， 3  术语】和定义 】     下列！术语和定义》。适用于本《文件 — ， ？3.：1  等离子—体， p：l，as：ma — ？     由离子、！电子：和，中性分子或原—子组：成的混合体 — ： ：  ：   注本标准的】等离：子体是由气体分子在！电，场，作用下电《离后形成的 —。 3.！。2  过氧化氢【气体等离子体—低温灭菌器 lo】w-temper】atu？re： hydroge】n peroxid！e gas pla！sma s》te：rilizer ！    ！ 在6？0，℃下用过氧》化氢气体进行灭菌并！。用等离子分》解残留过氧》化，氢的装置 【 ？ 3.3  准】备期 co》ndit《i，o，。n，ing s》ta：g，e，  ！   过氧化—。氢注入？舱体前为准备灭【菌进行？真空和加《热的过程可有—过氧化？氢提纯、等离子【体化过程 ！ 3.4  】灭菌：期 ster—。ilizat—ion 《stage — 《 ？    过氧化氢】。注入舱？体依靠过氧化氢气体！在一：定浓度、温度、压力！。下作用一定时—间进行灭菌的过程】 【 3.5  解析期！ ventilat！ion sta【ge 【 ？    《排出和分《解过氧化氢》气体：的，过，程包括真空》排气、等《离子体化过程— ：