5．2 】 特种？气体探测系统 】 5【．2．1 》 本条是对电子【工厂中设置特—种，气体探测器》位置的？区域：或场所的规定本条第！1，款～第5《款为强制性条款【必须严格执行—    ！ 1～3  自【燃性、易燃》性、剧？。毒，性、毒性、》腐蚀：性气体储存、分配设！备的排风口因发生特！种气：体泄漏？可能达到规定—报，警浓度应设气体探测！器 》     4 】。 使用惰性》气体：房间应？设置氧气探测器主要！是因为惰性》气体泄漏后可能使空！气中氧浓《度降：低到使房间的作【业人员造《。成窒息且《国内外已有多个【工厂发生《惰性气体造》成人员窒息伤亡事】故， — ，   ？5  ？自燃性、易燃—性、剧毒性、毒【性、腐蚀性》气体储存、分配【间内的气体》发生泄漏、》易积：聚处应设气》体探测器《主要是因《为气体储存、分【配，间，的体积相对于生产】区较小发生》泄漏：容易聚集并达到报警！的，数字 —     6  ！自燃性、易燃性、】剧毒性、《。毒性：、腐蚀性《气，体的使用场所是指】使用以上气体的【工艺设备房间内【。气体操？作箱等？气体可能《发生泄漏处附近【；技术夹层内气体】探测器是《设置在有阀门箱等】可，能发生气体泄漏、易！积聚的？设，备内 【  ：。   ？国际：防火规范IF—C-201》8第2703．13！条(气体探测—系，统)也做《了规定该条》款摘录如《下 》 ，     2—7章：  半？导体生？产装置 【    》 2703．1【3  气《。体探测系《统 —    《 符合916节的气！体，探测系统《将用于HPM气体】按照：27：03．13．1【至，27：。03．13．2．2！的要：求气体和易》燃性：气体的生理学报警】阈，值高于可接受允许暴！露限制(Permi！ssible 【。E，xposure【 Limit 【 PEL)》   】  270》3．13．1—  气体侦测—器需要布置的地方2！703．13．1】．1至2703．1！3．1．4节规定】了气体侦测》器应：布置的区域》   】 ， 27？0，3．1？3．1．1 — 生产？区使用HPM气体的！电子生产区域—应设置？气，体侦测器 】   《  2703—．13．1．—2  HP》M，房间使用HP—M气体的HP—M房：间应：设置气体《侦测器 ！    2703．！13．1．3—  气体柜》密，闭，排风和？。。气体房间HP—M气体？的气瓶柜和密闭【排风环境HPM气体！未放置在气瓶柜或密！闭排风的环》境应设置气体侦【测器 ？ 《     270】3．13．1．【。4 ： 走道HPM气【体穿越由墙、地【面、：顶面构成的走道应设！置气体？侦测器？ 5．】2，．2  由于自燃性！、易燃性、有毒气体！一旦：泄漏超过《规定：值危害？性极大为《此做了本条规定一】级报警后即》使气：体浓度发生》变化报警仍应—持续：只有经人《工确认并采》取相应的措施后【才能停止报警 【  —   特种气体探测！系统检测《装置主？要，有以下几《种 》  ？   (1)—自燃：性、易燃性气体检测！采用催？化，燃烧型检测装置、】。半导：体检测装置、电化】学检测装置 — ？   《  (2)》毒性气体检测采【用电：化学：检测装置《    ！ (3)根》据，使用场所《的不同确定不同特种！气体：采，样方式正确》选用：扩散式检测装置【、单点？或多点？吸入式气体检测装】置 【5．2．3》  为了明确检【。测报警装置》。的工作状况》防止事故发》生本条？规定了自《燃性、易《燃性、毒《性气体检《测装置报警设定值】的，要求：本，条第1款～第3款为！强制性条款必—须，严格执行 】 ：    1  本】款规定？了自燃性、易燃性气！体的一级报警和【。