2 术】语、:缩略语
!
?
2.1 术【 : 语?
:
2.1!.1 化学品系】统 ? ch《e,mical sys!tem
—
》 电?子工厂中酸碱化学品!、溶剂?化学品?、研磨?液化学品系统的统】称
—
2.1《.2 化学品供应!系统: : chem—。i,cal suppl!y sy《stem
》
!电子工厂中酸碱化学!品、溶?剂化学品《、研磨液化》学,品供应系统管道与】设备的统《称
2.!1.3 》化学品回收系统 】 ch》emical r】ecl?。aimi《n,g sy《ste?m
! 电子工厂中酸】碱化学品、溶剂化学!品、研磨液化学品回!收系统管道与—设备的统称》
《
2.《1.4 化学品槽!车 ch【em:ical lo【rry
! 电子工厂中!用于运送大用量化学!品,。的专业?。车辆
【
2.1.5 【 化学品桶》槽 chem!ical《 co?ntainer【
】。 电子工厂中用】于储:存化:学品的小容积容器】放置在化学品—储存、分配》间的化学《品单元内部
【。
2.1.6! 化学品储—罐 chem!i,cal sto【rage tan】k
【 电子工【厂中用于储存化【学品的大容积容器固!定布置在化学—品储存、分配间内
!
:
2.1.7 !。。 阀门箱 【 valv》e ma《nifold bo!x(VMB》)
—
指化学】品通过供应管道【可同时?供应两台或》以上的生产设备【的阀门操作》箱
?
,
?2.1.《8 : ,分,支阀箱 — ,tee b》。ox(TB)—
:
— 化学品供—应系统中供应两个】或,以,上的阀门箱的—管道分?配,箱
2】.1.9 扩充】。。阀箱 f【uture》 t:ee box(F】TB:)
】 : ,化学:品供应系《统中用于系》统扩充的设》置,于系统末端的阀【。箱
【2.1.《10 取样阀箱 ! , sam》pling b【ox(SB)
【
】。 指化学品管道上用!于化学品取》样的:阀门箱体
】
2.《1.1?1 泄《漏探:测器 ? l《eaka《ge de》tector
!
用】于探测化学品单元、!化学品储罐及化【学品阀门箱等设【备发生化学》。品泄:。漏并:。给出信?号的装置
》
》2.1.12 【 化学品监控系统 ! che—mica《l :。monitor【 ,and cont】rol sy—stem
—
?
用—来对化学品供应系】统化学品回收系统实!现监控?、显:示、报警、数—据收:集等功能的》远程监控系统
】
2.—。1.13《 化学品稀释【单,元 ch【emica》。l dilu—tion 》unit
】
: 电子工厂】的化学品系》统中用纯水》稀释高浓度》化学品设备的统称】
:
《2.1.14 】化学品混合单元【 chemi!ca:。l m?ixing uni!t,
?
—。 电子?。。工厂的化学品系【统,中作为混合两种或以!上化:学品设备的统称【。
:
,
,
,
,2.1.15 【 ,化学品补充单元 】 : ch?emical 【char《ge u《nit
】
槽—。车的化学品系—统备用供应设备【
?
?2.:1.16 —化学:品供应?单元 —c,hemical【 t:r,ansf《er uni—t
?。
,
,
—向电子工厂工—艺系统供应化学【。品的:设备:。
2.】1.17 化学品!单元 ch】emica》l unit
!
:
? 化学品供—应系统中《化,学品补充单元、化】学品稀?释单元、化学品混】合单元、化学—品供应单元等柜体的!统称
【
2.1.》18 化学品储存!。、分配间 c!hemical【 storage】 distri【buti《on ?ro:om
—
电子工!业生产厂《房或独立建(构)筑!物内用于布置化【。学,品,储存、分配设备【与系:统的房间《的,统称:
》
2.1.19 】 液位探《。测器 》 lev《el sens【or
?
《
用于【探测化学品储罐、】化学:。品单:元内桶?槽的液?位的测量元件
!
:
2.1《.,20 火焰—探测器 》 u?l,travi》ole?t rays 【& :infra-—red rays】(UV/IR—)
:
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可【燃溶剂化《。学品:发生泄漏起火时探】测,所产生红外线或是紫!外线的辐射热—感应装置
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