7》.3 气 体
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,7.3?.1 空压站【宜,布置在?综合动力站内
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?7.3.2 风冷!式空气?压缩:机应:设,置热排风管》道
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7.3.3! 管道内输送露点!。低于-40℃的压】缩空气时宜采用内】壁抛光的不锈—钢管阀门宜采用球阀!。管道阀门、附件【的材质宜与》。相连接的管道—材质一致《
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7.3.》4 大宗气体【供应系统宜根据【用量及社会供应【状况在?工厂内设置外购液氮!气储罐或瓶装气体供!气
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7.3《.5: 大宗气》体纯化装置应根据】气源和生产工艺对】气体纯度、容许杂质!含量的?要求选择终端纯化装!置,应设置在用气点处
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7.3.6— 大宗气体纯度大!于或等于99—.,99%、露点低于-!40℃时宜采—用内壁?抛光的不锈钢—管,阀门宜采用波—纹,管,阀或球阀
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7《.3.7 工艺】真空系?统的抽气能》力应按生产》工艺实际用》气量及系统损耗量】确定
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?7.:3.8 《 工艺真空泵宜【布置在?微波集成组件厂房内!
7【.3.9 工艺真!空系统管道材—料宜根据工艺真【空系统真《。空,度选用
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