《6．2  材料【选型 — 6．2【．，1 ： 工程？实践表明《电，子工：。厂特种气体和吹扫】气体管道输送—系统常用《管道材料应采—用SS30》4、S？S316、》SS316》L等：不锈钢？无，缝钢管和H》C-22哈》。氏合金无缝钢—管等根据《特种气体品种和【纯度、杂质含—。量要求？特种气？体管道内表面应进】行洁：净和钝化处理；【。管道内表面》粗，糙度对BA》管，道要求小于R—a40EP管道【要求小于Ra—25为此本》条做此？原则性规定 】 6．2．2 ！ ，普通不锈钢只进行初！级熔炼常用熔炼方】式有氩氧脱》碳A：OD(Argo【n ：Oxygen— D：ec：a，rburiz—atio《n)、真空感应【熔炼VIM(—Vacuum 【I，nduction ！Melt)但—输送腐蚀性特种气体！为减轻？腐蚀管道材料—宜采用经过》二次熔炼(精炼)的！工，。艺及真空《电弧重熔V》AR(Vac—uum A》。r，c ：Remelt)【等工艺？二次真空电弧熔【炼的奥氏体不锈【钢或镍基合》。金无缝钢管》此种管材具有—较强的抗腐蚀—性能管道内》表面进行EP处理】可同时满《足洁净和《。钝化的？。目的 6！．2．3《  近年来》的工程实践表—明电子工厂的特种气！体管道系统》应采用隔《膜阀、波《纹管阀等这些阀门的！阀座密？封材：料应尽？量减少应用塑料【聚合物等材料的使用！量因为这些材—料易：逸出气体容易影响气！体纯度或《引起化学反应为【此还应注《意选些材料时应与具！。体特种气体的—物理化学性质匹配】如，氨气(？NH3)禁止使【用，氟化橡胶(V—iton)》材料、笑气(—。。N2O)应》使用聚酰亚胺—树，脂(Ve《spel)》材料：等 ： 6．2】．4 ？ 在保证安全和工】艺，要求的前提下节省】投，资也是工程设计的重！要内容为此本—条规定了双层管的外！管作为安全保—护的第二《道屏障采用SS30！4材料？即可满足要求且一般！。不做特殊的洁净要求！ 6【．2．5  排【气管道和《尾气真空管》道对管道材质没【有特殊？要求采用SS3【04管？道即可满足要求【在实：际工：程，中也有？排气管道《采用PVC材料【 ？ ： 6．2《．6  本》条为强制性条—文，必须严格执》。行为避免管道内油脂！与氧化性《。介质：发生反应产生燃烧等！。严重后果本条—规定管道氧化—性，气体管道《应经过严格的脱【脂处理 《 ，