。 ： 6？.2  防火及安】全疏散 》 ， 6—.，2.1 《 发光？二极管？工厂：洁，净厂房不同于一般】工业厂房具有下【列，。特点 》     (1！)空间密闭火灾发生！后烟量特大对—于疏：散和：扑救极为不利 ！     (】2)：平面布置曲折增加】了疏散路线上的障】碍，延长了安全疏散的】。距离和时《。间   ！  (？。3)生产过程使用】易，燃易爆物质火灾危险！性高 ？ ：     【同时洁净厂房内往】往有不少极为精【密、贵重的》设备建设投资十【分昂贵一旦失火【损失极大为》了保障生《。命、财产《的安：全尽量？减少火灾中的—损，失本条规定将洁净】厂房耐火等级定为二！级及二？。级以：上使建？筑构配件耐火性能】。与生产相适》应从而？减少成灾的可能性】 ， ： 6《.2.2  本【条将金？属有机化合物化学气！相沉积间的火—灾危险性分类—定为丙类的依—据为电子工业洁净】厂房设？计规范GB》 50？。472-2》00：8 ？。 《    在该规【范，的附录B《中提出化学气相【沉积间在满》。足设备密闭》性，良好并设有气体【。或可燃蒸《汽报警装置和灭【火装置？时应按丙《类否则应按甲—类设防 》 《。    金属有【机化学气相沉积【属于化学气》相沉积工艺的—一种根据调研资【料目前进行金属有机！化学：气相沉积《生产的设《备为密闭性良好设备！在设备上设有紧急安！全按钮待机状—。态管路腔《体氮气吹扫保护气体！泄，露报警腔体》超压报警腔体与【外围真空泵双密【封保护设备》连锁尾气处理设备冷！却水流量压力—保护冷却风温报警】突发停电后设备U】PS电源保护紧急冷！却水自动冷》却，系，。。统一系列安全设【计 《 ， ：    另外—氢气、？氨气、硅烷、砷烷、！磷，烷等易？爆、易燃《、有毒气《体，供应管路设有—紧急切断阀》一，。旦发生事故、火情时！。自动切断气源供应】 ：     工！程设计中应采取一系！列的安全防护措施】    ！ ，金，属有机化学气相沉积！设备的尾气设—置就地处理装置【该，设备的排风系统【采，取防火、《防爆措？施；：金属有机《化学气相沉》积间设置气体报警】装置和灭火装置【(喷淋)；设—置不：低于12《次／h？的事：。故排风措施；该【。房间：吊顶上部设置—通风换气措施避免出！现氢气的集聚— ， ：     氢】气，、氨气的供应管【道设置有气体—阀，。门箱阀门箱》中设置？有局：部通风措《施；：硅烷、砷烷、磷【烷等气？瓶放置在气瓶柜【中气：瓶柜：中设置氮气保—护气体并《设，置有通？风措：。施 《   》  根据上》述情况在满足生产】设备密？闭，性良好并设有—。气体或可燃蒸汽报】警装置和灭》火装置时金属—有机化合物化学气】相沉积间应》按丙：类否则应《按甲类设防 】 ？6.2.6  【本条：说明：如下  ！。 ，  (1)》发光二极管工厂【。生产使用所需要【的低压、低沸点特种！。气体由于《输送过程《中极易液化无法采】。用长距离管道输送】不可避免地会—设在：厂，房内如？高纯气体纯化间【、有可燃《气体的气体入—口，室、特种气》体储存分配间—、，可燃化学《品，。储存、分配间等 】    】。 (2？。)对于有爆炸危险的！。易燃易爆《化学品？。及，气体：的配送？间在设置足够的【泄压面积后可大大减！轻爆炸？时，的破坏强度避免【因主体结构遭受【破坏而造成重大【人员伤亡和》经，济损失在现行国【。。家标准建筑设计防】火规范GB —50016-2【016中《明确规定对》有爆炸危《险的：甲乙类生产部位宜设！置在单层厂房外【墙，的泄：压设施或《。多层厂房顶层靠【外，墙的泄压设施附近】 ， ，