2  【术语 ！ 2．？0．1  》特，种，气体    s【pecial—ty gas ！ ，     电子】产品生产外延、化学！气相沉积、刻蚀、】掺杂：等工艺中使用的自】燃性、易燃性、【剧毒性、毒性、腐】蚀，。性、氧？化，。性，。、惰性等特殊气体 ！ 》2．0．《2  自燃性气【。体 ：  ： pyrop—。。horic ga】。s 》  ？   ？也称作发火气—体是指在空气中【等于或？低于54℃时可【能自燃的易燃气体】 2．0！．，3  易燃性气体 ！ fl？am：。mab？le gas—   】  一种在20【℃和标准压力10】1．3kPa状【态时空气混合有一】定易燃？范围的气体》 —2．0．4 —。 剧毒性气体—    hig【hly toxi】c， gas 】     半致】死浓度(《空气中吸入4h【)小：于或等于《100mL／m3】的气体？ 》 2．0．5  】毒性：气体： ，   toxic】 gas 》 ，  》。   半致死浓度(！空气中吸入4—h)大于100【mL／？m，3，但不：超过：2500mL／m】3的气体 —。 2．0【．6  腐蚀—。性气体  corr！osive g【as：。    ！ 对材料《或人体组织通过【接触产生化学反应】引起可见破坏或不】可逆变化的》气，。体 《 2．》0，．7  氧化性【气，体  ox》idizi》ng ga》s  】  ： 一般通《过提供氧气》比空气更能导致【和促：使其他物质》燃烧的任何气体 ！ 2．—0，．8 ？ 惰性气体   】 ，in：er：t g？as 》  《  ：。 在：。一般情况下不会【与其：他，物，质产生化学反—应的气体 —。 ， 2．》0．9 《 ，低，蒸汽：压力气体  —  l？ow vapo【r p？ressur—e gas 】     在】室温：下的饱和蒸气—压，小于0？．2MPa的气体】 ： ： 2．0．1【0，  特种气体—系统：    《spe？cialty 【gas 《s，yst？em —     —特种气体的储存、】输送与分配过程的】设备、管道》和附件的总称— 2．】0．11  —。。大宗硅烷系》。统    bu【。lk si》la：ne ？system 】 ，。     是】指包：括ISO《标准集装《瓶组：、长管拖车、钢瓶集！装格、Y型卧式钢】瓶或：总的水容积超—过250L的硅【烷系统 《 ： ， 2．《0．12  大【。宗特种气体系统  ！。  bulk—。 sp？ecialty【 gas sys】te：m —     一般【指单个？气体设备容积—大于400L的【特种：气体储存和送气系统！ 2．0！．13？。  液态特》种气体？系统：    《liqui》d spe》cialty 【gas sy—stem ！  ：   是指》以液态？输送、分配在用户】终端进？行汽化？的特种气体》系统： ？ ，。 2．0．1【。4  气《体，探测系统   【 gas 》detec》to：r sy《stem《(GDS) 【  》   设置在特种】气，瓶柜、气瓶架、阀】门箱、？阀门盘及其他特种】气体输送设》备与管道《所，覆盖：区域通过检测—本质气体或关联【气体在空气》中的浓度来判—断本质？气体的泄漏从而发】出声光报警信号、提！供探：测，。数据的系统 — 2．0】．1：5 ： 气体管《理系统    ga！。s manag【ement sys！。tem(G》M，S) 》   》。  包含特》种气体探测系统【、应急处理》。系统、工作管理【系统、监视系—统、数据传输与处】。理系统的气体管理】。与控制？系统的统称 ！ 2．0》．16 《 生产区  —  fabr—。ica？tio？n， area 【  》   电子生产厂】房内布置《生产设？备及相关的研发【、测试的区域有些】生产过程《。将使用危险性—生产材料该》区域：为生产厂房的核心区！域 — 2．0．17【 ， 特种气《体，间  ？  s？pecialt【y gas r【oom 《 ： ，。    》 电：子生产？厂房放置《特种气瓶柜》、气瓶架、卧式气】瓶，、气瓶集《装格、？尾气处理装置等气体！设备并通过管道向生！产，设备输送特种气【体的房间 ！ 2．0．18 】 特种？气体站    sp！e，cialt》y， gas stat！ion 】     电—子工厂放置》卧，式气瓶、气瓶集装】格、ISO标准集装！。瓶组、？长管拖车、尾气处理！。装置等气体》设备：并通过？管道：向用生产厂》房，气设备输送特—种，气体的独立建(【。构)筑物 》 ？ 2．0．19】  ：特种气？体站房 《   s《peci《alty《 gas sta】tio？n and r【oom ！。    是指—在电子工厂特—种气体间与特种【气体：站的统称 — 2．0．】2，。0  ？