2 【术语
】
2.《。0.1 《 特种?气体 《。 speci【alty《 gas
》
】 电子产品生产【外延、化《学气相沉积、刻蚀、!掺,杂等工?艺中使用的》自燃性、易》燃性、剧毒性、毒性!、腐蚀性、》氧化性、惰性等【。特殊气体
!
2.?。0.2 自燃【性气体 《 : pyr《ophori—c g?。as
?
:
? 《也称作发火气体【是指在空气中等于或!低,于54℃时可能自】。燃的易燃气体
【
2—.0.?3 易燃》性气体 fla】m,ma:ble 《g,as
》
一种!在2:0℃和标《准压力101.3k!Pa状态时空气混】合有一定易》燃范围的气体—
?
2.》0.4 剧毒性气!体 hig】hly? toxic 【g,as
】 ? 半:致死浓度(空—气中吸入4h)【小于或等于1—00mL/》m3的气《。体
》
2.0.5 !毒性气?体 》toxic ga】s,
— : 半致死浓度【(空:气,中吸入4《h)大于100【mL/m3但不超过!25:00mL《/m3的气体
】。
2》.0.6 》 腐蚀性气体 】c,orro《sive gas
!
:
【对材料或人》体组织通过接触产生!化学反应引》起可见破坏或—不可逆变化》。的气体
《
,
2.0.】7 氧化性气体 ! oxi《dizing ga!s
】 : 一般通过提供氧气!比空气更能导致【。。和促使其他物—质燃烧的任何气【。体
?
2.0.8! :惰性气体 】inert》 gas
!
在一般情!况下:不会与其《他物质产生》化学反应《的气体?。
—2.0.9 — 低蒸汽压力—气,体 lo【。w vapor p!ressu》r,e g?as
! 在室温下的饱!和蒸:气压小?于0.2M》P,。a的气?体
?
2》.0.10 — ,。特种气?体系统 s】pecialty !g,as sy》stem
!
《 特种气《。体的储存、输—送与分配过程的【设备、管道和—附件:。的总称
!2.0?.11 》大宗硅烷系统 【 bu》lk: sila》ne: system
!
?
》是指包?。括IS?O,。标准集装瓶组、长】管拖车、《钢瓶集装《格、Y型卧式—钢瓶:或总的?水容积超过25【0L的硅烷系统
!
《2.0.1》2 大宗特种【气体系统 】bulk spec!ia:lty g》as syst【em
?。。。
【 一般指单个【气,体设备容积大于40!0L的特《种,气体储存和送气系】统
—
2.0.》13: 液态特种气体系!。统 ? liquid !specialt】y g?a,s syst—em
】 是指—以液态输送、—分配在用户终—端进行?。汽化的特种》气体系统
—
?
2.0.14【 气体探测系【统 gas】。。 d:e,te:。cto?r sys》te:m,(GDS《。)
?
,
— 设置在特种—气瓶柜、气》瓶架、阀门箱、阀门!盘及其他《特,种气体输送》设备与管道所覆【盖区:域通过检《测本质?气,体或关联《气,体在空?气中的浓度来判【断本质气体的泄漏】从,而发出声光报警信】号、提供探测数【据,的系统
!2.0.15 【 气:体管理系统 【 gas m【。anage》men?t syst—em:(GMS)
—
:
,
? 包含特种气体!探,测系统、《应急:处理系统、工—作管:理系统?、监视系统、数【据传输与处理系统】的气体管理与控【制,系统的统称
—
:
:
2.0《.1:6 ?生,产区 —。fabric—ation ar】ea
?
,
— , 电子生产厂房内布!置生产?设备及相关》的研:发、测试的区域【有些生产过程将使】用危:险性生产材料该【区域为生《产厂房的核心—区域
《
2.0.】17: 特种《气体间 s】p,ecialty g!as r《oom
》
,
电】子生产?厂房放置特种气瓶柜!、气瓶?架、卧式气瓶、气】瓶集装格《、尾气处理装—置,等气体设备并通【。过管道向生产设【备输:送特种气体的—房间
《
:。
,
2.0.1—8 特种气体站 ! : sp?ecia《lty gas【 station】
】 电子《工厂放置卧式气瓶】、,气,瓶集装格、》ISO标准集装瓶组!、长管拖车、尾气处!理装置等气》体设备并通》过管道?向用生产厂房—气设备?输送:特种气?体的独?立建:(,。构)筑?物
2】.0:.1:9 特种气体【站房: spec】ialty gas! s:tati《on ?and roo【m
?
