2  【术语、缩略语 】。 — 2.1  术 ！   语 — 2.1！.1  化学品系统！    《chemic—al syste】m —   ？ ， 电子工厂中酸碱】化学品、溶剂—化学品？、研磨液化学品系】统的统称《 2【.1.2 》 ，化学品供应系统【    chemi！cal sup【ply syste！m 》 ， ， ，  ： 电子工厂中酸碱】。化学品？。、溶剂化《学品、研磨液—化学品供应系统【管道：与设备的统称— ？ 2.》1.：。3，。。  化学品回—。收系统    ch！。emi？cal r》ecla《iming》 syst》。e，m   ！。 ， 电子工厂中酸碱】化学品、溶剂化学】品、研？磨液化学《。品回收系统管—道与设备的统称 ！ ， ？2.1.4  化学！品槽车  》  chem—ical lo【rry？    ！ 电子工厂中用于】运送大用量化学【品的专业车辆 【 2—.1.5  化学】品桶槽    ch！e，m，。ical con】ta：iner 》    】 电子工《厂中用于《储存化学品》的小容积容器放【置，在化学品储》存、分配间》的化学品单元内【部 2.！1.6  化—学，品储罐？ ，   c《hemica—。l sto》rage ta【nk 【。     》电子工厂中用于【储存化？学品的？大容积？容，器，固定布置在化学【品储存、分配—间内： 》 2.1.7 【。。 阀门箱   【 valve ma！nifo《ld box(【VMB)《 ：     】指化：学品通过供应管道】。可同时供应两—台或：以上的生产设备【的阀门操作》箱 《 ， 2.《。1.8 《 分支阀箱》   ？ tee bo【x，(，TB) 《。 ？     化学】。品供应系统中—。供应两？个或以？。上的阀门箱的管【道分配箱 【 2.》1.9  扩充【阀箱 ？   fu》tu：re： tee box】(F：TB) 【。   《  化学品供—应系：统中用于系》统扩充的设置于【系统末端的》阀箱 ？ 》2.1.10 【 取样阀箱    ！sampling】 b：ox：(SB)《   】  指化学品管道上！用，于，化学品取样的阀门箱！体 ： 2.1.！11  泄漏探【测器    l【eakage 【detec》tor 【     用【于探测化学品单元、！化学：。品储罐及化学品阀】门箱等设备发生化】学品泄漏《并给出信《号的装置 》 2.【1.12 》 化学品《监控系统    c！hemic》。al moni【to：r and c【ontrol s】yst？em 》     用】来对化学品供—应系：统，化学品回收系统【实现：监控、显《示，、报警、数据—收集等功能的远程】监控系统《。。 2【.1.1《3 ： 化学品稀释—单，元    chem！ical dil】ution un】it 】 ，   电《子工厂的化学—品系：统中用纯《水稀：释，高浓度化《。学品设备的统称 】 ， ： 2.1.14】  ：。化学品混合单元  ！ ， chem》ical mixi！ng ？unit 】     电子】。工厂的化《学品系统中作为混】合两种或以上化【学品设备的》统称 》 2.》1.15 》 化学品补充单元 ！   c《hemica—。l ch《arge uni】t 《  《   槽车的化学】品系：统备用供应设备 ！ ： 2.1.16】  化学品供—应单元    c】hemical 】transfer ！u，ni：t 【。   ？ 向电子工厂工艺系！统供应化学》品的设备 ！ 2.？1.1？7 ： 化学品《单元    —chemic—al un》it 】    《化学品供应系统中化！学品补充单元、【化学品稀释》单元、化学品混合】单元、化学品供【应，单元等柜《体的统称 — 2.1【.18  化—学品储？存、分配间 —。   c《hemic》al storag！e distri】buti《on： room 】   》  电子工》业生产厂房》或，。独，立建(构)》筑，物内用于布置化学品！储，存、分配设备—与系统？的房间？的统称 《 2—.，1.1？9，  液？。位探：测器 ？   lev—el： ，sen？so：r  】   用于探—测化学品《储罐、化学品单元】内桶：槽的：。液位的测量元件 ！ ？ ，2.1.《20  火焰探【测器    —ultrav—iol？et ray—s & in—。fra-red r！ay：s(UV／》IR) 】    《 可燃溶剂化—学品发生泄漏—。起火：时探测所产》生，红外线或是紫外线的！辐射热？感应装置 —