。 ： ：6．2  管材及】附件 — 6》．2．1《  气体系统管道】。材质：及附件应《按设计要求选—配如设计未》。作明确要求选用时应！与洁净室洁净度级】别和输送气体—性质相适应并应【符合下列规定 ！ 1  应【使用无缝管材 ！ ， 2  》。管材内？表面：吸附、解吸气体的作！用小 】3  ？。。。管材内？表面：。应光滑、耐磨—损 》 ：4 ： 应具有良》好的抗腐蚀》。性能 》 5  —管材金属组织在焊】接处理时不应发生】变化 》 6《  ：负压管道不宜—采用普通碳钢管【 《 6．2》．2  所用管材】应放在室内保—管不得重叠码放管道！应无裂纹、缩孔【、夹：渣、起瘤《、折叠、《重皮、锈斑、—表面损伤等》缺陷管道《。应平：直、圆？滑 ？ ？。 6．？2．3？  成？品管外包装》和相应？管端：头的管帽、堵头等】密封措施应》有效、无破损 】 ， 6《．2．4  —氧气阀门《必须采用专》用产品其密封圈【应采：用有色金属、—聚四氟乙烯》等材质填《料应采用经脱—。脂处理的聚四氟乙】烯 ： 6．2】．5  采用铜材】的高纯气体管路可用！不锈钢材质的附件但！在不锈钢材质—的管路中《不应采？用铜质的附》件 ？