2  【术语 — 2．—。0，．1  特种气体 ！   s《pec？ialty —gas ！。。   ？ ，电子：产品生产外延、化】学气相沉《积、刻蚀、掺—。杂等工艺《中使用的自燃性、易！燃性、剧毒性、毒性！、腐蚀性、氧化性、！惰性等特《殊气体？ 》 2：．0．2  自【。燃性：气体：。    pyr【o，phoric— ，。gas 】   ？  也称作》发火气？体是指在空气中等】于或低于54—℃时可能自燃的易燃！气体 — ， 2．0．》3  易燃性气【体  flam【。mable ga】s 【    一种在【20℃？和标准压力101】．3kPa状态时】空气混合有一定【易，燃范围的气体 【 2—．0．4  剧【毒性气体   【 h：ighl《y toxi—。c g？a，s 《。     【半致死浓度》(空：气中吸入《。4，h)：小于或等于100m！L／m3的气体 】 ： 2．0．5 ！ 毒性气《体    toxi！。c g？as 》 ：   ？  ：半致死浓度(空【气中吸入《4h)大于100m！L，／m3但不超过【2500mL／m】3的气体 — 2．—0，．6 ？ 腐蚀性气体—  corros】ive 《gas？ —  ：  ：对材料或《人体组？织通过？接触产生化学反【应引起可见》破坏或不可逆变化】的气体？ 《 2．0．—7  ？氧化性气体  【o，x，。idizing【。 gas 】     一【般通过提供氧—气比空气更能导【致和促使《其他物质《燃烧的任何气—体 《 2《。．0．8 》 ，惰性气体《    i》n，er：t gas 【 ， ，     在一般！情况下不会与其他物！质产生化学》反，应的气体 》 2—．0．9  —。低蒸汽压力》气体    lo】w va《。po：r pressu】re gas 【 》    在》。室温下的《饱和蒸气压小于0】．2MPa的气体 ！ 2—．0．10  特】种气：体系统 《  ： ，。s，p，ecial》ty ？gas syste！m   ！  特种气体的储】。存、输？送与分配过》。程，的设备、管道和【附件的总《。称 》。。 2？．0．？11  大宗—。硅烷系统 》  ： b：ulk？ ，si：。la：ne sys—tem？ 《    》 是指包括ISO】标准集？装瓶组？。。、长管？拖车、钢瓶集装格、！Y型卧式钢瓶或【总，。的水容积超过250！L的硅？。烷系统 》 2．—0．1？2 ： 大宗特《种气体系统    ！bulk spe】cial《t，y gas —sy：。stem —     】一般指单个》气体设备容积大于4！0，0L的特种气体储】存和送气系统 【 2．【0，．13  》液态特种气体—系统：    liqui！d special！。ty ？gas syst】em 】    《是指：以液态输送、分配在！用户：终端进行汽化—的特种气体系—统 【2．0．14  气！体探：测系统 《   gas— ，detect—or syst【。em(GDS) ！ ？    《 设置在《特种气瓶柜、气瓶】。架、：阀门：箱、阀门盘及—其他特种气体输送】设备与管道所覆盖区！域通过检测本质气体！或，关联：气体在空《气中的浓度来判断本！质气体的《泄漏从而发》出声光？报，。警，信号、提《供探：测数据的系统 ！ ， ， 2．0．》15：。。  气体管理系统】    gas m！a，nagement ！syste》m(GMS》)   ！。  包含特种气【体，。探测系？统、应急《处理系统、工—作管理系统、监【视系统、数据—传输与处理系—统的气体管理与【控制系统《的统：称 》 2？．0．16》  生产区    ！fabricat】ion area ！ ：  《   电子生—产厂房内布置生产设！备及相关的研—发、测试的区域有些！生产过程将》使用危险性生产【。材料该区域为生产厂！房的核心区域 ！ ？2．0．17  】特种气？体间  《  spe》cialt》y gas roo！。m 【    电子生产厂！房放置特种》气瓶：柜、气瓶架》、卧式气《瓶、气瓶集装格、】尾气处理装置等气】体设备并通过管道】向生产设备》输送特种气》体的房间《 ， ， 2．—0．1？8  特种》气体站？    spec】ialty》。 gas sta】tion —   —  电子工厂放【置卧式气瓶、气【瓶集装？格、ISO标准集】。装瓶组、长管拖【车、尾气处理装置等！气体设备并通过【管道向用生》产厂房气设备输送特！。。种气体的独立—建(：构，)筑物 》 2．0．】1，9  特种气—体，站房  《  spe》cialty 【g，as：。 station ！a，nd room【 《     是指在！电子工厂特种气体间！与特：种气体站的统称 ！ 《2．0．20 【。。 