2  术】语、缩略语》 】 2.1  【。术    语— 】2.1.1》  化学品》系统   》 chem》i，cal sys【tem — ，    》 电子工厂》中酸碱？化学品、溶剂化学品！、研磨液化学—品系统的统称 ！ ， 2.1.2 】 化学品供应系【统    che】m，ical s—。u，pply 》sys？tem 》     】电子工厂中酸碱化】。学品、溶剂》化学：品、研磨液化学品】供，应系统？管道与？设备的统《称 2】.1.3  化学】品，回收系统    c！hemical【 ，recla》iming sys！tem 《   【  电子工厂中酸】碱化学品、溶剂化学！品、研磨液化学品回！收系统管道与设【备的统称 【。 2.1.4】  化学品槽车 】   chemic！al lorr【y 《。 ，     电子工！厂中：用于运送大用量化】学品的专业车—辆 》 ：2.1.5 — 化：学品桶槽 》   ？chem《ic：al contai！ner —     电子！工厂中？用于储存化》学品的小《容积：容，器放置在化学—品储存、分配间【的化学品单元内部 ！ 2.1.！6 ： 化学品储罐  】 ，。 c：hem？ical 》。storage 】tank 【 ，     —电子工厂中用于储存！化学品的《。大容积容器固—定布置在化学品【储存、分《配间内？ 》 2.1《.7  阀》门箱    v【alve《 manifol】d box》(VMB《) ？ ，     指化！学品通过供》应管：道可同？时供应两台或以上的！生产设备《的阀门操作箱 【。 》2.1.8  分支！阀箱：    tee 】box(《TB) 《 ：  《  ： 化学品《。供应系统《中供应两个或—以上的？阀，门箱的管《道分配？箱 》 2.1.9【。  扩充阀箱 【  ： future【 tee box】(F：TB) 】     化学品供！应，系统中用于系统扩充！的设置？于系统末端的阀箱 ！。 ： 2.》1，.10  》。取样阀箱   【 sampling！。 box(》。SB) 》。 《    指化学品】管道上用于》化学品取样》的阀门？箱体 】2.1.11  泄！漏探测器《    le—akage d【ete？cto？r ： ？    》 用于探测》化学品单元》。、化学品《储罐及化学品阀门箱！等设备发《。生化：学，品泄：漏并给出信号—的装置？ 》 2.1.》12  化学—品监控系《统    c—hemica—l moni—tor 《and？ co？ntr？ol syst【e，m ？  》   ？用来对化《学，品供应系统化学品】回收：系统实现监控—、，显示、报《警、数据收》集等功能的》远程监控系》统 — 2.1.1—3  化《学品稀释单元—    《ch：emical 【dilu《tio？n unit 】。 ？     电—子工厂的化学品【系统中用纯水—稀释高浓度化学品设！备的：统称： ， ： ？2.1.1》4  化学品混合】单元    —chemica【l mixing ！unit《 《     —电子工厂《。的，化学品系统中作为混！合，。两种或以上化学品设！。备的统称 — 2.1.】。。15  化学—。品补充单元 —   ？c，hemi《。cal c》harge u【nit ！  ：  槽？车的：化，学，品系统备用供应【设备 【 2.1.16 】 化学品《供应单元    】che？mical tr】ansfer un！it 】    向电子工厂！工艺系？统供应化学》品的设备 【 2.1—.17  化学品单！元    》che？。mi：cal uni【t 》 ，   ？  化学品供—应系统中《化学品？补充单元、化学品】稀释单元、化学品混！合单元、化》学品供应单元等柜】体的统称 【 2.1.【。18  化学品储存！、分：配间：    chem】ica？l ：storage【 distri【。bution r】oom？  【   电子工业生产！厂房或？独立建(构)筑物内！用于布置化学品【储存、？分配设备与系统的】房间：。的统称？ 》 2.1.》19  《液位：。探测器  》  le《vel sens】or 《     用！于，探测化学品储—罐、化学品》单元内桶槽的液【位的测量《元件 【 2.1.20【  火焰探测器  ！  ultrav】iole《t rays & ！infr《a-：red rays(！UV／IR) ！   》  可燃溶剂化学品！发生泄漏起火时探测！所，产，生红外线或是紫外线！的辐射热《感应装置 —