： ：。6．2？。  材料选型 】 —6．2．1  工】程实践表明》电子：工厂特种《气，体和吹扫《气体管道输送系【统常用管道材料应采！用SS304—、SS3《1，6、SS31—6L等不锈钢无【缝钢管和HC-22！哈氏合金无》缝钢管等根据—特，种气体品种》和纯度、杂》质含量？要求特种气体管道内！表面应进行》洁，净和：钝化处理；管道内】表面粗糙《度对B？A管道要求》小于Ra40—。EP管道要求小于R！a，。25为此本》条，做此原则性规定 】 6—．2．2  —。普通不锈钢》只，进行初级熔炼常用】熔炼方式《有氩氧脱碳AO【D(A？rgo？n Oxy》gen Deca】rburiz—ation)—、真空感应熔炼VI！M(Vacuum】 Ind《ucti《on Mel—t)：但输送腐《蚀性特种气体为减轻！腐蚀管道材》料宜采用经过—。二，次熔：炼(精炼)的—工艺及真空》。电弧重熔VA—R，(Vacuum【 Arc Re【melt)等工艺二！次真空电弧》熔炼的奥《。氏体：不，锈，钢或镍？基合金无缝钢管此】种管材具有》较强的抗腐蚀性能】管道内表面》进行EP处理可同时！。。满，足洁净和钝化—的目的 — 6．2．3】  近年来的工程】实践表明《电子工厂的特—。种气体管《道系统应《。采用隔膜阀》、波纹管阀等这些】阀门：的阀：座密封材料应—尽量减少《。应用塑料聚合物等】材料的使用量—因为这些《材料易？逸出气？体，容易影响气》体，。。。纯度或引起化学【反应为此《还，应注：意选些材料》时应与？具体特种《。气体：的物理化学性质匹】配如氨？气(N？H3)禁《。止使用氟化橡—胶(：Viton》)材料？、，笑气(N2O—)应使用聚酰亚胺】树脂(V《espe《l，)材料等《 —6．2．4  在】保证安？全和工艺《要求的？前提下节省投资【也是工？程设计的重》。要内容为此本—条规定了双层管的外！管作为安全保护的】第二道？屏障：采用SS304材料！即可满足要求且一】般不做特殊的—洁，净要：求 《 ？。6．：2．5  排气【管道和尾气真空管】道对管道材质没有特！殊要求采用SS【304管道即可满足！要求在实《际，工程：中也有排气管道采用！。PVC材料 【 6．2．6！  本条《。为强制性条》文必须严格执行为避！。。免管道内油脂与【氧化性？介质发？生反应产生燃—烧等严？重后：。果，本条规定管道氧【化性：气体管？道应：经过严格的脱—。脂处理 》