2  【术语 《 ？ 2．0．【1  特《种，气体  《  spec—ialt《y g？as  ！ ，  电子产品—生产外延《、化学气相沉—积、刻蚀、》掺杂等工艺中—使用的自燃性、【易燃性、《剧毒性、毒性、腐蚀！性、氧化性》、惰性等《特，殊气体 — ， ， 2．？0．2  自燃性】气体   》 py？rophoric】 ，gas ！。  ：  也称作发火气】。体是指在空气中【等于或低于54℃】时可能？自燃的易燃气体 ！ 2》．0．3 》 易燃性气体  f！lamma》ble gas ！ 《    《一种：在，20℃和《。标准压力10—1．：3kPa状态时空】气混：合有一？定易燃范围的气【体 》 ：2．0．4  剧】毒性气体 》 ， ， high》ly toxi【c ：gas — ：     半致死】浓度(空《气中吸入4h)小于！或等于100mL】。。。／m3的气体 ！ ： ，2，．0．5  —毒性气体    】toxic —gas？    ！ 半致死浓度(空】气中吸入4》h)大于10—0，mL／m3但不超过！2500《mL／？m，3的气体 》 》2．0？．6 ？ 腐蚀？性气体？  corro【sive ga【s  】  ： 对材？料或人体组织—通过接触产》生，化学反应引》起可：见破坏或不可逆变】化的气？。体 — 2．0《．7  氧化—性气体  oxid！izing ga】s 【  ：  一般通过提【供，氧气比空气》更能导致和》促使：其他物？质，燃烧的任何气体【 ： 《2．0．8 — 惰性气体 —   in》ert gas ！ ？   ？  在一般情况下】不会与其他物—质产：生化学反应的气【体 ？ 2．—0．9  低蒸汽压！力气体 《  ： low 》vapo《r pres—sure ga【s   ！  在室温下—的饱和蒸《气压小于0．—2，MPa的气体— —2，．0．？10  特种气体系！。统   《 specia【lty gas s！y，stem 》 ，     】特，种气体？。的储存、输送与【分配：过程的设备、—。管道和附件的总称】 ， ， ， ： 2．0．1—1  大宗硅烷系统！    b》ulk silan！e ：system 】 ：。  ？   ？是指包括ISO【标准：集装瓶组、》长管拖车、钢—瓶集：装格：、Y型卧式》钢瓶或总的水—容积超过250L】的硅烷系统 ！ ， 2．0．12【  大？宗特种？气体系统  —  ：bul？k specia】lty ga—s ：syst《em 《     一！。般指：。单个气体设备容积大！于400L的特种】气体储存和送—气系：统 ？ ， 2《．0．13  液】态特种气体系—统    li【qu：id spe—cia？lty gas【 s：yste《m ？ ： ，     是指以液！态输送、分配—在，用户：。终端进行《汽化的？特种气？。体系统 】 2：．0：．14 《 气体？探，测系：统    ga【。s det》ector》 system(G！DS：) 《    — 设置在特种气瓶柜！、气瓶架、阀门箱、！阀门盘及其他特【种气体输送》设备与管道所覆盖】区域通过检测本质气！。。体或关联气体在【空气中的浓度来判断！本质气？体的泄漏《从而发出声光报【警信号、提》供探测数据的—系统 【 2．0．15  ！气体管理系统 【   ？。gas？ mana》gement s】ys：t，em(GM》S) 》  《   包含特种【气体探测系统—、，应急处理系统、【工，作管理系《统、监？。视系统、数据传【输与处理系统的气】体管理与控》制，系统的统称 【 ， 2．》0．16《。  生产区 —   f《ab：ric？ation a【rea — ，     电子】生产厂房《内布置？生产设？备，及相关的《研发、？测试的？区域有些《生产过程将》使用危？。险性生产材料该区】域为生产厂》房的核？心区域？ ， 》。2，．0：．1：7 ： ，。特种气？体，间   《。 s：。pecialty ！。gas room ！    】 电子生产厂—房，。放置特种气瓶柜、气！瓶架：、卧式气《瓶，、气瓶集装格—、，尾气处理装置等气】体设备并《通过管道向生—产设备输《送特种？气，。体的房间 】 2．0．1【8  特《种气体站    s！pecia》lt：y， ga？s statio】n ？     】电子：工厂：放置卧式气》瓶、气？。瓶集装格、ISO】标准集装瓶组、【长管拖车、尾—气，处，理装置等气体—设备并通过管道向】用生产厂房气设【。备输送特种气—。体的独？立建(构)》筑物 【 2．0．19【 ， 特种气体站房 】 ，  ：sp：ecialt—。y ：gas 《。statio—n， and room！ —    是指在电】子工厂特《种气体间与特—种气体站《的统称？ 