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2 术【 语
!
2.0《.1 微波集【成组:件 m《icrowav【e :i,ntegrat【ed mo》dul?e
?
】。由外壳、基片、元器!件,。、,微模:块、接口《组成在0.3G【。Hz至?300GHz频段】内具有特定功能【。的构件
!2.0.2 【工艺布?局 ?proce》ss layou】t
》
满足】产品生产《工艺流程及产量需求!的空:间安排
—
2《。.0.3 芯片 ! die
—
】无封装的衬底—分割单元表面—为半导体集成电【路,
,
2.【0.4 微模块 ! stage 【assem》blies
—
【 微波集成组件中!有独立功能、无完】整,封装的微小构件
!
《2.0?.5 局部封【装 p《artial 【pack《age
! 微》波集成组件特殊区】。域的密封保护—
2.0!.6 调试 】adju《stment
【
,
》。 : 材料、结构—、,尺寸的调整使产品符!合规定功能和指标】
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