安全验证
: 6.2 —。 管材及附件 】 6【.2.1  气体】系统管道材质及【附件应按《设计要求《。选配如设《计未:作明确?要求选?用时应与洁净室洁净!度级别和《输送:气体性质相适应【并应符?合下列规定 — 1  应!使用无缝管材 】 ? 2  管材—内表:。面吸附、《解吸气体的》作用小 !3  管材内—表面应光滑》、耐磨?损 4 ! 应:具有良好《的,抗,腐蚀性能 】 , 5  管材金属】组织在焊接》。处理时不应》发生变化 ! 6  负压—管道不宜采用普通碳!钢管 《 6.2【.2 ? 所用管材应放在室!。内保管?不得重叠码放管【道应:无裂纹、缩孔、夹】渣、起?瘤、:折叠、?重皮、锈斑》、表面损伤等缺【陷管道应《平,直、圆滑 》 6.2】.3  成》品,管外包?装,和相应管端头的管帽!、堵头等密封措施】应有:效、无破《损 — 6.2.》。4  氧气阀门必】须采:用专用?。产品其?密封圈应采》用有色金属、聚【四氟:。乙烯等材质》填,料应采用经脱—脂处理的聚四—氟乙烯?。 6.】2.5  采用【铜材的?高纯气?体管路可《用不锈钢《材质的附件》但在不锈钢材质【的管路中《不应采用铜》质的附件 》 ,