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C.2 】 分步流程 【 《 C.2.—1  外延片—生产可采用图C【。.2.1所示基本】工艺流?程 : — 图C.2!。.1  《外,延片生产基本—工艺流程 — C》.2.2  管芯(!芯片)?生产工艺流程应【包,括蓝:光、:绿光芯片《生产工艺流程和红】光、黄光芯片生产】工艺流?程并应符合下—列规定 【    》 1  蓝光、绿光!芯片生产可采用【图C.2.2—-1所示《基本工艺流》程 【 : ? ,。图C.2.2-1】  :蓝光、绿光芯—片生产?基本工艺流程 】  》   2  红光】、黄光芯片》。生产可采用图C【.2.2-》2所示基本工艺流程!。 》 【图C.2.》2-:2,  红光、黄光芯】片生产基本工艺流】程 【C,.2.3 》 管芯(芯片)【封装生产可采—用,图C.2《。.3所示基本—工艺流程 ! 《 : 图C.2.3 】 管:芯(芯片)封装生产!基本工艺流程 】