， 6．2—  材料选型— 】6．2．1  工】程实践表《明电子工厂特种【气体和吹《扫气体管道》输送系统常用—。管道材料应采用【SS3？04、？SS316、S【S316L》等不：锈钢无缝钢管和H】C-22哈氏合金无！缝，。钢管等根据特—种气体品种和—纯度、杂《质，含量：要求：特种气体管道—内表面应进》行洁净和钝》化处理；管道内表】面粗糙度对BA【管道要求小于—Ra40EP管【道要求小于Ra2】5为此？本条：做此原则性》规，定 》 6．2．2【  普通不锈钢【只进行初《级熔炼常用熔炼方】。式有氩氧脱》碳AOD(Arg】on Ox》ygen《 D：ecar《。buriza—。tion)、真空感！应熔炼VI》M(Vacuum ！In：duction【 Melt》)，但，输送腐蚀性特种气】体为减轻腐蚀管道材！料宜采用经过二次】熔炼(？。精炼)的工》艺及真空《电弧重？熔VA？R(Vacu—um Arc 【Reme《lt)等《工艺二？次，真空电弧熔炼的【奥氏体？不锈钢或镍》基合金？无缝钢管此种—管，材具：有，较强的抗腐蚀性能】管，道内表面进行—EP处理可同时满】足洁：净和钝？。化的目的 】 6．2．—3  ？近年来的工程—实践表明电子工厂】的特种气体》。管道系统应采用【隔膜阀、波》纹管阀？等，这，些阀门的阀座密封材！料应尽量减少应用】塑料：聚合：物等材料的使—用量因为这些—材料易逸《出气：体容易影响气体纯】度，或，引起化学《。反应为此还》应注意选些材料【时应与具体特种气体！的物：理化学？性质匹配如氨气【(，NH3)禁止使用氟！化橡：胶(Viton【。。)材料、笑气(【N2O)《应使用聚酰亚—胺树脂(Ves【pel)材料—。。等 》。 6？．2．？4  在保》证安全和工艺要求的！。前，提下节省投资也是】工，程，设计的重要内—容为此本《条规定了双层管的】外管作为安》全保：护的第二道屏障【采，用SS30》4，材料即可满足—要求且一般不做特殊！的，洁净要求 —。 ， ， 6．2．5 】 ，排气管道和尾气真】空管道对《管道：材，质，没有特殊要求采用S！。S3：04管道《即可满？足要：求在实？际工程中也》有排气？管道采用PVC材】料，。 —6．：2．：6 ： 本条为强制性条】文必须严格执—。行为避免管道内油脂！与氧化？性介质发生反—应产生燃烧等严重后！果本条规定管—道氧：化性气？体管道应经过严【格的：。。脱脂处理 —