， 2  术语、！缩略语 — ， ： ： 2.1  【术    》语 ？ 2【.1.1  化学品！系统 ？   ？chemical ！。system 【 ， ：     电子】工厂中酸碱》化学品、溶剂化【学，品、研磨《液化学？。品系统的统称 ！ ？。2.1.2  【化学品供应》系统：    chemi！cal sup【p，ly sy》stem ！     电子工厂！中酸碱化学品、溶】剂化学品、研磨液】化学品供应系统管道！与设备的《。统，称 — ，2.1.3  【化学品？。回收系统 》   chemic！al rec—。l，aim？。ing syste！m 《 ： ，   ？ 电子工厂中酸碱化！学品、溶剂化—学品、研磨液化【学品回收系统管【道与设备的》。统称 》 ， 2.《。1.4  化学品】槽车：   ？ chemica】。l lorr—。y  】 ，  电？子工厂中用》于运：送大用量《化学品的专业车辆】 2.1！.，5  化学品桶【槽   《。 chem》ical 》contai—ner 【    》。 电子工厂中用【于储存？化学品？。的，小，容积：容器放置在化—学品储存《、，分配间的《化学品单元内部【 ： ： 2.《1.6  化学品】储罐   》。 chemica】l stora【ge tan—k ：     ！电子工厂中用于储】存化学品《的大：容，积，容器固定布置在化】学品储存、》分，配间内 《 2.1】.7  阀门箱【  ：  v？alve ma【nifold b】。o，x(V？MB) —     指化！学品通过供应—管道可同《时供应两《台或以上的》生，产设备的阀门—操作箱 — 2.1.8 ！ 分支阀箱》    tee b！ox(TB) 】 《    化》学品供？应系统中供》应两个或以上—的阀门箱的管道分配！。。箱 【2.1.9  扩】充阀箱    fu！ture tee ！box(FTB)】 《。。 ，     化学【。品供应系统中—用于系？。统扩：充的：设置于？系统末端的阀箱 ！ 2.—1.10  取样阀！箱   《 ，sampli—ng bo》x(SB)》。 ？     【指化学品管道上用于！化，学，。品，取样：的阀门箱体 】。 2.1—.11  》泄漏探测器》 ， ，  leak—age 《d，etect》or： 《  ？  ： ，用，于探测化学品—单元、？化，学品储罐及化—学品阀门箱等—设备：发生化学《品泄漏？并给出信号的装置】。 ：。。 2.—。1.12 》。 ，化学：品监控系统》    chem】ical《 moni》tor and【 control】 syste—m 》。 ：    用》来对化学品供应系统！化学品回《收系统实现监控、】。显示、报《警、数据收集等【。功能的远程监—控，系统 】2.：1，.13  化—。学品稀释单元  】  che》mica《l dil》ution》 unit 【 ？  ：。   电子》工厂的？化，学品系统中用纯【水稀释？高浓度化学品设【备的统称 ！ 2.1.14【  化？学，品混：合，单元    ch】e，mical mix！i，ng： unit》 ？。 ？   ？ 电子工厂的化【学品系统中作为混】合两种或以》上化学品设备的统称！ ： ，。 2.》1.15 》 ，化学品补充单元【    《che？mical c【ha：rge unit ！  —   槽车的化学】品系：统，备用供应设备 】。 ？ 2.1.16  ！。化学品供《应单元  》  c？he：m，。i，cal tr—a，nsfer —uni？t ： 《     》向电子工厂工艺系】统供应化学品的【设备 】2.1.1》7，  化？学品单？元    che】mi：cal unit ！ ：     化】学品供应《系统中化学品补充】单元：、化学品稀》释单元、化学—品混合单《元、化学品供—应单元等柜体的统称！ 2.】1.18  —化学品储存、—分配：间  ？ ， chem》ical sto】r，a，ge distr】ibution【 r：oom？ ？  《   电子工业生产！厂房或独《立建：(构)筑物》内用于布置化—学品储存、分—配设：备与系统《的房间的统称 ！ ？2.1.1》9  ？液位探？测器    —level sen！sor 】     用—于探测化《学品储罐、化—学，。品单元内桶槽—的液：位的测量元件 ！ 2.1.【20  火》焰探测器  — ，。 ultr》aviole—t， ray《s & infr】a-red》 r：ay：。s(：UV：／IR)《 ： ：。     —可，燃溶剂化《学品发生泄》漏，起火时探测所产生红！。外线或是紫外线【的辐射热感应—装置： ：