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5《．2 特种气体探！测，。系统
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5．2．【1 ？本条是对《电，。子工厂中设置—特种气体探测—器位置的区》域或场所的规—定本条第1》。款，～第5？款，为强制性条款必【须严：格执：行
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1】～3 自燃—性、：易，燃性、剧毒性、毒】性、腐蚀性气—体储存、分配设备的！排风：口因发生特》种，气，体泄漏可能达到规】定报警浓度》应设气体探》测器
！ 4《 ：使用惰性气体房间应！设置氧气《探测器主《要是：因为惰性《气体泄漏后可能【使空：气中氧浓度降—低到使？房，间的作业人》员造成窒息且国内】外已有多个工厂发生！惰性气体造》成人员窒息伤亡事故！
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： ？5 自燃》性、易燃性、—剧毒性、《毒性、腐蚀性气【体，储存、分配间内的】。气体发生《泄漏、易《积聚处应设气体探】。测器主要是》因为：气体储存、分配间】的体积相对于生产】区较小发生泄漏【容易聚集并达到报】警的数字
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？ 6 自燃性、！易燃性、剧毒性、毒！性、腐蚀《性气体的《使用场所《是指使用《以上气体《的工艺设备房—间内气体操作—箱，等气体可能发—。生泄：漏处附近；技—术夹层内气体探测】器是设置在有—阀门箱等《可能发生气体泄【漏、：易积聚的《设备内
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国】际防火规范IFC】-20？18第270—3．1？3条(气体探测系统！。)也做了规定该条】款，摘录如？下
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】27章 《 半导体生产—装，。置
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【 270《3．1？3 气体探测【系统：
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》 符合916节的！气体：探测：系，统将用于H》PM气体按照2【703．13．1至！2703．1—3，．2．2的要—求，气体和易燃性气体】。的生理学《报警阈值高于—可接受允许暴露限】。制(：Permiss【ible《 E：xp：osure》 Lim《it 《PEL)《。
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《
》2703．1—3．1？ 气？体侦测器需要布【置的地方2703．！13．1．1至2】703．1》。3．1．4节规【定了气体侦》测器应布置的区域】
【 2《703．《13．1．1 生！产区使用《HPM气体的—电子生产区域应设置！气体侦测器
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！2，703．13．1．！2 ： HPM房间使用】HPM？气体的HPM—房间应设置气体【侦测器
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—2，703．13—．1．3 气体】柜密：闭排风和气体—。房间HPM气体的】气瓶柜和《密闭排？风环境HP》M气体未放置在气】瓶柜：。或密闭排《风，的环境应设》置气体侦《测器
】。 2》703．13．1．！4 走道HP【M，气体穿越《由墙、地面》、顶面？构成的走道应—。设置气体《侦测器
《
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5．2．2】 由？于自燃性、易—燃性、有毒气体一旦！。泄漏超过规》定值危害性极大为】此做了本《。。条规定？一级报？警后即使气体浓度】发生变化报警—。仍应持续《只，有经人？工确认并采取相应的！措施后才能停止报】警
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： 特种气体【探测系？统检测装置》主要有以《下几种
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？ (1)自燃性】、易燃性气体检测采！用催化燃烧型检测】装置：、半导体检测装【置、电化《学检测装置
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【 (：2)毒性《气体检测采用电化】学检测装置
