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2  【术   《 语 ! 2:.0.1  发光二!极管  ligh】t em《ittin》g diode【(LED)》  【   一种能够将】电能转化为可见【光的固?态半导体器件 【 2.0】。.2  外》延  ? ,。 epitax【y  】   ?在单晶衬底(基【片)上生长一层或多!层有一定要》求,的、与衬底晶向【相,同或相?似的单品层的生长技!。术 : ? 2?。.0.3  金属有!机化合?物,化学气相沉》积    me【ta:l-organi】c chemic】al va》por depos!ition》(MOC《VD)?  【  : 以Ⅲ族、Ⅱ—族,元素的?。金属有机化合—物和Ⅴ、Ⅵ》族元素的《。氢化:物等作?为品体生长原材料】以热分解反》应方:式在衬底上进行气】相外延生长各种【Ⅲ-Ⅴ族《、Ⅱ-Ⅵ族化合物半!导体及?其多元薄层单晶材】料,的工:艺过:程 》 :2.0.《4  空间管理  !  sp《ac:e managem!ent !    为有—效利用?空间、?。缩短:工作流程对大到整个!厂区的建筑物布局、!地下管?线规划小到一栋【建筑物内《部各个专《业间的?配置协调而进行的】设,计 ?