。 5．2 】 特种气《体探测系统 【 ， 》5．2？。．，1  本条是对【。。电子工厂中设置特】种气：体探测器位置—的区：域，或，场所的规定本条第】1款～第5》款为强制性条—款必须严格执行【    ！ 1～3  自燃】性、易燃性、剧毒】性、毒性、》腐蚀性气体储存、】分，配，设备的排风口—因发生？特种气体泄漏可【能达：到规定报警浓度应设！气体探测器 】    — 4  使用惰性气！体房间应设置氧气探！测，器主要是《因为惰性气体—。泄漏后可《能使空？气中氧浓度降低【到使房？间，的作业人员》造，成窒：息且国内外已有多】个工厂发生惰性气】体造成？人员窒息伤亡—事故 —  ？   5  自燃性！、易燃性、》剧毒性、毒性、腐】蚀性气体储》存、分配间内—的，气体发生泄漏、易】积聚处应设》气体探？测器：主要是因为气体储】存、分配间的体积】相对于生《。产区：较小：。发生泄漏《容易聚集并达到报】警的数字 — ？     》6，  自燃性》、易燃？性、剧？毒性、毒性、腐蚀性！气体的使用场所是】指使用以上气体的】工艺设备房》间内气？体操作箱等气—体可能？发生泄漏《处附近；技术—夹层内气《。体探测器是》设置在有阀门箱【等可能发《生，气体泄漏、易积聚】。的设备内《 》   ？ ，。。 国际防火》规范IFC-20】18第2703．1！3条(气体探测【系统)也做了规定该！。条款摘？录如下 《 ？ ，   ？ ， 27章  半导体！生产装置 【     【2703．13  ！气，体探测系《。统 《     符】合，916节《的气体探测系—统将用？于HPM气》体按照2《703．1》3．1至27—03．13．2．2！的要求气体和易燃性！气，体的生理学报警阈值！高于可接受允许暴】露限：制(Permi【ssi？ble Expo】sur？e Li《mi：t  PEL) ！    【 27？03．1《3．：1， ， 气：体侦测器需》要布置？的地方2703．】1，3．1．1至—2，703．《13．？1．4？节规定？了气体侦《测器应布置的—区域 【     270】3．1？3．：1，．1： ， 生产区《。使用HPM》气体：。的电子生产》区，域应设置气体侦测器！ 《 ，  ： ，  2？70：3．1？3，．1．2 》 ，。HPM？房间使用HP—M气体的HPM房】间应设置《。气体侦测器》   】  2703．【13．1．》3，  气？体，柜密：。。闭排风和气体房【间H：。P，M气体的气瓶柜【和密闭排风》环境HP《M气：体未放置在气瓶柜或！密，。闭排：风，的环境？应设置气《体侦测器 —     】。。2703．13．】1．4 《 走道HPM—气体穿越由》墙、地面《、顶面构成的走【道应：设置气体侦测器 】 5—．2．2  由于】。自燃性、易燃性、有！毒气体一旦泄漏超过！。规定值？危害性极大》。为，此做了本《条规定？一级报警后》即使气体浓度发生】变化报？警仍应持续只有经】人工：确认并采取相应的措！施后才？能停止报警 【 ？。    《 特种气体》。探，测，系统检测装》置，主要有以下几—种 》   《  (1)》自燃性、易燃—性气体检测采用催】化燃烧型《检测装置、半导体】检，测，装，置、电化学检测装】置  】   ？(2)毒性》气体检？测采用电化学检【测装置 》。。    【 (3？)根据使《用场所的《不同确定《不同特种《气体采样方》式正确？选用扩散《式检测装置、单点或！多点吸入式气体检】测装置 ！5．2．3  【为了明确《检测报警《装置的工作》。状况防止事故发【生本条规定了自燃】。性、易燃性、毒性气！体检测装置报警设定！。值的要求本条第1】款，～第3款为强制性条！款必须严格》执行 —     1 】 ，本款：规定了自燃性—、，易燃性气体》的一级？