？ 6．3  管道】系统：安装 】。 6．3》。．1 ？ 管道？安，装前应？进行：以下准备工》作 1 ！ 配管下料时应采】用“等离子切—。割”或专用切割锯】、割管刀等工具不】应采用？。氧乙炔焰切割不得】涂抹：油脂或润滑剂— ， ？ 2  》管道切口《应与管轴线》垂直切口表面应【平整、无《裂纹应？去除毛刺  】 3  —。在主管道《。上连：接支管或部件时宜】。用成品连接件 【 ， 4 — 普通？不锈钢管应在工【厂的清？洗槽中用酸洗液清洗！后再用清《水，冲洗干净《 5 】 氧气管道及—附件安装前应按相关！。规定方法《进行脱脂《脱脂应在远》离洁净室的地—点进行并做好—操作人员的安—。全与环境保》护工作 【 6．3．—2  管道敷设【。应符合设《计要求设计无要求】时应敷设在人员不】易碰撞？的高度上否则—应有防护设施输送】干燥气体的管道宜无！坡度敷设；真空【吸引管道和含—湿气体管道的坡度宜！大于：或等于0．3％坡向！真空泵站或冷凝水】收集器 】 6．3《。．3： ， 不锈钢管道应按】现行国家标准现【场设备？、工业管道焊接【工程：施工及验收》规范GB 502】36的要《求采用氩弧焊—焊，接连接焊接时管内应！充氩：气保护？。直至焊接、》吹扫、冷却完毕【后停止充气 ！ ， 6．3．4—  有接地要求【的管道法兰间必【。须接有多芯导—电，跨线 ？ 《 6：．3．5  —穿过围护结构进【入洁净室的气体管】道应：。设套：管套管内管材—不应有焊缝与接【头管材与套管间应用！不燃材料填充—并密封套管两—端应有不锈钢—盘型封？盖 《 ， ：6．3．6  高】纯气体管道的安装】除应符合《以上有关条》款，规定外？。还应符合下列规定】 ： ？ 1  经》脱脂或？抛光处理的不锈钢】管，安装：前应采取《保护措施防止二【次污染？ ： 2 — 管道预制、分【段组装作业不得在露！天环境中进行 】 3  分段！预制或组装的管【段完：成后两端应用—膜，、板：等封闭 《 ： ： 4  高纯—气体管道为无缝铜】管时应采用承插式】硬钎：焊焊接 ！焊接紫铜管时应按】。现行国？家标准磷铜钎—料GB／T 641！8要求选用磷铜钎料！；焊接紫铜与—黄铜管时宜按现【行国：家标准银基钎料G】B10046要求】选用H？L3：04含银量为50】。％的：银基钎料管》内应通入《与工艺气体同等纯】。度的氮气《作为保护气体并吹】除不宜用沾水纺织材！料擦拭 — 5  高纯气！体管道如无法—避免用螺纹连接【。时官：在铜与铜、铜与【。铜合：金附件外螺纹上均匀！挂锡非氧《气管道宜采用聚四】氟乙：烯带缠绕管口螺纹 ！ 6  不！锈钢管、铜管应冷】弯弯管半径宜大于等！于，5倍：管材外径《；管壁不《得起皱 【 7  高纯【气体管道为聚偏二氟！乙烯(PVD—F)：。。管时应？采用自动或半自动热！焊机：焊接连接《。两，管对接面错边—不应大于1m—m ： ， 不》同壁厚的管》子不得对焊》热焊接连接时应采】取保护环境》和人员安《全的措施 】 8  管道系统！支架间距应小于【普通气？体管道的支》架间距并应采—用吊架、弹簧支架、！柔性支撑等固定方】式应：按现行？国家标准工》业金属管道工程施工！及验：收规范GB 5【0，235的要求在不】锈，钢管与钢 — 支架—之间：垫入不锈钢或氯【离子含量不超过50！×10-6(50】。ppm？)的：非金属垫层》 9 】 洁净室内》高纯气体与高—干燥度气体管道应为！无坡度敷设》不，考虑：排，水功能终端应设【放气管 》 6．3【．7  《医用气体管道—。安装后？应加：色标不同气体管【道上的接口应—专用不得通用 【 ，