6．—3  ？管道设计 ！ 6．》3．1  由于电子！工厂应？用，的特种气体的品种多！。且每种气体的使用】量较小？的实际情况特—种气体管道系统的管！道设计中应充—分考虑？所输：送的流体品种—及其特性以及产品】生产工艺《所要求？的动力、《流量等参《数进行设计为此【做了本条规定管材通！常，采用美国机械工程师！协会ASME 【B36？．，10标准的S—ch5或Sch【10的管道但是【设计：要符合现行国家【标准工业金》属管道设计规范【G，B 503》16的规定 】。 6．3—．2  《。电子产品生产—设备用特种》气体的用量较小压力！较低因此《在进行管道水力【。计，算时：应，充分考虑《。流，量、：压力、温度》等参数按照流量设计！图表对？管道进行设计计算目！前电子工厂中—的大多数特种气【体管道的管径较【小一般？不，超过DN2》5 《 ，。 6．3》．，。3  由于电子工厂！使用的？特种气体要求—具有较高的纯度所以！对输送？管，道的材质《有严：格的要求目》前主要是采用进口的！低碳：不锈钢管道如EP管！、BA管《等表3是不》锈钢管？外径：和壁厚规格电—子行：业常：用，的，是美标和日标规格】 《 表3  不锈】钢管道外径壁厚【规格 【 《 6．3．4 ！ 为了保证》液体的？流动本条规定—液态特种气》。体，水，。平管道？应，有不小于0．3％的！坡度坡度《应坡向供液》设，备或收集《器 — 6．3．》5  由于自燃【性、剧毒性和强腐】蚀性气体一》旦泄：漏，危害性极《大将会造成较大的】人身：伤亡和财产损失目前！在电子工厂中较多】地，采用双层管道输送这！类特种气体属于【这类：特种气体的主—要有强反应性—气体B2H》6、H2Se—、G：eH4？、SiH4、S【i2H6、SiH3！CH3？、C2？H2：、B(CH3)3】、F2、《ClF？3等；自燃性气体】B2H6、G—。eH4？、SiH4、Si】2H6？、SiH3CH3、！B(CH3)3等】；剧毒性气体As】H3、PH3—、Ge？H4、B2H6、】H2Se、F2、】B(：。CH：。。3)3、NO—、ClF3、PF5！等但：是在工程实际中【由于每一个工厂对气！体特性的《理解：不同从？而导致同一种高【危险性气体在不同】工厂所使《用的：。管道不？。一致 《 《6．3？．6  为防止低】蒸汽压力气体在【输，送过程？中因：为冷却导致液化【导致输送困难无【法使用本条规定低】蒸汽压？力气体？应设置伴《热或保温措》施电子工厂应用的】。低蒸汽？压，气体：主要有B《C，。l3、C5F—8、WF2》、，SiH2C》l2、ClF—。3等 ？ 6—．3．7  —。为防止特种气体【的泄漏？和确保管道焊接【质量特种气体—管道宜？采用：全自动管道焊接连接！与阀：门或管件连接—处应采用径》。向，面，密封连接(VCR】连接)规定不宜采】用螺：纹或法兰连接的目的！也是防止《气体在连接处发生】泄漏 】。6．3．8》  隔？膜阀和波《纹管阀都具有良【好的密？封性且不易》产生颗粒；而—球阀、旋塞阀等【因，采用填？。料密：封密封？性较差易发》生，泄漏且阀门开关【时，有部件摩擦易产【。生颗：粒不能满足特种气体！的输送过程的严【格要求 》 6．3．9！  为防止》密封垫片《与特：种气体性质的—不相容？。而产生化学反应规定！垫片宜采用不锈【钢或镍垫片垫片与】特种气体的性质应该！相容：。 ？ 6．3．10！。  特种气体—钢瓶接？口处在每次》更换钢瓶时》因，摩擦作用易产生颗粒！因此其下游宜设置】过滤器保护阀门【的膜：片和下游气体—不被污染为》了保证特种气体的】纯度在接入生产【工艺设备前的特种】气体管道上》宜，设置精密过滤器 】 ，