6》。.2  防火及安】全疏散 《 》 6？.2.1  发光】二极管工《厂洁净厂房不同于一！般工业厂房具有【下列特？点 》    》 (1？)空间？密闭火灾发生—后烟量特大对于【疏，散和扑救极为不【利 —     (2)平！面布置曲《折，。。增加：了疏散路线上的障碍！延长了？。安全疏？散的距离和时间【  【   (3》)生产？过程使用易燃—易，爆物质火灾危险性高！   】  同时洁净厂房】内往往有不》少极为精密、贵重】的设备建《设投资？十分昂？贵一旦失火损—失极大为了》保障生命、财产【的安全尽量减少火灾！中，的损失本条规定将洁！净厂房耐火等级定】为二级及《二级以？。上使建？筑，构配件耐火性能与生！产相适应从而减【少成灾的《可能：性 《 6《.2.？2  本条将—金属有机化合物化学！气相沉积间》。的，火灾危险性分—类定：为丙类的依据—为电子工业洁净厂】房设计？规，范GB 504【72-20》。08 【    《 在该规《范的附录B》中提出化学气相沉积！间在：满，足设备密《闭性：良好并设《有气体或《。可燃蒸汽报》警，装置：和灭火装《置时应按丙》类，否则应？按，甲类设防 【 ？。    金》属有机化学》气相：沉积属于化学气相】沉积工？。艺，的一：种根据？调研资料目前进行】。金，属有机？化学气相沉积生产的！设备为密闭性良【好设备在《设备：上设：有紧：急安全按钮待—机，状态管路腔体—氮，气，。吹扫保护《气体泄露《报警腔体超压报【警腔体与外围真空泵！双密封保《护设备？连锁尾？气处理？设备冷？却水流量压力保护冷！却风温报警突发停电！后设备UPS电【源保护？紧急冷却水自动冷】却系统一《系，列，安，全，设计 》。     另】外氢气、《氨气、硅烷、砷【烷、磷烷等易爆【。、易燃、有毒气体供！应管路设有》紧急切断阀一旦【发生事故、火情时】自动切断气源供应 ！ ？ ，     工程设】计中应采取一系列】的安全防护》措施 ？ ：     金】属有机化《学气相沉积设—备的尾气设置就地】处理装置该设备的排！。风系统采取防火、】防爆措施；金—属有机化学气相沉】积间设？置气体报警装置【和灭火装置》(喷淋)；设置不低！于12次《／h的事故排风措施！；该房间吊》。顶上部设置》通风换气措施避免出！。现氢：气的集？聚 《     【氢气、氨气的—供应管道《。设置有气体》阀门箱阀门箱—中设置有《局部通风措施；硅烷！、砷烷、磷烷等气】瓶放置在气瓶柜【中气瓶柜中设置氮气！保护：气体并设置有通【风措施 】 ，    根据上述情！况在满足《生产设备密闭性良好！。并设：有气体或可》燃蒸汽报警装置【和，灭火装置时金属有机！化合物化《学气相沉《积间应按丙》类否则应按甲类设】防 ？ 6》.2.？。6  本《。条说明如下 】 ，    》。 (：。1)发光《二极管工《厂生产使用所需要的！低压、低沸点特种】。气体：由于：输送过程中极—易液化无法采用长】距离管道输送—不可避免地》会，设，在，厂房内如高纯气体纯！。化间、有《可燃气体的》气体入口室》、，。特种气体储存—分配间、可》燃化学？品储存？、分配间等 】     【(2)对于有爆【。。炸危险？的易燃易《爆化学品及气—。体的配送间在设【。置足够的泄压面积】后可大？大减轻爆炸时的破坏！强度：避免：因主体结构遭受破坏！。而造成重大人员【伤亡和经济损失在现！行国：家标准建筑设计防火！规范G？B， 50016-2】016中明确—规定对有爆炸危险的！甲乙类生《产，部位宜设置在单层厂！房外墙的泄压设【施或多层厂房顶层靠！外墙的泄压设—施附近 《 ，