氧化:碳消防灭火系统【。
—3.2.7 制定!本,条规定的依据—和参考资《料如下
! 1 化学!品储罐用《氮,气密封是为》了防止化学品与【空气接触污染系【统;
】 《2 检修口—与不锈钢爬梯—用于储罐检修—;
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, 3 【为防:止化学品《储罐在非正常情【况下压力过》。高破坏设备规—定氮气输《送时化学品》储罐应设爆破膜、】安全阀等泄》压装置?;
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【 6 为满【足电:子工厂?在工艺系《统,技改时对《化学品的要求—以及在储《。罐,。或系统维修时放【空,储罐规定储罐应预留!必要的管路出—入口并应设》排放口及《排放阀
!3.:。2.8 制定本条!规定的依据和参【考,资料:如下
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》 1 根据【对电子工厂》生产厂?房内设有危险—化学品储存、—分配:间的调查化》。学,品储:罐一般?位于:生产厂房《底,层在各类《化学品?液体:储罐之?间设计防护堤—防护堤是用于储罐】泄漏或检修用围堰】防止化学品外溢【;美国消防协会【。发布的?NFPA 》。31:8洁净室防护标【准第5.1.2条规!。定,“危险化学品的存】贮和分配间》应该有通向批准【位,。置的排?放系统或是》设计储罐围堰用于】储,存,危险化学品溢出【和20?mi:n,的消防用《水,”;现行国》家标准建筑设—计防火规《范GB 5001】6-200》6第4.2.—5条规定“甲—。、乙、丙类液体【的地上?式储:。罐,或储罐?组其:四,周应:设置:不燃烧?体防火堤防火堤的有!效容量不《小于其?中最大?储罐的容量”综合】国内多电子工厂化】学品系统的实际情】况条文规定防火【堤容积应大于堤【内最大储罐容积;
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2 【 为:。防止非燃烧的危害酸!碱性、腐蚀性—化,学品泄漏造》成,的事故规定》酸碱:类化学品、腐蚀性】化学品液体储罐【应设置防《护堤参考第1—款,编制的理《由规定非燃烧—性化学品防护堤【容积应大于堤内最大!储罐容积;
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】3 现行》国家标准石油—化,工企:业设计防火》。规范GB 50【160-2008第!6.2.12条第2!。款和第?6.2.1》。。6,条第3款、第—。4款对可燃》。液体的地上储—罐,。隔堤的设置条件【作了明确的规定参考!上述条款规定—氧化性、腐蚀性【化学品?液,体储罐与可燃溶剂化!学品储罐之间相互】接触引?起化学?反应的可燃溶剂【化学品?储罐之间《应设:置隔堤隔堤》容积应大于隔堤内】。。最大储罐容积的【10:%;
! 4 —。。现,行国家标《准石油化工》企,业设计防火规范G】。。B 5?0160-20【08第6.》2.17条第1款和!第2:款规定“防火—堤及隔堤应能承受】所容纳液体的静【压且不应渗漏—。。;卧式储罐防火【。堤的高度不应低【于500mm—”参考上述》条款内容制定了本】条,款,以上4款为》。强制性条文必经严格!执行
】。。3.2.9 为】将化学品储》存、分配间》内化学品泄漏的影响!减小同时能》够有效回收泄漏的】。化学:品规定?化学品储《存、分配间四—周应设置泄漏废液收!集沟沟?内应:设置:废液:收集池?。
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3.2.1!0 制定本条规】。定的:依据和参《考资料如下
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— 1 为满足电子!工厂在工艺系—统技改时《。对化学品《的要求规定阀门箱】内支管数《量按工艺要求确定】宜预留?。扩充:的管接头;每一【。支,。管应设有《手动阀、自动—阀及排?。液阀这些阀》门的配置是》操作所必须的;
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!3 ?阀门箱的排气—口连接排气处理系】统是一种生命—安,全,及环保措施;
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4 !阀门箱是需要经常】打开的?设备弹簧扣环容易】打开可?。以满足该项操作【功能从安全》角度考虑《规定阀箱承受大于】0,. 01MPa的压!力
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