硅烷站    s】ila？ne stati】on ？  —   ？是，指放：。置硅烷或硅烷混【。合气体？钢瓶、钢瓶》集装格、卧式钢瓶】、长管？拖车或ISO标准】集装瓶组《、硅烷气《化装置、尾》气处理装置、电气装！置，等并通过管道向【生产厂房供应硅烷】气体：的独：立建(构)筑—物或区域 ！ 2．0《．21 《 气瓶集《装格    th】e bundle ！of g《as cylind！ers ！    用专用金】属框架固《。定采用集气管将【多，只气：体钢瓶接口》并联组？合的气体钢瓶组单元！ 2．0！．22  1—。S()标准集装瓶】组  ？  I？SO： mo？dule 》 ， ： ，    《 采用集气》。。管将气体《钢瓶、长管钢瓶【或气瓶集装格相互】连接并安装》在专用金属框架上的！组，合集装模块 ！ 2．0．—23  气瓶柜 】   g《as c《abin《et(GC) 【 ？     —特种气体使》用的封闭《式气瓶放置与气体输！送设备？ —2．0．24—。。。 ， 气瓶架《   ？ ga？s rack—(GR) 】   《  特种气体使用的！开放式气瓶放置与气！体输送设备 【 2．0【．25 《 阀门箱   【 valve 【manifold ！box(VMB【) 【   ？ 特种气体在输送过！程中使用的封闭式】管道分配箱体用于向！一个或多个工艺设】备提供特种气—体 ： 《 2．0．26【  阀门盘  【  val》v，e ma《nifo《ld ？panel(—VMP) 【 ？    特》种气体在输送过程】中使用的开》。放式管道分配装置用！。于向一个或》多个工艺《。设备提供特》种气：体 【2．0．27—  尾气处理装置 ！   loc—al scrubb！er：。 ， ， ？     自燃【性，、易燃性、剧毒性】、腐蚀性等气体的排！气，与吹扫气体的现场处！理装置处理后的【尾气达到《规定：排放浓度《并排入用气车间的】。排气管？道 《 2．0．2】8，  卧？。式气瓶    h】oriz《ont？al cy》linder— ：     用！。于储存较多》特种气体《的气瓶一般》水容：积为：450L《、950L》 2．0！．29  限流【孔板    r【estrict【。 flow or】。ifice(R【。FO) 【 ，   ？  限定流体系【统最：大流量的一》种装置 【 2．0．3【0  过流开关 】。   ？excess—。 ，flow《 swit》ch(EFS) ！ ， ？  ：  流体系统的流量！。超，出设定？值时给出《开关信？号 — ，2．0．《31 ？ ，负压气源   【 sub-a—tm：ospheric】 gas《 source(】SA：GS) 【。     1【型在标准温度和【压力下？钢瓶：内，和阀门出口均为负】压的气源 】    》 2：型，在，标准温度和压力【下钢瓶内为正压【阀门出口为》。负压的气源 — 2．0．！。32：  不相容性  】  incompa！tible — ？    》 不同气体混合后】即发生化学》。反应释放出能量并】对环境？。产生危害作用的【特性 【 2．？0．3？3  吹扫》 ，   pur—ge  ！  ： 用氮气或》惰性气体《。对特种气体系统内】的本：质，气体或工《。作，气体：进，行置换的《过程 】2．0．34  排！气    ven】。。t 《     特】种气体？设备与系统中—排出的本质气体或】。工作：气体： 《 2？．0．？35 ？。 气体面板   】 gas pane！。l  】   集成切—断阀门？、调压阀、过滤器】、压力计等零部【。件的专？用设施？ 《 2．0．36】  半致死》浓，度    》lethal c】oncentr【atio《n ：50(L《C50) 【     【在空气中使健—康的成年大》白鼠连续吸入1【h能引起《受试白鼠在14d】内死亡一半的—气体的浓度 】 2．0．【。37  爆炸—浓，度下限？值，    《。low？ exp《lo：si：on ？limit》(LEL) ！ ，     易燃性气！体在空气或》。氧化气体中发生【爆炸的浓度下—限值 — 2．0．38 ！。 最高允许》浓，度值：    《th：reshold l！imit valu！。e，(T：LV) 》 ？     毒性【气体在空气中的【浓度：小于该值时充分且持！续，暴露于该环境中【的作用？人员的健康不会受到！。损，害 《 ： 2．0．3—9  最《高允许浓度值-【时间加权平均允许】浓度    t【hreshold】 l：i，m，it val—ue-ti》me： weighted！。 average】(TLV《-TWA《) ：。。。  —   ？作业：人员：。按每天8h每—周5d工作制工作】健康：不会受到损害的毒性！。气体时？间加权平均浓—度 ？