5．—2， ， 特种？气体探测系统 ！ 5—．，。2，．1  本条是对电！子工厂中设置特种气！体，。探测：器位置的区域或【场，所的：规定本条第1—款～第5款为强制】性条款必须严格执】行 ？    【 1～3  自燃】。性、易？燃性、剧《毒性、毒性》、腐蚀性《气体：储存：、分配设备的排【风口因发《生特种气体》泄漏可能达》到规定报《警浓度应设》气体：探测器 》。  》   4《  使用惰》性气体？房间：应设置氧《气探测器主》要是因为惰性气体泄！漏后可能使空—气中氧浓度降—低到使房间的作业人！员造成窒息且国【内外已？有多个工厂发生【。惰性气体造成人员窒！息伤亡事故 】 ？。。    《。5  自燃性—、易燃性、剧毒【性、毒性、腐蚀性】气，体储存、分》配间内的气体—发生泄漏、》易积聚处应设气体】探测：器主要是因为气体储！存、分配间的体【积相对于生》产区较？小发生泄《漏容易聚集并达到】报警的？数字 —     —6  自燃性、【易燃性、《剧毒性、毒性、腐蚀！性气体的使用场【所是：指使用以上》气体的工《艺设备房间内—气体操作箱》等气体可能》发生泄漏处》附，近，；技术夹层》内气体探测器—是设置在《有阀门箱等可能【发生气体泄漏、【易积聚的设》。备内  ！   国际防火规范！IFC-《2018第270】3．13《。。条(气体探测系【统)也做《了规定该条款—。摘录如下《  【   2《7章：  半导体生产装置！ ，    】 2703》．13？  气体探测系【统  】 ，  符合916节的！气体探？。测系统将用于H【P，M气体按照2703！．13．1至27】03．13．2【．，2的要求气体和易】燃性气体的》生理学报警阈值【高于可接受允许【。暴，露限制？(P：ermi《ssible— ，Exposure】 Limi》。t  P《EL) — ：     2—703？．13．1  气】体侦：测，器需：。要布置的地方27】03．1《3．1．1》至270《3．：13．1．4节规定！了气体侦测器应【布置的区域 —     ！2703．13．1！．1  生》产，区使用HPM气【体的电子《生产区域应设置气】。体侦测器 》 ：     27！。03．13．—1．：2  H《PM：房间使用HP—。M气体的HPM房】间应设？置气体侦《测器 】    2703．！13．1．3—  ：气体柜密闭排—风和气体房间HPM！气体的气瓶柜—和密闭排风环—境HPM气体未放置！在气瓶柜或密闭排风！的环境应《设置气体侦测器 ！  》   2703．1！3．1．4》  走道《HP：M气体穿越由墙、地！面、顶面构成的走】道应设置气体侦【测器 ？ ？ 5．2．2  ！由于：自燃：性、易？燃性、有毒气—体一旦泄漏超过规定！值危：害性极大为此做【了本：。条规定一《级，。。报警后即使气体浓度！发生变化报警仍应持！续，只有经人工》确认：并采取？相应的措施》后才：能停止报《警，。 ：     特！种气体探测系统【检测装？置，。主要有以下》几，种 》     (1)！自燃性、《。易燃：性气：体检测采用催化【燃烧型？检，测装置、半导体【检测装置《、电化学检》测装置 《    】 (2)毒》性气体检测》采用电？化学检测装置 】 ：    》 (3)根据使用场！所的不同确定不【同特种气体采样【方式正确选用扩【散，式检：测装置？。、单点或多》点吸入式《气，。体检测装置 】。 5．》。2．3 《 为了明确检测报】警装置的工作状况】防止：事故发生《。本条规？定了自燃性》。、易燃性、毒—性气体检测装—置报警？设定值？的，。要求：本条第1款～第3】款为强制性条款必须！严，格执行 【 ：    1 — 本款规定了自燃性！。、易燃性气体的一级！