2．】0．20  硅【烷站    —。silane st！at：ion 】     是指【放置硅烷或硅烷混】合气体钢瓶、钢瓶集！装格：、卧式钢瓶、长管】拖车或ISO标【准，集装瓶组、》硅烷气化装置—、尾气处《。理装：置，、电气装《置等并通过管道【向生产厂《房供：应，硅烷气体《的独立建(》构)筑物或区域 】。 ： ： 2．？0．21  气瓶】集，装格    th】。e bu《ndle of 】ga：s cylinde！rs ？    】 用：专用金？属，框，架固定采用集气管】将多只气体钢瓶接口！并联组？合的气体钢瓶组单元！ 《 2？．0．？22 ？ 1S()标准集装！。瓶组：    《ISO modu】le 《    【 采用集气管将气体！钢瓶、长管钢—瓶或气瓶集装—格相互连接并安【装在专用金属框架上！的组合集装模块 ！ 2．—0．：23  气》瓶柜：    g》as cabin】et：(GC) 【   》  特种《气，体，使用的封闭式气瓶放！置与气体输送—设备 》 2．》0，．24  气瓶【架    gas】 rack(GR)！ 》  ：   特种气体使】用的开放式气瓶【。放置与气体输送设备！ 2【．0：．25？  ：阀门箱   — valve— m：an：if：old box【(VMB) 】     【特种气体在输送过程！中使用的封》。闭式管道分》配箱体？用于向一个》或，多个工？艺设备提供特种气体！ 2．】0，．26 《 阀门盘 》   valve】 manifol】d panel(V！MP) 《 ？  ？   特种气体在】输，送过程中使》。。用的开放《式管道？分配装置用于向一】个或多个《工艺设备提供特种】气体 【 2．？0．27  尾【气处理装置 —   l《ocal sc【ru：bber 】     自燃性！、易燃性、剧毒性】、腐：蚀性等气体》的排气与吹扫气【。体的现场处理装置处！。理后的尾气达到规】定排放浓度并排【入用气车间的排【气管道 【 2？．0．28  【卧式气瓶    】hor？。izont》al ？cylin》。d，。er —     —用于储存《较，多特种气《体的气瓶《一般水容积为4【。5，0L、95》。0L 《 《2，．0：．29？  限流《孔，板    rest！rict 》flow 》o，rifice—(RFO)》    ！ 限定流体》系统最？大流量的一种—装置 】2．0？．30  过流【开关    ex】cess flo】w switch】(EFS)》   】  流？体系统的流量超出】设定值时给》出开关信号 —。 2—．0．31 — 负：压气：源 ：   s《ub：-atmosp【he：ric gas s！our？c，e(SAG》S) 《  》。   1型在标准温！度，和压力下钢瓶内和阀！。门，出口：均为负压的气源【  【  ： 2型在标准—温度和压力下—钢瓶内为正》压阀门？。出口为负压》的气源 — ： 2．0《．32  不相容性！    《inco《mp：atible 【 ， ，     不】同气体混合后—即发生化《学反应释《放出能量并对—环境：产生危？害作用的特性 ！ 2．0．3】3  ？吹扫    p【urge 》  —   用氮气或惰性！气体对？特种气体系统内的本！质气体或《。工作气体进》行置换的过程 【 2．【0．34《 ， 排气？    ven【t  】 ，  特种《气，体设备与系》统中排出的本—质气体或《工作气体 】 2．0．35 ！ 气：体面板   — g：as ？panel》 《  ？   集成》切断阀门、》调压阀、过滤—器、压力计等零部】。件的专用设施— 》 2．0．3—6  半致》。死浓：度，   ？ le？thal《 con《c，entrat—ion 50(L】。C50) 】     在空】气中使？健康的成年大白【鼠连：续吸入1h能引【起受试白鼠在—14d内死亡—一半的气体的浓【度 【。2．0．3》7，  爆炸《浓度：下限值    lo！w ex《plos《ion li—m，it(LE》L) 】    易燃—性气体在空》气或氧化《气体中？发生爆炸《的浓度下限》值 2】．0：。．38  最高【允许浓度值 —   ？thre《shold —l，imit valu！e(TLV)— ：     毒！性气体在空气中的】浓度小于该值时充分！且持续暴露于该【环境中的作用人员的！健康不会受到损【。害 2．！0，．39  》最高允许浓度值-时！间加权平均允许【浓度    thr！eshold— lim《it value-！ti：me weigh】te：d averag】e(T？L，V-TWA) 【 《     作—业人员？按每天8h每周5】d工作制工作健【康不会受到损害的毒！性气体时间》加权平均浓度 【 ，