6．—3  管道设计【 】6．3．《1，  ：。由于：电子工厂应用的特】种气体的品种多且每！种气：。体的使用量较小的实！际情况特种》气体管道系统的管】道，。设计中应充》分考虑所输送的流】体品种？及其特？性以及产品生产工】艺所要求的动力、】流量等？参数：进行设？计为：此做了本条规—定管：材通常采用》美，国机械工《。程师协会ASME ！。B36．10标准的！Sc：h5或？S，c，h10？的管道但是设计要符！合现行国家标准工业！金，属管道设计规范G】。。B 50316的】规定 — 6．3．2 】 电子产品生产【设备用特种》气体：的，用量较小压力较低因！此在进行管道水力】计算时应充分考虑流！量、压力《、温：度等参数按照流量】设计图表对管道进行！设计计算《。目前电？子工厂中的大多【数特种气体管道【。的管径较小一般不超！过DN2《5 6】．3．3  由于】电子工厂使用—的特种？气体要求具有较【。高的纯？度所以对输送管道】的材质有严格的【要求目前主》要，是采：用进口的《低碳不锈钢管道如E！P管、B《A管等表3是不【锈钢管外径和—壁厚：规格电子行业常用的！。是，美标和日标规格 ！ 表3  】。不锈钢？管道：外径壁厚规格 】 ！ 6．3．4—  为？。。。了保证？液体的流动本条【规定液态特种气体水！。平，管道应有《不，小于0．3》。％的：坡度坡度应坡向供】液，设备或收集》器 《 6《．3．5 》 由于自燃》性，、剧毒性《和，强腐蚀性气体一旦泄！漏危害？性极大将会造成较】。大的人身伤亡—和财产损失目前在电！子工厂中较》多，地采用双《层管：道输送？这类特种《气，体属：于，这类：特种气体《的主要有强反应【性气体B《2H6、H2S【e、GeH4、S】iH4、S》i，2H6、SiH【3CH3、C2H2！、B(CH3)3、！F2、ClF3【等；自燃性气体B】2H6？、Ge？。H4：、SiH4、—Si2H6、Si】H，。3CH3、B(C】H3)3等；剧毒性！气体As《H3：、PH3、GeH4！、B2H6、H2S！e，、F2、B(C【H3)3、NO、】ClF？3、PF5等但是在！工程实？际中：由于：每，一个工厂对气体特】性的理解不同—从而导致同一—种高危？险性气体《在，不，。同工厂所使用—的，管道不一致 — 6．【。3，．，6  为防止低蒸】汽压：。力，气体在输《送过程中因》为冷：却导：致液化导致输送困】难无法使用本条规】定低蒸？汽压力？气体应设置伴热或保！温措施电子》工厂应用的低蒸汽压！气体主要《有BCl3》、，C5：F8：、WF2、》SiH2Cl2、C！lF3等 》 6．【3．7  为防止】特种气体的泄漏【和确保管道焊接质】量特种气体管道【。宜采：用，。全自动管道焊—接连接与阀门—或管件连接》处应采用径向—面密：封，连接(VCR连【接)规定不宜—采用螺纹或》法兰连？接的目的也是防止】气体在连《。接处发生泄漏 】 ， 6．》3．8  隔—膜阀和波纹管阀【都，具有良好的密—封性且不易产生颗】粒；而球阀、旋塞阀！等因采用填》料密封密封性较差易！发生泄漏且阀门【开关时？有部：件摩擦易产生颗【粒不能满足特—种气体的《输，送过程的严》格要求 【 ：6．3．9  【为防：。止密封？垫，片与特？种气体？性质的不相》容而产生化学—反应：。规，定垫片宜采用—。不锈钢或镍》垫片垫？片，与特种？气，体的性质应》该相：容 — ，6．3．1》0  特种气体钢瓶！接口处在每次更换钢！瓶时因摩擦作用易产！。生颗粒因此其下游宜！。设，置过滤？器保护阀门的膜【片和下游气体不【。被污染为了保证特种！气体的纯《度在接？入生产工艺》设备前的特种气【体管：道上：宜设置？精密过？滤器 《