2  【术语 】 2．《。0．1 《 特种？气体  《。  speci【alty《 gas 》    】 电子产品生产【外延、化《学气相沉积、刻蚀、！掺，杂等工？艺中使用的》自燃性、易》燃性、剧毒性、毒性！、腐蚀性、》氧化性、惰性等【。特殊气体 ！ 2．？。0．2  自燃【性气体 《  ： pyr《ophori—c g？。as ？ ： ？    《也称作发火气体【是指在空气中等于或！低，于54℃时可能自】。燃的易燃气体 【 2—．0．？3  易燃》性气体  fla】m，ma：ble 《g，as 》     一种！在2：0℃和标《准压力101．3k！Pa状态时空气混】合有一定易》燃范围的气体— ？ 2．》0．4  剧毒性气！体    hig】hly？ toxic 【g，as 】   ？ 半：致死浓度(空—气中吸入4h)【小于或等于1—00mL／》m3的气《。体 》 2．0．5  ！毒性气？体    》toxic ga】s， —  ：  半致死浓度【(空：气，中吸入4《h)大于100【mL／m3但不超过！25：00mL《／m3的气体 】。 2》．0．6 》 腐蚀性气体  】c，orro《sive gas ！ ：     【对材料或人》体组织通过接触产生！化学反应引》起可见破坏或—不可逆变化》。的气体 《 ， 2．0．】7  氧化性气体 ！ oxi《dizing ga！s  】  ： 一般通过提供氧气！比空气更能导致【。。和促使其他物—质燃烧的任何气【。体 ？ 2．0．8！  ：惰性气体    】inert》 gas ！     在一般情！况下：不会与其《他物质产生》化学反应《的气体？。 —2．0．9 — 低蒸汽压力—气，体    lo【。w vapor p！ressu》r，e g？as  ！   在室温下的饱！和蒸：气压小？于0．2M》P，。a的气？体 ？ 2》．0．10 — ，。特种气？体系统    s】pecialty ！g，as sy》stem ！    《 特种气《。体的储存、输—送与分配过程的【设备、管道和—附件：。的总称 ！2．0？．11  》大宗硅烷系统 【   bu》lk： sila》ne： system ！ ？     》是指包？。括IS？O，。标准集装瓶组、长】管拖车、《钢瓶集装《格、Y型卧式—钢瓶：或总的？水容积超过25【0L的硅烷系统 ！ 《2．0．1》2  大宗特种【气体系统    】bulk spec！ia：lty g》as syst【em ？。。。   【  一般指单个【气，体设备容积大于40！0L的特《种，气体储存和送气系】统 — 2．0．》13：  液态特种气体系！。统  ？  liquid ！specialt】y g？a，s syst—em 】    是指—以液态输送、—分配在用户终—端进行？。汽化的特种》气体系统 — ？ 2．0．14【  气体探测系【统    gas】。。 d：e，te：。cto？r sys》te：m，(GDS《。) ？ ，    — 设置在特种—气瓶柜、气》瓶架、阀门箱、阀门！盘及其他《特，种气体输送》设备与管道所覆【盖区：域通过检《测本质？气，体或关联《气，体在空？气中的浓度来判【断本质气体的泄漏】从，而发出声光报警信】号、提供探测数【据，的系统 ！2．0．15 【 气：体管理系统  【  gas m【。anage》men？t syst—em：(GMS) — ： ，  ？   包含特种气体！探，测系统、《应急：处理系统、工—作管：理系统？、监视系统、数【据传输与处理系统】的气体管理与控【制，系统的统称 — ： ： 2．0《．1：6  ？生，产区    —。fabric—ation ar】ea ？ ，   — ， 电子生产厂房内布！置生产？设备及相关》的研：发、测试的区域【有些生产过程将使】用危：险性生产材料该【区域为生《产厂房的核心—区域 《 2．0．】17：  特种《气体间    s】p，ecialty g！as r《oom 》 ，     电】子生产？厂房放置特种气瓶柜！、气瓶？架、卧式气瓶、气】瓶集装格《、尾气处理装—置，等气体设备并通【。过管道向生产设【备输：送特种气体的—房间 《 ：。 ， 2．0．1—8  特种气体站 ！  ： sp？ecia《lty gas【 station】   】  电子《工厂放置卧式气瓶】、，气，瓶集装格、》ISO标准集装瓶组！、长管拖车、尾气处！理装置等气》体设备并通》过管道？向用生产厂房—气设备？输送：特种气？体的独？立建：(，。构)筑？物 2】．0：．1：9  特种气体【站房：    spec】ialty gas！ s：tati《on ？and roo【m ？  》。   是指》在电子？工厂特种气》体间与特种》。气，体，站的统称 】 2．0．