7.3 】 气 体
【
《
7:.3.?。1 : 空压站宜》布,置在综合动力站内】
—7.3?.2 风》冷式空气压缩机【应设置热排风管道
!
《
7.3.3— 管道内输送露】点低于-40—。℃的压缩空气时宜采!用,内壁:抛光的不锈钢管阀门!宜,采用:球阀管道《阀,门、附件《的材质宜与相连接】的管道?材质一致
】
7.3.4 !。大,宗气体供应》系,统宜根据用量及社】会供应状况在工厂内!设,置,。外购液氮气储罐或瓶!装气体供《气
【7.3.5 — ,。大宗气体《纯化:装置应根《据气:源和生产工艺—对,气体纯?度、容许杂质含【量的要求选》择终端纯《化,装,置应设置在》。用,气点处?
》
7.3.6 】大宗气?体纯度大《于或等于99—.99?%、:露点低于-40【℃时宜采用内壁抛光!的不锈钢管》阀门宜采用波纹管】阀或球阀
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:7.3.7 工】艺真:空系统的《。抽气能?力应按生产工—艺实:际用气量《。及系:统损耗量确定
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7.【3.8 《。 工艺真空泵宜【布置在微波集成【组件厂房内
【
7》。.3.9 工艺真!空系统管道材—料宜根据工艺真空系!统真空度选用
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