2  术】语、：缩略语 ！ ？ 2.1  术【  ：  语？ ： 2.1！.1  化学品系】统  ？  ch《e，mical sys！tem —   》  电？子工厂中酸碱化学品！、溶剂？化学品？、研磨？液化学品系统的统】称 — 2.1《.2  化学品供应！系统：  ：  chem—。i，cal suppl！y sy《stem 》     ！电子工厂中酸碱化学！品、溶？剂化学品《、研磨液化》学，品供应系统管道与】设备的统《称 2.！1.3  》化学品回收系统 】   ch》emical r】ecl？。aimi《n，g sy《ste？m   ！  电子工厂中酸】碱化学品、溶剂化学！品、研磨液化学品回！收系统管道与—设备的统称》 《 2.《1.4  化学品槽！车    ch【em：ical lo【rry ！    电子工厂中！用于运送大用量化学！品，。的专业？。车辆 【 2.1.5 【 化学品桶》槽    chem！ical《 co？ntainer【   】。  电子工厂中用】于储：存化：学品的小容积容器】放置在化学品—储存、分配》间的化学《品单元内部 【。 2.1.6！  化学品储—罐    chem！i，cal sto【rage tan】k 【    电子工【厂中用于储存化【学品的大容积容器固！定布置在化学—品储存、分配间内 ！ ： 2.1.7 ！。。 阀门箱   【 valv》e ma《nifold bo！x(VMB》) —     指化学】品通过供应管道【可同时？供应两台或》以上的生产设备【的阀门操作》箱 ？ ， ？2.1.《8 ： ，分，支阀箱   — ，tee b》。ox(TB)— ：   —  化学品供—应系统中供应两个】或，以，上的阀门箱的—管道分？配，箱 2】.1.9  扩充】。。阀箱    f【uture》 t：ee box(F】TB：)  】  ： ，化学：品供应系《统中用于系》统扩充的设》置，于系统末端的阀【。箱 【2.1.《10  取样阀箱 ！ ，  sam》pling b【ox(SB) 【    】。 指化学品管道上用！于化学品取》样的：阀门箱体 】 2.《1.1？1  泄《漏探：测器 ？   l《eaka《ge de》tector ！     用】于探测化学品单元、！化学品储罐及化【学品阀门箱等设【备发生化学》。品泄：。漏并：。给出信？号的装置 》 》2.1.12 【 化学品监控系统 ！   che—mica《l ：。monitor【 ，and cont】rol sy—stem — ？     用—来对化学品供应系】统化学品回收系统实！现监控？、显：示、报警、数—据收：集等功能的》远程监控系统 】 2.—。1.13《  化学品稀释【单，元    ch【emica》。l dilu—tion 》unit 】 ：    电子工厂】的化学品系》统中用纯水》稀释高浓度》化学品设备的统称】 ： 《2.1.14  】化学品混合单元【    chemi！ca：。l m？ixing uni！t， ？    —。 电子？。。工厂的化学品系【统，中作为混合两种或以！上化：学品设备的统称【。 ： ， ， ， ，2.1.15 【 ，化学品补充单元 】  ： ch？emical 【char《ge u《nit 】     槽—。车的化学品系—统备用供应设备【 ？ ？2.：1.16  —化学：品供应？单元    —c，hemical【 t：r，ansf《er uni—t ？。 ， ，     —向电子工厂工—艺系统供应化学【。品的：设备：。 2.】1.17  化学品！单元    ch】emica》l unit ！ ：   ？  化学品供—应系统中《化，学品补充单元、化】学品稀？释单元、化学品混】合单元、化学—品供应单元等柜体的！统称 【 2.1.》18  化学品储存！。、分配间    c！hemical【 storage】 distri【buti《on ？ro：om —     电子工！业生产厂《房或独立建(构)筑！物内用于布置化【。学，品，储存、分配设备【与系：统的房间《的，统称： 》 2.1.19 】 液位探《。测器   》 lev《el sens【or ？ 《     用于【探测化学品储罐、】化学：。品单：元内桶？槽的液？位的测量元件 ！ ： 2.1《.，20  火焰—探测器  》  u？l，travi》ole？t rays 【& ：infra-—red rays】(UV／IR—) ： ？     可【燃溶剂化《。学品：发生泄漏起火时探】测，所产生红外线或是紫！外线的辐射热—感应装置 —