报警和？。。二，级报：警设：。定值一级《报警：设定：值不：。应大于2《5％易燃性气体爆炸！浓度下限值二级报警！设定值？。不应大于50—％易燃性气体爆炸浓！度，下限值是为了在【气体：早期泄漏时》通过：一次和二次》监测报警自动关闭应！急切断阀关断气源防！止事态扩大》采用：25％和50—％，分别作为一级和【二级：。报，警值时行《。业内的通常》做法既可以判—断气体泄漏泄漏【的气体浓度又不会】引起爆炸 》    】 2  本》款规定了剧毒性、毒！性气体的一级报警】。和二级报警设定【值目的是在气体早】期泄漏时自动关闭】应急：。切，断阀保？护工作人员的—。生命安全《一级、二级报警【设定值也是根—据国内？外多年？的使用经验》规，定的 》 ，   《  3  本款规】定了惰性《气体间的氧气探测】器的一级《报警和？二级报警《设定值目的是为了防！止惰：性气：体，泄漏导致《。人员窒？息伤亡氧气探—测器一旦报警启动】应急：排风和自动关—闭应急切《断阀保护《。工作人员的生—命安全一级、二级】报警设？。。定值：也是根据国内外多年！的使用？经验规定《的 ？ 《  ：  4 《 本款规《定二氧化碳气体系统！宜设二氧化》碳气体探测器主要】是因为？近年来电子》工厂发生二氧化【。碳泄漏导致人员伤亡！的，情况为保护》人员生命安》全制定本《款目前国《内电子工厂多采用5！000p《p，m作为C02的报】警值美国消防—协，。会标准压缩气体【。和，低温液体规范NF】PA 5《。5-20《16第A．1—3．6．2．1【条也做了规定美国】政府工业卫生—医师：学会(AC》GIH)关于TL】VS和BEI—S即化？学物质？、物：理药物和生物暴露数！组的临界极限—。数组(TLVS【)C02的最高【允许浓度值-时【间加权平《均容许浓度》(TLV-TWA】)确定为5000p！pm短期数组(ST！EL：-TLV)》为30000pp】。m ？ 5．—2．4  本条确定！的数值符《。合现行国家标准石油！化工可燃《气体：和有毒？气，体检：测报警设计标准GB！ 50？493中的有关规定！同时结合半》导体：工，厂使用气体检测【装置产品的》快速响应要求做【出检测报《。。警响：应时间？规定 ？ 5．2．！5 ： 气体探测》器的设置位置是【否恰当将《直接影？响到能否及时、正】确，报警：为，确保生产厂房和【特种气体系统安全】、稳定？运行本？条按特种《气体相？对密度的不同—做出了气体探—测器的设置》位置不同的规定 】。 5—．2：．6  本条为【强制性条文必须【严格执行规》定在硅烷排风管道中！设，置气体探测器—设定报？警值并与硅烷—气源的自动切—断，阀进行联锁目—的是为了硅烷系统能！做，到早期报警防止【事故产生规定—硅烷站设置环—境气体探测器设定】报，警值：但不与硅烷自—动控制系《统联锁这是》为了：防止环境《中的：硅烷：气，体探测？器误报警《导致影响正常生【产综合考《虑安：全与生？。产的关系后规定报】警但不切断输送系统！工作人员可在不停产！的情况下《确认报警是否—是由硅烷泄》漏引起还是其他原】因造成的误》。报美国国家标—准学会标准硅—烷和硅？烷混合？物的储存和操—。作ANSI／CGA！ G-13-2【015第11．【1．4．1条(【排风区域内的监控)！和11．1．4．】2，条(排风区》域，外的监控)也—做了规定现摘录如】下 《     11！．，1．4．1  排风！区域内的监控—排风区域《应设置监控装—置，当硅烷气体浓度小于！或等于50p—pm时气体监—控系统？启动报警《  【   11．1．】4．2  排风区】域外的监《控排风区域》外应设置监控装【置当硅烷气体浓度小！于或等于5ppm时！气体监控系》统启动？报警 《