。 ： 2  》术语 ？ ， 2【．0．？1 ： 特种气体    ！spec《ial？t，y ga《s   ！  电子产品—生，产外：延、化学气相—沉，积、刻蚀《、掺杂等工艺—中使用的自燃性、易！燃性、剧毒性、毒】。性、：腐蚀性、氧化性、】惰性等？特殊：气体 2！．0：。．2  自》燃性气？体    pyr】ophor》ic gas 】     】也称作发火气体是】指在空气中等—于或低？于54℃时可能自燃！的易燃？气体 》 2．0．3】。  易？燃性气？体 ：。 flammabl！e ga《s， ？ ：     一种在2！。0℃和？标准压力1》。01：．3kP《a，状态时？空气混合有一—定易燃范《围的气体 】 2．0．4 】 剧毒性气》体  ？  highl【y t？oxic《。 gas 【   》  半？致死浓度《。(空气中吸入4h)！小于或等于100m！L／m3《。的气：体 2．！0．5  毒性【气体    to】xi：c， gas 】   《  半致死》浓度(？空气中吸入4h)】大于1？00mL／m3但不！超过2500m【L／m3的气体 ！ 2．0．】6  腐《蚀性：气体  c》orrosiv【e gas ！ ：    对》。材，料或人体组》织通过接触产—生化学反应引—起可见破坏或—不可：逆变化的气》体， 2．】0．7？  氧化性气体 】 ox？idizing g！as —     —一般通过提供—氧气比空气更能【导致和促使其他物】质燃：烧的任何气体 ！ 2．》0．8  惰—性气体    i】nert ga【s ？  》   在一般—情况下不会与—其他物质《产生化学反应—的，。气体 《 2．0【．9  低蒸汽【压力气体  —  lo《w ：vapor pr】es：sure ga【s —     》在室温下的饱—和蒸气压小于0．2！MPa的气体— 2．0！．10  特种气】体系统  》  specia】。l，。ty ga》s sy《stem《  【   特种气体的】储存：、，输送与分配过—程的设备、管道和】附件的总称 【 ， ， 2．0．11】  大宗硅烷系统 ！  ： bulk sil！ane syste！m， 《。     是指包！括I：SO标准集装瓶组】、，长，管拖车、钢瓶集装】格、Y型卧式—钢瓶或总的水—容积超过250L】的，硅烷系统 》 》。2．0．12  大！宗特种气体系统 】  ： b：ulk speci！alty 》gas syste！m 【    一般—指单个气体设备容】积大于400L的特！种气体储《存和送气《。系统 【 2．0．13【  液态特种气体】系统   》 liqui—d spec—。。ial？ty ga》s s？ystem》。 —    《是指以液态输送、】分配在用户终端【进，行汽化的特》种，气体系统 】 ， 2．0．14  ！气体探测系统—。    g》as d《et：ect？or ？system(G】DS) —     【设置在特种气瓶【柜、气瓶架、阀门箱！、阀门盘及其他特种！气体输送设备与管道！所覆盖区域》通过检测本质气体】或关联气体在空气中！的浓度来判断本质气！体的泄漏从而发出】声光报警《信号、提供探—测数据的系统 ！ ？2．0．1》5  ？气体：管理系统    】。gas mana】gement sy！ste？m(：GMS) —    【 包：含特种气体》。探测：系统、应急处理系】统、工作管理系【统、监视系统、数据！传输与处理系—统的气体管理—与控制系统的统【称 ： 2—．0．16》  生产区   】 f：abr？icati》o，n area ！    — 电子？生产厂房内布—置生产设备及相【。。。关的研发《、测：。试的区域有些生【产过程将《使用危险性》生产材？料，该区域为生产—厂房的核心区域 ！ 2．0【．17  特种【气，体，间    》specialty！ ga？s roo》m ？   —  电子生产—厂房放置特种气瓶柜！、气瓶架、卧式气】瓶、气瓶集》装格、？尾，气处：理装置等气体设备并！通过管道《向生产设备》输送特种气体的房】。间， 2【．0：．18  特—种气体站  —  specia】lty？ gas s—tat？ion？ ， ：   》  电子工厂放置】卧式气瓶、气瓶集装！格、ISO标准集】装，瓶组、？长管拖？车，、尾气处理装—置等气？体设备？并通过管道》向用生产《厂房气设备》输送特？种气：体的独？立建(？构)筑物 【 ， ， 2．0．19【  特种气体—站房  《  specia】lty gas 】sta？tion《 a：nd room【 ？ ：     是指【在电子工厂》特种气体间与特种气！体站的统称》 ， 《 2．0．20 】 ，硅烷：站    si【lane《 statio【n ？    【 ，。是指放置《。硅烷或？。硅烷混合气体—。钢，瓶、钢瓶集装格【、卧：式钢瓶、长》。管拖：车或ISO标准集装！瓶组、硅烷气化装】置、尾气处理装置】、电气装置等并通】。。过管道向生产厂房】供应硅烷气体的独立！建(构)筑》物或区域 】 ， 2．0．21  ！气瓶集装《格    》the bundl！e of《 g：as cylin】。d，ers — ？    用专用金属！框，架固定采《用集气？管将多只气》体钢瓶接口并联【组合的气《体钢：瓶组单？元 》 2．《0．22  —1，S()？标准集装瓶组  】  ISO》 module【 ：     采！用集：气管将气《体钢瓶、长管—钢瓶或气瓶集装格相！互连接并《安装在专用》金，属，框架上的组合—集装模块 》 ？ 2．0》．23  气瓶柜】    g》as cab—inet(GC)】  【   特《种气体使用的—封闭式气瓶》。放置与气体》输送设？备 》 2．0》．24 《 气瓶架   【 gas《 rack》(GR) —   — ， 特种气体使用的】开，放式气瓶《放置与气体输送设】备 ？ ：。 2．0．2【5  阀《门箱   》 valve 【manifo—。。ld bo》x，(VMB)》 《 ， ，。    特种气【体在输送过程中使】用的封闭式管—。道，分配箱体《用于向一个或多个工！艺设备提供特种【气体 — 2．0》。．26  阀门盘】 ，   valv【e manif【。old pan【el(VM》P) 《 《    特种气体在！。输送过程《中使用的开放式管】道分配装置用—于向一个《或多个工《艺设备提供特种气体！ —2．0．27  尾！气，处理装置 》   lo》c，。al ？scrubbe【r  】  ： 自燃性、易燃【。性、剧毒性、腐蚀性！等气体的排气与吹】。扫气体的现场—处理装置处理后的】尾气达到规定排放浓！度并排？入用气车间的排气】。管道 【 2．0．28  ！卧式气瓶  —  horiz【。ontal c【yli？nder 】  ？   用于储—存较多特种气体的气！瓶一般水容积为45！0，L、950L 【 《 2．0．》29：  限流孔板   ！ restr—ict？ f：low orifi！ce：(RFO) 【 ？     限定流体！系，统最大流《量，的一种装置 】 2．》。0，．30  》过，流，开关    exc！ess flo【w， s：。witch(EFS！) 《    — 流体系统的流【量，超出设定值时给出】。开关信号 — ， 2．》0．31  负压气！源    su【b-at《mospher【ic gas s】ource(—SAGS) 】  《 ，  1型在》标准温度和压力下钢！瓶内和阀门出口【均为负压的》。气源  ！   2型在标【准温度和压》力下钢瓶内》为正：压阀门出口为—负压的气源》 2．】0．3？2  ？不相容？性   《 incom—patible ！ ，。。     【不同气体混合后即发！生化：学反应释放》出能量？并对环境产生危【害作用的特性 】 ？ 2．0．》。33 ？ 吹扫    pu！rge 【。 ，     用氮气或！惰性气体对》特种气体系统内的】本质气？体或工？作气体进行》置换的过《程 》。 ， 2．？。0．34《  排？。气    vent！ ：。 《 ，   特种气体设】备与：系统中排《出的本质气》。体或工作气体 【 ： 2．0．【35  气体—面，板    gas】 panel— ： ：    》。。 集成切断阀门、】调压阀、过滤器【、压力计等》零部件？的专用？设施： 《。 2．0．—36 ？ 半致死浓度   ！ let《。。hal conc】en：tration 5！0(：LC50) — ， ： ：    在空—气中使？健康的成年大白【鼠连续吸入1h能引！起受试白鼠在14】d内：死亡一半的气—体的浓度 】 ， 2．0．37【  爆炸浓度下限值！    low 】expl《osi？on limit(！LEL) 【  《。。   易燃》性气体在《空气或？氧化：气体：中发生爆炸》的，浓度下限值 ！ 2．《0．3？8  最高允许浓度！值    thre！shold lim！it valu【e(TLV》)， ：   —  毒性《气体在？空，气中的？浓度小于该值时充】分且：持续：暴露于该《环，境中的作用》人员的健康》不会受？到，损害 【 2．0．》。39  最高允【许浓度值-时间加】权平：。均允许浓《度  ？  thres【hol？d ：limi《t ：value-ti】。m，e weighte！d ：averag—e，。(TLV-TW【A) 】  ：  作业人》员，。按每天8h每周5】d工作制《工作健康不》会受到损《。害，的，毒性气体《时间加权平均浓度】。 ：