？ 6．3  管道】系统：安装 《 ， 6—．3．1  —管道：安装前应进行以下】准，备工作 】 1  配》管下料时《应采用？“等离子切割”或】专用：切割锯、割管刀等】工具不应采用氧【乙炔焰切割不得涂】抹油脂或润滑—剂 《 ： 2  管道切【口应与管轴线垂直】切口表面应平整、】无裂纹应去除毛刺】  》 ， 3  在主管道】上，连接支管或部件时】宜用成品连接件 ！ 4  普】通不锈钢《管应：在工厂的《清洗槽中《用酸洗液清洗后再用！清水冲洗干净 【 5  】氧气管道《及附件安装前—应按相关规》定方法进《行，脱脂：脱脂应在远》离洁净室的》地点进行并做好操】作人员？的安全与环》境保护工作 — 》6．3．2  【管，。。道敷设应《符合设计要》求设：计，无要求时应》敷设在人《员不易碰撞的—高度：上否则应有防护设】施输送干燥气体【。的，管道宜无《坡度敷设；真空【吸引管道和含湿气】体管道的坡度宜大于！或等于0．3％坡向！真空：泵站或冷凝水收集】器 — 6．？3．3  不—锈钢管道应》按现行？国家标准现场设备、！工业管？道焊接工《程施工及验收—规范：GB 5《。02：3，6的要？。求采用？氩弧焊焊《接连接焊接时管【内应充氩气保护直至！焊，接、吹扫、冷却完毕！后，停止：充气 》 6．》3．4 《 有接地《要求的管道法—兰间必须接有—多芯导电跨线— 》 6．3．》5 ： 穿过围《护结构进入洁净【室的气体管道应【。设套管套管内管材不！应，有，焊缝与接头管材与套！。。管间应用《不燃材料填充—并密封套管两端【。。应有不锈钢盘型【封盖 》 6．》3．：6  ？高纯气体管道—的安装除应符合【以，上有关条《款规定外还应符合下！列规定 【 1 《 经脱脂或抛光处】理的不锈钢管安装】。前应采取保》护措施防止二次污】染 》 2  管道预制！、分段组装作—业不得在露天—环境：中进：行 》 3  》分段预制或组装【的，管段完成后两端应】用，膜、板等封闭 【 4  高！纯气体管道为无缝】铜管时应《采用承？插式硬钎焊焊接 】。 ， ？ 焊：接紫铜管时》应按现行国家标【准磷铜钎料》GB／？T， ，6418要求—选用磷？铜，。钎料；焊《接紫铜与黄铜—管，时宜按现行国家【标准银？基钎料G《B1004》6要：求选用HL304含！银量为50％—的银基钎料》管内应通入》与工艺气体同等纯】。度的氮气作为—。保护气体并吹除不宜！。用沾水纺织》材料擦拭 ！ 5  高纯气体管！道如无法《避免用螺《纹连：接时官？在铜与铜、铜与铜合！。金附件外螺纹上均匀！挂，锡非氧气《管道宜采用聚四氟】乙烯带缠《。绕管口螺纹 】 6  —不，锈钢管、铜管应冷】。弯，弯管半径宜大于等于！5倍管？材外径；管壁不【得，起皱 — 7  高—。纯气体管道为聚偏】二氟乙烯《(PVDF)管【。时，应采用自动或—半自动热焊机焊【接，。。连，接两管对接面错边】不应大于《1mm？ ？ 不同》壁，厚的管子不》得对焊热焊接连接】时，应采取保《。护环境和《人员安全《的措：施 8 ！ 管道系统支架间距！应小于普通气—体管道的支架—间，距并：应采用吊架、弹【簧支架、柔性—支撑：。等固定方式应—按，。现行：国家：标准工业金属—管道工程施工及验】收规范GB 5【0235的》要求在不锈钢管与钢！ 支架之！间垫入不锈》钢或氯离子含量【不超过50》×10-6(5【0ppm)的—非金属垫层 — 9  】洁净室内《高纯气体与》高干燥度气体管道】应为无坡度敷设不考！虑排：水功能终端应设放】气，管 【6，．3．7 》 医用气体管道安装！后应加色标不同气】体管道？上，的，接口：应专用不得通用【 ：