》。 是指》在电子?工厂特种气》体间与特种》。气,体,站的统称
】
2.0.—。2,0 硅烷站— si—lane stat!ion?
—。 : 是指《放置硅烷《或硅烷混合气体钢瓶!、钢瓶集装格—、卧:式,钢瓶、长管拖车或】ISO?标准集装瓶》组、硅烷气化—装置、尾《气处:理装置、电气装【置等并通过管道向生!。产厂:房供应硅烷气—体的独立建(构)筑!物或区域
【
2.0—.,21 气瓶集装】格,。 t》h,e bund—le of —g,。as cylind!ers
【
? 用专》用金属框架固定采】用,。集气管将多只气体】钢,瓶接口并《联组合的气体钢【瓶组单元
【
2.0—.22 》1S()《标准集?装瓶:组, I》SO ?mo:dul?e
! 采?用,集气管将气体—钢瓶:、长管钢瓶或气瓶集!。。装格相互《连接:并,安装在专《用金属框架上的【组合集装模块—
2.】0.:2,3 气瓶柜 】 :gas cabi】net(GC)
】
?
特种气!体使用的《封,闭式气瓶放》置与气体输》送设:备
2】.0.2《。4 气瓶架 】 gas r【ack(G》R)
】。 ? ,特种气体使用的开】。放式气瓶放置与气】。体输送设备
!
2.《0.25 》 ,阀门箱 v】alve ma【nifol》。。d box(V【M,B)
《
《 特》种气体在《输送过程中使用【的封闭式管》道分配箱体用—于向一个《或多个工艺设备提】供,。特种:气体:
2【.,0.26 阀【门盘 va】lve mani】fold pane!l(VMP)
!
,。
特【种气体?在输送过《程中使用的开放式】管道分配装置用于向!一个或多个工艺【设备提供特种气体】
—2.0.27 】尾气处?理装:置 l—oc:。al ?scrub》ber
—
— 自:燃性、易燃性—、剧毒性、腐蚀性等!气体的排气与吹扫】气体的现场处理装置!处理:后的:尾气达到《规定排放浓度并【排入用气车间的排气!管道
—
,
,2.0.28 【 卧式气瓶 !hori《zontal 【c,ylinder
!
用!于储存较多》特种气体的气瓶一般!水容积为4》5,0L、?950L
—
2.0.2!9 限流孔—板 》。rest《ri:ct: f:low ori【fice《。(RFO)
!
《 , 限定流体》系统最大流》。量的一种装置
】
2.0.3!0 过流开—关 : ex》cess f—low swi【tch?(,EFS)
—
【 ,流体:。系统的流量超出【设定值时给》出开:关信号?
—2.0.31 负!压气源 — sub-》atmo《spheric g!as sourc】。e(SAG》S)
《
【 1型在标准温【度和压力下钢瓶【内和阀?门出口均为负压的气!源
】 2型在标【准温:度和压力下钢瓶【内为正压《阀门出?口为负压的气源
!
2.0【.32 不—相容:性 i—ncom《p,atib《le
?
:
《 : 不同气体混合后】即发生化学反应释】放出能量并对—环境产?生危害?作用的特性》
2【.0.?33 吹》扫, ? purg》e
《
用氮!气或惰?性,气体对?特种气?体系统内的》本质气体或工作气】体进行置换的过程】
2.0!.34 排气【 ,。 : vent
】
《 特种气体【设备与系统》中,排,出的本?质气体或工》作气体
!2.0.3》5 ?气体面板 》 g《as pan—el
! , 集成切断阀门】、调压阀、过滤【器、压?。力计等零部件的专】用设施
—
,
2.0.36 !。。 半致死浓度— le—thal《 concent】。rati《on ?。50(LC50【)
:
》。。 , : 在空气中使健康的!成年大白鼠连续吸入!1h能引起受试【白鼠在14d内死】亡一半的气体的浓】度
2.!0.37 爆炸浓!度下限值 】low ex—p,。losion l】imit(LEL)!
?
,
? 易燃性气【体在空气《或,氧化气体《中发生爆炸的浓【度,。下限值
》
2.0.】38: 最?高允许浓度值 ! thresh【old l》imit val】ue(TLV—),
】 毒性气体在空气!中的浓度小于该【值时充?分,且持:。续暴露于该环境【中的作用人员的【健康不会受到损【害
—
2.0.39 !最高允许浓度—值-时?间加权平均允—许浓度 》 thresho!ld limi【t val》ue-time 】weight—ed a《verage(T】LV-TWA)
】
:
作业!人员按每天8—h每周5d工—。。作,制工作?健康不?会受到损害的—毒,性气体时《间加权平《均浓度
》