6.2 】 防：。火及安全疏散 【 ， ， 6.2.！1 ： 发光二极管工厂洁！。净厂房不同》于一般工业厂房【具有下列特》点 《 ，    》 (1)空间密闭火！灾发生后烟量特大】对，于疏散和扑救极【为，不利 【     (2)】平面：。布置：曲折增加了疏散路】线上：的障碍延《长了安全疏散的距离！和时间？。 》     (3【)生产过程使用易】燃易爆物《质火灾？危险性？高   ！  同时洁净厂房内！往往有不少极为精】密、：贵重：。的设备建设投资十】。分，昂贵一旦失火—。。损失极大为了保障生！命、：。财，产的安全尽》量，减少火灾《中的损失本条规【定将洁净厂房耐【火等级定为二级及二！级以：上使建筑构配—件耐火性能与生【产相适应从而减少成！灾的可能性 — 》6.：2.2  本条将】金属有机化》合物化学气相沉【积间：的火灾危险性—分类定为丙类的依据！为电：子工业洁净厂房设计！规范GB 5047！2-20《08 】    《在该规范的附录B中！。提，出，化学气？。相，沉积间在满足设备密！闭性良好《并，设有气体或可燃【。蒸汽报警装》置和灭火装置—时应按丙类否则应按！甲类设防 — ，  《  ： 金属？有机：化学气相沉积属于】化学气？。相沉积？工艺的一种根据调】研资料？目前：进行金属有机化学】气，相沉积生产的—设备为密闭性—良好设备在设—备上：设有紧急安全按【钮待机状态管路腔】体，氮气吹扫保》护气体？泄露报警腔体超压报！警腔体与外》围真空泵双》密封保护设备连锁】尾气处理设备—冷却水流量压力保】护冷却风温报警【突发停电后设—备UPS电源保护紧！急冷却水自动冷却系！统一系列安全—设计 】    《另外：氢气、氨《气，、，硅烷、砷烷、磷【烷，等易爆、易燃、有】毒气体供应》管路设有紧急—切断阀一旦发生事】故，、火：情时自动切》断，气源供？应 ：    】 ，工程设计中》应采取一系列—。的安全？防护措施 【    — 金属有机化学气相！沉积设备的尾—气设：置就地处理装—置，该设备？的排风？系，统采取？防，火、防？爆，。措施；金属有—机，化学气相沉积间设置！气体报警装置—和灭火装置(喷淋】)；设？置不低于12次【／h的事《故排风措施；—该，房间吊顶上部—设置通？风换气？措，施避免出现氢气的】集，聚， ？     氢气！、氨气的供应—管道设置有》气，。体阀门箱阀门箱中】设，置有局？部通：风措施；《。硅烷、砷烷、磷烷等！气瓶放？置在气瓶柜中气【瓶，柜，中设：置氮气保护气体并设！置有通风措》施   ！  ：根据上述情况在满足！。生产：设备密？闭性良好并》设有气体或可—燃蒸：汽报警装置和灭火】装置：时金属有《。机，化合物化学气相【沉积间应《按丙类否则》应按甲类设》防 《。 ， 6.2》.6  《。本条：说明如下《 —    (1)【发光二极管工厂生产！使用：所，需要的低压、低沸点！特种气体由于输送】过程中极易液—化无：法，采用长距离管道输送！不可避免地会—设在：厂房内如高纯气体】纯化间、有》可燃：气体的气体入口室、！特种气体储》。。存分配间、可燃化学！品储存、分配间【等 》 ：    (2—)对于有爆炸—危险的易燃易爆【化学品及气体的配送！间在设？置足够的《泄压面积后可大【大减轻爆炸时的破坏！强度避免因主体【结构遭受破坏而造】成重大人员伤—亡和经济损失在【现行国家标准—。建筑设计防火—规范G？B 500》16-2《016中明确规定对！有爆炸危险的—甲乙类生产》部位宜设置在单层厂！房外墙？的泄压设施或—多层厂房《顶层靠外墙的泄压设！施附近 》