6》。。。．，3  管道设计 】 《 ： 6．3．1—  由于电子—工厂应用的特—种气体的品种多且每！种气体的使用量较小！的实际情《况特种气体管道系】统，的管道设计》中应：充分考虑所输送【的流体品种》及其特性以及产品】生产工？艺所要求的》动力、流量等—参数进行设计为【此做了本条规—。。定，。管材通常采》用美：国机械工程师协【会A：SME B3—6．10标准的【Sch5或Sc【h10的管道—但是设？计要符合现行国【家标准工业》金，属管道设计规—范GB 50—3，16的？规定 》 6《．3．2  电子产！品生产设备用—特种气体的用—量较小压力较低因此！在进行？。管道水力《计，算时应充《分考虑？流量：、压力、《温度等参数按照【流量设？。计图表对管》道，进行设计《计算：目前电子工厂—中的大多数特种【。气体管道《的管径较小一般不】超过DN25 】。。 6．3【．3  由于电【子工厂使用的特种气！体要求具有》较高的？纯，度所以对输》。送管道的材》质有严？格的要求目》前主要是采用进口】的低碳不锈钢—管道如EP管、B】A管等表3》是不：锈钢管？外径和？壁厚规格电子行业】常用的是美标和日标！规，。。格 》 表3  不【锈，钢管道外径壁厚规】格 【 6．3！．4：  为了保证液体】。的流：。动本条规定液—态特种气《体水平管道》应有不小于0．3】％的坡度坡度应坡向！供液设？备，或收集？器 》 ：6．3．5》  由于自》燃性、剧毒性—和强腐蚀性气体一】旦泄：漏危害性极大将【。会造成较《大的人身伤亡和财产！。损失目前在电子工厂！中较多地采用—双层管道输送这【类特种气《体属于这类特种【气体：的主：要有强反应性气体】B，2H：6、H2S》e、GeH》4、SiH》4、Si2》H，。6、SiH3C【H3、C2》H2、B《(CH3)》3、F2、ClF】3等；自燃性气体】B2H6、》GeH4、Si【。H4：、Si2H》。6、SiH》3C：H，3、B？。(C：H，。3)3等；剧毒【性，。气体AsH3、【。PH3？、G：eH：4、B2H6、【。H2Se、F2、B！。(CH3)3—、，NO、ClF3、P！F5等但是》在工程实际中由于每！一个工厂《对气：。体，特性的理解不同从而！导致同？一种高危险》性气体在不同工【厂所：使用的？管道不一致 】 ， ， 6．3《．6 ？ 为防止《低，蒸汽压？力气体在输送—过程中因《为冷却导致液化【导致输送《困难无法使》用本条规定》低蒸：。。汽压：力气体应《设置伴？热或保？温措：施电子工厂应—用的低？蒸汽压气体主—要有BCl3、C5！。F8、WF2、S】iH2Cl2、C】lF3等 【 6．》。3．7  为防【止特种气体的泄漏和！确保管？道，焊接质量特》种气体管道》宜采用全自》动管道焊接连—接与阀门《或管件连接处应采】用径向？面，密封：。连接(VCR连【接)规定不》宜采用螺纹或法兰】连接的目的也是防】止气体？在连：接处：发生泄漏 】 6．3．8  ！隔膜阀和波纹—管阀都具《有良好的密封性且】不易产生颗粒；而】球阀、？旋塞阀？等因：采用填料密》封密封性较差易发】生泄漏且阀门开关】时有部件摩擦易【产生颗粒不能—满足特种气》体的：。输送过程《的严格要《求 【6．3．9  为】防止密封垫片与特种！气体性质的》不相容而产生化学】反应规定垫》片，宜采用不锈》钢或：镍垫片垫片》与特种气体的性质应！该相容 ！6．3？．1：0  特种气体【钢瓶接口处在每次】更换钢瓶时因摩擦作！用易产生颗粒—因此其下游宜设【置过滤器保护阀【门的膜片和下游【气，体不：被，污染：为了保证特》种气：体的纯度《在接入？生产：工艺：设备前的特种气【体管道？上宜设置精密过滤器！ ：