《10.3 》 纯 —水,
1!0,.3.?1 : 纯水系统的设【。计应符合现行国家】。标准电子工业洁净】厂,房设计规范GB【 5047》2的有关规定并应符!合,下列规定
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《 《1 ?纯水:系统的水质应—根据生产工》艺的要求确定;【
! 2 纯》水系:统供水管网的循【环回流?水量不?宜小于设《计供水量的20%;!
《
3 !纯水制备《系统及供水管—网的回收率应根据项!目实际情《况确定;《。
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— ?。4 :。 纯水供给管—路系统的布置应【。确保用水点的水质】
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1》0.3?.,2 ?。纯水制备区域—的,排,水管道应确保制水】设备瞬时排水能得到!及时排除
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