二级报警设定值【一级报警设定值不】应大于25％易燃性！气，体爆炸浓度下—限值二级报警设定】。值不应大于50％】易燃性气体爆炸浓】度下限值是为了【在气体早《期，泄漏：时通过一次和二【次监测报警自动关闭！应急切断阀》关，断气源防止事—态扩大采用25％和！50％分别》作为一？。级和：。二级报警值时行【业内的通常做法【既，可以判断气体泄漏泄！漏的气体《浓度又不会引起【爆炸 ？ ，     】2  本款规定了剧！毒性、毒性气体【的一级报警和—二级报警《设定：值目的是在气体早】期泄漏时自》动关闭应《急切断阀保护工作人！员的生？命安全一《级、二级报警设【定值也是根据国【内外多？年的使用《经验规定的 】     【3  本款规—定了惰性气体—间的氧气探测器的一！级报：警和二级报警—设定值目的是为【了防止惰性》气体泄漏导致人员】窒息伤？亡氧气探测器一旦报！警启动应急排—。风和自？动，关闭应急《切断阀？保护工？作人：。员的生？命，安全一级、二级报】警设定值也是根据】国内外多《。年的使用《经验规定的 —    】 4 ？。 本款？规定二氧化碳气【。体系统宜设二氧【。化碳气体探测—器，主要是因为》近年：来电子工厂发生二氧！化，碳泄漏导致》人员伤亡的情况为保！护人员生命安全制】定本款目前国内电】子工厂？多采用50》00：。ppm？作为C0《2，的报警值《美国消防协》会标准压缩气—体和低温液体规【范NFPA 55】-2016》第，A．：。13．6．2．【1条也做《了规：定美国政府》工业卫生医师学会(！ACGIH)关于T！LVS和BE—。IS即化学物质【、，物理药物和生物【。。暴，露数组的临》界极限数组(TLV！S)C02的最高允！许浓度值-》时间加权平均容【许浓度(TLV-】TWA)《确定为5000【。ppm短期数—组(：STE？L-TL《V，)为：30000ppm】 —5．2．《4  本条确定的数！值符合现行国家标】准石油？。化工可燃气体和【有毒气？体检测报警设计标准！GB ？50493中的有关！规，定同：时，结合半导体工—厂，使用气？体检测？。装置产品的快速响】应要求做出检测报】警响应时间规定 ！ ？ 5．2《．5  气体—探测器的设置位置是！否恰当将《直接影响到能—否及时？、正确报警》为确保生《产厂房和特》种气体系统安全【、稳定运行本条按】特种气体相》对密度？。的不：同做出了气体探【测器的设《置位：置不同的规定— 》 5．2《．6  本条为强制！性条：文必须严格》执行规定在硅烷排】风管道中设置气体探！测，。器，。设定报警《。值并与硅烷气源【。的自动切断》阀进：行联锁目《的是为了硅》。烷系统能做到早期报！警防止事《故产生规定硅烷站】设置环？境气体？探测器？设定报警值但—不与：。硅，烷自动控制》系统联锁这》是为了防止环—境，中的硅？烷气体探测器误报警！导致影响正》常生产综《合考虑安《全与生产的关—系后规定报警—但不：切断输送《系统工？作人员可《在不停？产的情况下确认报】警是否是由硅烷【泄漏引？起还是其《。他原因？造成的误报美国国】家，标准学会标准—硅，烷和硅烷混》合物的储存》和操作ANSI／】C，G，A G-13-【。2015第11．1！．4．1条》(排风区《域内的监控)和【11．1．4．2】条(排？。。风区域外的监控【。)也做了规定现摘录！如下 ？   【  11．1．4．！1  排《风区域内的监控排】。风区域应设》置监控装置当硅烷】气体浓度小于或等】于50ppm—。时气：体监控系统启动【报警 《 《 ，   1《1．1．4．2  ！排风区域外》的监控？排风区域外》应设置监控装置当硅！烷，气体浓度小》于或等于5ppm】。时气体监控系—统启动报警 【