2 【术语
!
2.?0.1 》特,种,气体 s【pecial—ty gas
!
,
电子】产品生产外延、化学!气相沉积、刻蚀、】掺杂:等工艺中使用的自】燃性、易燃性、【剧毒性、毒性、腐】蚀,。性、氧?化,。性,。、惰性等特殊气体
!
》2.0.《2 自燃性气【。体 : : pyrop—。。horic ga】。s
》
? ?也称作发火气—体是指在空气中【等于或?低于54℃时可【能自燃的易燃气体】
2.0!.,3 易燃性气体 ! fl?am:。mab?le gas—
】 一种在20【℃和标准压力10】1.3kPa状【态时空气混合有一】定易燃?范围的气体》
—2.0.4 —。 剧毒性气体— hig【hly toxi】c, gas
】
半致】死浓度(《空气中吸入4h【)小:于或等于《100mL/m3】的气体?
》
2.0.5 】毒性:气体: , toxic】 gas
》
,
》。 半致死浓度(!空气中吸入4—h)大于100【mL/?m,3,但不:超过:2500mL/m】3的气体
—。
2.0【.6 腐蚀—。性气体 corr!osive g【as:。
! 对材料《或人体组织通过【接触产生化学反应】引起可见破坏或不】可逆变化的》气,。体
《
2.》0,.7 氧化性【气,体 ox》idizi》ng ga》s
】 : 一般通《过提供氧气》比空气更能导致【和促:使其他物质》燃烧的任何气体
!
2.—0,.8 ? 惰性气体 】 ,in:er:t g?as
》
《 :。 在:。一般情况下不会【与其:他,物,质产生化学反—应的气体
—。
,
2.》0.9 《 ,低,蒸汽:压力气体 — l?ow vapo【r p?ressur—e gas
】
在】室温:下的饱和蒸气—压,小于0?.2MPa的气体】
:
:
2.0.1【0, 特种气体—系统: 《spe?cialty 【gas 《s,yst?em
—
—特种气体的储存、】输送与分配过程的】设备、管道》和附件的总称—
2.】0.11 —。。大宗硅烷系》。统 bu【。lk si》la:ne ?system
】
,。
是】指包:括ISO《标准集装《瓶组:、长管拖车、钢瓶集!装格、Y型卧式钢】瓶或:总的水容积超—过250L的硅【烷系统
《
:
,
2.《0.12 大【。宗特种气体系统 !。 bulk—。 sp?ecialty【 gas sys】te:m
—
一般【指单个?气体设备容积—大于400L的【特种:气体储存和送气系统!
2.0!.13?。 液态特》种气体?系统: 《liqui》d spe》cialty 【gas sy—stem
!
: 是指》以液态?输送、分配在用户】终端进?行汽化?的特种气体》系统:
?
,。
2.0.1【。4 气《体,探测系统 【 gas 》detec》to:r sy《stem《(GDS)
【
》 设置在特种】气,瓶柜、气瓶架、阀】门箱、?阀门盘及其他特种】气体输送设》备与管道《所,覆盖:区域通过检测—本质气体或关联【气体在空气》中的浓度来判—断本质?气体的泄漏从而发】出声光报警信号、提!供探:测,。数据的系统
—
2.0】.1:5 : 气体管《理系统 ga!。s manag【ement sys!。tem(G》M,S)
》
》。 包含特》种气体探测系统【、应急处理》。系统、工作管理【系统、监视系—统、数据传输与处】。理系统的气体管理】。与控制?系统的统称
!
2.0》.16 《 生产区 — fabr—。ica?tio?n, area
【
》 电子生产厂】房内布置《生产设?备及相关的研发【、测试的区域有些】生产过程《。将使用危险性—生产材料该》区域:为生产厂房的核心区!域
—
2.0.17【 , 特种气《体,间 ? s?pecialt【y gas r【oom
《
:
,。
》 电:子生产?厂房放置《特种气瓶柜》、气瓶架、卧式气】瓶,、气瓶集《装格、?尾气处理装置等气体!设备并通过管道向生!产,设备输送特种气【体的房间
!
2.0.18 】 特种?气体站 sp!e,cialt》y, gas stat!ion
】
电—子工厂放置》卧,式气瓶、气瓶集装】格、ISO标准集装!。瓶组、?长管拖车、尾气处理!。装置等气体》设备:并通过?管道:向用生产厂》房,气设备输送特—种,气体的独立建(【。构)筑物
》
?
2.0.19】 :特种气?体站房 《 s《peci《alty《 gas sta】tio?n and r【oom
!。 是指—在电子工厂特—种气体间与特种【气体:站的统称
—
2.0.】2,。0 ?硅烷站 s】ila?ne stati】on
?
