C.2【 分步流程
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C.2】.1 外》延,片生产?可采用?图,C.2.1所—示基本?工艺流程
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图C.2—.1 外延片生产!基本工艺流程
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C.2.—2, :。管芯(芯片)生【产工:艺流程应包括蓝【光,、绿光芯片生—产工:艺流程和红光、黄】光芯片?生产工艺流程并【应符:合下:列规定
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》1, , 蓝光、绿光芯【片生产可采用—。图C.2.2—-1所示基本工艺】流程
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!图C.2《.2-1《 蓝光、绿光芯片!生产基本工艺流程
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】2 红光》、黄光芯片生产【可采用图C.2【.2-2所示基本】工艺流程
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图C.2.2【-2 ? 红光、黄光—芯片生产基本工艺】流程
C!.2.3 》 管芯(芯片)封装!生产可?采用图?C,.2.3所示基本工!艺流:程
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图C.2》.3 管芯—(芯片)封》装生产?基本工艺流》程
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