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7.》3 气 体
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》7.:3.1 空压站宜!布,置在综?。合动力站内
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7.3.2】 :风,冷,式空气压缩》机应设置热排风管】道
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7.3.3 【 管:道内输送露点—。低于:。-,。40℃的压》缩空气时宜采—用内壁?。抛光的?不锈钢管阀门宜采用!球,阀管:道阀门、附》件的材质宜与相连】接的管?。道材:质一致?
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7.3.4 】 大宗气体供应系】统宜根?据用量及社会—。供应状况《。在工:厂内设置外购液氮】气储罐或瓶》装气:体,供气
7!.3.5 —大宗气体纯化装【置应根据气源和生】产工艺对《气体纯度、容许杂】质含量的要》求选择终端纯—化装置?应设置在用气点【处
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7.—3.6 大宗气体!纯度大于或等—。于99.99—%、露?点低:于-40℃时宜采】用内壁?抛光的不《锈钢管阀门宜采用】波纹管阀或球阀
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7.3.】7 工《艺,真空系统的抽—气能力应《按生产?工艺实际用》气量及系统》。损耗量确定
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7.3—.8 工艺真【空泵宜布置在微波集!成组件厂房内
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7.3.9【 工艺真空—系,统,管道材料宜》根据工艺真空系【统真空度选用
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