： ， 7：。.，3 ： 气 体 【。 ， 7.3.】1， ， ，空压站宜布置在综】合动：力站内 ！7.3.2》  风冷式空气压】缩机应？设置热排《风管道 《 ？ 7.3.3【  管道内输送【露点低于－40℃的！压，缩空气？时宜采用内》。壁，抛光的不锈钢管【阀门宜采《用球：阀管：道，阀，。门、附？。件，的，。材质宜？。与，相连接？的管道？材质一致 》 ， ， 7.》3.4？  大宗气体—。供应系统宜》根据用量及社会供】应状况在《工厂内设置》。外购液氮气储罐或瓶！装气体供气 ！ ， 7.3.5  大！宗气体纯化装置应根！。据气源和生产工【艺对气体纯度、容许！杂质含量的要求选】择终端纯化装置【应，设置在用气点处 ！ ： 7.3.6 】 ，大宗：气体纯度《大于或等于99.9！9％、露点低—于－40℃》时宜采用内壁—抛光的不锈钢管阀】门宜采用波纹管【阀或球？阀 7.！3.7  工—艺真空系《统的抽气能力应【按，生产工艺实际用【气量：及系统损耗量—确定 》 ：。 7：。。.3.8《。  工艺《真空泵宜《布置在微《波集成组件厂房内】。 ， ？ 7.《3.9  》工艺真空系统管【道，材料宜根据工艺真空！系统真空度选用 】 ，