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C.—2  分步流程 】 【C,.,2.1  外延【片生产可采》。用图C.2.1所示!基本工?艺流程 — 《 图—C.2.《1 : 外延片生产基【本工艺?流程 【 C.2《.2 ? 管芯(芯》片)生产工》艺流程?应包括?蓝光、绿光》芯片生?产工艺流程》和红:光、黄光芯片生产】工艺流程并应—符合:下列规定《 ? :   ?。  1  蓝光、】绿光:芯片生产可》采用图C.2.2】-1所示基本工艺流!程 ! 图》C.2.2-—1  ?蓝光:、绿光芯片》生产基本工艺流程】   】  2?  红光、黄光芯片!生产可?采用图C.2—.2:-,2,所示基本工》艺流程 《 — 图C.】2,.2-?2 : 红:。光、:黄,光芯片生《。产基:本工艺流程 !。 :C.2.3 — 管芯(《芯片)封装生—产可采用图C.2.!3所示基本工—艺流程 ! : 图C.【2.3  管—芯(芯?片)封装生》产基本工艺流程【 :