， ： 6．3  管【道设：计，。 】6．3．1  由于！。电子工厂应》用的特？。种气体的品种多且】每种气体《的使用量较小的实】际情况特种》气体管道系统—。的管道设计中应【充分考？虑所输送的流体【品种及其《特性以及产》。品生产工艺所要求的！动，力、流量等参数进行！设计：为此做了本条规【定管：材通常采用美—国机械工《程师协会ASME】 B36．10【标准：的Sch5或—Sc：h1：0的管道但》是设计要符合—。现行国家《。。标，准工业金属管道设】计规范GB 5【0316的规定 】 ： ：。 6．3．2  】电子产品生产设【备用特？种气体？的用量较小压力【较低因此在进行【管道水力计算时【应充：分考虑流量、压力、！。温度等参数》按，照流量设计图表【对管道进行设计计算！目前电子工厂中的】大，多，数特：种气：体管：道的管？径较小一般》。不超：过DN？25 ？ 《 6．3．3  】由，于电子工《厂，。使用的特《种气：体要求具有较高【的纯度所以对—输送管道的》材质有？严格的要《求目前主要是采用】进口的低《。碳不锈钢管》道如EP管》、BA管《等表：3是：不，锈钢管？外径和壁厚规—格电子行业》常用的是美》。。标和日标规格 【 ： 表3  【。不锈钢管道外径壁厚！规格 ？ ？ 6！．，3．4  》为了保证液体的流动！本条规定液》态特种气体水—平管道应有》不，小，于0．3％的—坡度坡度应坡向供】液设备或收集器 】 ？ 6．3．5【  由？。于自燃性、》剧毒性和强腐蚀性】。气，体一：旦泄漏危害》性极大将《会造成较大的人身】伤亡和财产损—失目前在电子工厂中！较多地采《用双层管《道输送这《类特种气体属于这类！特种气体的》主要有？。强反应性气》体B2H6》、H2Se、Ge】H4、SiH4、S！i2H6、》SiH3CH3、】C2H2、B—(CH3)3、【。F，2、ClF3等；自！燃性气体B2H【6、GeH4—、SiH4、S【i2：H6、S《i，H，3C：H3、B(CH3)！3等：。；剧毒？性气体AsH—3、PH3、G【eH4？、B2H6、—H，。2Se、F2—、B：(，CH3)《3、NO、Cl【F3、PF5等【但，是在工程《实，际中由于每一个工厂！对气体特性的理解不！同从而？导致同一《种高：危险性？气体在不《同，工厂所使用的管道不！一致： ：。 ： 6．3．6【  ：为防止低《蒸汽压力气体在输】送过程中因》为，冷却：导致：液化：导致：输送困难无》法使用本条规—定低蒸？汽压力气体应设置伴！热或保温措施电子】工厂：应用的低蒸汽压气体！主要有BCl3、C！。5F8、WF2、S！。iH：2C：l2、Cl》F3等 】 6．3．7  】。为，防止特种气体—的泄漏和《确保管？道焊接质量特种气】。体管道？宜采用全《自动管道焊接连接】。与阀门或管件连接处！应采：。用径：向面密封连接(VC！R连接)规定不【宜采用螺纹或法【兰连接的目的也是】防止气体在连接【处发生泄漏 】 6《．3．8  —隔膜阀和波纹管阀】。都具有？良，。好的：密封性且不》。易产生颗粒；而球阀！、旋塞阀等因采用填！料密封密封性—较，。差易发生泄》漏且阀门开关时有】部件摩擦易产生颗粒！不能满足特种—气体的输送》过程的严格要求 ！ 《。6．：3．9  为防止密！封垫片与特种气【。体性质的不相—容，而产生化学》反应规定垫》片宜采用不锈钢【。或镍垫片垫片与特种！气体的性质》应该相容 》 6．【3．10《。  特种气体钢【瓶接口处在每次更换！钢，瓶时因摩擦作用易产！生颗粒因此其下游】宜，设置过滤器保护阀门！的膜片和下》游气体不被污染为】了保：证特种？气体的纯度在接入】生产工艺设备前的】特，种，气体管道上宜设置精！密过滤器 —