： 2  术语、缩！略语 【 2.1】  术  》  语？ ： ， 2—.，1.1  化学【品系统 《 ，  chemic】。al sy》stem — ？   ？  电？子工厂中酸碱—化学品、溶剂化学】品、研？磨液：化学品系统的统【。称 ？ 2.1.】2  化学》品供应系统 —   chemic！al suppl】y system】 ？     【。电子工厂中酸碱化学！品、溶剂化学品、】研磨液化学品—。。供应系统管道—与设备的统称 】 2.1【.3  化学品回】收系统   — chemi—cal recl】ai：min？g syste【m  】 ，  电子工厂中【酸碱化学品》、溶剂化《学品、研磨液—化学品回收》系，统管道与设》备的统称 ！ 2.1《.4  化》。学品：槽车    ch】emical— lorry 】。     电！子工厂中用》于运送大用量化【学品的专业车辆【 ？ ：。 2.1.5  化！学品桶槽 》   ？。chem《ical 》conta》i，ner 】。     电—子，工厂中用于储存【化学品？的小容积《容器放置《在化学品储存、【分，。配间的化学品—。单元内部 】 2.1》.6  化学品储罐！    chemi！cal stor】age tank】 ：    【。 ，电子工厂中用于储】存化学品《的大容积容》器固定布《置，在化：学，品，储存、分《配间内 】 2.？1，.7：  ：阀门箱  》。  valve【 mani》f，。old bo—x(：VMB) 》     ！指，。化学品？。通过供应管》道可同时供应—两台或？以上的？生产设备的阀门操】作箱 2！.1.8  分支】阀箱    —te：e box(TB】) ： ，   —。  化学品供—应系统中供应两【个或以上的阀—门箱的管道分配【箱 ？ 2.1【.9  《扩充阀箱    】。future— tee b—ox(FTB) ！  》   化学品—供应系统中用于系】统扩充的设》置于系？。统末端的阀箱 ！。 2.》1.10  取【样阀箱  》  samplin！g ：box？(SB？)  】   指化学品【管道上用于化学品取！样的：。阀门箱体《 》 2.1.1—1  泄漏探测【器 ：   l《eakage 【detec》tor —     【用于探测化》学品单元、化—学品储罐及化学【品阀门箱等设备发生！化学品？泄，漏并给出信号的装】置 — 2.1《.，12：  化学品》监控系统《    chem】ic：al moni【tor 《。and？ contr—。o，l sy《stem — 《    用来对化学！。。品供应？系统化学品回收系统！实现监？控、显？示、报？警、数据收集等【功，能的远程监控系统 ！ ： ？2.1.13  化！学品：。稀，释单元 《。   chem【ical dil】u，tion un【it 》   》  电子工厂的化学！品系统中用纯水【稀，。释高浓度化学品【设备的统《称， ， 《 2.1《.，14  化学品【混合单？元   《 chemica】l mixing】 u：nit 【     —电子工？厂的化学品》。。系，统中作为混》合两种或以上化学品！设备的统称 【 ？ 2.1.15 】 化学品补充—单元    ch】em：ical 》charge u】nit ！    槽车—的化：学品系？统备用供应设备 ！ 2.1【.16  化学【。品供应单元    ！chemi》。cal？ transf【er unit ！ ：     向电】子工厂工艺系—统供应？化，学，。品的设备 ！ 2.1.1—7  化学品单元 ！   c《hemical 】unit —     】化学：品供应系统中化学】品补充单元》、化学品稀释单元、！化，学品混合《单元、化学》品，供应单元等柜—体的统称 】 2.1.1【8  化学品储存】、分配间  —  ch《e，mical》 ，st：o，rage dis】。tribution！ room ！   《。  电？子工业生产厂房【。或独立建(构)筑物！内用：于布置化学品储存、！分，配，设备与系统的房间】的统称 【。 2.1.19 ！。 ，液位：探测器 《 ，  ：level se】nsor 》 ？    》 用于探测》化学品储罐、化【学，品单元内桶槽的液】位，的测量元件 — 2.1】.20  火焰【探测器？    ultra！v，iolet ray！s & infr】a-red r【ays(《U，V／IR《)  】   可燃溶—剂化学品发生—泄漏起火时探测【所产生红外线—。或是紫外线的—。辐，射热感应装置 】