6.2  ！防火：及，安全疏散 — 《 6.《2.：1  ？发光二极管工—厂洁净厂房不同【于一般？。工业厂？房具有？下列特点 】     —(，1)空间密闭—火灾：发生后烟《量特大？对于疏？散和扑救极为不利】 ，   【。  (2《)平面布置曲折【增加了疏散路线上】的障碍延长》了安全？疏散：。的距：。离和时间 —   —  ：(3)生产过程使】用易燃？易爆物质火》。。灾危险性《高 —     》同时洁净厂房—内往往有《不少极为精密、贵】重的设备《建设投资十分—昂贵一旦失》火损失极大为了保】。障生命、财产的安全！尽量减少火灾—中的损？。失本条规定将洁净厂！房耐火？等级定为二级及二级！以上使建《筑构配件《耐，火性能与《生，产相适应从而减少成！灾，的可：能性：。 6.2！.2  本条将【金属有机化合物化】学气相沉积间的火】灾危：险性：分类定为《丙类的依据》为电：子工业洁《。净厂房设计规范G】B 50《472-2008 ！    】 在该？规范的附录B中提出！化学：气相沉？积间在？满足设备密》闭性：良好并设有》气体或可《。燃蒸汽报警装—置和灭火装置时应按！。丙类否则应》按甲类设防》 》 ，    金属—有机化学《气相沉积属于化【学气相沉积工艺【。的，一种根据调研资【料目前？进行金属有机化学】气相沉积生》产的设备为密闭【性良好设备在设备】上设有紧急安全按钮！待机状态管路—。腔体：氮气吹扫保》护气体泄露报警【。腔体超压报警腔体】与外围真空泵双密封！保护设备连锁尾气】处理设备《冷却水流量压—力保：护冷却？风温报警突发停【电后设备UP—S电源？保护紧急《冷却水自动冷却系统！一系列安全设—计  】   另外氢气、】氨气：。、，硅，烷、砷？烷、磷烷等易爆【、易燃、有》毒气体供应管路设有！紧急切断《。阀一旦发生》事故、火情时—自动切断气》源供应 《 》    工程设【计中应采《取一系列的安全【防护措施 》  —  ： 金属有机化学【气相沉积设备的尾气！。设置就地《处理装置该设—备的排风《系，。统采取防《火、防爆措》。施；金属有机化学气！。相沉积间《。。设置气体《报警装置《和灭：火装置？(喷淋)；设置不低！于12次《／h的？。事故排风措》施；该房间吊顶上】部设置？。通风换气措施—。避免：出，现氢：气的集聚 》 《。 ，    氢气—、氨气的供应—管道设？置有气体《阀门箱阀门箱中设置！。有局部通风》措施；硅烷》、砷烷、磷烷—等气瓶放《。置在气瓶柜》中气瓶柜中设—。置氮气？保护：气体并？设置：有通风？措施 》     根据！上述情况在满足生】产设备密闭性良好】。。并设有？气体或？可燃：蒸汽报警装置和灭】火装置时金属有【机化合物化》学气相沉积间应按丙！类否则应按甲类设防！ 6.】2.6  本条【说明如下 【     (】1)发光二极管工厂！。生产使用《所需要的低压、低】沸点特种气》体由于输送过程中极！易液化？无法采？用长距离《管道输送不可避免地！。会设在厂房内如高】纯气体纯化间、有】可燃气体的气体入】口室、？特，种气体储《存，分配间、可燃化【学品储存、分配间】等 ： ？    》 (2)对于—有爆：炸危险的易燃—易爆化学品及气体的！配送间在设置足够的！。泄压面积后可—大大减轻爆炸时的】破坏：强度避免因主—体结构？遭受破？坏而：造成重大人员伤亡】和经济损失在现【行国家标《准建筑设计防火规范！GB 50》016-201【6中明确规定—对有爆？炸危险？的甲乙类《生产部位宜设置在单！层厂房外墙的泄压】设施：或多层厂房顶层靠】外墙的泄压》设施附近 —