2 【术语
》。
《
,2.:0.1 特种【气体 —specia—lty gas
】
?
—电,子产品?生产外延、化—。。学气相沉积》、刻蚀、《掺杂等工艺》中使用的自燃性【、易燃性、剧毒性、!毒性、腐蚀性、氧】化性、惰性等特殊气!体
2】.0.2《 自燃性》气体 —py:ropho》ric? gas
!
也称作】发火气体是指在空】气中等于或》低于54℃》时可:能自:燃的易燃气》体
》
2.《0.3 易燃性气!体 ?。flamma—ble gas【
《。
: 一种在2】0℃和标《准压力10》1.3?kPa状态》时空气混合有一定易!燃范围的气体
【
2—.,0.4 》剧毒性气体 【 highl【y, to?。xic 《gas?
】 半?致死浓度(空气中】吸,入4h)小于或【等于100mL/】m3的气体
!
2.0.5 】。 毒性气体 】 toxic— gas
】
:。。 《半致死?浓度(?空,气中吸入4h)大】于100mL—/m3?但不超过2500】mL/m3的气【体
2】.,0.6 腐—蚀性气体 co】rrosive【 ga?s
》
: 对》材料或?人体组织通过接触产!。生化:。学,反应引起可》见破坏或不》可逆变化《的气体
《。
,
2.0.】7 氧化性气体】 oxi》dizing— ga?s
【 一般通过提!供氧气比空气更能导!致和促使其他—物质燃烧的任何【气体
》
2《.,0.8? 惰性气》体 : ,。 inert【 g:as
?
:
在一!般,情况下不会与其他物!质,产生化?学反:应的气体
》
:
,
2.0.9 】 低蒸汽压力气【体 》low vapor! pr?e,s,sure《 gas
》
》 ? 在室温下的饱和】蒸气压小于0—.2MP《a的气体
》
,
2.0【.10 》特种气?体系统? 《specia—lty gas 】system
【
— 特种气体的】储存、?输送与分配过程【的,设备、管《道和附件的总称【
?
2《.0.11》 大宗硅烷—系统 b【ulk s》ila?ne:。。 syste—m
:
【。 是?指包括?ISO标准集装【瓶组、?。长管拖车、》钢瓶集装格、—Y型:卧式钢瓶或总的水】容积超过250【L的:硅烷系统
!
2.0.12【 大?宗特种气《体系统 【bul?k s?。pecialty】 gas syst!em
《。
】一般指单个气体设】备容积大于》400?L的特?种气:体储存?和送气系统
】
2《。.0.13 【液态:特种气体《系统 —liq?。uid speci!a,l,ty ga》s syste【m
《
【是指以液态输送、】。分配在用户终端【进行汽?化的特种气体—系统:
:
2.0.1!4, 气体探测系统 ! ?gas detec!tor 《syste》m,(G:DS)
! 设》置在特种气瓶柜、气!瓶架、阀门箱、【阀门盘及其他特种气!。。。体,。输送:。设备与管道所—覆盖区域通过检测】本质气体或关联气】体在:空气中?的,浓度来判断本—质气体?的泄漏从而发—出声光报警信号、提!供探测数据的—系统
》
:
,2.0.1》5 ?气,体管理系统 【 gas ma】nage《ment sy【stem(GMS】),。
】 包含特种—气体探测系统、应】急处理系统、工【作管理系统、监视系!统、数据传输与【处,理系统的气体—管理与控制系统的统!称,
:
:。。
2.0》.16? 生产区 !fabricat】ion ar—ea
! 电子生产厂】房内布置《生产设备及》相关的研发、测【试的区域《有些生产过程将【使用危险性生产材】料该区?域,为生产厂房的核心】区域
?
2.0】.17 特种【气体间 【spec《ialty g【as ?room
】
? 电子生产厂房!放置特种气瓶柜【。、气瓶架、》。卧式气瓶、气瓶集装!格、尾?气处:理,装置:等气体设备》并通过管道》向生产设备输送特】种,气,体,的房间
《。。
?
:2.0.18 】特种气体站 【 sp《e,cialty 【gas? stat》io:n
》
电【子工厂放置卧式气瓶!。、气瓶集装》格、ISO标准【集,装瓶组、长管拖车】、尾气处理装置等】气体设备《并通过管道向用生】产,厂房气设《备输送特种气体【的,独立建(构》)筑:物
《
2.0.【19 特》种气体站房》。 spe【ci:alty 》。g,。as st》ati?on ?and r》oom
】
是指在电!子工厂特种》气体间与《特种气体站》的统称
》
?
