1》0.3? , 纯 水
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10.3.—1 纯水系统的】设计应符合现行【国家:标准:电子工业《洁净:厂房设?计规范GB —5047《2的有关规定—并应符合下列规【定
:
— ?。1 纯水系统的水!质应根?据生产工艺的—要,求,。确定;
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》。 , ,。2 纯《水系统供水管—网的循环《回,流水:。量,不宜小于《。设计供水量》的20?%;
?。
!3 : 纯水制备系统及】供水管网《的回收率应根据项目!。实际情况确定;
!
?
, 4 — 纯水供给管路系统!的布置应确》保用水点的水质【
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10》.3:.,2, , 纯水?制,备区域的排水管道应!。。确保制水《设备瞬时《排,水能得到及》时排除
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