8.3 ！。特种气体供应
】
《
8.3.1 】 从目前薄膜晶体管！液，晶显示？器工厂特种气体使用！的具体情《况看：特种：气体多采用外购钢瓶！气，体、液态气体在【工厂内？设置储存《、分配系统》
《
8.《3.2、8.3【.3 根据—现行国家标准建筑设！计防火规范GB 】。5，00：16的规定特种气体！储存：分配：系统设备应根据特】种气体的性质和储存！数量布置《在独立的建》(构)筑物内—或生产厂房的专用】房间内
—
？8.3.4 — 根据自燃、可燃特！种气体的性质布【置在生产厂房—内，的特种气体》设备分配《间的火灾《危险性应按甲类确】定
》
：8.3？.5： 根据硅》烷的物理化学性【质硅烷在空气中【的燃烧范围为1.3！7％：～，。96％空《气中硅烷浓度—在1.37％—～4：。.5％时遇外界【火源会产生爆—燃速：度可达5m／s；】当空气？中硅烷浓度》超过4.5％处于】亚稳定状态会发【。生延迟自燃性；浓】度越高延迟》时间越短这种—。延迟自燃性》会导致？爆燃甚？至爆轰硅烷的—首要危？害是它的自燃—性毒性为次要—危害硅烷的半致死】。浓度：(L：C50)为9—600pp》m(白鼠《4小时吸入)—工作场所最高—允许浓度为5ppm！
！ 考：虑员工及财》产的安全规》定新建？大宗硅烷站应布置在！独，立建筑物或》构筑物内《。但是根？据我国目前在—北，京、南京已建—成，的，几家TFT-LC】D工厂的实际—情况看部分硅烷【站与工厂的其—他气体供应站布【置在：。同一栋建筑》内因：此规范对该条作【了灵活？。处理：规定在平面布置有】。困难：时，改，、扩建项目的大宗】硅烷站？可，与工厂其他》气，体供应站《房布：。置在同一建筑物内并！用防爆墙与其—他气体？供应：间隔开
】
8.3.7—。 可燃《特种气体包括自【燃性、可燃性气【体此类气瓶柜的设置！应依据该类特种气体！的，自燃性、可燃性【特性：。规定了？气瓶柜内设置—的相关规定》如，排风次？数、紫外红外—火焰探测器设置、自！动，灭火系统《。以及自燃性气瓶【之间设置隔离钢板】。等安全？措施以确《保安全？可靠运行《本条第1款规定【硅烷气？瓶柜的？排，风换气次数不得低于！1200次／h该】款的依据是洁净【室消防标准NFPA！ 318-20【。06：第8.？5，.3条的相关条款当！硅，烷，满，瓶，时压力为1》500PSI保证】硅，烷安全的体积浓【度0：.4％(爆炸—下限：为1.34％)时】的排风量为284】L／s在气瓶柜体】积为：0.85《m3的？状况：下硅烷气瓶》柜的排气次》数为12《00次？／h
】8.3.8 为】防止自燃《性、可燃性、毒【性、腐蚀性特种气】体，系统的吹扫》氮气被本质》特种气体污染引【发着火、中毒或设】备拉坏？。等事故应在》吹扫氮气管线—设置止回阀
！
：8.3.9 自燃！性、可燃性》、毒性？、腐蚀性特种气体系！。统在抽真空或吹【扫过程中排出的超过！规，。定浓度的特种气体和！特种气体混合气【对环境？与人体将会造—成着火、中毒和损害！设备、管路等安【全危害因此这—些特种气体》及混合气应通过排】气管道？进入：尾气处理装置—进行处理达到规【。定浓度后才能排入工！厂排：气系统
【
为防止！不相容性《特种气体《发生反应引发事【故不：相容性特种》气体应分别》采，用不同？。的尾：气处理装《置进：。行处理
！8.3？.10 生产【厂房内的可燃和毒性！特种气体《管，道应明敷穿过生产】区墙壁与楼板处【。的管段应设置套【管套管内的》管道不得有焊缝【套管与？管道之间应采—用密封措施》可，燃、毒性《、腐蚀？性气体管道的机【械连接？处应置于排风罩内】
《
8.3.—11： 工程实践—表，明电子工厂特种气】体和吹扫气》体管道输送系—统常用管道材料【应采用？。SS304》、SS？316？、SS？。3，16L等不》。锈钢无缝钢管和H】C，-22哈《氏合金无缝钢管【等根：据特种气体》品种：和纯度、杂质含量】要求特种气体—管道：内表面应进》行洁净和钝化处理；！管道内表面粗糙【度对BA管道要求小！于，Ra40《EP管道要求小【于Ra25》为此：作了：本条的？原则性？规，定
：
？
8.《3，。.1：2 ：。 管道？系统产生的静电会】导致管道系统—发生燃烧《等危险现象因—。此规定可燃、氧化】性特种气体管道应设！置，静电泄导的接地设施！
8.3！.14 由于自燃！性、剧？毒性：和强腐蚀《性气体？一旦泄漏危害—性，极大将会造成较大】的人身伤亡和—财产损失目》前在电子工厂中较】多地：采用双层管道—输送这类特》。种，气体属？于这类特种气体【的主要？有，强反应性气》体B2？H，6，。。、H2S《e、Ge《H4、S《iH4、Si2H】6、SiH》C，H3、？C2H？2、B(《CH3)3、F【。2、CIF3等自燃！。性气体B2》H6、GeH4、】SiH4《、Si2H》6、SiH》CH3、B》(CH3)3—。等剧毒性气体As】H3、PH》3、GeH4、B】2H6、《H，2Se、F2、【B(CH3)3【、NO、《CIF3、》P，。F5等？但是在？工，程实际中由于—每一个工《厂对气体特性的【理解不同从而导致同！一种高危险性气【体在不同工厂所使】用的管？道，不一致？为，此本条为《推荐性条文
【
