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? 2:  术语 》 》 2?.0:.1  特种气体 !   spec【ialty》 gas 》  —   电子产品生产!外延、化学气相【沉积:、刻蚀、掺杂等【。工艺中使用的自燃】性、易燃性、剧【毒性、毒性》、腐:蚀性:、氧化性、》惰性等特《殊气体 《 2.0.!2 : 自燃性气体 【。   pyro【phoric— ,gas !。    也称—作发火气体是指【在空气中《等于或低于5—4℃时可《能自燃?的易燃气体 】 2.0.3】  易燃《性气体 《 flamm—a,ble? gas 》  —   ?一种在20℃和【标准压力101.3!kPa状态时空气混!合有:一定易燃《范围的气《体 【2.0.4  【。剧毒性气体》 ,   hi》ghly tox】ic gas !     半】致死浓度《(空气中吸入4【h)小于或等于10!。0mL/《m3:的气体 《 ? 2?.0.5  毒【性气体 《   toxic】 ,gas 】   ?  半致死浓—度(空气中吸入【。4h)大于10【。0mL/m3—但不:超过2500—mL/m3》的,。气体 — 2.0》.6  腐蚀性气】体 : co?rrosive g!as 》   》  :对材料?或人体?组织通过《接触:产,生化学?反应引起可》见破坏或不》可逆变化的》。气体 — 2.0.—7  氧化性气体 ! oxidi—zing gas ! ?   《 , 一般通过提供氧】气比:空,气,更能导致《和促使其他物质燃烧!的任何气《体 》 2.0.8 】 惰性气体》。    《iner《t :gas —   》  在一般情况下不!会与:其他:物质产生化学反【应的气体 — 2.0【.,9  低蒸汽—压,力气体 《   l《ow ?vapor p【ressure g!as  !   在室温下的】饱和蒸气压小于0】.2MPa的气【体 — 2.?。0.:10  特种气体系!统    》specialt】y gas》 syst》。em 》 ,     —特种气体《。的储存?、输送与分配—过程的设备、管【。道和附件的总—称 》 , ,2.0.1》1  大宗硅烷系统!    bulk !sila《。ne syste】m  】   是指》包,括ISO标》准集装瓶组、—长管拖车、》钢瓶集?装格、Y型》卧式钢瓶或总的【水容:积超过250L【的硅烷系统 !。 :。2,。.0.12  大】。宗特种?气体系?统 : ,  bulk 【s,p,ecial》t,y ga《s :。。system 】   —  一般指单—个气体设《备容积?大于400》L的特种气体储存和!送气系统 】 2.0.1【3  液态特种气】体系统    li!quid《 sp?ecialty【 gas《 system !。 《    是指以液态!。输送、?分配在用户终—端进行汽化》的特种气体系—统 《 2《.0.1《4  气《。体,。探测系统《  :  gas —。dete《ctor 》system—(GDS) 【  》   设置在特种】气,瓶柜、气瓶架—、阀门箱《、阀门?盘及其他特种气【体输送设《备与管?道所覆盖区域—通过检测本》质,。气体或?关联气体在空气中的!浓度来判断本质【气体:。的泄漏从而发出声光!。报警信号、提供探测!。数据的系《统 2】.0.15》  气体管理系统】    《ga:s mana—gement—。 sy?stem《(GMS) — 《  : ,  包含特种气体探!。测系:统、应急处理系【统、工作管理系统、!。监视系统、数据【传输与处《理系统的气体管理与!控制系统的统称 !。 : 2.0.16 ! 生产区    】fab?ricati—on are—a  】   电《子生产厂《房内布?。置生产设备及—相关的研发、测试】的区域有《些生产过程将使用】危险性生产材—料该区域为生—产厂:房的核心区域 【 ? 2.0.17 ! 特种气体间 【   sp》ec:。ialty g【as ?room !。     电—子生产?厂房放置特种—气瓶柜、气瓶架、】卧式气瓶《、气瓶集装格、尾气!处理装置等气—体设备并通过管道】向生产设备输—送特种气体的房【间 【2.0.18 【。 特种气体站  】  specia】lty gas 】stat《ion 《 : ,  ? ,  :电子:工厂放置卧》式,气瓶、气瓶》集装格、《ISO标准集—装瓶组?、长管拖车、尾气】处理装?置等气体设备并通】过管道?向用生产厂房气【。设备输送《特种气体的独立建】(构)筑《物 《 , 2.0.19】。  特种《气体站房    s!pecia》lty gas s!tation an!d room 【 ?     —是指在?。电子工厂特种气体】间与特种气体—站的统称 》。 ? :2.:0.20《  :硅烷:站  ?  silane】 sta《tion !     是—。指放置硅烷或硅【烷混合气《体钢瓶、钢》瓶集装格、卧式钢瓶!、长管拖车或IS】。O标准集装》瓶,组、硅烷气化装置】、尾:。气处:理装置、电气—装置等并通过管【道向:生产厂房供应硅【烷气体的独》立建:。(构)筑物或区【域,。。 》 2:.0.21  气瓶!集装格    t】he bun—dle of— gas 》cyli《nders — ?     用专】用金属框架固定采用!集气管将多只气体钢!。瓶接口?并,联组合的气体钢瓶】。组单元 《 :。 :。 2.0.22 】 1S()》标准集装瓶组   ! ISO 》mod?u,le 】    采用集气】管将气体钢瓶、长管!钢瓶或气瓶集装【格相互?。连接并安装在专【用金属框架上的组】合,集装模块 ! 2.0《.2:3  气瓶柜  】  g?as cabine!t(GC) 【    【 特种?气体使用的封闭【式,。气瓶:放置与气体输—送设备 — 2.0.【。24 ? ,气,瓶架:    ga—。s :ra:ck(GR) 】 《    特种气体】使,用的开放式气—瓶放置与气体输送设!备 — 2.?0.25  —阀,。门箱    val!ve: manifold! ,。box(VMB)】 —    特种气体】在,输,送过程中使用—的,封闭:式管道分配箱体用于!向一个?或多个工艺设—备提供特种》气体 【 2.0.26  !阀门:盘  ?  valve m!anifo》ld pa》nel(《VMP) 】     —特种气体在输送【过程中使用的开【放式管道分》配装置用于向一【个或多个工》艺设备提供》特种气体 — 2.0【.27  尾气【处理装置《。。    《。lo:c,a,l, s:crubb》e,r : ? ,     》自燃性、易燃—性、剧毒性、腐蚀性!等气体的排气与【。吹扫气体的现场【处理装置《处理后的尾气—达,到,规定排放浓度并排入!用,气车间的排》气管道? , 2—.0.28 — ,卧式气瓶  —  :hori《zontal 【cylin》de:r,  【   ?用于储?存,较多特?种气体的《气瓶一般《水容积为《450L《、9:50L 】 2.0.》29  限流孔板 !   rest【rict flow!。 ori《fice(RFO】) : ,。  》   限定流体系】。统最大流量的—一种装置 】。 2.0.—。30  过流—开关    ex】c,ess flo【w swi》tch?(EF?。S) 》     流】体系统的流量超【出设定值《时给出开关信号【 , , :。 2.0.3【1  负《压气源   — s:。ub-atmosp!he:。。r,ic ga》s s?ource》(SAG《S) 《    【 1型?在标准温度和压【力下钢?瓶内和阀门出—口均为负压的气源】 ?  《   2型》。在标准温度和压力下!钢瓶内为正压阀门出!口为负压《的气源 — : 2.0《.32  不—相容性    【incom》p,atibl》。e  】   不同气—体混合后即发生化】学反应释放出能量并!对环境产生危—害作用的《特,性 2】.0.33 — 吹扫    pu!rge 《 ?     —用氮气或《惰性气?体对特种气体系【统内的本质》气体:或工作气《。。体进:行,置换的过程 ! 2.0.3【4  ?排气    ve】nt 【     特种气】体设备与系统—。中排出?的本质气体或工作】气体 【 2.0《.,35  《气体面板   【 g:as panel】 :    【 集成?切断阀门、调压阀、!过滤器、压》力,。计等零部件的专用】。设施 2!.,0.3?6  半致死—浓度   》 lethal c!oncent—ratio》n 50(LC50!), :   —  在空《气中使健康的成年大!。白鼠连续吸入1h能!引,起受试白鼠》在14d内死亡一半!的气体的浓度 ! : 2:.0.37  爆】炸浓度下限值   ! low 》explosi【on: limit(L】E,L) 《   —  易?燃性气体在空气或氧!化气体中发生—爆炸的浓度下限值 ! 《 2.0.3—8  最高允—许浓:度值    t【hreshold】 limit— valu》e(TLV)—    ! ,毒性气体在空气中】的浓度小于该值时】充分且?持续暴露于该环境中!的作用?人员的健康不—。会受到损害 ! 2.0.39】  最高允许—浓度值?-时间?。加权平均允许浓度】    thr【eshold 【lim?it v《alue-》time weig!hted av【erage(TL】。V-TWA)— ?  《  : ,。作业人员按每—天8h每周5—d,。工作制工《作健康不会受到损害!的毒性气《体时间加权》平均:。浓度 《