10.3】 纯 水
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10.3—.1 纯水—系统的设《计应符合《现行国家标准电【子,工业洁净《厂房设计《规范GB 5047!2的有关《规定并应符合下列规!定
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《 1 纯水系【统的水?。质应根据生产工【艺,的要求确定;
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? 2《 :纯水系统《供水管网的》循环回流水量不【宜小于设计》供水量的2》0%;
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》3 纯《。水制备?系统:及供水?管网的回收率应根】据项目?实际情况确定—;
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, 4》。 :纯水供给《管,。路系统?。的布:置,应确保用水点的水】质,。。
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10.3.2 !。纯水制备区域—的排水管道应确保】制水设备瞬时排水能!得到及时排除—
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