2 — 术语 ！ ， 2．0．1  】特种气体    】speci》。alty gas】    ！ 电子产品生产外延！、化学气相沉积、】。刻蚀、掺杂》等工艺中使用的自】。燃，性、易燃《性，。、剧毒性、》毒性、腐蚀性、【氧，化性：、惰性等特殊气体】 ？ ：。 2．0．2—  自？燃性气体 》   pyr—oph？oric gas ！。 ： ：。    《 也称作发火气体】是，。指在空气中》等于或低于54℃时！可能自燃的易燃气体！ —2．0．《3  易《燃性气？体  flamma！ble g》as 【     一种【在，20：。℃和标准压》力101．3—kP：a状态时《空气混合有》一定易燃《范围的气《体 》 2？．0．？4  剧《毒，性气体  》  hig》hly tox【i，c gas ！ ：    半致死浓】度(空气中》吸入：4，h)小？于或：等于100mL／m！3的气体 】 2．0．—5  毒性气—体    to【xic gas 】     ！半，致死浓度(空—。气中吸入4h)【大于100》mL／m3但不【。超过2？500mL／—m3的气体 — 2．0．！6  腐蚀》性气体  》c，or：rosive g】as 】 ，   对《材料或人体组织通】过接触产《生化学？反应引起可见—破坏或不可逆变【化的气？体 ？。 《2．0．7  【氧化性气体  o】xidizing】 gas 】    》 一般通《过提供？氧气比空《气更能导致》和促使其他物质燃】烧的：任何气？体 2】．0．8  惰性气！体，    inert！ g：as —     在一】般，情况下不会与—其他物质产生化学反！应的气体 】 2．《0．9？  低蒸汽压力气体！    l》ow vapo【。r ：pre？ss：ure gas【 》     在—室温下的饱和蒸气】压小于0．2MP】a，。的，气体 【 2．0．10【  特？种气体系统    ！specialty！。 gas syst！em 《 ：     特【种气体的储》存、输送与分配【过程的设备》、管道和附件的总】称 2】．0．11  【大宗硅烷系统   ！ bu？lk s《ilane》 system ！  》   是《指包括？ISO标《。准集装瓶组、—长管拖？车、钢？瓶集：装，。格、Y型卧》式钢瓶或总的—水容积超《过250L的硅烷】系统 — 2．0．12 ！ 大宗特《种气：。。体系统  》  ：bulk s—pecia》lty gas【 system ！    【 一般指单个气体】设备容积大于400！L的特种《气体储存和送—气系统 》 ： ， 2．？。0．13《  液态特种气体系！统   《 liqui—d， specialt！y gas —syst《em：   】  是？指以液态输送、分配！在，。用户终端进行汽化】的特：种气体系《统 2】。．0：．14  气—体探测系统   】 g：as det—ector》 sys《tem？(GDS) — 《。    《 设：置在特种气》瓶柜、气瓶》架、阀门《箱、阀门盘》及其他特种气体输】送设备与《管道所覆盖区域通过！检测本质气》体或关联气体—在空：气中的？浓度来判断本质气体！的泄漏从而》发出声光报警信【号、提供探测数【据的系统 】 2．0》．15 《。 气体？管，。理系统 《   ga》s mana—gement 【。system—(GMS) —     ！。包，含特种？气，体探测？系统、应急》处理系统、工—作管理？系统、？。监视系统、数据传】输与处理《系统的气体》管理与控《制系统的统》称 ？ ， 2．0．1】6  生产区 【   f《a，brication！ area ！。 ，    《 ，电子生产厂房内布】置生产设备及相关的！。研发、？测试的？区域有些生产过程将！使用危险性生产【材，料，该区域为生》产厂房的《核心区域《 ， ： ：。 2．0．17  ！特种气体间》    sp—ecial》ty gas ro！。om： —  ：  电子生产厂房放！置，特种气瓶柜、气瓶】架，、，卧式气？瓶、气瓶集装格、尾！气处理装置等气体】设备并通《过管道向生产设备】输送特种《气体：的房间 — 2．》0．18《  特种气体站 】  ： sp？ecialty 】gas sta【tio？n 》 ：    电子工厂】放置卧式气瓶、气】。瓶集装格、》ISO标《准集装瓶组、长管拖！车，、尾气处理装置【等气体设备并—通过管道《向，用生产厂《房气设备输送特种】气体的独立建(构】。)筑物 ！2，．0．1《9  特种》气体站房  —  sp《ecialty 】gas sta【ti：on and ro！o，m —     是指【在电子工厂特种【气体间？与特种气体站的统】称 2】．0．？20  硅烷站  ！  