硅烷站   【 ，silane— statio【n  】  ：。 是指放置》硅烷或硅烷混—合气：体钢：瓶、钢？瓶集装格、卧式【钢瓶、长管拖车或I！S，O标准集装》瓶，组、：。硅烷：气化装置、》。尾气处理装置、【电气装置等并通过】。。管道向生产厂房供应！硅，烷气体的独立建【(构)筑物或—区域 】2．0？．21 《 气瓶集装格  】  th《e bun》dle o》f gas c【ylinde—rs 《。   —  用？专用金属框架固【定采用集气管将多只！气体钢瓶《接口并联组合的【。气体钢瓶组单元【 2【．0．22  1】S，()标准集装瓶【组    IS【O mo《dule 【 ？    采用集气】管将气体钢瓶—、长管钢瓶或气【瓶集：装格相互连接并安装！在专用金属框架上】的组合集装模块 ！ 《2．0．23  】气瓶柜    g】as cabine！t(GC)》 —    特种气体使！用的封闭《式气瓶放置与—气体输送设》备， 2．】0．24  —。气瓶架    g】as rac—k(G？R)  ！   特《。种气体使用的开放】式气瓶放置与—气体输送设备— —2．0？．25  阀—门箱：    val【。ve manif】ol：d， box(VMB】) ？ ？。     》特种气体在输送过】程中使用的》封，闭式管道分配箱体】用于向一《个或多个工》艺设：备提供特种气—体 》。 ：2．0．26  阀！。门盘  《  v？alve 》manifold】 ，panel(V【MP：)， 》     特种气】体在输送《过，程中使？用的开放式管道【分配：。。装置：用于向一个或多【个工艺设备提供特】。种气体 《 ？ ：2，．0．2《。7  尾《。气处理装置   】 loca》l scrubbe！r  】   自燃性、易燃！性、剧？毒性、腐蚀性等气体！的排气与吹扫—。气体：的现场处理》装置处理后的尾【气达到规《定排放？浓度并排入用气【车间的排气管—道 —。 2．0．28 】 卧式气瓶    ！horiz》onta《l cylind】er 》。     用于！储存较多特种气体的！。气瓶：一般水容积为—450L、9—50L — 2．0．2】。9  限流孔—板 ：   r《es：tri？ct ？flo？w or《。ifice(RFO！)，。 — ，   限定》流体系统最》大流量的一》种装置 《 ： 2《．0．3《0  ？过流开关   【 ex？cess fl【。ow s《witch(EF】S) ？ ？     —流体系统的流量超出！设定值时给出开关信！号 《 2．0—．31  》负压：气源 ？   sub—-atm《osphe》r，ic g《as source！(SAG《S)  ！   ？1型在标准温度【和压力下《钢瓶内和阀门—。出，口均为？负压的？气源 》 ？    2》型，在标准温《度和压？力下钢瓶内为正压阀！门出口为负》。压的气源 — ： ：2，．，0．32 》。 不相？容，性    inc】ompatibl】e   ！  ：不同气体混合后即发！生化学反应释放出】能量并对环境产生危！害作用的特性 】 2．—0．33  —吹扫  《  purge【 ： 《    用》氮气或惰性》气体对特种气体系】统内：。的，本质气体或工作气】体进：行置换的过》。程， 2【．0．34 — ，排气    ve】n，t， ？ ：     特种气体！设备与？系统中排出》的本质？气体或？工作气体《 —2，．0．35 — 气体面板  【  ：。gas？ pan《el 【     集成【切断阀门、调—压阀、？过滤器？。、压：力计：等零部件的专—用设：施 2．！0，．，3，6  半致死浓度】。    《leth《a，l co《nce？n，tration 5！0，(LC50》)  】   ？在空气中使健康的成！年大：白鼠连续《吸入1？h能引起受试白鼠在！14d内死亡一【半的气？体的浓度 】 2．《0，．37  爆炸【浓度下限值   】 l：。ow exp—losion 【lim？it(？L，EL：) 》  ？   易燃性—气体：在空气或氧化气【体中发生爆炸的浓】度下限值 ！。 2．0．3—8  最高允许【浓度值 《   thres】hold 》limit v【al：。u，e(TLV) ！     毒性！气体在空《气中的浓度小于该】值时充？分且持？续暴露于该环境中】的作用人员的—健康不会受到—损害 】2．0．《39  最高允【许浓度值《-时间加权》平均允许浓度 【   ？thres》hold li【mit va—lue-t》i，me we》i，ghted av】er：ag：e(TLV-—TWA) 【     作】业人员？按每天8《h每周5d工作【制工作健康》不会受到损》害的毒？性气体时《间加权平均浓—度 ？