2 【术 《 语
!
2:.0.1 发光二!极管 ligh】t em《ittin》g diode【(LED)》
【 一种能够将】电能转化为可见【光的固?态半导体器件
【
2.0】。.2 外》延 ? ,。 epitax【y
】 ?在单晶衬底(基【片)上生长一层或多!层有一定要》求,的、与衬底晶向【相,同或相?似的单品层的生长技!。术
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2?。.0.3 金属有!机化合?物,化学气相沉》积 me【ta:l-organi】c chemic】al va》por depos!ition》(MOC《VD)?
【 : 以Ⅲ族、Ⅱ—族,元素的?。金属有机化合—物和Ⅴ、Ⅵ》族元素的《。氢化:物等作?为品体生长原材料】以热分解反》应方:式在衬底上进行气】相外延生长各种【Ⅲ-Ⅴ族《、Ⅱ-Ⅵ族化合物半!导体及?其多元薄层单晶材】料,的工:艺过:程
》
:2.0.《4 空间管理 ! sp《ac:e managem!ent
! 为有—效利用?空间、?。缩短:工作流程对大到整个!厂区的建筑物布局、!地下管?线规划小到一栋【建筑物内《部各个专《业间的?配置协调而进行的】设,计
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