： 5  工艺布】局 】 5.1  】一般要求 【 5.1.！1 ： 微：。波，。集成组件生》产工厂工艺》生产区应包括生【产车间和《生产辅？助区 【 ，5.1.2 —。 工厂？工艺生产区的设备、！设施应与生产规模和！流程相匹《配 5】.1.3  工【厂工：艺生产区人》流及物流应按生产】工艺流？程合理规划避免交】叉 【5.1.4》  工厂工艺生产】区面积应满足产品】生产所需的设备、】。。机位、操作位、【周转台的要求并应】充分合理利用空间】 ， ？ 5.1》.5：  生产车》间布局应根》。据设备种类和数【量、操作空》间、人流《、物流以及安全【生产要求确定— ：。 ： 5.1.6  ！生产车间《。中流程相邻工艺布局！时宜彼此相邻—生产车间中涉及【芯片的组《装、测试、封装【等工：序应在？。洁净区进行其他【工序可在非洁净区】进行 》 ？5.1.7 — 洁净区《和非洁净区之间应】设，置，传递窗或专用—传递走？道、：专用：传送：带等： 5.】1.8？  生产车间运输】通，道，、安：装口或检修口应根】据设备运输、—安装、维修要求确】定 》。 5.1.9【 ，。 生产车间工艺【布局应保证配—管配：线空间和设备维修空！间 《 5.1.1】0 ： ，生，产车间应合理设【置环境？条件检测点 】。 5.1.1】1  生产车—间工作台选》型，应有满足人体特【性、机器操作、【工装传递《、环境工程学要求的！操，作空间 》