C.—2 分步流程
】
【C,.,2.1 外延【片生产可采》。用图C.2.1所示!基本工?艺流程
—
《
图—C.2.《1 : 外延片生产基【本工艺?流程
【
C.2《.2 ? 管芯(芯》片)生产工》艺流程?应包括?蓝光、绿光》芯片生?产工艺流程》和红:光、黄光芯片生产】工艺流程并应—符合:下列规定《
?
:
?。 1 蓝光、】绿光:芯片生产可》采用图C.2.2】-1所示基本工艺流!程
!
图》C.2.2-—1 ?蓝光:、绿光芯片》生产基本工艺流程】
】 2? 红光、黄光芯片!生产可?采用图C.2—.2:-,2,所示基本工》艺流程
《
—
图C.】2,.2-?2 : 红:。光、:黄,光芯片生《。产基:本工艺流程
!。
:C.2.3 — 管芯(《芯片)封装生—产可采用图C.2.!3所示基本工—艺流程
!
:
图C.【2.3 管—芯(芯?片)封装生》产基本工艺流程【
: