10.3】  纯？    水 【。 ， ？ 10.3.1 ！ 纯水系《统的：设计应符合现行国家！标准电？子工业洁净厂房设计！规范GB《 50472的【有关规定并应符【合下列规定》 ？ ？    1  【纯水系统的》水质应根据生产工艺！的，要求确定； 【  》  ：。 2  纯水系统】供水管网的循—环回流水《。量，。。不宜小于设计供水】量的2？0％； 《。     ！3  纯水》制备系？统及供水管网的【回收率？应根据项目实际情况！确定； —   》。  4  纯水【供，给管路系统的—布，置应：确保用水《点的水？质 》 10.3.【2  纯水制备【区域的排水》管，道应确保制水设【备，瞬时排水《能得到？及时排除 —