?。
2 术》 语
!。
:
2.0.—1 ?发光二极《管 lig—ht: e:。m,itting di!ode(《LED)《
?。
》 一?种能够将电》能转化为可见光的】固态半导体器—件
?
2.0.2! 外延 【 epitax【y
》
在【单晶衬底(基片)】上生长一《层或多层《有一定要求的、与】衬底晶向相同或相似!的单品?层的:生长技术
】
2.0.3 !金属有机化》合物化?。学气相沉《积 《 metal-【organic【。 c:。hemic》al va》po:r d?epos《ition(MO】CVD)
】
: 以Ⅲ族、】Ⅱ族元素的》。金属有机《化合物和Ⅴ、Ⅵ族元!素的氢化物等作【为品体生长原—材料以热分解反应】方式在衬底上进【行气相外延生长各】种Ⅲ:-,Ⅴ族、Ⅱ-》Ⅵ,族化合物半》导体及其《多元薄层单》晶,材料:的,工艺过程《
2.】0.4 空—间管理 s】pace 》manage—ment
!
: 为有》。效利用空间、缩短工!作流程对大到整个厂!区,的,建筑物?布局:、地下管线规划小】。到一栋?建筑:物内部各个专业【间的配置协调—而进行的设计
】