2  【术语 》。 《 ，2．：0．1  特种【气体    —specia—lty gas 】 ？     —电，子产品？生产外延、化—。。学气相沉积》、刻蚀、《掺杂等工艺》中使用的自燃性【、易燃性、剧毒性、！毒性、腐蚀性、氧】化性、惰性等特殊气！体 2】．0．2《  自燃性》气体    —py：ropho》ric？ gas ！     也称作】发火气体是指在空】气中等于或》低于54℃》时可：能自：燃的易燃气》体 》 2．《0．3  易燃性气！体  ？。flamma—ble gas【 《。 ：    一种在2】0℃和标《准压力10》1．3？kPa状态》时空气混合有一定易！燃范围的气体 【 2—．，0．4  》剧毒性气体  【  highl【y， to？。xic 《gas？   】  半？致死浓度(空气中】吸，入4h)小于或【等于100mL／】m3的气体 ！ 2．0．5 】。 毒性气体   】 toxic— gas 】 ：。。    《半致死？浓度(？空，气中吸入4h)大】于100mL—／m3？但不超过2500】mL／m3的气【体 2】．，0．6  腐—蚀性气体  co】rrosive【 ga？s 》 ：    对》材料或？人体组织通过接触产！。生化：。学，反应引起可》见破坏或不》可逆变化《的气体 《。 ， 2．0．】7  氧化性气体】  oxi》dizing— ga？s 【    一般通过提！供氧气比空气更能导！致和促使其他—物质燃烧的任何【气体 》 2《．，0．8？  惰性气》体 ： ，。  inert【 g：as ？ ：     在一！般，情况下不会与其他物！质，产生化？学反：应的气体 》 ： ， 2．0．9 】 低蒸汽压力气【体    》low vapor！ pr？e，s，sure《 gas 》 》   ？ 在室温下的饱和】蒸气压小于0—．2MP《a的气体 》 ， 2．0【．10  》特种气？体系统？    《specia—lty gas 】system 【  —   特种气体的】储存、？输送与分配过程【的，设备、管《道和附件的总称【 ？ 2《．0．11》  大宗硅烷—系统    b【ulk s》ila？ne：。。 syste—m ：   【。  是？指包括？ISO标准集装【瓶组、？。长管拖车、》钢瓶集装格、—Y型：卧式钢瓶或总的水】容积超过250【L的：硅烷系统 ！ 2．0．12【  大？宗特种气《体系统    【bul？k s？。pecialty】 gas syst！em 《。     】一般指单个气体设】备容积大于》400？L的特？种气：体储存？和送气系统 】 2《。．0．13  【液态：特种气体《系统    —liq？。uid speci！a，l，ty ga》s syste【m 《     【是指以液态输送、】。分配在用户终端【进行汽？化的特种气体—系统： ： 2．0．1！4，  气体探测系统 ！   ？gas detec！tor 《syste》m，(G：DS) ！    设》置在特种气瓶柜、气！瓶架、阀门箱、【阀门盘及其他特种气！。。。体，。输送：。设备与管道所—覆盖区域通过检测】本质气体或关联气】体在：空气中？的，浓度来判断本—质气体？的泄漏从而发—出声光报警信号、提！供探测数据的—系统 》 ： ，2．0．1》5  ？气，体管理系统  【  gas ma】nage《ment sy【stem(GMS】)，。   】  包含特种—气体探测系统、应】急处理系统、工【作管理系统、监视系！统、数据传输与【处，理系统的气体—管理与控制系统的统！称， ： ：。。 2．0》．16？  生产区    ！fabricat】ion ar—ea  ！   电子生产厂】房内布置《生产设备及》相关的研发、测【试的区域《有些生产过程将【使用危险性生产材】料该区？域，为生产厂房的核心】区域 ？ 2．0】．17  特种【气体间    【spec《ialty g【as ？room 】  ？   电子生产厂房！放置特种气瓶柜【。、气瓶架、》。卧式气瓶、气瓶集装！格、尾？气处：理，装置：等气体设备》并通过管道》向生产设备输送特】种，气，体，的房间 《。。 ？ ：2．0．18  】特种气体站  【  sp《e，cialty 【gas？ stat》io：n 》     电【子工厂放置卧式气瓶！。、气瓶集装》格、ISO标准【集，装瓶组、长管拖车】、尾气处理装置等】气体设备《并通过管道向用生】产，厂房气设《备输送特种气体【的，独立建(构》)筑：物 《 2．0．【19  特》种气体站房》。    spe【ci：alty 》。g，。as st》ati？on ？and r》oom 】     是指在电！子工厂特种》气体间与《特种气体站》的统称 》 ？ 2．0《。．20？  