安全验证
10.【4 : 工艺冷却循环【水 《 10【.4.2  本条规!定的目的《是,为了确保《不,同用水设《。备,的水量、《水,压得到较好平—衡适:用下:列情况工艺用水设备!台套数较多》时;工艺设备进【出水:水压要求不同—。。时;工?艺用水设《备布:置在不同建筑层时 !。 , , 10.—4.4 《 本条规定主—要是:考虑了管道介质温度!对洁净室的影响当工!。艺冷:却水的水温低于【环境温度时》可,能产生结露》影响洁净室的湿度】;当工艺冷却水的水!温,高于环境《温度时管《道系统会向环—。境,放热:影响洁净室》的温度 》