安全验证
6.—2  防火及安全疏!散 : : 》6.2.1 — 发光二极管工厂】。。洁净厂房《不同:于一:般工:业厂房具有下列特】点 —     (1)】空间密闭火灾发生】后烟量特大对—于疏散和扑救极为不!利 【    (》2)平面布置曲【折增加了疏散路线上!的障碍?延长了安全》疏散的距离和时【。间 —     (3)生!产过程使用易—燃易爆物质火灾危】险性高 】     同时【。洁净厂房内往往【有不少极为精密【、贵:重的设备建设投资】十分昂贵一旦—失火:损失极大为了—保障生命、财产的安!全尽量?减少火灾中的损失本!条规定将洁净厂房】耐火:等级定为《二级及二级》以上使?建筑构配件》耐火性?能与生产相适应从】。而减少成灾的—可能:性 6.!2.2  本条将金!属有机化合物化学气!相沉积间的火—灾危险性分类定【为丙类的依据—为,电,子工业?洁净厂房设》计规范?GB 50》47:2,-2008 】   》  在该规范的附录!B中提出化学气相沉!积间在满足设备【。密闭性良好并—设有气体《。或可燃蒸汽》报警:装置和?灭火装置《时应按?丙类否则《应按甲?。类设防 】。     金属【有机化学气相沉【积属于化学气相【沉积工?艺,的一种根据调研资料!目前进行金属—有机化学气》相沉积生产的设备】为密闭性良好设备在!设备上?设有紧急《安全按钮待机状【态,管路腔体《氮气吹扫《保护气体泄露报警腔!体超压?报警腔体与外围真】空泵:双密封保护设—备连锁尾气》处理设备冷》却水流量压力保护】冷却风温《报警突发《停电后?设,备UPS电源保【护紧急冷却水—。自动冷却系》统一系列安》全设计 《 《   ? , 另:外氢气、氨气、硅】。。烷、砷烷、》磷烷等易爆、易燃】、有毒气体》供应管路设有紧【急,切断阀一《旦,。发生事故、火情时自!动切断气源》供应  ! ,  工程设》计中应?采取:一系:列的安全防护措施 !    】 金属有机化学【气相沉积设》备的尾气设》置就地处理装置【该设:备的排风系统采取】防火、防爆措施【;金属有机化学气】相沉:积间设置气体报【。警装置?和灭火装置(—喷淋);《设置不低于12次】/h:的,事故排风措施;【。该,房间吊?顶上部设置通风换气!措,施,避免出现氢气的集】。。聚 《。 , : ,  : 氢气?、,氨气的供《应管道设置》有气体阀门箱阀门】箱中设置有局—部通风措施;—。硅烷:、砷:烷、磷烷《等气瓶放置在气瓶柜!中气瓶柜中设—置氮气保护气体并】设置有通风》措施: : :   《 , 根据上述情况【在满足生产》设备密闭性良好【并设有?气体或?可燃蒸汽报警装置】和,灭火装置时金属【有机:化合物化学气相沉】积,间应按丙类》否则应按甲类设防 !。 : ?6.2?.6  本条说【明如下? , ?。。     (【1)发光二极管【工,厂,生产:使用所需要》的,低压、低沸点特【种气体由于输送过】程中极易液化无【法采用长距离管道输!送不可避《免地会设在厂房内】如高纯气《。体,纯化间、有可燃气体!的气体入《口室、特种气体储存!分配间、可燃化学】品储存、《。分配间等 】。    》 (2)对》于,有爆炸危险的易燃易!爆化学品及》气体的配送间在设置!足够:的泄压面积后可大】大减轻爆炸时的【破坏强度《避免因主体结构遭受!破坏而造成重—大,人员伤亡和经济【损失在现行国家标准!建,。筑,设计防?火规范GB 50】016-2016中!明确规定对有—爆炸危险《的甲乙类生产部位宜!设置在?单层厂房外》墙的泄?压设施或多层—厂房顶层《靠外:墙的泄压设施—附近 《