C.2【 分步流》程
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C.2.1 外!延片生产可采用【图C:.,2.1所示基本工艺!流程
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图C!.2.1 外延】片生产基本工—艺流程
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C.2.!2 管芯》(芯片?)生产工艺流程应包!括蓝光、绿光芯【片生产工艺流程【和红光、黄光—芯片生?产工艺流《程并应符合下—列规定
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1 蓝!光,。、,绿光芯片生》产可:采用图C.2—.2-1所》示基:本,工艺流程
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图C.2.2-1! 蓝光、绿光芯片!生,产基本工艺流程
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》 2 红光【、黄光?芯片生产《可采用图《。C.2.2-2【所示基本工》艺,流程
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图C.【。。2.2-2 【红,光、黄光芯片生【产基:本工艺?流程
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C《.2.3 —管芯(芯片)封装】生产可采用图C【.2.3所示基【本工艺流程》
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—图C.2.3 】管芯(芯片)封装】生产基本工艺—流程
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