。
2》 术 【语
?
2.】0.1 《 发光?二极管 ligh!t em《itting di!od:e(:LED)
!
》一种能够将》电能转化为可见【光,。的固态?半导体器件》
,
2.【0.:2 外延 !epit《a,。xy
《。
》 , 在单晶》衬底(基片)上【生长一层或》。。多层:有,。一定要求的》、与衬底晶》向相同或相似—的单品层的》生长技术
】
,
2:。.0.3 》 金属有机化合【物化学?气,。相沉:。积 met】al-?or:ganic c【hemical v!apor d—epo?sition(M】OCVD)
!
以Ⅲ】族、Ⅱ族元素的金】属有机化合物—和Ⅴ、Ⅵ《族元素的《氢化物等作》为品体生长》原材料以《热分解反应方式在衬!。底上进行气相外【延生长各种Ⅲ-Ⅴ族!、Ⅱ-Ⅵ《族化:合物半导《体及其多元薄层单】晶,。材料的工《艺过程
—
2.0—.4 《。空间:管理 —space —manage—ment
】
》 ,为有效?利用:空间、缩短工—作流程对大到整【个厂区的建筑—。物布局、《地下管线规划小【到一栋建筑物—内部各个专业间的配!置协:调而进行的设计
】
,