？ 5：．2  特种气体】。。。探测系统 — 5．】2，．1  本条是对电！子，工厂中设置特种【气体探测器位置的区！域或场所《的规定本条第1款～！第5款为强制性【条款必须严格执行 ！ ？     1【～3  自》燃，性、易燃《性、剧毒《性、毒性、》腐蚀性气体储存、】分配设备《的排风口因发生特】种气体泄漏可能达】到规定报《警浓度应设》气体探测器 】  《   4 》 使用惰性气体房】间应设置氧气探测器！主要是因为惰—性气体泄漏后可【能使空气中氧浓【度降低到使房间【的，。。作业人员造成窒息且！。国内：外已有多个工厂【发生惰性气体—造成人？员窒息伤亡事故【 》    《 5  自燃性【、易燃？性、剧毒性、—毒性、腐蚀性气体】储存、分配间内的气！体发生泄漏、易【积聚：处，应设气体探》测，器主要是因为气体】储存、分《配间的体积》。相对于生产区较【小，发，生泄漏容易》聚集：。并，达到报警的》数字 —   《 ， 6  《自燃性、《易燃性？、，剧毒性、毒性、腐】蚀性气体《的，使用场所是指使用】以，上，气，体的工艺设备房间内！气体操作箱等气体可！能发生泄漏处附近；！技术夹层内气体探测！器是设置在》有阀门箱等》可，能发生气体泄漏、易！积聚：的设备内 — ？     国际防火！规范IF《C-2018—第270《3．13条(气体】探测系统《)也做了规》定该：条，款摘录如下 【 ：     2【7章  半》导体生？产装置 】。     27【03．13  【气体探测系统— 》   ？  符合916节的！气体探测系》统将：用于：HPM气体》按照2？703．《13．1至》270？3．13．2—．，2的要求气》。体和易燃《性气体的生理学报警！阈值高于可》接受允许《暴露限制(P—ermiss—ibl？e Exposur！。e L？imit  P【EL：) 《   》  2703．【13．1 》 气体侦《测器：需要布置的》。。。地方2703．1】3．1？．1：至2：。。703．13．【1．4节规定了【。。气体：侦测器应《布置的区域 】     27！03．13》．1：．，1  生产区使用H！P，M气体的《电子生产区域应设】置，气体侦测《器   ！ ， 2703．1【3．1．2  【。HPM房间使用H】PM气体《的HPM房间—应设置气《。体侦测？。器， ， ？     —27：03：．1：3．1？．3  气体—柜密闭排风和气体房！。间HPM气体的【气瓶柜和密闭排风】环境HPM气体未放！置在：气，瓶柜或密闭》排风的环境应设置】气体侦测器 — ，   —  2703．13！．1：．，4  ？走道H？PM气体穿越—由墙、地面、顶面构！成的走道应设—置气体侦《测器 】5．2？．2  《由于自燃性、易燃】性、有毒《。气体一旦泄漏超【过规定？值危害性极大为此做！了，本条规定一级—报警后即使气体浓】度发生变化报警仍】。应，。持续只有经人工确认！。并采取相应的—措施后？。才能停止报》警 《 ：   ？  ：特种气体探测系统检！测，装置：主要有以下几种 ！  》   ？(1)自燃性、【易燃：性，气体检测采用—催化：燃烧型检测装置、半！导体检测装》置，、电化？学检：测装置 ！    《(2)毒性》气体检测采用电化】。学检：测装置 ！  ：  (3《)根据使用》场所：的不：同确定不《同特：种气体采样方式正确！选用：扩散式检测》装置：、，单点或多点》。吸入式气体检测装置！ —5．2？．，3  为了》明确检测报警装置】的工作状况》防止事故发生本【条规定了自燃性、易！燃性、毒性》气体检测装》。置报警设定值的要】求本条第1》款～第3款为强制性！条款必须严格—执行 》 ，     1【  ：。本款规定了》。。