4.4 】 设：备，。布置 】 4.4.1  ！振动敏？感设备宜远离—振，动源布置 》 4.4】.2  《生产设备宜根—据工艺流程集中布置！并考虑？设备搬运、维修空间！ ： ？ ，4.：4.3  金属有机！化合：物化学气相沉积设备！。及其：辅助设备宜集中【布置 ？ ： 4.4.4】  气瓶柜、尾气】处理设备、气体【纯化柜等金属有机化！学气相沉积设备【的，辅，助设：备的：布置方式应符合【现行国家标准建筑】设计防？火，规范GB 5001！6和特？种，气体系统工程—技术规范G》B ：50646》的有关？规定 《