。 ？ 5．2  特种气！体探测系统 】 ， 5．2．】1  本条》是对电子工厂中设置！特，。。种气体探测器—位置的区域或—场所的规定本条第】1款～第5款为强】制，性条款必须》严格执？。。行， ：     1！～3  《自燃性？、易燃性、剧—毒性、？毒性、？腐蚀性气体储存【、分配设备的排风口！。因发：生特种气体泄漏【可能达到规定报【警浓度应设气体【探，测器 】    4  【使用惰性《气体房间应设置氧气！探测器？主，要是因为惰性气体】泄漏：。后，可能使？空气中氧浓度降低到！使房间的作业人员造！成窒息且国内外【已有：多个工厂发生惰性】气体造成人员—窒息伤亡事故 】    【 5  自燃性、】易燃性？、剧毒性《、毒性、腐》蚀性气体储》存、分配间》内的：气，体，。发生泄漏、易积【聚处应设气体探测器！主要是因为气体储】存，、分配间的体—积相：对于生产区较小【发生泄漏容易聚集并！达，到报警的数字 【     ！6  自《燃性、易燃性、【剧毒性、《毒，性、：腐蚀性？气体的使《。用场所是指使用【以上：气体的工艺设—备房间内气体操作】。箱等气体可能发生泄！漏处附近；技术【夹层内气《体探：测器是设置在有阀】门箱等？可，能发生气体泄漏、易！积聚的设备内— ： ？  ：   国际》防火规范IFC-】20：18第2《703．1》3条(气体探测系统！)也做了规》定，该条款摘录如下【 《     —。27章？  ：半，导体生产装置 】。 《    270【。3，．13  气体探】测系：统   ！  符合916节】的气体探《。测系统将用于H【PM气体按照—。2703．13【．1至27》0，3．13．2．2的！要求气体和易燃【性气体的生》理，学报警阈值高—于，可接：受，允许暴露限制—(P：ermi《s，sib？le Exposu！re Li》mi：t  ？PEL) ！ ，    《27：0，3．13．1—  气体侦》测器：需要布置的》。地方2703．1】3．1．1至2【703．1》3．1．4节规【定了气体侦测—器，应布置的区域 ！ ？    2》703．13—．1．1  —生产区？使用H？PM气体的》电子生产区域应设置！气体侦测《器 》     2【703．13．1】．2  H》PM房间使》用HPM《气体的HP》M房：。间应设置气》体，侦测器 】     270】。3．13．1．3 ！ 气体柜密闭排风】和，气，体房间H《PM气？。体的气瓶柜》和密闭排风环境H】PM气体未放置在气！瓶柜或？密闭排风的》。环境应设置气—体侦测器 【   》  2703．1】3．1．4  走道！HP：M气体穿越由—。墙、地面、顶面构】成的走道《。应设置气《体侦测器《 ： ： 5．2．—。。。2  由《于自燃性《、易燃性、有—毒气体一旦泄漏【超过：规，。定值危害性极—大为此？做了本条规定一级报！警后即使气体浓度发！生变化报警仍应持】续，。只有经人《工确认并采取相应的！措施后才能》停止报警 》   【 ， 特种气体探—测系：统检测装置主要有以！。下几种 《。  —。。   (1)自【燃性、易燃性气体检！测采用催化燃烧【型检测装置、半导体！检测装？。置、电化学》检测装置 ！     (2)毒！性气：体检测采用电—化学检测装置 】   —  ：(，3)根据使用场所的！不同确定不同—特种气体采样方式正！确选用扩《散式检测装置、单点！或多点？吸入式气体检测【。装置 ？ 5．2】．3  《为了：明确检测《报警装置的》工作：状，况防止事故》。发生本条规》定了自燃性》、易燃性、毒性气体！检，测装置报警设定值的！要求本条第1款～】第3款为强制性条款！必须严格执行 ！     1 ！ 本款规定了—自燃性？。、易燃？。