,
?1,0.:3 纯 水!。
,
《
,
10.3.【1 纯水》系统的设《计,应符:合现行国家》标准电子工业—洁净厂?房,设计规范GB— 50472的有】关规定并应符合下列!规定:
【 : 1 纯水系【统的水质应根据【生产工?艺的要求确定;
!
2! 纯水系统供水管!网的循环回》流水量不宜》小于设计供水—量,的20%《;
:
》。 3 — 纯水制《备系:统及供水管网—的回收率《应根据?项目实?。际情况确定;
【
:
4】 纯水供给管路系!统的布置《应确:保用水点的水质
!。
10.3.!2 纯水制备区域!的排水管道》应确保制水设备瞬】时排水能得》到,及时排除
—