7.3【 气 体
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《。
,7.3.1 空压!站宜布置在综合【动力站内《
7.】3.2?。 风冷式》。空,气压缩?。机应:设置热排风管—道
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7.3.【。3 管《道内输送《露点低于《-40℃的压缩【空,气时宜采用内壁抛光!的不锈钢管阀门宜采!用球阀管《道阀门?、附件?的材质宜与相连接】的管道材质一致【
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7.3—.4 大》宗气体供应》系统宜根据用量【及,社会:供应状况在工—厂内设置外购液氮气!储罐或瓶装气体供】气
7.!3.5 大—宗气:体,纯化装置《应,根,据气源和生产工【艺对气体纯度、容许!杂质含量的要求【。。选择终?端纯化?。装置应?设置在用气点处
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7.3.6! 大宗气体纯度】。大于或等《于99.99%、露!点低:于-40℃时宜【采用内壁抛光的【不锈钢管《阀门宜采用波纹【管阀或球《阀
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7.3》.7: ,。 工艺真空》系统的抽气》能力应按生产工【艺实际用《。气量及系统》损耗量确定
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7.3.8— 工艺《。真空泵宜布置—在微波?集成组?件,厂房内
》
《7,.3:.9 工艺真空】系统管道材料宜根据!工艺真空《系统真空度选用
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