， ， 6．《3  管道设计 ！。。 ？ 6．》3．1  由于电】子工厂？应，用的特种气体的品种！多且：每种：。气体：的使用量较小的【实际情况特种气【体管：道系统的管道设计中！应充分考虑所输送】的流体品种及其特性！以及产品生产工艺】所要求的动》力、流量等参数【进行设计为此做了】本条规定《管材通常采用—美国机械工程师【。协会ASME B】3，6．10《标准的Sch5或S！ch10的管—道但是设《计要符合《现行国家标》准工业金属管道设】计规范GB 503！16的规定 ！ ， 6．3．2  电！子产品生《产设备用《特种气体的用量【较小压力较低因此】在进：行管道水力计算时应！充分考虑流》量，、压力、温度等【参数按照流量设计图！表对管道进行设计计！算目前电子工—厂，中的大？多数特种气体管道的！管径：较，小一般不超》过DN25 — 6．【3．3  由于电】子工厂使用》的特种气体要求具有！较高的纯度》所以：对输送管道的—材质有严格的—要求目前主要是采】用进：口的低碳不锈钢管道！如E：。P管、BA管—。等表3？。是不锈钢管外径和壁！。厚规：格电子行业常用【的是：美标和日标规格 】。 ： 表3》  不？锈钢管道《外，径壁厚规格》 ？ 【 6．《3．：4  ？为，了保证液体的流动本！条规定液《态特：种气体水平》管道应有不小—于0．？3％的坡度坡—度应坡向供液设备或！收集器 】 6．3．5—  由于自燃性、】剧毒性和强腐蚀性气！体，一旦泄漏危害性极大！将会造成较大的人】身伤：。亡和财？产损失目前在电子工！厂中较多地》采用双层管道输送这！类特种气《体属于这类特种【。气体的主要有强反应！性，气体B2《H6、？H2Se、GeH】4、：SiH4、Si2】H6、SiH3【CH：3、C2H2、B】(CH3《)3、F2》、ClF3等；【自燃性气《体B2H6、—GeH？4、SiH4—、Si2H6、Si！H，3CH3、B—(CH3)3—等；剧？毒性气？体A：sH3、PH—3，、GeH4、—。B2：H6、H2Se、】F，2、B(《CH3)3、N【O、：ClF3、P—F5等但《是在工程实际中由】于每一？。个工厂对气体—特性的理解不同从】。而导致同一种高【危险：性气体在《不同工？厂所使用《的管道不一》致 — 6．3．》6  为防止低蒸】。汽压：力，气体在？输送过程中》因为冷却导致液【化，导致输送困难—无法使用本条规【定低蒸汽压》力气体应设置伴【热或保温措》施电子？工厂应用的低蒸【汽压气体主要有BC！l3、C5F8【、WF2、》SiH2Cl2、】C，lF3等《 ： 6．3．】7  为防》止特种气体的泄【漏和确保管》道焊接质量》。特种气体管道宜【采用：全自动管道焊—。接连接与《阀门或管件连—接处应采用径向面密！封，连，接(VCR连—接)规定不宜采用】。螺纹或法兰连—接的目的也是—防止气体在连—接处发？。。生泄漏 》 ？ 6．3．》8  隔《膜阀和波纹》管阀都具有良好的】密封性且不易产【生颗粒；而》。球阀、旋塞阀—等，因采用填料密封【密封性？较差易发生泄漏且】阀门开关时有部件摩！擦易产生颗粒不【能满足特《种气体的《。输送过程的》严格要？求 6】．3．？9  为防止—密封垫片与特种气】体，性质的不相容而【产生化学反应规【定垫片宜《采用不锈钢或镍【垫片垫片与特—种气体的性》质应该相《容 【6．3．10  特！种气：体钢瓶接口》处在：每次更换钢瓶时【因摩擦作用易产【生颗：粒因此其下游宜设】置过滤器保》护阀门？的膜片和下游气体不！被污染？为了保？证特种气体的纯度在！接，入生产工艺设备前的！特种：气体：管道：上宜设置《精密过滤器 【