。 10.4 ！ 工艺冷却循环水 ！ ， ？ 10.—4.1  薄膜【晶体管液《晶显示器工厂—的工艺设备较多压力！要求：不一样用开式系统更！稳定、安全 【 ： ：10：.4.2  一旦】停，电，。某些：工艺设备如》果，没有：工艺冷却《水会导致设》。备严重损坏》造，成，较大的经济损失因此！工艺冷却水系统的】电源非常重要—除常规？电源外冷却水泵【全部或部分要设柴】油发电机电源或【UPS电《源，备用 ？ ？ 10.4.3】 ， 薄膜晶体管液晶显！。示器工厂的工艺设】备都很贵《重和精？。密故工艺冷》。却水对硬度》。。、电导率《、pH值《等通常都有要求【因此所选用的管【材、阀门也要符【合水质要求 【