7.3 】 气 体 — 7.】3.1  空压站宜！。布置在综《合动力站内》 7.】3.2  风冷【式空气压缩机应设】置热排风《管道 7！。.3.3  —管道内输送》。露点低于《－40℃的压缩【空，气时宜采用》内壁抛？光的不锈钢管—阀门宜采用球阀管】道阀：门、附件的材质宜】与相连接《的管道材《质一致 《。 7.【3.4  大—宗，气体供应系》统宜根据用》量及社？会供应状况在工厂】内设置？外购液氮气储罐【或瓶装气体供气 】 ， 7》.，3.：5  大宗气体纯化！装置应根据气—源和生？产工：艺对气体纯》度、容许杂》质含量的要》求选择终端纯化装】置应设置《在用气点处 — 《 7.3.6—  ：大宗气体纯度大【于或等于99—。.99％、》。。露点低于－40℃】时宜采用内壁抛光的！不锈：钢管阀？门宜采？用波纹管阀》或球阀？ 7【.3.7  —工艺真空系统—的抽气能力应按生产！工艺实际用气量及系！。统损：耗量确？定 7.！3.8  》工艺真空《泵宜：布置在微波集成组件！厂房内 ！7.3.《9  工艺真空系】统，管道材料《宜，根据工艺真空系统】。。真空度选用 — ，