，。 6．2  材！料选型 《 ？ 《6，．2．？1  工程实践【表，明电子工厂》特种气体和吹扫气】体管道输《送系统？常用管道材料应采】用SS30》4、SS3》16、SS316】。L等不锈钢》无缝钢管和H—C-：22哈？氏合金无缝钢管等根！。据，特种气体品种和纯】度、杂质含量要【求特种气《体，管道内表面应进行】洁净和钝化处—。。理；管道内表面粗】糙，度对BA《。管道要求小于Ra】40EP《管，道要求小于Ra2】5为此本条做此原】则性规定《 《 6．2．2 】 普通不锈钢只进】行初级熔炼》常用熔？炼，方式有氩氧脱碳【AOD(Argo】n Oxy》。。gen Deca】rburiz—。atio《n)：、真空感应》熔炼VI《M(Vacuum ！Induct—ion？ Melt)但输】送腐蚀性特种气体】为减轻？腐蚀管道《材料宜采用经—过，二次熔炼(》精炼)的工艺及真空！电弧重熔V》AR(？Vacuum A】rc ？Remelt)等工！艺二次真《空，电弧熔？炼的：奥氏体？不锈钢？或镍基合《金无缝钢管此种管材！具，有较强的抗腐蚀性能！。管道内表面进行EP！处理可同《时满足？洁净和钝化的—目的 — 6．2．3 】 近年来的工—程实践表明电子工厂！的特：种，气体管道系统—。应采用隔膜》。阀、波纹管阀—等这些阀门的阀座密！封，材料应尽量减少应】用塑料聚合物等材料！的使用量因为—这些：材料易逸出》气体容易影响气【体纯度或引》起化：学反应为此还应注意！选些材？。料时应与具体—特，种气体？的物理化学性质【匹配如氨气(NH】3)：禁止使用氟》化橡：胶(Viton【)材料、笑气(N2！O)应？使用聚酰亚胺—树脂(Vesp【el)材料等 】。 6．2【．4  在保证安】全，和工艺要求的前提】下，节省投资也是工【程设计？的重：。要，内容为？此本条规定了双层】管的外管《作为安全保护的【第二道屏障采用S】S30？4材料即可满足【要求且一般》不做特殊的》洁净要？。求 6】．2．5  排气】管，道和：尾气真空管》道对管道《材，质没：有特殊要求》采用：SS304管道即可！满足要？求在实际《工程中也有排气管道！采用PVC材料【。。 ， ？ ：6．2．6  本条！为强：制性条文必须—严格执行为》避免管道《。内油脂与氧》化性介质发生反应产！生燃烧等严》重后果本条规—定，管，道氧化性气》体管道应经过严格的！脱脂处理 —