： 4.4 — 设备布置 —。 — 4.4.1  】振动敏感设备宜远】离振动？源布置 【 4.4.—2  生《产设备宜根据工艺】流程集中布》置并考虑设备搬运】、维修空间 ！ ：4.4？。.，3  金属》有机化合《物化学气相沉积设备！及其辅助设备—宜集：中布置 《 ： 4.4.【4  气瓶柜、尾气！处理设备、气体纯化！柜等金属有机化学气！相沉积设备的辅【助设备的布》置方式应符合现【行国：家标准建筑设计防火！。规范G？B ：50：0，16和特种气体系】统工：程技术？规范GB 506】。46的有关》规定 《