5．3【  ：其他安全设》施 】 5．3．》。1  为确保生产】厂房和？特种气体《系统的运行安全本】条规：定了自燃性、易燃】。性，、，。剧，毒性、？毒性、腐蚀性气体】的储：存、分配及使用场所！安全设施的设置【 《 ，    《 1  本》款，。规定了设置数字式】视频监控摄像—机、门禁摄》像机、门禁》应考虑？与使：用环境相《适应如有《防爆、防腐》蚀要求的场所—需使用？。相应防护的产—品 《 ，     2  ！本款是从实际情【况看安全管》理显示屏一般安装】在洁净室《内、洁净室》入口服务台》处，、气瓶柜间的入【口等位置《其显示内容为阻止】人员接近危险区域】。以及采取切断阀门】等措施？以TCP《。／IP网络联机方】式连接至洁净室【入口服务台》处之服务器在洁【净室：入口服务台处及【值班室的《工作站可键入日【常信息在安全显【示屏上显示为—此做了本款》规定 《     3！  因为自燃性、】易燃性、毒》性气体一旦》发生泄漏等》安全事故《将对电子《类工厂的生产与人】员生命安全带来【巨大隐患为此本【款规定在这》些气体？的储存、分》配、使用场所内及】相，关建筑主入》口、内？通道等？设置明显的灯—光，闪烁：报警装？置提：醒人员注意采取防】范措施 ！    《4  为了在紧【。。。急情况下切断—特种气体的供应避】免事故的蔓延与扩大！本款规定在自燃【性、易燃性、毒【性气体储存》、分：配、使？用场所入《口处应？设紧急手动按钮由于！应急处理中心—室有专？。人值：班，规定：了主要？紧急手动按》钮设在应急处理中心！室 ？ ？。 5．？3，．2  为防—止地震破坏电—子类工厂的特—种气体系统而—。造成重大次生灾【害对生？产与作业人员带【来危害本条规—。定了在地震多—发地区？特种气体的主要生】。产车间宜设》地震：。探测装置 】 ：5．：3．3  国—外电子工厂地震探测！装，置在运用较普—遍一般设置三组【地震：探测装？置(设置《位，置应根据地震仪【特性：及现场环境因素确】定)为了防》止地震仪误》。动作影响生产并造成！不必要的人员—恐慌本条规定了【只有当？其中任两组同—时检测到里》氏5级以上地震时】才立即执行联锁【控制功能并将警报信！号传送至工厂—设备管理控制系统】 ？ ？    对于实验室！工艺设备少的电【子工厂？按需要设置》地震探测装置不【做，强制要求安》装 【5．3．《。5  从保护人员】生命安全的角度考】虑本条？规定了气体站房应配！置防毒面具、—自吸式防毒面具等安！全防护设施 】 5．3．6】  为了在事故【状态下？保障疏散人员的按照！正确的方向逃—生本条规定了—在特种？气体站房《屋顶最高点处—应设置明显的—风向标 》