2 【术, 《语
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:
2.0.1 【 发光二极管 】light —e,m,itti《ng diod【e(LED)—
《
《 一?种能够将电能转化】为可:见,光的固态半导体器件!
?
,
2.0.2 !外延 ep】itaxy》。
,
《
在单晶】衬,底(基片)上生【长,一层或多层有一定】。要求的、与衬底【晶向相?同或相似的单—品层的生长》技,术
》。
2.0.3 !金属有机化》合物化?学气:。相沉积 《。 m《et:al-o《rganic c】hemi《。c,al va》po:r dep》o,s,ition(—MOCV《D)
【。
? :以Ⅲ族、Ⅱ族元素的!金属有机化》合物和Ⅴ、Ⅵ族【。元素的氢化物—等作:为,品体生长原》材料以热分解反应方!式在衬底《上进行气相》外延生长各》种Ⅲ-Ⅴ族》、Ⅱ-Ⅵ族》化合物半导》体,及其多元薄层单晶材!料的工艺过》程
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2.0.4 】空间管理 — space 】managemen!t,
,。
《
为有效利!用空间、缩短工作】流程对大到》整,个厂区的建》筑物布局、地下管线!。规,划小到一栋建筑物】内部:各个专?业间的配置》协调:而进行的设计
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