自燃性、《易燃性气体的一级】报警和二级报警设定！值一级报警设—。定值不？应大于？25％易燃性气体爆！炸浓度下限值二【级，。报警设定值不应大】于5：0％易燃性气—体爆炸浓《度下限？值是为了《在气体早期》泄漏时通《过一次和二次监测报！警自动关闭应急【切断：阀关断气源防—止事态扩大采—用25％和50％分！别作为一级》。。和二级报《警值时？。行业内的《通常做法既》可以：判断气体泄漏泄【漏的气体浓度又【不会引起爆炸 ！     2】  本款规定了【剧毒性、毒》性气：体的一级报》警和：二级报警设定值【目的是在气》体，早期泄漏《时自动关闭应急切】断阀保护工作—人员的？生命安全一级、【二级报警设》。。定值也？是，根，据国：内外多年的使用【经验规定《的 ？ ：    》 3 ？。 本款规定了—惰性：气体间的氧气探测器！的一级报警和二级报！警设定值目的—是为了防《止惰性气体泄—漏导致人员窒息【伤亡氧气探测器一旦！报警启动应急排【风，。和自动关闭应急切断！阀，保护工作人员的【生，命安：全一级、《二，级报警设定值—也是根据国》内外多？年的使用经》验规定的 ！     》4  本款》规定二氧化碳—。气体：系统：宜设二氧化碳气体探！。测器主要是因为近】年来电子工厂—发生二氧化碳泄漏导！致人员伤亡的情况为！保护人员《生命安全制定本款】目前国内电子工厂多！采用5000pp】。m作为C02的【报，警值美？国，消，防协：会，标准压缩气体和低温！液体：规，范NFPA 55】-20？16第A．13【．6．2《．1：条也做了规定美【。国政府？工，业卫生医师学会(】ACGIH)—关于TL《VS和BEI—S即化学物质、【物，理，药物：和，生物暴露数组的临】界极限数组(T【LVS？)C02《的最高？允许浓度值-—时间加权平均容许】浓，度(：TLV-TWA【)确定为《500？0ppm短》。。期，数，组(STEL—-，T，LV)为30—00：0pp？m 《 5．2．4】。  本条《确定：的数值符《合现行国家》。标准石油化工可燃气！。体和有毒气体检测报！警，设计标准《GB 5049【3中的有《。关，规定同时结合—半，导体工厂《使用：气体检测装置产品的！快速响应要求做【出检：测报警响应》时间规定《 》 5．2．》5  气《。。体探测器《的设置位置是—否恰当？将直接影响到能否】及时、正确》报警：为，确保生产厂》房和特种气体—系统安全、稳—定运行本条按特【种气体相《对密：度的不同做出—了气体探测器的设置！位置不同的》规定 ？ 5．【2．6  》。本条为强制》性条文必须》严格执行规定在【。硅烷排风管》。道中设置气体探【测器设定报警值并】与硅烷气源的自动】切断阀进行联锁目的！是为了硅烷系统能做！到早期报警》防止事故产生规定硅！。烷站设置《环境气体探》。测器设定报警值但不！与硅烷自动控制系】统联锁这是为了防】止环境中的硅烷气体！探，测器误报《警导致影响正常生】产综合考虑》安全与生产》的关系后规》定报警但不切—断输送系统工—作人员可在不停产】的情：况下确认报警是否】是由硅烷泄漏引起还！。是其他原因》造成的误报美国国家！标准学会标准硅烷】和硅烷？混合物？的储存和操》作ANS《I／C？GA G-1—3-2015第【11．1．4—．1：条(排风《区域：内，的监控？)和11《．1．4《．2条(排风区域】外的监控)也做【。了规定？现，摘录如下 ！     》。11．1．》4，．，1  排风区域内的！监控排风区域—应，设置监控装》置当硅烷气体浓度小！于或等于《50ppm》时气体监控系—统启动报警 【  》   ？11．？1．4．2》  排风《区域外的监控—排，风区：。域外应？设置监控《装置：当硅烷气《体浓度小于或等于】5ppm时气体监控！系，统启动报警 【