： 4.4  设】备布置 【 4.4.】1 ： 振动敏感》设，。备，宜远离振动源布【置 ： ？ 4.4.2  ！生产设备宜》根据工艺流程集中布！置并考虑设备搬【运、：维修空间 》 ：。 4.4.【3 ： 金属有机化合物化！学气相沉积设备及其！辅助设备宜集中【布置 《 4.4【.4  气瓶柜、】。尾气处？理设备、气体纯【化柜等？金属有机化学—气相：沉积设备的》辅助设备的布置方】式应符合《现行国家标准建筑】设计防火规范G【B 50016和特！种气体系统工程技】术规范GB 5【06：46的有关规定 ！