？ ，4.4  设备【布置 — 4.4.1！  振？动敏感设备》宜远离？振动源布置》 4【。.4：.，2  生产设备宜根！据工艺流程集中【布置并考虑》。设，备搬：运、维修空间 【 《 4.4.3 【 金属有机化合【物化学气相沉积设备！。及其辅助设备宜【。集中布？。置 《 4《。.4.4  气【瓶柜、尾气处理设】备，、气体纯化柜等【金属有？机化学气相沉积设】备的辅助设备的【布置方式应符合【现行国家标准建筑设！。计防火规《范GB 《5001《6，和特种？气体系统工程技术】规范GB 》50646的有关规！定 ？