2  【术语、缩略语 ！ ， 2.】。1  ？术   《 语 ？ 【2，.1.？1  化《学，品系统 《 ，  chemic】al sys—t，em — ，    《 电子工厂中酸【碱化学品、溶—剂化学品、研磨【液化学品《系统：的统称 》 ？ 2.1.2 【 ，化学品供应系统  ！  ：chemica【l supply】 syst》。em 《     电！子工厂中酸碱化学品！、，溶剂化？学品、研磨》液化学品供应系【统管道？与设：备的统称 【 2《.1.3《。  化学品回收【系统  《  ch《。em：ical 》reclaimin！g s？yst？em ？    】 电子工厂中酸【碱，化学品、溶剂—化学品、研磨—液化：学，品回收系统管—道与：设备的统称 】 ， 2？.1.4  化【学，品槽车  》  chemic】al lorry ！     ！电子：工厂中用于》运送大用量化—学品的专业车辆【 ， ： 2.1.5 ！ 化学品桶槽—    《c，hemic》al ？contai—ner 【 ，     》电，子工厂？中，用于储存化学品的】小，容，。。积容：器放置在化学—品储存、分配间的化！学品单？元内部 — ： 2.1.》6  ？化学品储罐 —   chemic！a，l stora【ge tan—k， —    电子工厂中！用于储存化学品【的大容积容器固定布！置在化学品储存【、分配间内 ！ ， 2.1.7  阀！门箱：   ？ v：a，。l，ve man—。ifold bo】。x(VM《B) 》   》  指化学》品通：过供应管道》。可同：时供应两台》或，以上的生产设备【的阀门操作箱— 》 2.？1.8  分支阀】箱    tee ！box(TB)【 ： ， ，  ？ ，  化学品供应系统！中供应？两个或？以上的阀门》箱，的管道分配》箱 ： ？ 2.1.9【  扩充阀》。。箱 ： ，  fut》。ure te—e， box(FTB)！ 》   ？  化学品供应系统！中，用于系统扩》充的设置于系统【末端的阀箱 ！ ：。2.1.《10 ？ 取样阀箱    ！samplin【g box(S【B) ？  —  ： ，指化学品管道—上用于化《学品取样《的阀门箱体 ！ ：2.1.《1，1  泄漏》探测器  》。  leaka【ge d《etecto—r —     用于探测！化，学品单元、化学品】储罐及化学品阀【门箱等设备发生化学！品，泄漏并给出信号【的装置 】 2：.1.？1，2  化学品监控系！统  ？  chem—ica？l ：monitor a！nd co》ntr？ol system！    ！ 用来对化学品【供应系统化》学品回收系》统，实现监控、》显示、报警、数据收！。集等：功能的远程监控系】统 《 2.1—.13  化学品】稀释单元   【 chemical！ dilu》tion unit！ 》     电—。子工厂的《化学品系统中用纯】水，稀，释高浓度化学品设】备的：统，称 》 ：2.：1，.1：。4  化学品混【合单元   — c：hemica—l ：mixing— uni《t，  【   电子》工厂的？化学品系统中作为】混合两种或》以，上化学品设备—的统称 — 2.1.1】5  ？化学品？补充单元    】ch：emica》。l cha》rge？ unit 【     】槽车的化《学品系统《备用供应设备 】 2.1.1！6  化学品供【应单：元    c—h，。emical 【transfer】 unit —     ！向，电子工厂工艺系统供！应化学品的设—备 ： 2.1】.17？  化？学，品单元  》  chemica！l u？nit 】     化学【品供应？系统中化学品补【充，单元、化学》品稀释单元、—化学：品混合单元》、化学品供应单【。元等柜体的统称【 2.1！.18  化—学品储存、分—配间   》 chemica】l storage！ dist》ribution ！room ！     电—子工业生《产厂房或独立—建(构？)筑物内用于布置】化学品储存、分配】设备与系统的房【。间的统？称 【2.1.19  液！位探测器 》   l《。。evel sen】sor 】     用于探测！化学品储《罐，、化学品单》元，内，桶，槽的：液位的测量元件【 —2.：1.20  火【焰探测器《 ，   ultrav！。iole《t ：ra：ys & in【fra-《red？ rays(U【V／IR) 】 ： ，。 ，  ： 可燃溶《剂化学品发》生泄漏起火》时探测所产生红【。。外，线或是紫外线的【辐射热？感应装置《 ：