4.4【  设备布置 【 ？ 4.4【.1  振动敏感】设备宜远《离振动源布置 【 ： 4.4.2】  ：生产：设备宜？根据工艺《流，程集：。中布置并考虑—设备搬运、维修空】间 ： ？ 4.《4.3  金属【有机化合物化—学气相沉积设备及其！。辅助设？备，宜集中布置 — 4.4.！。4  气瓶》柜、尾气处理设备】、，气体纯化柜等金属】。有机化学《气相沉积设备—的辅助设《备的布？置方式应符》合现：行国：家标：准建筑设计防火【规范GB 500】16和特种气体系】统工程技术》规范GB《 50？64：6的有关规》定 ： ，