《6.3 》管,道系统安装
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6.3.1【 管道安装前应进!行以下准备》工作
1! 配管下料时【应采用“等离—子切割”或专用切】割锯、割管》刀等工?。。。。具不应采用氧—乙炔焰切割不得涂抹!油脂或润《滑剂
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2 管道切!口,应与管轴线垂—直切口表面》应平整、《无裂纹?应去:除毛:刺 :
3 !。在主管道上连—接支管或部》件时宜用成品连接】件
4 ! 普通?不锈钢管应在工厂的!清洗槽?中用酸洗《液清洗后再用清水】冲洗干净
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5 氧气管道!及附件?安装前应按相关【。规定方法进》行脱脂脱脂应—在远:离洁净室的》地点进行并做好操】作人员的安全—与环境保护工作【
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6.3.【。2 ?管道敷设《应,符合设计《要,求设计无要求—时应敷设《在人员?不易碰撞的高度上】否则应有《防护设施输送干【燥气体的管》道,。宜无坡度敷设;【真空吸引管道—和含湿气体》。管道的坡度》宜大于或《等于0.3%坡向真!空泵站或冷凝水收】集器
6!.3.3 》 不锈钢管道应按现!行国家标准现场【。设备、工业管道【焊接工程《施工及?验收规?范G:B 50236的】要求采用氩弧焊【焊接连接焊接—时管内应充氩气保护!直至焊接、吹扫【、冷却完毕后停止】充气:
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6.3》.4 《有接:地要:。求的管道《法,兰间必须接有多【芯,。导电跨线
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6.3.】5 :。 穿过围护》结构进入《洁净室的气体—管道应设《套管套?管内管材不应—有焊缝与接头管【材与套管间应用不燃!材料填充并》密,封套管两《端应有不锈钢—盘型封?盖
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6.3.】6 高纯气体管】道的安装除应符【合以上有关条款【规定外?还,应符合下《列规定
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1— :经脱脂或抛光处理的!不锈钢?管安装前应采取保】护措施防止二次污染!
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2 管—道预制、《分段组装作业—不得在露天环境【中,进行
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?3 分段预制或】组装的管段》完成后两端》应用膜、板等—封闭
】4, 高纯气体管道】为无缝?铜,管时应采用承插式】硬钎焊焊接
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:焊接紫?铜管时应按现行国家!标准磷铜《。钎料GB/T—。 6418要求选】用磷铜?钎料;焊接》。紫铜与黄铜管时【宜按现行国家标【准银基钎料G—B10?046要《求选用HL304含!。银量为50%—的银:基钎料?管内应通入与工【艺气体同《等纯度的氮气作为】保护气体并吹除不】宜用沾水纺》织材料擦拭
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5》 高纯气》体管道?如无法避免用—螺纹:。连接时官在铜与铜、!。铜与铜合金附件外】螺纹上均匀挂锡【。非氧气管道》。。宜采用聚四氟—乙烯带缠绕管口【螺纹
】6 不锈钢管、】铜管应冷弯弯管【半径宜大于等于5】倍管材外径;管壁不!得起皱
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7 — 高纯气体管道为聚!偏二氟?乙烯(P《VDF)管》时应采用自动—或半自动热》焊机焊接连接两管对!。接面错边不》应大于1《mm
】不同壁厚的》管子:不得对焊热焊接连接!时应采取保护环境和!人员安全的措施【
8【 管道系统支【架间距应小于—普通气体《管道的支架间距【并应采用吊架、弹】簧支架、《柔性支撑等》固定:方式应按现行国【家标准工业金属管道!工程施工及验—。收,规范GB 50【235的要求在不】。锈钢管与钢
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支架《之间垫?入不锈钢或氯离【子含量不《超过5?0×10《-6(50ppm)!的非金属垫层
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9: 洁净《室内高?纯气体与高干燥【度气体管道应为无】。坡度敷设不考虑排水!。功能终?。端应设放气管
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6.3.7】 医用气体管道安!装后应?加色标不同气体管】道上的接口》应专:。用不得通《用
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