— ?是,指放:。置硅烷或硅烷混【。合气体?钢瓶、钢瓶》集装格、卧式钢瓶】、长管?拖车或ISO标准】集装瓶组《、硅烷气《化装置、尾》气处理装置、电气装!置,等并通过管道向【生产厂房供应硅烷】气体:的独:立建(构)筑—物或区域
!
2.0《.21 《 气瓶集《装格 th】e bundle !of g《as cylind!ers
! 用专用金】属框架固《。定采用集气管将【多,只气:体钢瓶接口》并联组?合的气体钢瓶组单元!
2.0!.22 1—。S()标准集装瓶】组 ? I?SO: mo?dule
》
,
:
,
《 采用集气》。。管将气体《钢瓶、长管钢瓶【或气瓶集装格相互】连接并安装》在专用金属框架上的!组,合集装模块
!
2.0.—23 气瓶柜 】 g《as c《abin《et(GC)
【
?
—特种气体使》用的封闭《式气瓶放置与气体输!送设备?
—2.0.24—。。。 , 气瓶架《 ? ga?s rack—(GR)
】
《 特种气体使用的!开放式气瓶放置与气!体输送设备
【
2.0【.25 《 阀门箱 【 valve 【manifold !box(VMB【)
【 ? 特种气体在输送过!程中使用的封闭式】管道分配箱体用于向!一个或多个工艺设】备提供特种气—体
:
《
2.0.26【 阀门盘 【 val》v,e ma《nifo《ld ?panel(—VMP)
【
? 特》种气体在输送过程】中使用的开》。放式管道分配装置用!。于向一个或》多个工艺《。设备提供特》种气:体
【2.0.27— 尾气处理装置 ! loc—al scrubb!er:。
,
,
?
自燃【性,、易燃性、剧毒性】、腐蚀性等气体的排!气,与吹扫气体的现场处!理装置处理后的【尾气达到《规定:排放浓度《并排入用气车间的】。排气管?道
《
2.0.2】8, 卧?。式气瓶 h】oriz《ont?al cy》linder—
:
用!。于储存较多》特种气体《的气瓶一般》水容:积为:450L《、950L》
2.0!.29 限流【孔板 r【estrict【。 flow or】。ifice(R【。FO)
【
,
? 限定流体系【统最:大流量的一》种装置
【
2.0.3【0 过流开关 】。 ?excess—。 ,flow《 swit》ch(EFS)
!
,
? : 流体系统的流量!。超,出设定?值时给出《开关信?号
—
,2.0.《31 ? ,负压气源 【 sub-a—tm:ospheric】 gas《 source(】SA:GS)
【。
1【型在标准温度和【压力下?钢瓶:内,和阀门出口均为负】压的气源
】
》 2:型,在,标准温度和压力【下钢瓶内为正压【阀门出口为》。负压的气源
—
2.0.!。32: 不相容性 】 incompa!tible
—
?
》 不同气体混合后】即发生化学》。反应释放出能量并】对环境?。产生危害作用的【特性
【
2.?0.3?3 吹扫》 , pur—ge
! : 用氮气或》惰性气体《。对特种气体系统内】的本:质,气体或工《。作,气体:进,行置换的《过程
】2.0.34 排!气 ven】。。t
《
特】种气体?设备与系统中—排出的本质气体或】。工作:气体:
《
2?.0.?35 ?。 气体面板 】 gas pane!。l
】 集成切—断阀门?、调压阀、过滤器】、压力计等零部【。件的专?用设施?
《
2.0.36】 半致死》浓,度 》lethal c】oncentr【atio《n :50(L《C50)
【
【在空气中使健—康的成年大》白鼠连续吸入1【h能引起《受试白鼠在14d】内死亡一半的—气体的浓度
】
2.0.【。37 爆炸—浓,度下限?值, 《。low? exp《lo:si:on ?limit》(LEL)
!
,
易燃性气!体在空气或》。氧化气体中发生【爆炸的浓度下—限值
—
2.0.38 !。 最高允许》浓,度值: 《th:reshold l!imit valu!。e,(T:LV)
》
?
毒性【气体在空气中的【浓度:小于该值时充分且持!续,暴露于该环境中【的作用?人员的健康不会受到!。损,害
《
:
2.0.3—9 最《高允许浓度值-【时间加权平均允许】浓度 t【hreshold】 l:i,m,it val—ue-ti》me: weighted!。 average】(TLV《-TWA《)
:。。。
— ?作业:人员:。按每天8h每—周5d工作制工作】健康:不会受到损害的毒性!。气体时?间加权平均浓—度
?