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1 总则!
》。
1.》0.1 》为了在电子工—业工厂特种气体系统!及,配套装置《的工程?设计、施工》。及验收中贯彻—国家现行法律、【。法规满足《产品生?产要求确保人身和】财产安?全、做到安全适用、!。技术先进、保护【环境、节约能源【、经济合理制定本】标准
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1.》。0.:2 本《标准适用于新建【、改建、《扩建的电《子工业的特》种气体系统工程中】的设计?、施:工和验收《
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1.0.!3 : 本标准《不适用于《。特种气体的制取【、,提纯、灌装等—生产及?配套装置的工程【设计、?施,工和验收
】
1?.0.4 特种气!体系:统工程的设计、施】工及:验,收除:。应符合本标准的规】定外尚应符合国家现!。行有关标准的—。规定
《