—。2，0  硅烷站—    si—lane stat！ion？ —。  ：  是指《放置硅烷《或硅烷混合气体钢瓶！、钢瓶集装格—、卧：式，钢瓶、长管拖车或】ISO？标准集装瓶》组、硅烷气化—装置、尾《气处：理装置、电气装【置等并通过管道向生！。产厂：房供应硅烷气—体的独立建(构)筑！物或区域 【 2．0—．，21  气瓶集装】格，。    t》h，e bund—le of —g，。as cylind！ers 【  ？   用专》用金属框架固定采】用，。集气管将多只气体】钢，瓶接口并《联组合的气体钢【瓶组单元 【 2．0—．22  》1S()《标准集？装瓶：组，    I》SO ？mo：dul？e   ！  采？用，集气管将气体—钢瓶：、长管钢瓶或气瓶集！。。装格相互《连接：并，安装在专《用金属框架上的【组合集装模块— 2．】0．：2，3  气瓶柜  】  ：gas cabi】net(GC) 】 ？     特种气！体使用的《封，闭式气瓶放》置与气体输》送设：备 2】．0．2《。4  气瓶架  】  gas r【ack(G》R) 】。   ？ ，特种气体使用的开】。放式气瓶放置与气】。体输送设备 ！ 2．《0．25 》 ，阀门箱    v】alve ma【nifol》。。d box(V【M，B) 《 《    特》种气体在《输送过程中使用【的封闭式管》道分配箱体用—于向一个《或多个工艺设备提】供，。特种：气体： 2【．，0．26  阀【门盘    va】lve mani】fold pane！l(VMP) ！ ，。     特【种气体？在输送过《程中使用的开放式】管道分配装置用于向！一个或多个工艺【设备提供特种气体】 —2．0．27  】尾气处？理装：置    l—oc：。al ？scrub》ber —    — 自：燃性、易燃性—、剧毒性、腐蚀性等！气体的排气与吹扫】气体的现场处理装置！处理：后的：尾气达到《规定排放浓度并【排入用气车间的排气！管道 — ， ，2．0．28 【 卧式气瓶    ！hori《zontal 【c，ylinder ！     用！于储存较多》特种气体的气瓶一般！水容积为4》5，0L、？950L — 2．0．2！9  限流孔—板    》。rest《ri：ct： f：low ori【fice《。(RFO) ！   《 ， 限定流体》系统最大流》。量的一种装置 】 2．0．3！0  过流开—关 ：   ex》cess f—low swi【tch？(，EFS) —    【 ，流体：。系统的流量超出【设定值时给》出开：关信号？ —2．0．31  负！压气源   — sub-》atmo《spheric g！as sourc】。e(SAG》S) 《    【 1型在标准温【度和压力下钢瓶【内和阀？门出口均为负压的气！源  】   2型在标【准温：度和压力下钢瓶【内为正压《阀门出？口为负压的气源 ！ 2．0【．32  不—相容：性    i—ncom《p，atib《le ？ ：  《  ： 不同气体混合后】即发生化学反应释】放出能量并对—环境产？生危害？作用的特性》 2【．0．？33  吹》扫，   ？ purg》e 《     用氮！气或惰？性，气体对？特种气？体系统内的》本质气体或工作气】体进行置换的过程】 2．0！．34  排气【 ，。  ： vent 】  《   特种气体【设备与系统》中，排，出的本？质气体或工》作气体 ！2．0．3》5  ？气体面板 》   g《as pan—el  ！ ，  集成切断阀门】、调压阀、过滤【器、压？。力计等零部件的专】用设施 — ， 2．0．36 ！。。 半致死浓度—    le—thal《 concent】。rati《on ？。50(LC50【) ： 》。。 ，  ： 在空气中使健康的！成年大白鼠连续吸入！1h能引起受试【白鼠在14d内死】亡一半的气体的浓】度 2．！0．37  爆炸浓！度下限值    】low ex—p，。losion l】imit(LEL)！ ？ ，  ？   易燃性气【体在空气《或，氧化气体《中发生爆炸的浓【度，。下限值 》 2．0．】38：  最？高允许浓度值   ！ thresh【old l》imit val】ue(TLV—)，   】  毒性气体在空气！中的浓度小于该【值时充？分，且持：。续暴露于该环境【中的作用人员的【健康不会受到损【害 — 2．0．39  ！最高允许浓度—值-时？间加权平均允—许浓度  》  thresho！ld limi【t val》ue-time 】weight—ed a《verage(T】LV-TWA) 】 ：     作业！人员按每天8—h每周5d工—。。作，制工作？健康不？会受到损害的—毒，性气体时《间加权平《均浓度 》