,
2《 术语、缩—略语:
:。
》
2.1 】术 语
!
?
:2.1.1 化】学品系统 【 chemica】l sys》tem
】
电—子工厂?中酸碱化学品、溶】剂化学品、研磨【液化学品《系,统的:统称
?
2.1.!2 化学品供应系!统 》chemi》。cal sup【ply sys【te:m
《
【电子工厂中酸碱化学!品、溶剂化学—品、研磨液化学【品供应系统管道与】设备的?统称
》。
2.1.【3 化学品回收】系统 《 ch《emical re!claimin【g syste【m
》。
《 :电子工厂中》酸碱:化学品、溶剂化学】品、研磨液化学品回!收系:统管:道与:设备:的统称
《
2.1.!4 化学品槽车】 , ch》。emic《。al lorry
!
】 ,电子工厂中用于运】。送大:用量化学品的—专业车辆
【
?2.1.5 化】学品桶槽 c!。h,emical c】。ontainer
!
:
《 电子工—厂,中用于储存化学品】的小容积容器放置在!化学品储《存、分配《间的化学品》单,。。元内部
】
2.1.6— 化学品储罐 】 c《hemi《cal sto【rage tan】k
—
电子工】厂中用于储存—化学:品的大?容积容器固》定,布置在化学》品储存?、分:配间:。内
—
2.1.7 阀!门箱 va】lve manif!o,ld ?bo:x(:VMB)
!
《 指化学品通过【供应:管道可同时供应两台!或,以上的生产设—备的阀门操作箱
】
2.【1.8 分支阀箱! t》ee bo》x(TB《)
! 化?。学品供应系》统中:供应两?个或以上的阀—门箱的管道分—配箱
?。
,
?。
2.1《.,。9 扩充阀箱【 fut【。ur:e te《e box(FTB!)
:
,
《 ? ,化学品供应系统中用!于系统?扩充的设置于系统】末端的阀《箱
【2.1.10— 取样阀箱— sam【pling》 box(SB【)
?
指!化学品管道上用于化!学品取样的阀—门箱体
》
2》.1.?11 泄》漏探测器 】leakage 】detecto【r
《
【用于探测化学品单元!、,化学品储《罐及化?学品阀门箱等设备发!生化学品泄漏并给出!信,号的装置
!
,2.1.12 】化,学品监控系统— ? che《mical —moni《tor and【 co?ntrol s【ystem》
:
《 用来对化】学,品供应系统》化学品回收系统实现!监控、?显示、报警、数据收!集等功能的远—程监控系统
—
《
2.1《.13 《 化学品稀》释单元 ch!em:ic:al ?diluti—on unit【
《
电子】工厂:。的化学品系统中用】纯水稀释高浓度化学!品,。设备的统称
—
,
,
2《.1.14 化学!品混合单元 !chemi》cal m》ixi?ng ?unit
【
电子!工厂的化学品—系统:中作为?混合两种《或以上化《学品设备的统—称,
2.】1.15 》 化学品《补,充单元? che【mical cha!r,ge u《n,it
】 ? 槽车的化学—品系统备用供应设】备
:
?
2.《1.16《 化学品供应单元! 《chemi》。cal 《transfer !unit
!
》向电子工厂工—艺,系,统供应化《学品的设备
【
2》.,1.17 化【学品单?元 》c,hemical u!nit
【
化【。学品供应系统中【。化学品?补充单元《。、,化,学品稀?释单元、化学品混合!单元、化学品供应】。单元等柜体》的统:称
》
2.1.18】 , 化学品《储存:、分配间 】。chemical】 storage !distribut!ion 《ro:om:
】 电子《工业生产厂房或【独,立建(构)》筑物内用于布置【化,学品储存《、分配设备与系统】的房间的统称
!。
2《.1.19 液位!探测器 《 l《evel se【ns:or
—
用【。于探测化学品储罐】、,化学品单《元内桶槽《的液位的测量元【件
【2.1.20 火!焰探测器 【 ,ultravi【。olet rays! ,& infra-】re:d rays(【UV/IR》)
】 ?可燃溶?剂化学?品发生泄漏起火【时探测所产生红【外线或是紫外线的】。辐射热感应装置
!