？ 2：  术语 》 》 2？．0：．1  特种气体 ！   spec【ialty》 gas 》  —   电子产品生产！外延、化学气相【沉积：、刻蚀、掺杂等【。工艺中使用的自燃】性、易燃性、剧【毒性、毒性》、腐：蚀性：、氧化性、》惰性等特《殊气体 《 2．0．！2 ： 自燃性气体 【。   pyro【phoric— ，gas ！。    也称—作发火气体是指【在空气中《等于或低于5—4℃时可《能自燃？的易燃气体 】 2．0．3】  易燃《性气体 《 flamm—a，ble？ gas 》  —   ？一种在20℃和【标准压力101．3！kPa状态时空气混！合有：一定易燃《范围的气《体 【2．0．4  【。剧毒性气体》 ，   hi》ghly tox】ic gas ！     半】致死浓度《(空气中吸入4【h)小于或等于10！。0mL／《m3：的气体 《 ？ 2？．0．5  毒【性气体 《   toxic】 ，gas 】   ？  半致死浓—度(空气中吸入【。4h)大于10【。0mL／m3—但不：超过2500—mL／m3》的，。气体 — 2．0》．6  腐蚀性气】体 ： co？rrosive g！as 》   》  ：对材料？或人体？组织通过《接触：产，生化学？反应引起可》见破坏或不》可逆变化的》。气体 — 2．0．—7  氧化性气体 ！ oxidi—zing gas ！ ？   《 ， 一般通过提供氧】气比：空，气，更能导致《和促使其他物质燃烧！的任何气《体 》 2．0．8 】 惰性气体》。    《iner《t ：gas —   》  在一般情况下不！会与：其他：物质产生化学反【应的气体 — 2．0【．，9  低蒸汽—压，力气体 《   l《ow ？vapor p【ressure g！as  ！   在室温下的】饱和蒸气压小于0】．2MPa的气【体 — 2．？。0．：10  特种气体系！统    》specialt】y gas》 syst》。em 》 ，     —特种气体《。的储存？、输送与分配—过程的设备、管【。道和附件的总—称 》 ， ，2．0．1》1  大宗硅烷系统！    bulk ！sila《。ne syste】m  】   是指》包，括ISO标》准集装瓶组、—长管拖车、》钢瓶集？装格、Y型》卧式钢瓶或总的【水容：积超过250L【的硅烷系统 ！。 ：。2，。．0．12  大】。宗特种？气体系？统 ： ，  bulk 【s，p，ecial》t，y ga《s ：。。system 】   —  一般指单—个气体设《备容积？大于400》L的特种气体储存和！送气系统 】 2．0．1【3  液态特种气】体系统    li！quid《 sp？ecialty【 gas《 system ！。 《    是指以液态！。输送、？分配在用户终—端进行汽化》的特种气体系—统 《 2《．0．1《4  气《。体，。探测系统《  ：  gas —。dete《ctor 》system—(GDS) 【  》   设置在特种】气，瓶柜、气瓶架—、阀门箱《、阀门？盘及其他特种气【体输送设《备与管？道所覆盖区域—通过检测本》质，。气体或？关联气体在空气中的！浓度来判断本质【气体：。的泄漏从而发出声光！。报警信号、提供探测！。数据的系《统 2】．0．15》  气体管理系统】    《ga：s mana—gement—。 sy？stem《(GMS) — 《  ： ，  包含特种气体探！。测系：统、应急处理系【统、工作管理系统、！。监视系统、数据【传输与处《理系统的气体管理与！控制系统的统称 ！。 ： 2．0．16 ！ 生产区    】fab？ricati—on are—a  】   电《子生产厂《房内布？。置生产设备及—相关的研发、测试】的区域有《些生产过程将使用】危险性生产材—料该区域为生—产厂：房的核心区域 【 ？ 2．0．17 ！ 特种气体间 【   sp》ec：。ialty g【as ？room ！。     电—子生产？厂房放置特种—气瓶柜、气瓶架、】卧式气瓶《、气瓶集装格、尾气！处理装置等气—体设备并通过管道】向生产设备输—送特种气体的房【间 【2．0．18 【。 特种气体站  】  specia】lty gas 】stat《ion 《 ： ，  ？ ，  ：电子：工厂放置卧》式，气瓶、气瓶》集装格、《ISO标准集—装瓶组？、长管拖车、尾气】处理装？置等气体设备并通】过管道？向用生产厂房气【。设备输送《特种气体的独立建】(构)筑《物 《 ， 2．0．19】。  特种《气体站房    s！pecia》lty gas s！tation an！d room 【 ？     —是指在？。电子工厂特种气体】间与特种气体—站的统称 》。 ？ ：2．：0．20《  ：硅烷：站  ？  