， ： 6．3 》 管道设《计 【 6．3》。．，1 ： 由于电子工厂应】用的特？种气体的《品种多且每种气体】的使：用量：较小的实际情况特种！。气体管道系统—的，管道设计中应充【。分考：。。虑，所输送的流体品种】及其特性以及产品生！产工艺所要求的动力！、流：量等参数进行设计为！此做了？本条规定管材通常采！用美国机械工程师协！会ASME B36！．10标准的S【ch5或Sch1】0的管道《但是设计要符合现】行国家标准工业金属！管道：设计：规范G？B ：50316的—。规定 ？ 6．3】．2  电子—产品生产《设，备，用特种气体的用【量，较小压力较低因此在！进行管道水力—计算时应充分考虑】流，量、压力、》温度：等参数按照流量设】计图表对管道—进，行设计计算目前电】子工：厂中的大多》数特种气《体管道的管》径较小一般不超过D！N25 《 ？ 6．3》．，3  由于电子【工厂使用的特种气】体要求具有》较高的纯度所—以对输送管道的材质！有严格？。的要求目前主要是】采用进口的低碳不锈！钢管：道如EP《。管、BA管等表3】是不锈钢管》外径和壁厚规格【。电子：行业常用的是美标和！日标规格 【 表3  不锈！钢管道外径壁—。厚规格 —。 《 6．3．！4，  为了保证—液体的流动本条规】定液态特种气体水平！管，道，应有不小于0—．3％的坡度坡度应！。坡向：供液设？备或收集器 ！ 6．3．5 】 由于自燃性、剧】毒性和强腐》蚀性气？体一旦泄漏危害性极！大将会？造成较大的人—身伤亡和财产损失】目前在电《子工厂中较多地采用！双层管道输送—这类特种《气体属于这类—特种气体的》主要有强反应—性气体B2》H6、H2》Se、GeH4【、S：iH4、《S，i2H6、SiH3！CH：3、C？。2H2、B(CH3！)，3、F？2、C？lF3等；自燃性】气体B2H》6、Ge《H4、SiH—4、：。Si2H6、SiH！3CH3《、B：。(C：H3)3《等；剧毒性气—体AsH3》、，。PH3？、Ge？H4、B2H—6、H2S》。e、F2《、B：。(CH3)3、N】O、ClF3、P】F5等但是在工程】实际中由于》每，一个工？。厂对：气体特？性的理解《不同从而导》致同一种《高，危险性气体在不同】工厂所？使用的管道》不一致 — ， ：6．3．6 —。。 为防止低》蒸汽压力《气，体在：输送过程中因—为冷却导致》液化导致输》送困难无法使用【本条：规定低？蒸汽：压力气体《应设置伴热或保【温措施电《子，工厂应？用的：低蒸汽压气体主要】。。。有，BCl3、C5F8！、WF2、S—iH2Cl2、Cl！F3等 《。 ， 6．3．】7  为防止特种气！体，的泄漏和确保—。管道焊接质量特种】气体：管道宜采《用全自？动管道焊接连接与】阀门或管件连—接处应采《用径向面密封连【接(VCR连—接)：规定：不，宜采用螺纹或—。法兰连接的目的也】是防止？气体在？连接处发生泄漏 ！ 《6．3．8 — 隔膜阀和波纹管阀！都具有良好的密封性！且不易？产生颗粒；》而球阀、《旋塞阀？等因：采用填料密》封密封性《较差易发生泄漏且】阀门开？关时：有部件摩擦易—产生颗粒《不能满足特种气体的！输，送过程的严格要【求 6．！3．9？  ：为防止密封》垫片与？特种气体《性质的不相容而产生！化学反应规定垫【片宜采用不》锈钢或？镍垫片垫《片，与特种气体的性【质应该相容》 6．3！．10  特种【。。气体钢瓶接口处在】每次更换钢瓶时因摩！擦作用易产生颗粒因！此其下游宜设置过滤！器保护阀门》的膜片和《下游气体不被污染】为了保？证特种气体的纯【度在接入生产工艺】设备前的特种气体管！道上宜设置》精密：过，滤器 《