《4.4  设备【布置 【 4.4.1 ！ 振动敏感》设备宜远离》振动：源布置 》 4.4【.2  生产设【备，宜根据工艺流程集中！布置并考虑设备【。搬运、维修空间 】 4.4.！3  ？金属有机化合物化学！气相：沉积设备及》其辅助设备宜集【中布置 ！4.4？.4  气瓶柜、】尾气处理《设备、气《体纯化柜等金属有】机化学气相沉积设备！的辅助设备的—布置：方，。。式应符合现行—。。国家标准建筑设计】防火规范GB 【500？16和特《种气体系统工—程技：术规范GB —50646的—有关规定 —