性气体的一级报警和！二级报警设定值一】级，报警设定值不应大】于，25：。％易燃性气体—。爆炸浓度下限值二级！报警设？定，值不应大于50％】易燃性气体爆炸浓】。度下限？值是为了在气—。体，早期泄漏时通过一】。次和二次监测—报，警自动关闭应急【切断阀关断气源【防，止事态扩大》。采用2？。5％和50％分【别作为？一级和二《级报警值《时行：业内的通常做—法既可以《判断气体《。泄漏：泄漏的气体浓度又不！会引起爆炸 】   》。  2  本款【规定了剧毒性、【毒性气体的一级报警！和，二级报警设定值目】的是在气体早—期泄漏时自动关闭应！急切：断阀保护工作人员】的生命安全》。一级、？二级报警设定值【也是根？据，。国内外多年的—。使用经？验规定的 ！ ，。    3 — 本款规《定了惰性气》体间的氧《气探测器的一级报】警和：。二级报警设定值目】的是为了防止惰性】气，体，。泄漏导致人员窒息伤！亡氧气探测器一旦报！警，启动应急《排风：和自动关闭应急【切，断阀保护工》作人员的《生命安全一级、二级！报警设定《值也是根据国内外多！年的使用经验规定】。的 ？     4！  本款规定—二氧化碳气体系统宜！设二氧化碳》气体探测器》主要是因为近年来】电子工厂发生二【氧，化碳泄漏《导致人员伤》亡的情况《为保护人员生命【安全制定本款目【前，国内电子工厂多采用！5000pp—m作为C02的报】警，值美国消防协—会标准？压，缩气体和低温液体规！范N：FPA 55-2】016第A》．13．6．2．】1条也做了规—定美国政府》工业卫生医师—。学会(ACG—IH)关于》TLVS和BEI】S即化学物质、物】。理药：物和生物暴露数组】的临界极限》数组(TLV—S，)C：02的最高允许【浓度值-时间—加权平均容许浓度】(TLV-TW【A)确定为5000！ppm短《期数组？(STEL》-T：LV)为3》0000ppm【 ， 5—．，。2．4？ ， 本条确定的数值符！合现行国家标准【石油：化，工可燃气《体和有毒《气体检测报警设计】标准GB 5049！3中的有关规定同时！结合半导体工厂使】用，气体检测装置—产品的快速响应要】求做：出检测报警》响应时间规》定， 《 ：5．2？。．5  气体—探测器？的设置？。位置是否《恰当将直《接影响到能否及时、！正确报？警，为确保生产厂房【和特种气体系统安全！、稳定运行本条按特！种气体相对密度【的不同做出了—气体探测器的设置位！置不同的规定 ！。 ： ，5．2．6  本条！为强制性条文必须】严格执行规定在硅烷！排风管道中设—置，气体探测器设定报】警值并与《硅烷：气，源的自动切断—阀进行联锁》目的是为了硅烷【系统能做到早期报】警防止事故产生规定！硅，烷站：设置环？境气体探测器设定报！。。警值但不与硅烷自动！控制系统联锁这是为！了防止环境》中的硅烷气体探测】器，误，报警导致影响正【常，生产综合考虑—安全与生产的—关系后规定报—。警，。但不切？断，输送系统工作人【员可在不停产—的，情况：下确认报警是否是由！硅烷：泄漏引起还是其【他原因造成的—误报美国国》。家，标准学会标准硅烷和！硅烷混合物》的储存？和操作AN》SI／CGA G-！13-2015第1！1．：1．：。4．：。1条(排风》。。区域内？的监控)和1—1．1．4》。．2条(排》风区域外的》监控)也做了规【定现摘录如》下   ！  11．》1．4．1 — 排风区域内的监】控排风区域应设置】。监控装置当硅烷【气体：浓度小于或等于5】0pp？。m时气体监控系统启！动报警 【    》 11？。．1．4．2—。  排风区域外的监！控排风区域外应设】置监控？装置当硅烷气体浓】度小于或等于—5，。pp：m时气体监控—系统启动报警— ， ，