： 6．《3  管道》设计 《 ？ 6．3．1】  由于电子工【厂应：用的特种气体的【品种多？且每种气《体，的使用量《。较小的实际情况特种！气体管道系统—的管道设计中—应充分考虑所输送】的流体品种及其【。特性以？及产品生产》。工艺所要求的动力、！流量等参数》进行设计为此做了】本条规？定管材通常采用美国！机械工程师协会AS！ME B《36．10标—准的Sch5或【S，ch10的管道但】是设计？要符合现行国家【标准工业《。金属：管道设计规范GB ！50316的—规定 《 6．3．】2  电子产—。品生产设备用—特种气？体的用量较小压力较！低因此在进行管道水！力计算时应充分考虑！流量、？压力、温度等参数】按照流量设计图表对！管道进行设计计【算目前电《子工厂中的大—多数特种《气体管道的管—径较小一般不超过D！N25 《 》6．3．3  【由于：电子工？厂使用的特种—气体要求具有—。较高的纯度》所以对输送管—道的：材，质有严格的要—求目前主要是—采用进口的低碳不】锈钢管？道如EP管、BA管！等表3是不锈—钢管外？径和壁厚规格电子】行业常用的是美标】和日标规格》 ？ 表3  不锈！。钢，管道外径壁厚规【格 】 ？ 6？．3．4  —为了保？证液体的流动本【条，规定液态特种气【体水平管《道应有不小于0．3！％，的坡度坡度》。应坡向供《液设备或收集—器 【6．：3．5  由于【自燃性、剧毒性【和强腐蚀性气—体一：。旦泄漏危《害性极大将》会造成较大的人身伤！。亡和财产损失目【。前在电子工厂中较多！地，采用双层管道输【送这：类特：种气体属于这类特种！气体的主要有强反】应性气体B2—H6：、H2Se、GeH！4、SiH4、Si！2H6、《SiH3C》H3、C2H2、B！(CH3《)3、？F2、ClF3【等，；自燃？性气体B《2H：6、GeH4、【。S，iH：4、Si《2H6、S》iH3CH3、【B(CH3)3等；！剧毒性气体AsH】3、PH3、—Ge：。。H4、B2H6、】H2：S，e、F2、B(C】H3)？3，、NO、C》。lF3、P》F5等？但是在工程实际中】由于每？一，个工：厂对气体特性—。的理解不同从而导】致同一种高危险性】气体在不同工厂【所使用？的管道不一致 】 ，。 6．》。3．6  为防【止低蒸？汽，压力气体在输—送过程中《因为冷？却导致液化导—致输送困《难无法使《用，本，条，规定低蒸汽压力气】体应设置伴热或保】温措：施电子工厂应用的低！蒸汽：压气：体主要有BCl【3、C？5F8、WF2、】Si：H2：。Cl2、ClF3等！。 6．】3．7 《 为防止特种—气体：的泄漏和确保—管道：焊接质量特》种气体管道宜采用】全自动管道》焊接连接与阀门【或管件？连接处？应，采用径向面密封连接！(，VCR连接)规定不！宜采用螺纹或—法，兰连接的目》的也是防止气体在】连接处发生泄漏 ！ 6．3．8！  隔膜阀》和波纹？管阀都具有良—好的密封性且不易产！生颗：粒；：而，球阀、旋《。塞，阀等因采用填料【密封密封《性较差易《发生：泄漏且阀门开关【时有：部件摩擦《易产生颗粒不能满足！特种气体的》。输送：过程的严《格要求 》 6．3．】。9  为防止密【封，垫片与特种气体性质！的不相容而产—生，化学反应规》。。定垫片宜采用不锈】钢或镍垫片垫片与】特种：气体的性质》应该相容 【 6．3．10！  特？种气体钢瓶接口【。处在每次更换—钢瓶：时因摩擦作用—易产生颗粒因此【其下游宜设》置过滤器保护阀门的！膜片：和下游？气体不被污染—为了保证特种—气体：的纯度在接入生产工！艺设备前的特—。种气体管道上宜设】置精密过滤器 【 ，