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, 2《  术语、缩—略语: :。 》 2.1  】术    语 ! ? :2.1.1  化】学品系统   【 chemica】l sys》tem 】     电—子工厂?中酸碱化学品、溶】剂化学品、研磨【液化学品《系,统的:统称 ? 2.1.!2  化学品供应系!统    》chemi》。cal sup【ply sys【te:m 《     【电子工厂中酸碱化学!品、溶剂化学—品、研磨液化学【品供应系统管道与】设备的?统称 》。 2.1.【3  化学品回收】系统  《  ch《emical re!claimin【g syste【m 》。   《  :电子工厂中》酸碱:化学品、溶剂化学】品、研磨液化学品回!收系:统管:道与:设备:的统称 《 2.1.!4  化学品槽车】 ,   ch》。emic《。al lorry !    】 ,电子工厂中用于运】。送大:用量化学品的—专业车辆 【 ?2.1.5  化】学品桶槽    c!。h,emical c】。ontainer ! :  《   电子工—厂,中用于储存化学品】的小容积容器放置在!化学品储《存、分配《间的化学品》单,。。元内部 】 2.1.6—  化学品储罐 】   c《hemi《cal sto【rage tan】k —     电子工】厂中用于储存—化学:品的大?容积容器固》定,布置在化学》品储存?、分:配间:。内 — 2.1.7  阀!门箱    va】lve manif!o,ld ?bo:x(:VMB) !    《 指化学品通过【供应:管道可同时供应两台!或,以上的生产设—备的阀门操作箱 】 2.【1.8  分支阀箱!    t》ee bo》x(TB《)   !  化?。学品供应系》统中:供应两?个或以上的阀—门箱的管道分—配箱 ?。 , ?。 2.1《.,。9  扩充阀箱【    fut【。ur:e te《e box(FTB!) : , 《   ? ,化学品供应系统中用!于系统?扩充的设置于系统】末端的阀《箱 【2.1.10—  取样阀箱—    sam【pling》 box(SB【) ?     指!化学品管道上用于化!学品取样的阀—门箱体 》 2》.1.?11  泄》漏探测器    】leakage 】detecto【r 《     【用于探测化学品单元!、,化学品储《罐及化?学品阀门箱等设备发!生化学品泄漏并给出!信,号的装置 ! ,2.1.12  】化,学品监控系统—   ? che《mical —moni《tor and【 co?ntrol s【ystem》 : 《    用来对化】学,品供应系统》化学品回收系统实现!监控、?显示、报警、数据收!集等功能的远—程监控系统 — 《 2.1《.13 《 化学品稀》释单元    ch!em:ic:al ?diluti—on unit【 《     电子】工厂:。的化学品系统中用】纯水稀释高浓度化学!品,。设备的统称 — , , 2《.1.14  化学!品混合单元    !chemi》cal m》ixi?ng ?unit 【     电子!工厂的化学品—系统:中作为?混合两种《或以上化《学品设备的统—称, 2.】1.15 》 化学品《补,充单元?    che【mical cha!r,ge u《n,it 】   ? 槽车的化学—品系统备用供应设】备 : ? 2.《1.16《  化学品供应单元!    《chemi》。cal 《transfer !unit !     》向电子工厂工—艺,系,统供应化《学品的设备 【 2》.,1.17  化【学品单?元    》c,hemical u!nit 【     化【。学品供应系统中【。化学品?补充单元《。、,化,学品稀?释单元、化学品混合!单元、化学品供应】。单元等柜体》的统:称 》 2.1.18】 , 化学品《储存:、分配间    】。chemical】 storage !distribut!ion 《ro:om:   】  电子《工业生产厂房或【独,立建(构)》筑物内用于布置【化,学品储存《、分配设备与系统】的房间的统称 !。 2《.1.19  液位!探测器 《   l《evel se【ns:or —     用【。于探测化学品储罐】、,化学品单《元内桶槽《的液位的测量元【件 【2.1.20  火!焰探测器   【 ,ultravi【。olet rays! ,& infra-】re:d rays(【UV/IR》)  】   ?可燃溶?剂化学?品发生泄漏起火【时探测所产生红【外线或是紫外线的】。辐射热感应装置 !