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—(3)根《据使用场所的不同】确定不同《特种气体采样方【式正确选用》扩散式检测装置、单！点或：多点：吸入式气体检测装】置，
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5．《2．3？ 为了明确—检测报警装》置的工？作状况？防止事故发生—本条规定了自燃性、！易燃性、毒性—。气体：。检测装置《报，。警，设定值？的要求本条第—1款～第3款为强】制性条款必须严格执！。行
】。 1 本【款规定了自燃性、易！燃性气体的一级报】警和二级报警设【定值一级报警设定】值不应大于25【％易燃性气体爆炸浓！度，下限值二级报警设定！值不应大于50％】易燃性气《体爆炸浓度下限值】是为了？在气体早期泄漏时】通过：一次和？二次监测报警自动】关闭应急切断阀关】断气源防止事态扩大！采用2？5％和50》％分：别作为一级和二【级报警值时行业内的！通常做法既》可以判断《气体泄漏泄漏的【气体浓度又不会引起！爆炸
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2 ！ 本：款规定了《剧毒性、毒》性气体？的一级报警和二级】报警设定值》目的是在《气体早期泄漏—时自动关闭应急【切，断阀保护工作人【员的生命安全一级、！二级：报警：。设定值？也是根据国内外【多年的？。使用经？。。验，规定的
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》 《3， 本款规定了惰性！气，体间的氧《。气探测器的一级报警！和二级报警设—定值目的是为了防止！惰性气体泄》。漏导：。致人员窒息伤亡氧气！探测器一旦报—警启动应急排风和自！动关：。闭应急切断阀保护】工作人员的生—命安全一级、—二级报警设定值也是！根据国内《外多年的使用经验】规定：的
【 《4 本款规定二】氧化：碳气体系统宜设二氧！化，碳气：。体探测器主要是【因为近年《来电子工《厂发生二氧》化碳泄漏《导致人？员，伤亡的情况为保【护人：员生：命安全制定本—。。款目前国内电—子工厂？多采用5《000？ppm作为C0【。2的报？警值美国消防协会】标准压缩气体和低温！液体规范N》FPA 55—-，2016第A．13！．6．2．1—条也做了规定—。美国政府《。工业卫生《医师学会(AC【G，IH：)关于TL》VS：和BE？IS即化学物质、】物理药物和生—物暴露数组的临【界极限数组(TL】VS)？C02的最高—允许浓度值-时间】加权平均容许浓【度，。。(TLV《-TWA)确定为】5，。000ppm短期数！组(：STEL-TLV】)为30000p】pm
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5．2《．4 本》条确定的数值符【合现行国《家标准石油化—工可燃气体和有毒】气体：检测：报警设？计标准GB 504！93中？的有关规定同时结】合半：。导体工厂使用气体检！测装置产《品的快速响》应要求做出检测报警！响应时间规》定
5】．2．5 气体】探测器？的设置位置是否【恰当将直接》影响到能否》及时、正确报—警为确保生》产厂房和特种气体系！统安全、《稳定运行本条按【特种气体相对密度的！不同做出《了气体探测器—的设置位《置不同的规定
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5．2．6 本！条为：强制：性条文必《须严格执《行规定在硅》烷排风管《道中：设置气体探测器【设，定，报警值并与硅烷气】源，的自动切断阀—进行联？锁目：的是为？。了硅烷系统能做到】早，期报警防止事故【产，生规定硅烷站设置环！境气体探测器设定报！警值但？不与：硅烷自动控制系统】联锁这是为》了防止环境中的硅烷！气体探测器误报警导！致影：响正常生产综合【。考虑安全与生产【的关系后《规定报？警但不切断输送【系，统工作人《员可：在不停产的情况下】确认报警《是否是由硅烷泄漏】引起还？是其他原因》造成的误报美国【国家标准学会标【准硅烷和硅烷混【合物的？储存和操作A—N，SI／CG》A G-1》3-2015第1】1．1．4》．1条(排风区域】内的监？控)：和，1，1．1．4．2【条(排风区域外的】监控)？也做了规定现摘【录如下
！ 《11．1．4．【1 排《风，。区域内的监》控，排风区域应设—置监控装置》当硅：烷气：体浓：度小于或等》于50p《pm时气体》监控系统《。启动：报警：
】 11．1—．，4，．，2 排风区—。域外的监《控排风区域外应设置！监控：装置当硅烷》气体浓度小于或等于！5，。ppm时《气，。体监控？系统启动报警—
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