4.4  ！设备布置 【 ， 4.4.1！  振动敏感设备宜！远离振动源布置 】 》。4.4.2  【。生产设备宜根据【工艺流？程，。集，中布置并考》虑设备搬运、维【修，空间： 4【.，4，.3  金属有【。机化合？物化学气相沉积设】备及：其辅助设备宜—集中布置 】 4.《4，.4  气》瓶柜、？尾气处理设备、【气体：纯化柜？等金属有《机化学气相沉积【设备的辅助设备的】布置方式应符—。合现行国家标准【建筑设计防》火规范GB》 ，50016和—特种：气体系统工》程技术规《范，GB 50646】的有关规《定 ？