6》.2 管材—及附件
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6.2.1 【 气体?系,统,管,道材质及附》件应:按设计要求》选配如设计未作明】确要求选《用时应与洁净室洁】。净度级别和输送气体!性质相适应并应符合!下列规定
】
1 《 应使?用无缝管材
】
2 管材内!表面吸附、解吸气体!的作用小
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3 管材!内表面应光》滑,、耐磨损《
4 】 应具有良》好的抗腐蚀性能
】
5 管!材金属组织》在焊接处理》时不应发生变化
!
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6 负压管【道不宜采用普—通碳钢管
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6》.2.2 所用】管材应放在》室内保管不》得,重叠码放管道应【无裂纹、缩孔、夹渣!、起瘤、折叠、重皮!、,锈斑、表面损—伤等缺陷管道应平】直、圆滑
【。。
6.2.【3 成品管—外包装和相应—管端头的管》帽、堵头等密封措施!应有效、无破损
】
6.【2.4 氧气阀门!必须采用专用—产品:。其密封?圈应采用有》色金:属、聚四氟乙烯等材!质填料应采用经脱】脂处理的聚四—氟乙:烯
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6.2.5】 采用《铜材的?高纯气体《管路可用不锈钢材】质的附件但在不锈】。钢材质的管路—中不应采用铜质的附!件
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