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2 《术 语
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2.0!.1 ?。 发光二极管 【 ,light emi!tti?。ng diode(!LED)
】
—一种能够《将电:能转:化,为可见光的固态【半,导,体器件
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2.0《.2 外延— ep—itaxy
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【 在单晶衬—底(基片《)上生长一层—或多层?有一定?要求的、与衬底晶】向相同或相似的单品!层的生?长技术
!2.:0.3 金属有机!化,。合物化学气》相沉积 》 metal-】organi—c chemic】al v《ap:or dep—os:i,tion(M—OCVD)
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以Ⅲ】族、Ⅱ族元素的金属!。有机化合物和Ⅴ【、Ⅵ族元素》的氢化物等作—为品体生《。长原材料《以热分?解反应方式在衬底上!进行气?相外延生长各—种Ⅲ-Ⅴ《族、Ⅱ-Ⅵ族化合】物半导体及》其多元薄层单晶材】料的:工艺过程
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2.0.4 【 空间管理 !s,pace man】agement
】
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【为有效利用空间、】缩,短工作流《。程对大到《整个:。厂区的?建筑物布局》、地下管线规划小到!一栋建筑物内部各】个专业间的配—置协调而《进行的设计
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