silane】 sta《tion ！     是—。指放置硅烷或硅【烷混合气《体钢瓶、钢》瓶集装格、卧式钢瓶！、长管拖车或IS】。O标准集装》瓶，组、硅烷气化装置】、尾：。气处：理装置、电气—装置等并通过管【道向：生产厂房供应硅【烷气体的独》立建：。(构)筑物或区【域，。。 》 2：．0．21  气瓶！集装格    t】he bun—dle of— gas 》cyli《nders — ？     用专】用金属框架固定采用！集气管将多只气体钢！。瓶接口？并，联组合的气体钢瓶】。组单元 《 ：。 ：。 2．0．22 】 1S()》标准集装瓶组   ！ ISO 》mod？u，le 】    采用集气】管将气体钢瓶、长管！钢瓶或气瓶集装【格相互？。连接并安装在专【用金属框架上的组】合，集装模块 ！ 2．0《．2：3  气瓶柜  】  g？as cabine！t(GC) 【    【 特种？气体使用的封闭【式，。气瓶：放置与气体输—送设备 — 2．0．【。24 ？ ，气，瓶架：    ga—。s ：ra：ck(GR) 】 《    特种气体】使，用的开放式气—瓶放置与气体输送设！备 — 2．？0．25  —阀，。门箱    val！ve： manifold！ ，。box(VMB)】 —    特种气体】在，输，送过程中使用—的，封闭：式管道分配箱体用于！向一个？或多个工艺设—备提供特种》气体 【 2．0．26  ！阀门：盘  ？  valve m！anifo》ld pa》nel(《VMP) 】     —特种气体在输送【过程中使用的开【放式管道分》配装置用于向一【个或多个工》艺设备提供》特种气体 — 2．0【．27  尾气【处理装置《。。    《。lo：c，a，l， s：crubb》e，r ： ？ ，     》自燃性、易燃—性、剧毒性、腐蚀性！等气体的排气与【。吹扫气体的现场【处理装置《处理后的尾气—达，到，规定排放浓度并排入！用，气车间的排》气管道？ ， 2—．0．28 — ，卧式气瓶  —  ：hori《zontal 【cylin》de：r，  【   ？用于储？存，较多特？种气体的《气瓶一般《水容积为《450L《、9：50L 】 2．0．》29  限流孔板 ！   rest【rict flow！。 ori《fice(RFO】) ： ，。  》   限定流体系】。统最大流量的—一种装置 】。 2．0．—。30  过流—开关    ex】c，ess flo【w swi》tch？(EF？。S) 》     流】体系统的流量超【出设定值《时给出开关信号【 ， ， ：。 2．0．3【1  负《压气源   — s：。ub-atmosp！he：。。r，ic ga》s s？ource》(SAG《S) 《    【 1型？在标准温度和压【力下钢？瓶内和阀门出—口均为负压的气源】 ？  《   2型》。在标准温度和压力下！钢瓶内为正压阀门出！口为负压《的气源 — ： 2．0《．32  不—相容性    【incom》p，atibl》。e  】   不同气—体混合后即发生化】学反应释放出能量并！对环境产生危—害作用的《特，性 2】．0．33 — 吹扫    pu！rge 《 ？     —用氮气或《惰性气？体对特种气体系【统内的本质》气体：或工作气《。。体进：行，置换的过程 ！ 2．0．3【4  ？排气    ve】nt 【     特种气】体设备与系统—。中排出？的本质气体或工作】气体 【 2．0《．，35  《气体面板   【 g：as panel】 ：    【 集成？切断阀门、调压阀、！过滤器、压》力，。计等零部件的专用】。设施 2！．，0．3？6  半致死—浓度   》 lethal c！oncent—ratio》n 50(LC50！)， ：   —  在空《气中使健康的成年大！。白鼠连续吸入1h能！引，起受试白鼠》在14d内死亡一半！的气体的浓度 ！ ： 2：．0．37  爆】炸浓度下限值   ！ low 》explosi【on： limit(L】E，L) 《   —  易？燃性气体在空气或氧！化气体中发生—爆炸的浓度下限值 ！ 《 2．0．3—8  最高允—许浓：度值    t【hreshold】 limit— valu》e(TLV)—    ！ ，毒性气体在空气中】的浓度小于该值时】充分且？持续暴露于该环境中！的作用？人员的健康不—。会受到损害 ！ 2．0．39】  最高允许—浓度值？-时间？。加权平均允许浓度】    thr【eshold 【lim？it v《alue-》time weig！hted av【erage(TL】。V-TWA)— ？  《  ： ，。作业人员按每—天8h每周5—d，。工作制工《作健康不会受到损害！的毒性气《体时间加权》平均：。浓度 《