3.2【 化学品供应设备!
】3.2.1 — 制定本条》规定的依据和参考】资,料如下
】
1— , 电子工厂所用【化学品基本都具【有酸碱?腐蚀、易燃易—爆、有毒《等特性制定“将补充!单元的设备、—管,路应设置于箱—柜内箱柜顶》部宜:装设:高效过滤器”—等规定是出于对生产!与职业生命安全【的考虑将危险性的】设备与化学品—通过封闭《的箱体与生》产,场所分开《;在:美国消防协》会颁布的NFP【A 318洁净室防!护标准5《. 1.5.1中】规定危险化学—品应存?贮在密闭的贮柜【或工作站内;
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【 2 》操,作人:员可以?通过化学品种类等】信息的?条形码读码机了【解系统信息正确与】安,全地:操作系统;
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《
《 3 《设置:清洗和吹扫槽车快速!接头的纯水枪和氮气!枪是为了保证—化学:品系统的洁净由【于有:机溶剂会《与水发生化学—反应规定《有机:溶剂化学品补—充单元不设纯—。水,。枪;
】 4 规定!不同化学品采用不】同型号和不》同尺寸的快速接【头是为了《防止接头误用—造成生?产与安全事故;
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—5 可燃溶—剂化学品供应单元设!置防:静电接地是为—了,消除:设备与管道》产,生的静电杜绝安全】隐患;单元接地【线与桶槽或槽—车连接也《。是为了导《。除其设备产》生的静电;
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: 6 — 美国消防协会【发布的NFPA【 ,318洁《净室防护标准5【.1.5.3—中规定贮柜应该用不!低于18号的钢【材制造门应该是自】闭式:的并设有栓》锁装置;
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7 !。 化学品泵送—设备或氮《气输送设《备设计备用装置是】。为了满?足,系统在故障情况下】连续:运行:保,证主系统《的正常运作;
【。
— 8 化学品!桶槽用氮气密封是】为,了防止化学品与【空气接触污》染系统;
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9 供!应单元的出口设自】动和手动阀是控制】开关的需要自动阀】与监控系统》连接是?为了能实现自动【控制
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》3.:2.2 化学品供!应单元设《。备设计过流量计和】紧急停止按钮—。是为了在系统流量过!大,或不符合工艺要求】时系统能够》自动停机
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3.《2.3 制定本】条规:定的:依据和参考资料如】下
! , 1 滚筒输送台!用于运送《200?L化学品桶槽;
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?。
2— 补充单元—为封闭柜体补—充单元柜体与供应单!元柜体有许》。多相似?之处所以《规定补充单元—。的,其他设计应符合本节!3.2.1条的【相,。关规定
】
3.2.4 】。压缩空气是化学品】。。单元柜体《气动元件的动力源
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》3.2.5 — 制定本条规—定的依据《和参考资料如—下
《
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1 】 化学品系统是电子!。工厂的重要支持系统!为,保证系统不间断运行!循环泵?。的设计应二组—并联一台备用;
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《 2 电子】工厂常用浓度计有】超,声波:浓,度计、电导式浓【。。度计、滴定》式浓:度,计;
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!3 : 连续式是采用【流,量计并?搭配静态搅拌器系】统批次式是采—用高精度泵称—。并搭配循环》系,统,;
】 4 稀释】单元为封闭柜体补充!。单元柜体与》供应单元柜体有许】多相似之《。处所以规定补充单】元的其他设计—应符合本节3—.,2.1条《的相关?规定
》
3.2—.6 可》燃溶剂化《学品供应单》元设计热感应—与火焰探测器是为】了快速发现可燃【溶剂化学品的泄漏及!火灾隐患及时启动二!氧化:碳消:防灭火系统
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3.【2.:7 制定》本条规?定的:依据和参考资—料如下
! 《1 ?化学品储罐用氮【。气密封是《为了防止化学—品与空气接触污染】系,统;
》
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2— 检修口》与不锈钢爬梯用【。于储罐?检修;
!。 3》 为防止化学品储!罐在非正常》情况下?压,力过高破坏设备规】。定氮气输送时化学】品储:罐应:设爆破膜、安—全阀等泄压装置【;
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?