silane ！st：a，tion 】    》 是指放置硅烷或】硅烷混？。合气体钢瓶、钢【瓶集装格、卧式钢】瓶、长管拖》车，或ISO标准—集装瓶组、硅烷气化！装置：、尾气？处理装置、电气【装置等？并通过管道向生产】厂房供应硅烷气体】的独立建(构)【。。筑物或区域 【 2》．0：．21？  气？瓶集装格    t！he： bund》le ？。of gas c】ylinders ！   【  用专用金属框】架固：定采用集气管将多只！气体钢瓶接口—并联组？合的气？。体钢瓶组单元 ！ 2．0．【22  1S()】标准集装瓶》组    I—SO mo》dule《 —    采》用集气管将气体钢瓶！、长管钢《瓶，或气瓶集装格相互连！接并：安装在专《用金属？框架：上的组合集》装模块 ！。2．0．2》3 ： ，。气瓶柜    g】。as c《abine》t(GC《) 《 ，    》 特种气《体使用的封闭式气瓶！。放置与气体输送设备！ —2．0．24 【 气瓶架  —  gas ra】ck(GR》) 》。  ？   特种气—体使用的开放—式气瓶放置与气体输！送设备 《 ？ 2．0．25 ！ 阀门箱  — ， val《ve： mani》fold bo【x(VMB》) 【    特种气【体在输送过》。程中使用的封闭式】管道：分，配箱体用于向一个】或多个工艺设备提供！特种气体 【。 ， 2．0》．26  阀—门盘  《  valve 】。manif》old panel！(V：MP) 】    《 ，特，。种气：体在输送《过程中使用的开【。。放，式管道？分配装？置用于？向一个或多个工艺设！。备，提供特种气体 】 2．—0．2？7  尾气处理装】置    》local —scrubber ！     ！自燃：性、易燃性、剧【毒性、？腐，蚀性：等气体的《排气与吹扫气体【的现场处理装—置处理后的》尾气达到规定排【放浓度？并排入用气》车间的排《气管道 ！2．0．28—  卧式气瓶 【   h《orizont【al cylin】der —    — 用于储存较多特】种，气体的气瓶一般【水容积为《450L、95【0，L 2】．0．29》  限？流孔：板    re【s，tr：ict flo【w or《i，fice(》RFO) 【    — 限定？流体系统最大流【量的一种装置 】 2》．0．30》  过流《开关    —excess f】。low sw—itch《(EFS) 【    【 流：体系：统的流量《超出设定值时—给出开关信号— 2【．0．31》  ：负压气源    s！。u，b-atm》osphe》ric？ g：as： s：ource》(SAGS) 】     1！型在：标准温？度和压力下钢瓶内】。和阀门出口》均，为负压的气源 ！。 ：     2型在】标准温度和压力下】钢瓶内为正压阀门】出口为负《。压的气源 ！ 2．0．32  ！不相容？性    inc】ompat》ible 【 ：    《 不同？气体混合后即—发生化学反应—。释放出能量并对环境！。产生危害《作用的特性 — 2．【0，．33  吹—扫    pur】ge 》     用氮！气或惰？性气体对《。特种气体《系统内的本质气体】或工作气《体进行置换的过程 ！ ， ， ：。 2．0．》34  《排气：    vent ！ 《。。     特种【气体设备与系统中】排出的本质气体或工！作气：体 ？ 2》．，0．35  气体】面板   》 gas p—。anel 【 ：     集—成切断阀《门、调压阀、过滤器！、压力计等》零部件的专用设施】 2【。．0．36  半致！死浓度    l】etha《l ：conc《entr《。ati？on 50(—LC：50) 【 ：。    在》。空气中使健康的【。成，年，大白鼠连《续吸：。入1h能引起受试】白鼠在？1，4d内死《亡一半的气体的浓度！ 《 ， 2．0．》37  爆炸—。浓度下限值 —   low ex！p，losion li！mit？(LEL) 【    【 易燃性气体在空】气或氧化气》体中发生爆炸的【浓度：下限值？ 2．0！．38  最高【允许浓度值 —   thre【shold》 limit 【value(TLV！) 《     【毒性：气体在空气中的【浓度小于该值时充分！且持续暴露于该环境！。中，。的作用人《员的健康不会—受到：。损害 》 2．0—．39  最—高，允许浓度《值，-时间？加权：平均允许《浓度：    thres！hold《 limit v】alue《-tim《e w？eighted 】av：erage(TL】V-T？WA) — ：  ：   ？作业：人员：按每天8h每周5d！工作制？工作健康不会—受到损害的毒—性气体时《间加权平均浓度 ！