， 6．2— ， 管材及附件— — ：6，．2．1  气体】系统管道材质及附】件应按设计要求选配！如设计未作明确要求！选用：时应与洁净室—洁净：度级别和输送—气体性质相适应并】应符合下列规定 】 ， 1  应使！用无缝管材 】。 2  —管材内表面》吸附、解吸气—体的作用小 【 3 — 管材内《表面应光滑、耐【磨损 【 4 ？ 应具有良》好的抗腐蚀性能 】 ？ 5  管—。材金：属组：织在焊接处理时【不应发生变化 ！ ， 6  负压管】。道不宜采用普—通碳钢管 ！ 6．2．》2 ： 所用管材应放【在室内保管不得重】叠码放管道应—无裂纹、缩》孔、夹？渣、起瘤《、折叠、重》皮，、锈斑、《表面损伤《等，缺陷管道应》平直、圆滑 ！。 6．2．3【  成？品，管外包装《和相应？。管端头的管帽、堵头！。等，密封措施《应有效、无破—。损 ： 6．【2．4  氧气阀门！。必须采用专用产品其！密封圈应采》。用有色金《属、聚四氟乙烯等】材质填料应》采，用经：。脱，脂处：理，的，聚四氟乙烯》 ， 6—．2．5  采用】铜材的高纯气体管】路可用不《锈钢材质《的附件但在不锈钢材！质，的管路中不应—采用铜质《的附件？ ：