？。 6．2  材【料选型 【 6．2．】1  工程实践表】明电子工厂特种气体！和吹扫气体管道输】送系统常用管道材】料应采用SS—304？、SS316、【SS316L等不锈！钢无：缝钢管和HC-2】2哈氏合《金无：缝，钢，管等根据特种气体】品种和？纯度、杂质含量【要求特种气体—管道内表面应进【行，洁净和钝化处理【；管道内表面粗糙度！对BA管道》。要求小于Ra4【。0EP？管道：要求：小于R？a25为此》本条做此原则—性，规定 》 6．2．【。2  ？普，通不：锈钢：只进行初级》熔炼常用熔》炼方：式有氩氧脱碳AOD！(Arg《on Oxyg【en Decarb！ur：ization)】、，真空感应熔》炼VI？M(Vacuum ！Induct—i，on Melt)但！输送腐蚀《性特种气体为减【。轻腐蚀管道材—。料宜采用经》过二次熔炼(—精炼)的工艺及真空！电弧重？熔VAR(Va【。cuum 》Arc 《Remelt)【等工艺二次真空电弧！熔炼的奥氏体—不锈钢？或镍基合金》无缝钢管此》种，管材具有较强—的抗腐蚀性》能管道内表》。。。面进行？。EP处理可同时【满，足洁净和钝化的【目的 》 6《．2．3  近【年来的工程实—践表明电子》。工厂的特种气—体，。管道系统应采用隔】膜阀、？波纹管阀等这—些阀门的阀座密【封材料应尽量减【少应用？塑料聚合物等材料】。的，使用量因为这些材料！。易逸出气《。体容易影响气体纯度！或引起？化学反应为此还应】注意：。选些材料时》。应，与具体特种气—体，的物：理化学性质匹配如氨！气(NH3》。)禁止使用氟—化，橡胶(V《iton)》材料、笑气(N【2O)？应使用聚酰》亚胺树？脂(：Vespel)材料！等 【6．2？．4  在保证【安，全和：工艺要求的前提下节！省投资也是工程设】计，的重要？内容为此《本条规定了》双层管的《外管作为安全保【护的第？。二，道，屏障采用SS30】4材：料即：可满足？要求且一般不做【特，殊的：洁净：要求 6！．2．5  排【气管道？和尾气？。真空管道对》管道材质没》。有特殊要求采用S】S304《管道即可满足要【求在实际工程中也】有排气管道采用PV！C材料 】 6．2．6—  ：本，条为强制性条—文，必须严格执》行，为避免？管，道内油脂与》氧化性介质》发生：反应产生燃烧等【严，。重后果本条规—定管道氧化性气体管！道，应经过严《格的脱脂处理 】