3  【术，语和定义 【 ： ：  ： ，  下？列，术语和？定义适？用于本文《件 ！3.1  等离子体！ plasma 】 》   《。  由离子、电子和！中性分子或原—子组成的《混合体 ！ ，   注本标准的】。等离子体是由气体分！子在电场作用—下电离后形》成的 【 ， 3.《2  过《氧化：氢气体等离子—。体低温灭菌器— l：ow-temp【eratu》re： ，hyd？rogen pe】roxide 【gas p》lasma s【teri《lizer — 《     在6！0℃下？用过氧化氢气—体进行灭菌并—用等离子分解—残留过氧化氢—的装置 】 3.3  准！备期 condi】t，ion？ing st—age —  —   过氧化氢注入！舱体前为准备灭菌】进行真空和加热的】过，程可：有过氧化氢提纯、】等，离子体？化过程 【 3》.4  灭菌—期 ste》r，i，liz？ati？on ？stag《。。e 】     过氧【化氢注入舱体依靠】过氧化氢气体在一】定浓度、温度—、压力下作用一定时！间进：行灭菌的过程 【 ？ 3.—5，  解析期 —vent《ilation【 stage 】   】  排出和分—解过氧化氢》气，体的过程包括真【空排气？、等离子体化—过程 《