? 6《 为满足》电子工厂在工艺系统!技改:时对化学品的要求以!及在储罐或》系统维修时放空储罐!规定储罐应预留必要!的管路出入口并【应设排放口及排【放,阀
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3:.2.8 —制定本条规》定的依据和参—考资料如《下
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《
1 【 根据?对,电子工厂生》产厂:房内设有《危险化学品储—存,、分:配间的调《查化:学品储?罐一:般位于生产厂房底层!在各类?化,学品:。。。液体储罐《之间设计防护—。堤防护堤是用于储】罐泄漏或检修—用围堰防止化学品外!溢;:美国消防协会发【布,的NFPA 3【18洁净室》防,护标准第5》.1.2条规定【“危险化学》。品的存?贮和分配间应该有通!向批准位置的—排放系统或是设计】储罐:围堰用?于储存危险化学【品溢出和《20min》的消防?用水”;现行国家标!准建筑设计防—火规范GB 500!16-20》06第?4.2.5》条规定?“,。甲,、乙:、丙类?液体的地上式储罐或!储罐组?其,四周应设置不燃烧】。体防火堤《防火堤的有效容量不!。小于其中最大储【罐的容量”》综合国内《多电:子工厂化学品系统】的实:际情况条《文规:定防火堤容积应大】于,堤内最大储罐容积;!
》
: :。 2 为》防止非燃烧的危害】酸碱性、腐蚀—性化学品《泄漏造成的事故规定!酸碱类化学品、【腐蚀性?化学品液体储罐【应设置防《护堤参考第1款【。。编制的?理由规定非燃—烧性化?学品防?护堤:容积应大于》堤内最大储》罐容积;
》
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: 3 — 现行国家标准【。石,油,化工企?业设计防火规范GB! ,50160-2【。008第6.—2.:12条第2款—。和第6?。.2.16条第3款!、第:4款对可《燃液体的地上储【罐隔堤的设置条件作!了明确的规》定参考上述条款【规定:。氧化性、腐蚀—性化学品液》体储罐与可燃溶【剂化学品储罐—。之间相互接触引【起化学反应的—可燃溶剂化学—品储罐?之,间应设置隔堤隔堤容!积应大于《隔堤内最大储罐容】积的10%;—。
】 :。4 现行国家标准!石油化?。工企业设计防火规范!GB:。 5:0160-》20:0,8第6.2》.1:。7条第1款和第2款!规定“防火堤及隔】。堤应能承《受所容纳液体的静】压,且不应渗《漏;卧式储罐—防火:堤的高度不应低于5!00mm”参—考上述?条款内容制定了本条!款以上?4款为强制性—条,文必经严格》执行
《
3.2.9! 为将化学品【储存、分配》间内化学品泄漏【的影响减小同时能】。够有效回收泄—漏的:化学品规定化学【品储存、《分配间四《周应设置《泄漏废液收》。。。。集沟沟内应》设置废液收集池【
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3.—2.10 制【定本条?规定的依据和参【考资料?如下
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— 1? 为满足电—子工厂在工艺—系统技改《时对化学品的—要求规定阀门箱【内支管数量按—工艺要求确》定宜预留扩》充,的管接头;每一支管!应设有手动阀、自动!阀及排液阀这些【阀门的配置》是操作所《。必,须的;
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《 3 》阀门:箱的排气口连接排】气处理?。系统是?一种生命《安全:及环:保措施;
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:。 4《 阀门箱是—。需要经常打开的设备!。弹簧扣环容易打开】可以满足该项操作功!能从安全角度考虑】规定阀箱承受大于】0. 0《1MPa的》压力
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