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2》  术语《、缩略语 ! 2.1】  术    【语 : 》。 2.1.1  !化学品?系统    c【hemic》al syst【。em ? ,   — ,。 电子工厂》中酸碱化学》品、溶剂化学—品,、研磨?液化学品系统的统称! 《 2.1.2  !化学品供应》系统 ?   chemi】cal sup【ply 《s,ystem》。  【   电《子工厂中酸碱化学品!、溶剂?。化学品、研》磨液化学品供应系】统管道与设备的统称! 》 2.1.3  】化学品回收》系统 ?   chem【ical《。 rec《laim《ing sy—。stem —     电!子工:厂中酸碱化学—品、溶剂化学品、研!磨液:化学品?。回收系统管道与【设,备的统称 — ? 2.1《.4:。  化学品槽—车    ch【emical— lorry 【     !。电子工厂中用于【运送大用量化—学品的专业车—辆 》 2.《1,.,。5 : 化学?品桶槽?    che【m,ical con】t,aine《r  】。 ,  电子工厂中【用于储存化》学,品的小容积容器放】置在化学品储存、分!配间的化《。学,品单元内部 【 2.1.】6  ?化学品储罐  【  chem—ical s—torage ta!nk  !  : 电子工厂中—用,于储存化学》品,的大:。容积容器《固定布置在化学【品储:存、分配间》内 ? ? 2.1.7  】阀,门箱    val!ve ma》nifold— ,box(V》MB) —     指】化学品通过供—。应管道?。可同时?供,应两台或以上的生产!设备的阀门操—作箱 — , ,2.1.8  分支!阀箱    te】e box(T【B) —    》。 化学品供》应系统中《供应两个或以—。上的阀门箱的—管道分配箱 ! 2.1.9【  扩充阀箱  】  future】 tee bo【x(F?T,。B) 》 ?  :  化学《。。品,。供应系统中用于系】统扩充的设置于系】统末端的《阀,箱 》 2.《1,.10?。  取?样阀:。箱    》sampli—。ng box(SB!) 【    指化学品管!道,上用于化学》品取:样的阀门《箱体 ? 》2.1.《11  泄漏—探测器  》  leakag】e detec【tor 《   【  用于探》测化学?品单元、化学品储罐!及化学品阀门—箱等设备发》生化:学品泄漏并给出信号!的,装置 》 2.》1.12《  化学品监控系】统  ? , ,chemi》cal moni】to:r :and con【。trol syst!em 》     用】来对化学《品供应系统》化学品回收系统实现!监控、显示、报【警、数据收集等功能!的远程监控系统 】 ? 2.1》.13  》化学品稀释单—元    c—hemica—l dilu—tion unit! 《     电【子工厂的化学品【系统中用纯水稀释】高浓度化学品—。设备的统称 【 2》。.1.1《4 : ,化学品混合单元【    c》hemi《cal mi—xing un【it —     电【。子工:。厂的化?学品:系,统中作为混合—两,种或以上化学品设】备的统?称 【2.1.《15  《化学品补充单元  !  chemic】al char【ge u《nit !  :  槽?车的化学品》系,统备用供应设备 】 《 2.1《.16 《 化学品供应单元】。    chem】i,cal trans!fer unit】。   】  向电子》工厂工艺系统供【应化学品《的设备 《 》2.1.17—  化学品单元  !  chemic】al unit 】 : :     化学品供!应系统中化学品【补充:单元、化学品稀释】单元、化学品混【。合单元、化学—品供应单《元等:柜体:的统称 】 2.1《.18  》化学品储存、分配】间    ch【em:ical 》sto?rage di【stri《bution r】oom 《 》   ? ,电子工?。业生产厂《房或独立建》(构)筑《物内用于布置化【学品储?存、分配设》备与:系统的房间》的统称 【 2.1.—19: , ,液位:探测器 《   leve【l sens—or —  ?   用于探测化】学品储罐、化—学品单元内桶槽的】液位的?测量元?件 》。 2.1.20】  火焰《探测器 《 ,  ultrav】iolet r【ays? & infra-!re:d rays(UV!/IR) 】   《  可燃溶》剂化学品发生泄漏】起火时?探测:。所产生红外线—或是紫?外,线的辐射热感—应,装置 《