？ ，6．2？  ：材料选型 【 6．2．！1  工程实践表明！电子工？厂特种气体和—吹扫气体管道输送】系统常？用管道？材料应采用SS【。304、《SS316、—SS31《6L等不锈钢无缝钢！管和HC-》22哈氏合金—无缝钢管等根据特种！。气体品种和纯度、】杂质含量要》求特种气体管—道内：表面应进《行洁净和钝化处理】；管道内表面粗糙】度对BA管道要求】小于Ra40EP】管，道要求小于R—a25为此本条【做此原则性规—定 ？ ？ ，6．2．2  普】通不锈钢只进行【初级熔炼常》。用熔炼方式有—氩氧脱碳AOD(A！rgon O—xyge《n Decarbu！rizat》ion？。)、真空《感应熔炼VIM(】Vacuum— Inducti】on Melt)】但输：送腐：蚀性特种气体为【减轻腐蚀管》道材料宜采》用经过二次》。熔炼(精炼》)的工艺及真空【电弧重熔VAR(V！a，cuum A—。rc ？R，em：elt？)，等工艺二次真空【电，弧熔炼的奥氏体不锈！钢或镍？基合金无缝钢管此种！管材具有较强的抗】腐蚀：性能管？道内表面进行EP】处理可同时》满足洁净和钝化的】目的 《。 6》．2．3  近年】来的工程实践表明电！子工厂？。的特种气体管—道系统应采》用隔：膜阀：、波纹管《阀等这些《阀门的阀座密封材料！应尽量减少应用塑料！聚合物等《材料的使用量因为】这些材料易逸出气】体，容易：影响气体纯度或【。引起化学反应为【此还应注意选些材】料时应与具体—特种气体的物理化】学性质匹配如氨气(！NH3？)禁止使用氟化橡】胶(V？i，ton)材料—、笑气(N》2O)应使用聚【酰亚：胺树脂(Vespe！l)材料等》 6【．，2．4  在保证安！。全和工艺要求—的前提下节省投资】也是工程设计的重】要内容为《此本条规定了—双层管的《外管作为《安全保护的第二道屏！障采用S《S30？4材料即《可满足要求且一【般不：。做特殊的《洁净要？求 — ，。6．2．《5  排气管—道和尾气真空管【道，。对管道材质没—有特殊要求采用SS！304管道即可【满足要求在实—。际工程中也有排气管！。道采用PVC材【料， ， ， ： 6．2．6 】 本条为《强制性条文必须严格！执行为？避免管道《内油脂与《氧化性介《。质发生反应产生【燃烧等严重后果本条！规定：管道氧化性气体【管道应经过严格的】脱脂处理 —