， 2 》 ，术语 】 2．0．—1  ？特种气？体    s—p，ecialty g！as 】   ？ 电子产品生产外延！、化：学气相沉积、刻【蚀、掺？杂等工？艺中使用的自燃性、！易燃性、剧》毒性、毒性、腐蚀】性、氧化性、惰【性等特殊气体— 2．0！。．2  《自燃：性，气体 ？   pyro【p，hor？ic gas 【 ，     】也称作发火气—体是指？在空气中等于或【低于54℃时可【能，自燃的易燃》。气体 — ：2．0．3 —。 易燃性气》体  f《lamm《able《 g：as ？  —   一《种在20℃和标【准压力101．【3kPa状》态时空气混》合，有一定？易燃范？围，的气体 ！2．0．4  剧】。毒性气体 》 ，  ：。highly— to？xic g》as —     半致】。死浓度(空气中【。吸入4？h)小？于或等于100mL！／m3的气体 ！ 2．0．【5  毒性气体【    toxi】c gas》  【   半致死浓【度(空？气中吸？入，。4h)大于100】mL／m3但—不超过？2500mL／【m3的气《。体 【2．：。0．6  腐蚀性气！体  ？corr《osive ga】。s —     对材【料或人体组织通【过接触产《。生化学反应引—起，可，见，破坏或不《可逆变化的》气体 ？。 ？ ：2．0．7  氧】化性气体  o【xidizing】 gas 】    》 一般通过》提供氧气比空气更能！导致：。和促使其他物—质燃烧的任何—气体 ？ ， ？ 2．0．8  惰！性气体  》  i？nert gas ！   【  在一般情况下不！。会与其他物质产生化！学反应的气体 ！ ？2．0．《9  低蒸汽压力气！体    l—ow v《apor pre】s，。。sure《 gas ！  ：  ： 在室温《下的饱和蒸》气压：小于0．2》MPa的气体 【 《 2．0．1—0  特种气体【系统 ？   ？specialty！ gas sys】te：m   ！ ， 特种气《体的：储存、输《送与：分配过程的设备、】管道和附件的总称】 》 2．？0．11  —大宗硅烷系统   ！ bul《k s？ilane sys！tem 》   —  是指包括ISO！标准：集，装瓶组、长管拖【。车、钢瓶集装格、】Y型卧式钢瓶—或总：的，水容积超过》25：0，L的硅烷系统 ！ ， 2．0．12 ！ 大宗特种气体【系统：    bulk ！specialty！ gas 》system 【     ！一般指单个气体【设备容？积大于？400L的特种气体！储，存和送气系统— 》 2：。．0．13  【液态：特种气体系统 【   ？liquid 【special【ty g《as syste】m ？     】。是指：以液态输送、—分配在用户终—端进行汽化的特【种气体系统》 ： 2．—0．：1，4  ？气体探测系统   ！。 gas det】ector sys！tem(《GDS) 】  ？。   设置在特【种气瓶柜、气瓶架、！阀门箱、阀门盘【及其他特种气体输】送设备与管》道所覆盖《区域通过检测本质气！体或：关联气体在空气中】的浓：。度来判断本质气【体，的泄漏从而发—出声光报警信号【、提供探测数据【的系统 — ， 2．0．—15  气体—管理系统《    gas m！。ana？g，ement —system(G】MS：)  】   ？包含：特种气体探测系统、！应，急处理系统、工【作管理系统》、监视系统、数据】传输：与处理？。系，统的气体管理与【控制：系统的统《称 ？ ， ？2．：0．：16： ， 生：产区 ？ ，  fabr—icatio—n area 】     电！子生产？厂房内布置生产【设备及相关的研发】、测试的区域—有些生产过程将【使用危险《性生产材《料该区域为生产厂房！。的核心区域 — ？。 2．0．17】  特种《气体间？。    s》pecialty】 ，gas 《room — ，     【电子生产《厂房放置特种—气瓶柜、气瓶架、卧！式气瓶、气瓶—。集装格、尾气处理装！置等气体设备并【通过管道《向，生产设备输送特【种气体的房间 】 2．0．1！8  特种气—体站：    s》。pecialty】 gas stat！ion？ ，   【  电子工厂放置】卧，式气瓶？、气瓶集装格、【ISO标准集装瓶组！、长：管拖车、尾气—处理装置等气体【设备并通《过管道？向用：生产：厂房气设备输送特种！气体的独《立建(构)筑物 ！ 2．0【．19  特种【气体站？。房  ？ ， s：pec？。ialt《y gas s【tation a】nd room ！     】是指在？电子工厂特》种气：。。体间与特种》气体站的《统称 》 2．0．20！ ， 硅烷站  — ， silane【 stati—on 《  》   是指放置【硅烷或硅烷混—合气体钢瓶、钢【瓶集装格、》卧式：。钢瓶、长管拖—车或I？SO标准集装瓶【组、硅烷气》化装置、尾气—处理装置、电气装】置等并？通过：管道：向生产厂《房供应硅烷气—体的独立建(构)筑！物，或区域 】。 ，2．0．21  】气瓶集装格    ！the b》un：dle of g】as： cyl《i，nder《s —     用专用】金属框架《固定采用集气管【。。将多只气《体钢瓶接口》并联：组合的气体钢瓶组】单元 2！．0：．22  》1S()标准集装】瓶组    —I，SO mod—ule 】 ，    采》用集气管将气体【钢瓶、长管》钢瓶或气瓶集—装格相互连》接并安装在》专用金属框架上的】组合集装模块 【 2．0．！。23：  气瓶《柜    gas】 cabin—e，。t(GC) ！     特种气！体使用的《封闭：式气瓶？放，置与气体《输送设备 】 2．0．24 ！ ，气瓶架    g】as ？。rack(GR) ！。 ， ？  ：   特种》气体使用的开—放，式气：瓶放置与气体输送】设，备 ： ： 2《．0．2《。5  阀《。门箱   》 val《ve manif】old bo—x，(V：MB) —     【特种气体《在输送？过程中使用的—封闭式管道分—配箱体用《于向一个或多—个工艺设《备提供特种气体【。 2．0！．，。26  阀》门，盘   《 valve m】anifol—d， pa？nel(VMP) ！。  —   特种气体在输！送过程中使用的开】放式管道《。分配：装置用于向一个或多！个，工艺：设备提供特种气体 ！ 2．0．！27  尾气处【理装置  》 ， lo？cal 《scrub》ber？ 《     自【燃性、易燃》性、剧毒《性、腐蚀性》等气体的排气与吹扫！气体的现《场处理装《置处理后《的尾气达到规定排放！浓度并排入用气车间！的排气管道 ！。 2．0．28 ！ 卧式气瓶 —   hor—izontal【 cy？linder 】 ：   《  用于《储存较多特》种气体的气》瓶一般水容积为【。45：0L：。。。、950《。L 【2．0．29  】限流：孔板   》 r：estr《ict flow】 orifice(！RFO) 》    】 限定流体系统最大！流量：的一种？装置 】。2，．0．30  过】流开关？。    ex—ces？s flow sw！。i，。tch(EF—S) 《    【 流：体系统的《流量超出《设定值时给出开关信！号 》 2．0．31】  负？。压气源？ ，   s《ub-atmos】pheric ga！s ：source(S】AGS) 》  —   ？1型在标《准温：度，和，压，力下钢瓶内和—。阀门出口均为负压】的气源 【     2【型在标准温度和【。压力下钢瓶》内为正压阀门—。出，口为负压的气源【 ， ？。 2．0．—32  《不相容性 》   incomp！atible 【   【  不同气体混合后！即发：生化学反应释—放，出，能量并对《环境产生危》害作用的特性— ： ： 2．0》．，33：  吹扫    】purge ！     用【氮，气或惰性气》体对：特种气？体系统内的本—质气体或工作气体】进行置换的过程 】 2．【0．34《  排气   【 v：ent —    — 特种气体设备与系！统中排出的本—质气：体或工？作气体 《 2—．0．35  【气，体面板   — gas p—an：el 《     】集成切断《阀门、调压阀、【过滤器、压力—计等零部件的—专用设施 】 2．0》．，36  半致死浓度！   ？ lethal c！oncent—rat？。i，on ？50(LC50)】 —   ？ 在：空气中使健康的成年！。大白：鼠连续吸入》1h：能引起受试白鼠【在14d内死亡【一，半，的气体的浓》度 《 2．0．3】。7  爆炸浓度下】限值    lo】w ex《。p，losion 【limit(LEL！) 【    《易燃性气体在空【气或氧化气体—中发生爆炸的—浓度下限值 —。 《 2．0．》38  《最高允？许浓度值    t！hre？shold lim！it va》lue(TLV【)， ， ？     毒性气！体，在空气？中的浓度小于该值时！充分且？持续暴露于该环境】中，的作用人员的—健康不会《受到：损害 【 2．？0．39  最【高允许浓度值-时】间加权平《均允许浓度》    《th：reshol—d limit 】value-—time we【igh？ted av—erage(—TL：V-TWA》) 》。  ？。  ： 作业人员按每天】8h每周5d工【作制工作健康不会】受到损害的毒性【气体时？间加权平《均浓度？ ：