硅烷站》    s》il：an：e statio】。n —     是指放置！硅烷或硅烷混合气体！钢瓶：、钢瓶集装》。格、卧式钢瓶—、长管拖车》。或ISO标准集【装瓶组、《硅烷气化《装置、尾气处—理，装置：、电气装置》等，并通：过管：道向生产《厂房：供应硅烷气体—的独立建(构)筑物！或区域 — ， 2？．0．21》  ：气瓶集装格》 ，。   ？th：。e b？undle —of ？。gas cylin！ders 】  ？   用专用金属框！架固定采《用集气管将多只气】体，钢瓶接口并联组合】的气体钢瓶组单【元 2】．，。0．22《  1S()标准集！装瓶组    IS！O m？odule 】     采用！集气管将气体钢瓶、！长管钢？。瓶或：气瓶集装《格相互连《。接并安装在专用金】属框架上的组—。合集：装模块 — 2．0．2】3  气瓶柜— ，。  ： gas《 ，ca：b，i，net(G》C) ？ 》    特种气【体，使用的封《闭式气瓶放置—与，气体输送《设备 】2，．0．？24  气瓶架【。    gas r！ack(GR)【 ？     特】种气体使用的开放式！气瓶放置与》气体：输，送设备 》 ，。 2《．0．25  阀】门箱 ？   val—ve m《an：ifold —box(VMB【)  】   特种气体【在输送过程中使【用的封闭式管道【分配箱体用于向【一个或？多个工艺设》备提：供特种气体》 》 2．0《．26 《 阀门盘《    valve！。。 mani》f，old？ pa？nel(VM—P) 】   ？ 特种气体在输送】过程中？使用的开放式—管道分配装置—用于向一个或—多个工？艺设备提《。供特种气体 — 》2．0．27—  尾气处理装置 ！  ： l：ocal scru！bber 》 《   ？  自？燃性、易燃性—、剧毒性、》腐，蚀性等气体的排【气与吹扫气》体的现场处》理装置处理后的尾】气达：。到规定？排放浓度并排入用气！车间：的，排气管道 ！ 2．0《．28  卧式气瓶！    《。horizon【tal cylin！der 】 ，    用》于储存较多特种【气体的气瓶一般水】容积为450L、】950L ！ 2．0．29【  限流孔板  】  rest—rict 》flow ori】fice(RFO)！ ： ，     限】定流体系统最—大流量的一》。。种装置 【。 2？．0．30 — 过流开关  【  ：exce《。ss flow 】swi？tch(E》FS) 《   【  流体《系统的流《量超出设定》。值时给？出开关信号 】 2．0．【31  负压—。气源  《  su《b-atmosp】。her？ic gas s】ource(S【AGS) 》 ：     1】。型在标准温度和【压，力下钢瓶内和阀门】出口均为负压的【气源 】。    2》型在标？准温度和压力下钢瓶！内为正压阀门出口】为负压的《。。。气源 《 2．0【．32  不—相容性    i】nco？mpatib—le： 《     不【同气体混合后—即发生化学反应释】放出能量并对环境】产生危害作用—的特性 ！2．0．3》3 ： 吹：。扫    pu【rge 《。 ？     —用氮气或惰性气体】对，特种：气体系？统内的本《质气体或工作—气，体进行置换的过程 ！ ？ 2．0．3【。4  排气   】 ，v，ent 【     特种气！体，设备与系统中排【出的：本质气体《或工：作气体 】。 2．0《．35  气—体面板    【gas pan【el 》 ？   ？ 集成切断》。阀，。门、调压阀、过【滤器、压力计—。等零部？件的专用设施 】 2．0．】36  半》致死浓度  —  let》。hal c》。once《n，trati》o，n 50(》LC50) 【    【 在空气中使健康的！成年大白《鼠连续吸入1h能引！。起受试白鼠在14】d内死亡一半—的气体的浓度— 2．0！．37  》爆炸浓度下》。限值：    low e！xplosi—。on ？。limit(LEL！) 【    易燃性气】体在空气《或氧化气体中发生】爆炸的浓度》下限值？。 2．】0．38 》 最高？允许浓度值》。  ：  thres【hold li【mi：t ：value(—TLV) 】     —毒，性气体在空气中【的，浓度小于该值时充】分且持续暴露于该环！。境中的作《用人员的健康不会】受到损害 — 《2．0．《39  最高允许】浓度值-《时间：加权平均允许浓度】    thres！hol？。d limit v！alue-t—。ime weigh！。ted？ av？erage》(TL？V-：TWA)《  【   ？作业人员《按每天8h》每周5d《工作制工作健康【。不会受到损害—的毒性气体》时间加权平均浓度 ！ ，