5．—2  特种气—体，探测系统 — 5．2！。．1  本条是对电！子，工厂中设置特种气体！探测器位置的区域或！场所的规《定本条第1》款～第5款为强制性！条款必须严格执行】 《  ？ ，。  1～3 — 自燃性、易燃【性、剧毒《性、毒性《、腐蚀性气》。体储存、分配设备】的，排风口因发生特种气！体泄漏可能达到规定！报警浓度《应设：气体探？测器 ？ ：     4】  使？用惰性气体房间应设！。置氧气？探测：器主要是因为惰性】气体泄？漏，。。后，可能使空《气中氧？浓，度降低？到使房？间的作？。业人员？造成窒息《且国内？外，。已，有多个工厂发生【惰性气体造成人【。员窒息伤亡事故 ！    【 5  自燃性【、易燃性、剧—。毒性、？。毒性、腐《蚀性气体《储存：、分配间内的气体】发生泄漏、易积【聚处应设气体探测】器主要是《因为气？体储存、《分配间的体》积相对于生产区较小！发生泄？漏容易聚集并达到】报警的数字 【   —。  6  自燃性、！易燃性？、剧毒性、毒性、腐！蚀性气体的使用【场所是指《使，用以上气体的工艺设！备房间内气体操作】箱等气体可》能发生泄漏》处附近；技术夹【层内气？体探测器《是设置？在有阀门《。箱，等可：能发生气体泄—漏、易积聚的设备】内， 《 ：    国》。。际防火规范IF【C-201》8第：270？3．13条(气体】探测系？统)也？做了规定该条—款摘录如下 】 ？。    2》7章  半导—体生产？装置 》 ？  ： ，。。 2703．13】 ， ，气体探测系统 】 ：     —。符合916节的【气体探测系统将用于！HPM气《。体按照2《703．13．【1至27《03．1《3．2？．2的要求气—体，和易燃性气体—的生理学《报警阈值高于可接受！允许暴露限制(【Permi》s，sible Exp！osure —Limit — PE？L)：  【 ，。  270》3．13．1  气！体，侦测器需要布—置的地方《270？3，．1：3．：1．1至2》703．13．【1．4？节规：定了气体侦测—器应布置的区域 】 ，     2！7，03．13．1【．，1  生《产区使用HP—。M，气体的电子》生产区域应设置气体！侦测器 】     》2703．13．1！．2  HPM【房间使用H》PM：气体：的HPM房间应设置！气体侦测器 ！     2【70：3．13．1．【3  气体柜密闭排！风和气？。体房间H《P，M气体？。的，气瓶柜和密闭排风】环境H？PM气体未放置在】气瓶柜或《密闭排风《。。。的环境应设置—气体侦测器 】     27！。。03．1《3．1．《4  走道》HP：M气体穿越》。由墙、地《面，、顶面？构成的走道应—设，置气体侦测器 ！ ， ：5．2？．，。2  由《于自燃性、易—。燃性、有《毒，气体一旦泄》漏超过规定值危【害性极大《为此做？了本条规《定，一，级报警？。后即使气体浓度发】生变：化报警仍应持续【只有经人工》确认并采取相应的】措施后才《能，停止报警 — ？     》特种气体探测系统检！测装置主要》有以下几种 —  —   (1》)自燃？性、易燃性气体检】测采用催化燃—烧型检测装置、半导！体检测装置》、电化学《检测：装置  ！   (2)—毒性：气体检测采用电化】学检测装置 【    【 (：3)根据使用—场所：。的不同确定不同特种！气体采样方式—正确：选用扩散式检测【装置、？单点或多点吸—入式气体《检测装置 — 5．2．3！  为了明确检【测报警？装置的工《作状况防《止事故发生本—条规定了自燃性、易！燃，性、毒性气体检测装！置报警设定值的要求！本条第1款～—第3款为强》制，性条款必须严格【执行 》   》  ：1，  本？