:
:2 术《 语
!
2.0【.1 《发光二极管 【。lig?ht emit【ting d—i,o,d,e(LED)
】
《 一种能够将!。电能转化《为可见光的固态半导!体器件?
2【.0.2 外【延, , ?epitaxy【
?
在单!晶衬底(基片—)上生?长一层或多层—有一定要《求的、与衬底—晶向相同或相似的】单品层的生长技术】
2.】0.3 《 金属有机化—合物化学《气相沉积 — metal-o!rgani》c ch《emi?cal va—por de—po:si:tion(》MOC?VD)
【
? 以《Ⅲ,族、Ⅱ族《元素的金《属有:机化合物和Ⅴ、Ⅵ】族元素?的氢化物等作—为品体生《。长原材料以热—分解反?。应方式在衬底上【进行气相外》延生:长各种Ⅲ-Ⅴ族、Ⅱ!-Ⅵ族化合物—半导体及《其多元薄《层单晶材料的工艺过!程
?
?
,2.0?.4 空间管【理 《 space 【manag》。emen《t
?
— :。为有效利《用空间、《缩短工?作流程对大》到整个厂区的—建筑:物布局、地下管线】规划:小到一栋建筑物内部!各个专业间的配置】协,调而进?行的设计
—