C.2 】 分步流程
【
《
C.2.—1 外延片—生产可采用图C【。.2.1所示基本】工艺流?程
:
—
图C.2!。.1 《外,延片生产基本—工艺流程
—
C》.2.2 管芯(!芯片)?生产工艺流程应【包,括蓝:光、:绿光芯片《生产工艺流程和红】光、黄光芯片生产】工艺流?程并应符合下—列规定
【
》 1 蓝光、绿光!芯片生产可采用【图C.2.2—-1所示《基本工艺流》程
【
:
?
,。图C.2.2-1】 :蓝光、绿光芯—片生产?基本工艺流程
】
》 2 红光】、黄光芯片》。生产可采用图C【.2.2-》2所示基本工艺流程!。
》
【图C.2.》2-:2, 红光、黄光芯】片生产基本工艺流】程
【C,.2.3 》 管芯(芯片)【封装生产可采—用,图C.2《。.3所示基本—工艺流程
!
《
:
图C.2.3 】 管:芯(芯片)封装生产!基本工艺流程
】