2.0《。.20? 硅烷站》 s》il:an:e statio】。n
—
是指放置!硅烷或硅烷混合气体!钢瓶:、钢瓶集装》。格、卧式钢瓶—、长管拖车》。或ISO标准集【装瓶组、《硅烷气化《装置、尾气处—理,装置:、电气装置》等,并通:过管:道向生产《厂房:供应硅烷气体—的独立建(构)筑物!或区域
—
,
2?.0.21》 :气瓶集装格》 ,。 ?th:。e b?undle —of ?。gas cylin!ders
】
? 用专用金属框!架固定采《用集气管将多只气】体,钢瓶接口并联组合】的气体钢瓶组单【元
2】.,。0.22《 1S()标准集!装瓶组 IS!O m?odule
】
采用!集气管将气体钢瓶、!长管钢?。瓶或:气瓶集装《格相互连《。接并安装在专用金】属框架上的组—。合集:装模块
—
2.0.2】3 气瓶柜— ,。 : gas《 ,ca:b,i,net(G》C)
?
》 特种气【体,使用的封《闭式气瓶放置—与,气体输送《设备
】2,.0.?24 气瓶架【。 gas r!ack(GR)【
?
特】种气体使用的开放式!气瓶放置与》气体:输,送设备
》
,。
2《.0.25 阀】门箱 ? val—ve m《an:ifold —box(VMB【)
】 特种气体【在输送过程中使【用的封闭式管道【分配箱体用于向【一个或?多个工艺设》备提:供特种气体》
》
2.0《.26 《 阀门盘《 valve!。。 mani》f,old? pa?nel(VM—P)
】 ? 特种气体在输送】过程中?使用的开放式—管道分配装置—用于向一个或—多个工?艺设备提《。供特种气体
—
》2.0.27— 尾气处理装置 ! : l:ocal scru!bber
》
《
? 自?燃性、易燃性—、剧毒性、》腐,蚀性等气体的排【气与吹扫气》体的现场处》理装置处理后的尾】气达:。到规定?排放浓度并排入用气!车间:的,排气管道
!
2.0《.28 卧式气瓶! 《。horizon【tal cylin!der
】
, 用》于储存较多特种【气体的气瓶一般水】容积为450L、】950L
!
2.0.29【 限流孔板 】 rest—rict 》flow ori】fice(RFO)!
:
,
限】定流体系统最—大流量的一》。。种装置
【。
2?.0.30 — 过流开关 【 :exce《。ss flow 】swi?tch(E》FS)
《
【 流体《系统的流《量超出设定》。值时给?出开关信号
】
2.0.【31 负压—。气源 《 su《b-atmosp】。her?ic gas s】ource(S【AGS)
》
:
1】。型在标准温度和【压,力下钢瓶内和阀门】出口均为负压的【气源
】。 2》型在标?准温度和压力下钢瓶!内为正压阀门出口】为负压的《。。。气源
《
2.0【.32 不—相容性 i】nco?mpatib—le:
《
不【同气体混合后—即发生化学反应释】放出能量并对环境】产生危害作用—的特性
!2.0.3》3 : 吹:。扫 pu【rge
《。
?
—用氮气或惰性气体】对,特种:气体系?统内的本《质气体或工作—气,体进行置换的过程
!
?
2.0.3【。4 排气 】 ,v,ent
【
特种气!体,设备与系统中排【出的:本质气体《或工:作气体
】。
2.0《.35 气—体面板 【gas pan【el
》
? ? 集成切断》。阀,。门、调压阀、过【滤器、压力计—。等零部?件的专用设施
】
2.0.】36 半》致死浓度 — let》。hal c》。once《n,trati》o,n 50(》LC50)
【
【 在空气中使健康的!成年大白《鼠连续吸入1h能引!。起受试白鼠在14】d内死亡一半—的气体的浓度—
2.0!.37 》爆炸浓度下》。限值: low e!xplosi—。on ?。limit(LEL!)
【 易燃性气】体在空气《或氧化气体中发生】爆炸的浓度》下限值?。
2.】0.38 》 最高?允许浓度值》。 : thres【hold li【mi:t :value(—TLV)
】
—毒,性气体在空气中【的,浓度小于该值时充】分且持续暴露于该环!。境中的作《用人员的健康不会】受到损害
—
《2.0.《39 最高允许】浓度值-《时间:加权平均允许浓度】 thres!hol?。d limit v!alue-t—。ime weigh!。ted? av?erage》(TL?V-:TWA)《
【 ?作业人员《按每天8h》每周5d《工作制工作健康【。不会受到损害—的毒性气体》时间加权平均浓度
!
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