款规定了自燃性、易！燃性气体的一—级报警？和二级报《警设定值一级报【警设：定值不应大于25％！易燃性气体》爆炸浓度下限值二级！报警设定《值不应大于50％】易燃性气体爆炸浓度！下限：值是：为了在？气体早期泄漏—时通过一次和—二次监测报警自动】关闭应急切》断，阀关断气源防—止事态扩大采用25！％和50％分—别作为一级和二级】报警：值时行业内的通常做！法既可以判断气【体泄漏泄漏的气体】浓，。度又不会引起—爆炸 《 ：  ？   2《  本款规定了剧毒！性、毒性气》体的一？级报警和二级—报警：设定值目《。的是在气体早期泄漏！时自动关闭应—急，。切断阀？保护工？作人员的生命安全】一，级、二级报警设定值！也是根据国内外【多年的使用经验【规定的 ！    3 —。。 本款规定》了惰：性气体间的氧气【探测器的一》。级报警？和二级报警设定值目！的是为了防止惰【性气体？泄漏导致人员—窒息伤亡氧气探测器！一旦报警启动应【急排风？。和自动？关，闭应：急切断阀保护工【作人员的生》。命安全一级、二级报！警设定值也是根【据，国内外多年的—使用经验《。。规，定的  ！   4  本【款规定？二氧化碳气体—系统宜设《二氧化碳气体探测器！。主，要是因为近年来电子！工厂发生二氧化【碳泄漏？导致人员伤亡—的情况为保护人员生！命安全制定本款目前！国内电子工厂多【采用5？000p《pm作为C》02的报《警，值美国消防》协会标准压缩—气体和低《温液：体，规范NFPA 55！。-2016第A【。．，。。13．？6．2．1条也做】了规定美国政府【工业卫生医》师学会？(AC？GI：H)关？于TLVS和BEI！S即：化学：物质、物理》药物和？生物暴露数组的临】。界极限数组(TLV！S)C02的最高允！许浓度值-时间加】权，平均容许浓度(T】LV-TW》A)确定为5000！ppm短期》数组(？STE？L，-TLV《)为300》00ppm ！ ：。5．2．4  本】条确定的数值—符合现？行国：家，标准：石油：。化，工可燃？气，体，和有毒？气体检？测报警设计标准G】B 50493中】的有：关规定同时结合半】。导体工厂使用气体】检测：装置产品的快速响应！要，求做出检测》报警响应《时间：规定 《 ， ： 5．2．5  】气体探测器的设【置位置？是否恰当将直接【影，响到能？否及时、正确报警为！确保生产厂房和特种！气体系统安全—、稳定运行本条按特！种气体相对密度【的不同做出了—气体探测器的设【置位置不同的规定 ！ 》5．2？．6  本条为【强，制性条文必须严格执！行规定在硅》烷排：风管：道中设置气体—探测器设定报警值并！与硅烷气《源的自动切断阀进】行联锁目的是为了】硅烷系统《能做到早期报警防】止事故产生规定硅】烷站设置环境气体探！测器设定报警值【。但不与硅烷自动控】制系统？联锁这是为》了防止环境中的【硅烷气？体探：。测器误报警导致影响！正常生产综合考虑安！全与生产的关—系后规定报警但不切！断输：送，系统工作《。人员可在不停—产，的情况下确认—报，警是否是由》硅烷泄漏引起—还是其他原因造成的！误报美国国》。家标准学《会标：准硅：烷和硅烷混》合物的储《存，和操作ANSI【／CGA G-13！-2015第11．！1．4．1条—(排风区域内的监控！)和11．1—．4．2条(排风区！域外的监控)—也做了？规定现摘录如下 ！     1！1．1．4》．1 ？ 排风区域内—的监控排风区域【应设置监控装—置当：硅烷气体《浓度小于或等于5】0ppm时气体监】控系统启动报—警，   】  ：11．？1．4．2  排】风区域外的监控【排风区域外》应设：。置监控装置当硅烷气！体浓度小于》或等于5《ppm时气体监【控系统启动报警 】 ，