6》.2 ? 防火?及安全疏散
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6.2!.1: 发光二极—管工厂洁净》厂房不?同,于一:般工业厂《房具有下《列特点
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《 (1—)空间密闭》火灾发?生后:烟量特大《对,。于疏:散和扑救极为不利
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》 (2)平面【布置曲折增》加了疏散路线上的障!碍延:长了安全疏散—的距:离,。和时间?
—。 (3)【生产过程使》用易燃易爆物质火】灾,危险性高
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同时!洁净厂房内往往有】不少极为精密—、贵重的设备建设投!资十分昂贵一旦【。。失火损失极大—为了保障《生命、财产的—安全尽量减》少火灾中的损失本条!规定将洁《净厂房耐火》等,级定为二《级及二级《以上使?建筑构配《件,耐火性能与》。生产相适应》。从而:减少成灾《的,可能性
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6.2.2— 本条将金属有】机化合物化学气相】沉积间的《火灾:危险性?。分类定?为丙类?的依:据为电子工业洁【净厂房设计规范【GB 50》47:2-2008
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在!该规范的附录—B中:提出化学气相—沉积间在满足设备】密闭性良《好并设有气》体或:可,燃蒸汽?。报,警装置和灭火装置时!应按丙?类否则应按》甲类设防
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金属有】机,。化学气相沉积—属于化学气相沉积】。工艺的一种根—。据调研资《料目前进行金属有】机,化学:气相沉积生产—的设备为密闭性【良好设备在设—备上:设有:紧急安全按》钮待机?。状态管路腔体氮气】吹扫保?护气体?。泄露报警腔体—超压报警腔体与【外,围真:空,泵,双密封保护设备连锁!尾气处理设备冷【却水流量压力—保护冷?却风温报警突发停电!后设备?UP:S,。电源保护紧急—冷却水自动》冷却系统一》系列安?全设计
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《 另外氢气、氨!气、硅烷、》砷烷、磷烷》等易爆、《易燃、有毒气体供应!管路设有紧急—切断阀一旦发生【事,故、火情时》自动切断气》源供应
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】。。。 工程设计中应采取!一系列的《安全防护措施
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金属有】机化学?气相沉积设》备的:尾气设置就地处理】装置该?。。设备的排《风系统采取防火【、防爆措施》;金:属有机化学气相沉积!间设置气体报警【装置和灭火》装置(喷淋)—;设:置不低于1》2次/h的事故排】风措:施;该房《间吊:顶上部设置》。通风换气措施避免】出现氢气《的集聚
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— ,氢气、氨气的供【。应管道设置有气体】阀,门箱阀?门箱中?设置有局部通风【措,施;硅烷、砷烷、】磷烷等气瓶放—置在:气瓶柜中《。气瓶柜?中设置氮气》。保护气体并》设置有?通风措施
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《 根据上》述情况在满》足生产设备密闭性良!好并设有气》体或可燃蒸汽报【警装置和灭》火装置?时金属有《机化合物化学气相】沉积间应按丙类否则!应按甲类设防
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6《。.2.?6 本条》说明如下
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(1)!发光二?极管:工厂生产使用所需】要的低压、低沸【点特种气体由—于输送?过程中极易液化无】法采用长距离管道输!。送不可避免地会设在!厂房内如高》纯气体纯化间、有】可燃气体《的气体入口》室、特种气体储【存,分配:间、可燃化》学,品,储存:、分配?间等
】 (2)对于!有爆炸?危险的?易燃易爆化学品及气!体的配送间在设【置足够的泄压面积】后可大大《减轻爆炸时的破【坏强度避免因主【体结构遭受破—坏,而,造,成重大人员伤亡和经!济损失在现行—国家标准建筑设计】防,火,规范GB 5—0016-20【16中明确》规定对有爆炸危险】的甲乙类生》产部位?宜设置?在,单层厂?房外墙的泄压设【施或多层厂房顶【层靠外墙《的泄压设施附近【
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