报警和二级报—警设定值一级报【警设定值不应大【于25％易燃—性气体爆《炸浓度下限值—二级报警《设定值？不应大于《5，0％易燃《性气体爆炸浓度下限！值是为了在气体早期！。泄漏时通过一次和】二次监？测报：警自动关闭应急【切断阀关断》气源防止事态—扩大采用25％和5！0％分别作为—一级和二《级报警？值时行业内的通常】做法：既可以判断气体泄漏！泄漏的气体浓度又】不会引起爆炸 】     】2  本款规定【了剧毒性、毒性气体！的一级报警和二级】报警设？定值目的是在气体】早期泄？漏时自动关闭—应急切断阀保护工】作人员的生命—。安全：。一级、二级报警设定！值也是根据国内外多！年的使用经》验规定？的  】   3  本款】规定：了惰性？。气体间的氧气探测器！的一级？报警和？二级报警设定值目的！。是为了？防止惰性《气体泄漏导致人【员，窒息伤亡氧气—探测器一旦》报警启动应》急排风和自》动关闭？应急切断《阀，保护工作人员—的生：命安全一级》、二级报警设定【值也是？根，据国内外多》年的使？用经验规定的 ！     【4  本《款规定二氧化碳【气体系统宜》设二氧？。化碳气体探测—器主要是《因为近年来电子工】厂发生二氧化碳泄】漏导致人员》伤亡的情《况为保？护人员生命安全【制定本款目前国内电！子工：。厂多采用《500？0ppm作为C【02的报警》值美国？消防协会标准—。压，缩，气体和低温液—体规范NFP—A 55-2—016第A．—13．6．2．【1条也做了规定美】。。国政府？工业卫生医师学会(！ACGIH)—关于：TLVS和BE【IS即化学物—质、物理药物和生物！。暴露数组的临界【极限数组《(TLVS)C0】2的最高允许浓【度值-？时间加权《平均容许浓》度(TLV》-T：WA)确定为—50：00ppm短—期数组(《STE？L-TLV)为【30000p—pm ？ ： 5《．2．4  本条确！定的数值符合现行】国，。家标准石油化工【可燃气体《和有毒？气体检测《。报警设计标准—GB 50493】中的有关规定—同时结合半导—体工厂使用气体【检测装置《产品的快速响—应，要求：做出检测《报警响应时间规定】 ， ，。 《5，．2．5  —气体探？测器的设置位—。置，是否恰当将直接影响！到能否及时、正确报！警为确保生》产厂：。房和：特种气体系》统安全？、，稳定运？。。行本条按特》种气体相对密度的不！同做出了《。气体探测器》的设置位置不同的】规定 5！．2．6  —本条为强制性—条文必须《严格执行规定在硅烷！排风管？道中：设置气体探测器设】定报警值并与硅【烷气源的自动切【断阀进行联锁目的是！为，。了硅烷系统能—做到早期《报警防止事故产生规！定硅烷站设置—环境气体探测器设】。定报警值《但不与硅烷自动【控制：系，统联锁这是为了【。防，止环境中的硅烷气】。体探测器误》报，。。警，导致影响《正常生产综合—考虑安？全与生产《的关系后《。规，定报警但不切断输送！系，统工作人《员可在不停产的情】况下确认《。报警：是否是？由硅烷泄漏引—起还是其他》原因：造成的误报》美国国家标准学会标！。。准硅烷和硅烷混【合物的储存》和操作ANSI／】CGA 《G-13-20【15第11》．，1．：4．1条(排—风区域内的监—控)和11．1．4！．2条(排风区域外！的监控)也》。。做了规定《现，摘录如下 】     11．！1．4．1》  排风区》域内的监控排风【区域应？设置监？。控装置当硅烷气体】浓度小于或》等于50《。ppm时气体监控】系统启动《报，。警 ？     1！1．1．4．2 】 排风区域外—。的监：控排风区域外—应设置监控装置【当硅烷气体浓度小于！或等于5ppm时】气，体监控系统》。启动报警 —