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11.3 自】 控
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—。11.3.1 【 发光二《极,管厂房环境和—公用动力设备监【控系统宜采用—集散或分布式网络结!构系统应易于扩【展和:维护并应《具备:显示、记录、—控,制、报警、分析和提!示,功能:
1【1.3.2 — 洁净区与非—洁净区之《间应设置压差变送】。器洁净?区与非洁净区之【间的压差宜为—5,Pa当?洁净区净化空调选】用变频?风机时?设备:监控:系统应根据洁净区】与非洁净区之间的】压差设定值调节风】机转速
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1:1.3.3 【空调:系统:。的电加热器》应设有无风、超温】断电保?护;当采用电—加湿器时《应设有无水保护【
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