《6，．3  管道—系，统安装 — ， 6．—3．1  管—道安：装前应进行以下【准备：工作 ？ 1 【 配管？下，料时应？采用“？等离子切割》”或专用切割锯、割！管，刀等工具《不应采用氧》乙炔焰切《割不得涂《抹油脂或润》滑剂 ？ 2—  管道切口—应与管轴《线，垂，直，切口表？面应平整、》无裂纹应去除—毛刺：  — 3  《在主管道上》连接支管或部—件时宜？用成品连接件— 》。 4  普通不【锈钢管应在工厂【的清洗槽中用酸洗液！清洗后再用清水【冲洗干净 》 《 5  《氧气管？道及附件《安装前应按》相关规定方》法进行脱脂脱脂应在！远离洁净室的—地点：进行并做好》操作人？员的安全与》。环，。境保护工作》。。 ： 6．—3．2  管道敷设！应符合设计要求【设计无要求时应敷】设在人员不易碰撞的！高度：上否则应有防护【设施输送干燥气【体的管道宜无坡度敷！设；真空《吸引管道和含—湿气体管道的坡【度宜大？于或等于0．3％】。。坡向真空泵站或【冷凝水收集器 】 6．3【．3  不锈钢管】道应按现行国家标准！现场设备、工业【管道焊接工程—施工及？验收规范GB 50！2，3，6的要？求采用氩弧》焊焊接连《接焊接时《管内应充氩气—保护直至焊接、【吹扫、冷却完毕【。后停止充气 — 6—．3．4 》 有接？地，要求的管道法兰【间必须接有多芯导】电跨线 ！6．：3．5  》穿过围护结构进入】洁净室的气体管道应！设套管套管内—管材不应有焊缝与接！头，管材：与套管间应用不【燃材料？填，充并：密封套管两端应有不！锈钢盘？型封盖 《 6．3．！6  高纯气体管】道，的安装除《应符：合以上有关》条款规定外还应符合！。下列规定 ！ 1  经脱—脂或抛光处理的不】锈钢管？安装前？应采：取保护措《施防止二次》污，染， 2【  管？道预制、分段组【。装，作业不得《在露天？环境中？进行： —3  ？分段预制或组—装的管段《完，成后两？端应：用膜、板等》封闭 》。 ： 4  高》纯气体管《道为：无缝铜管时》应采用承插式硬钎】焊焊接？ 焊接】紫铜管时应按—现行国家标准磷【铜钎料GB／T 6！418？要求选用磷铜钎【。料，；焊：接紫铜与黄铜管时宜！按现行国家标—准银基钎料GB10！046要求选—用HL304—含，银量为50％的银】基钎：料管内？应通入与工艺气【体同等？纯度：的氮气作为保护【。气，体并吹除不宜用【沾水纺织材料擦拭 ！ 》5  高纯气体管】道如无法避免—用螺纹？连，接，时官：在铜与铜、铜与铜】合金附件外螺—纹上均匀挂锡非【氧气管道宜采—用聚：四氟乙？烯带缠绕管》口螺纹 》 ： 6  不锈钢管！、铜管？应冷弯弯管》半径宜大于等—于5倍管材外径；】管壁不？得，起皱 — ， 7  高纯气体管！道为聚偏二氟乙烯】(PVD《。F，)管时应采》用自动或半自—动热：焊机焊？接连：接两：管对接面错》边不应大于1mm】 不同】壁厚的管子》不得对焊热焊—接连接时应采取【。保护环？境和：。人员安全的措施 ！ ， 8  管道】系统支架间距应小于！普通气体管道的支】架间距并应采—用吊架、弹》簧，。支，架、柔性支撑等【固定方式应按现行国！家，标，准工业？金属管道工程施【工及验收规范G【B 502》3，。。5的要求在不锈钢管！与钢： ？ 支架之间【。垫入不锈钢》。或氯离子含量不超过！5，0×1？0-6(50p【pm)？的，。非金属垫层 — 9— ， 洁净？室内高纯气体与高】。。干燥度？气，体管道应为》无坡度敷设》不考虑排水功能【终端应设放气—管 ： 6．3．！7  医用气体管道！安装后应加》色标：不同：气体管道上的接口应！。专用不得通用 】