： 6．2》  材料选型 ！ ？ 6．2》。．1  工程—实践表明电子工【。。厂特种气体和吹扫气！体管道输《送系：统，常用管道材料应采】用SS304、S】S3：16、SS》316L等不锈钢】无缝钢管和》HC-22》哈氏合金无缝—钢管等根据特种【。气体：品种和纯度、—杂质含量要求特【种气：。体管道内表面应【进行洁净和钝化【。处理；管道内表面】粗糙度对BA管道】要求小于Ra40E！P管道要求小—于Ra25为—此本条？做此原则《性规定 《 6．【。2．2  普通【不锈钢只进行初级】熔炼常用熔炼—方式有氩《氧脱碳？AOD(A》rg：on O《xy：gen Decar！burizati】on：)、真空感应熔炼】VIM(V》acuum In】duction 】M，elt)但输送腐】蚀性特？种气体？为减轻腐蚀管道【材料：宜采用？经过二次熔炼(精炼！)的工艺及》真空电弧《重熔：V，AR：(Vacuum 】。Arc？ Remelt)】等工艺二《次真空电弧熔炼的奥！氏体不锈钢或镍基】合金无缝《钢管此种管材具有】较强：的抗：。腐蚀性能管》道内表面进》行EP处理可同时】满，足洁净和钝》化的目的 ！ 6．？2．3  近年来】的工程实践表明电】子工：厂的特种气》体，管道系？统应采？用隔膜阀《、波纹管阀》等这些阀门的—阀座密封材料应尽】量减少应用塑料聚合！物等：。材料：的使用量《因为这些材料易逸】出气体容《易影响气《体纯度？或引起化学反—。应为此？还应：注意选些材》料，时应与？具，体特种气体的物【理化学性《质匹配如氨气(【。NH3)《禁止使用氟化橡胶】(Vi？ton？)材料、笑》气(N2O》)应：使用聚酰《亚，胺树脂(V》es：pel)材料等【 6．2！．4 ？ 在保证安全和工艺！要求的前提下节省投！资也是？工，程设计的重要内容为！此本条规定了双【层，管的外管作》为安全保护的第【二道屏障采用S【S304《材料即可满足要求且！一般不做特殊的洁净！。要求 6！．，2．5  排—。气管道和尾气真空管！道对管道材质没有】特殊要求采》用SS？304管道即—可满足要求在实际】工程中也有排气管】道采用？P，VC材料 ！ 6：．，2．6  本条【为强制性条》文必须？严格：执，行为避免《管道内油脂与氧化】性介质发生反—应产生燃烧》。等严重后果本条规】定管道氧化性气体】管，道应经过严格—的脱脂处理 【