6．—3  管道》设计 《 ？ ， ：6．3．1  【由，于电：子工厂应用的特种】气体的品种多且每种！。气体：的使用量较小的实】际情况特种气—体管道系统的—管道：设计中？应充分考《虑所输送《的，。流体品种及其特【性以及产品生产【工艺所要求》的动力、流量—等参数进行设计为】。此做：了本条规《定管材通常采用美国！机械工程师协会【ASME 》B36．《10标？准的Sch5或【Sch10的管道】。但，是设计要符合现行国！家标准工业金属管道！设计规范《GB 503—16的规定》 ？ ， 6？．3．2  电子】产品生产《设备用特种气体的】用量较小《压力：较低因此在进行【管道水力计算—时应充分考虑流【量、压力、温—度等参数按照流量】设计图表对管—道进行设计计算【目前电子《工厂中？的大多数特种—气体管道的管径较小！一般不超过DN【25 】6，．3．3《  由于电子工厂】使用的特种》气体要求具有较高的！纯度所以对输送【管，道，的材质有严》格的要求目》前主要是采用—进口的？低，碳不锈钢《管道如？EP管？。、BA管等表—3是不？。锈钢管外径和—。壁厚规格电子行业常！用的是美标和—日标规格 — 表3  不！锈，钢管：道外径壁厚规格【 — ： 《6．3．4  为了！保证液体的流—动，本条规定液态特【种气体水平》管道应？有不小于0》．，3％：。的坡：度，坡，度应：坡向供液设备—或收：集器 《。 ？。 6．3．》5  由于自—燃性：、，剧毒性和强》腐，蚀性气体一旦泄漏】。危害性极大将—会造成较大的人身】伤亡和财《产损失目前在电子】工厂中？较，多地采用《双层管道输》送这类？特种气体属于—这类特种气体的主】要有强反应性气【。体B：2H6、H2Se】、GeH4、—SiH4、Si【2H6、SiH【3CH3、》C2H2《、B：(CH3)3、F2！、ClF3等；自】燃性气体B2—H6、？G，eH4、SiH4、！Si：2H6、《SiH3CH3、B！(，CH3)《3等；剧《毒性气体A》sH3、《PH3？、GeH4》、B2？H6、H2Se【、F2、B(CH3！)3、NO、Cl】F，3、PF5等但是】在工程实际中由【于每：一个工厂对》气体特性的理解不同！从而导？致同一种高危险性】气体在不同》工厂所？使用的管道不一【致 》 6．《3．6  为防【止低蒸汽压力—。气体在输送过程中】因为冷却导》致，液化：导致：。输送困？难无法使《用本条规《定低：蒸汽压力气》体应设置伴热或【保温措施《电，子工厂应《用的低蒸汽压气体主！要有BCl3—、C5F8、—W，。。F2、S《iH2Cl2、【Cl：F3等 》 ？ 6．3．7  为！防止特种气体—的泄漏和《确保管道焊接质量】。特种气体管道宜【采用全自动管道【焊接连？接与阀门或管件【连接处应采用径向】面密封连接(—VCR连接)—规定不宜采》。用螺纹或法》兰连接？的目的也是防止【气体在？连接处发《生泄漏 》 《6．3．《8  隔膜阀和波纹！管阀都具有良好【的密封性且不易产】生颗粒；而球阀、】旋塞阀等因采—用填料密封密—封性较差易发生泄漏！且阀门？开关时有部件摩擦】易产生颗粒不能满足！特种气体的输—送过程的严格要求】 ， 6．【。3．9  》为防：止密封垫片与特【。种，气体性？质的不相容》而产生？。。。化学反应规》定垫片宜采用不【锈钢或镍垫片—垫片与？特种气体的性质【。应该相容 ！ 6．3《．10  特种【气体钢瓶接口—。处，在，每，次更换？钢瓶时？因摩擦作用易产生颗！粒因此其下游—宜设置过滤器保护阀！门的膜片和下游【气体不被污染为了保！证特种气体的纯度】在接：入生：。产工艺设备前—的特种气体》管道：。上宜设？置精密？过滤器 》