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11》.3.?1 ?发光二极管厂房环】境和公用动力—设备监控系》统宜采用集散或【分布:式网络结构系统应】。易于扩展和维护并应!具备显示、记录、】控制、报警、—分析和?提示功能
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11.—3.2? 洁净区与非洁净!区之间?应设置压《差变送器洁》净区与非洁》净区之间的压差宜】。为5:Pa当洁净区净化空!调选:用变频风机时—。设备监控《系统:应根:据,洁净区与非洁净区】。之,。。间的压?差设定值调节风【机转:。。速,。
11.!3.3 空调系】统的电加热器应设】有无风?、超温断电保—护;:当采用电加湿—。器时应设有无—水保护
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