10.【3 纯 — 水
】。
10.—3.1 《 纯水系统的设【。计应符合现行国家】。标准电子工》业洁净厂房设计【规范GB 504】72的有《关规定并应符合下列!规定
【
《 1:。。 纯水系统的水质!应,根据生产工艺的要】求,确定;
! 《2 ?纯水系统供》水管网的循环—回流:水量不宜小于设计】。供水量的20—%;
】 3 【纯水制备系统及供】水管网的回收—。率应根据项目实际情!况,确,定;
【
? 4? , 纯水供给管路系统!的布置应《确保:用水点的水质
【
10.】3.2 纯水制】备区:域的:排水管道应确保【制,水设备瞬时排—水能得到及时排除】
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