。 《2，  术语、》缩略语 ！ ， 2.1  术！    语 — ：。 2.1】.1  化学品系】统    ch【emical sy！st：em 【    《 电：。子工厂中酸碱化【。学品、溶剂化—学品、研磨液化【。学品系统的统称 ！。 2.1.】2，  化？学品供应系统—    ch—emical s】upp？。ly ？system 【 《  ：  ： 电子？工，厂中：酸碱化学品、溶【剂化学品、研磨【液化学品供应—系统管？道与设备的统称 】 》2，.1.3《  化学品回收系统！   ？ ，chemic—al rec—laim《ing sys【。tem —     电子！工厂：中酸碱化学品、溶】剂化：学品、研磨液—化学品回《。收系统管道》与设备的统称— 》 2.1.》4  ？化学：。品槽车   — chem》ical lo【rry ！。   ？ 电子工厂中—用，于运：送大用量化学品的专！业车辆 ！2.1.5 — 化学？品桶槽   — chemi—cal 《container！    ！ 电子？工厂中用于》储存化？。学品的？。。小容：积容器放置》在化学品储存、【分，配间的化学品单元内！部 》。 2.1.—6 ： 化学品《储，罐    chem！ical 》storage【 tank —     ！电子工厂中用于【。储存化学品的大容】积容器？固定布置在化学品储！。存、分配《间内 2！.1：.7  阀门—箱    》。valve —manifol【d box(—VM：B) 【     指化学】品通过供应管道【可同时供应两台或】以上的生产设备的】阀门操作箱 ！ ：2.1？.8  分支阀箱】。。 ，   t《ee b《ox(T《B)： —    化学—品供应系统》。中供应两《个或以上的阀—门，箱的：管，道分配箱 】 2.1.9  ！扩充阀？。。箱    futu！re te》e box(FT】B)  ！ ，  化学品供应【。系统中用于系统扩】充，的设置于系统末端】的阀箱 【 2.《1.10 》 取样阀箱    ！sampling ！bo：x(SB《) 【  ：  指？化学品管《。道上：用于化学品》取样的阀门箱体【。 —2.1.《11  泄漏—探测器    le！。akage det！ect？or 【。     》用于探？测化学品单》元、化？学品储罐及化学【品阀：门箱等设备发生【化学品泄《漏并给出信号的【装置 ？ 2.1.！1，2 ： 化：学品监控系统   ！ che《m，i，cal mon【itor a—nd contro！l s？ys：t，e，。m 》 ： ，   用来对化【学品供应系统化学】品，回收系统实现监【控、显示、报警、数！据收集等《功能的远程监控系统！ 2.】1.13《  化学品》。稀释单元  —  che》mica《l ：dilution】 unit ！   《  ：电子工厂的化学【品系统中用》纯水稀释高浓度化】学品设备的统称 】 2—.，。1.：。14  《化，学品混合单元—    che【mical》 mi？xing unit！ 《     电子】工厂的化《学品：系统中作为混合【两种或以上化学品设！备的统称 》 2.【1.15 》 化学品补充—单元    che！mic？al charg】。e ：un：it 》 ：    《 槽车的化学—品系统备用供应设备！。 《 2.1》.16  化学品】供，应单元    c】hemi《ca：l transf】er ？u，ni：t 》     向【。电子工厂《工，艺系统供《应化学品的设备【 2.1！.，17：  化学品单元  ！  ：chemic—al u《。n，it  ！ ，  化学《。品供应系统中—。化学品补《充单元？、化学品稀释单元】、化学品《混合单元、》化，学，品供应单《元等柜体的统称【 ？ 2.1.1】8，  ：化学：品储：存、分配间  【  c？hemical【 storag【e distr【ibution【 room 【  》   ？电，子工业生产厂房【或独立建(构)筑】物内：用于：布置化学品储存【、分配设备与系统】。的房间的统称— 》 2.？1.19  液【位探测器  —  level【 sensor ！   —  用于探测化【学品储罐、化—学品单元《内桶槽的液位—的测量元《件 》 ， 2.1.20 】 火焰探测器   ！ u：ltravio【let ray【s &？ infra-r】ed： rays(—UV／IR) 【 《  ：   可燃溶剂化】学品：发生泄漏起火时探】测，。所产生红《外线或是紫外线【的辐射热感》应装置 》