6.2 !管材及附件》
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6.《2.1? :气体系统《管道材质及附—件,应,按设计要求》选配:如设:计未作?明确要求选用时【。应与洁净室洁—净度级别《和,输送气体《性质相适应并—应符合下列规定【
:
,
,
1 应—使用无?缝管材?
—2, :管材内表面吸附【、解吸气《体的作用小
【
3 【管材内表面应光【滑,、,耐磨:损
:
《
4 应具有良好!的抗腐蚀性能
】
5 — 管材金属组织【在焊接处理时不应】发生变?化,。
:
6 负压!管道不?宜采用普通碳—钢管
【。
,6.2?.2 《所用:管材应放在室—内保管不得重叠码放!。。管道应无裂纹、缩孔!、夹渣、起瘤、折】叠、重皮、锈斑【、表面损伤等缺【陷管道应平》直、圆滑
》
6.2.!3 成品管外包装!和相应管《端,头的管帽、堵头等密!。封措施应有效、【无破损
!6.2.4》 氧气《阀门必?须采用?专用:产品其?密封圈?应采:用有色金属、聚四】。氟乙烯等材质填【料应采用经脱—脂处理的聚四—氟乙烯?
—6.2.5 采用!铜材的高纯》气体:管路可?用不锈钢材质的附件!但在不锈钢材质的】管路中不应采用铜】质的附件
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