《8.3 特—种气体供应》
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8.3.1】。 从目前薄膜晶体！。管液晶显示》器工厂特种气—体使用的具体情【况看特种气体—多采用外购钢—瓶气体、液》态气体在工厂内【设，置储存、分配—系统
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8.3.2、【8.3.3》 根据现行—国家标准《建筑设？计，防火规范GB 【5，0016《的规定特种气体储】存分配系《。统，设，备，应根据特种气体【的，。性质：和储存数量布置在独！立的建(构》)筑物内或生产厂】房的专用房间内
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8.3.！。。4， 根据自燃、【可燃：特，种气体的性质布【置在生产厂房—内的特种气体设备】分配间的火灾危【险性应按甲类确【定
8.！3.5 根—。据硅：烷的物？理化学性质硅烷在】空气中的燃烧—范围为1.3—7，％～96％》空气中硅烷》浓度在1《.37％～4—.5％时《遇外界火源会产生爆！燃速度可《达5m／s；当【空气中硅烷浓度超过！4.5％处于亚【稳，定状态会发生延迟】自燃性；浓度越【高延迟时间越短【这种延？迟自：。燃性会导致爆燃甚至！爆轰硅烷的首要危害！是它的？。自燃性毒性为次要】危，害硅烷的《半致死？浓度：(，。LC50)为9【600ppm(白】。鼠4小时吸入)工】作场：所最高允许浓—度为5？ppm
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— 考虑员》工及：财产的？安全规定新建大【。宗硅烷站应布置【。在独立建筑》物或构筑物内但是】根，据我国目前在北京】、南京已建成—的几家TFT-LC！D工厂？的实际情况看部分】硅烷站与工厂的【其他：。气体供应站布置【在同一？。栋建：筑，内因此规范对该【条作了？。。灵活处理规定—在平：面布置有困难—。时改、？扩建项目的大宗硅】烷站可与工厂—其他气体《供应站房布置—在同一建筑》物内并用防》。。。爆墙与其他气体供】应间隔开《
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8《.3.7 可【燃特种气体》包括：自，燃性、可燃性气体此！类气瓶柜的》设置应依据该—类，特种气体的》自燃：。性、可燃性》特性规？。定了气瓶柜内设【置的相关《规定：如排：风，次数、紫《外红外火焰探测【器设：置、自动灭火系统】以，及，自燃性气瓶之—。间设置隔离钢板【等安全？措，施以确保安全可靠】。运行本条《第1款规定硅烷气瓶！柜的：排风换气次》数不得低《于，1200次／h【该款的依《据是洁净室消防【标准NFPA 【3，18：-2006第—8.5.3条的相关！条款：当硅烷满瓶时压力为！15：00PSI保—证硅烷安全》的体：积浓度0.4％(爆！炸下限为1.34】％)时的排风—量为28《4L／s在气—。瓶柜体积为0.85！m3：的状况下硅》烷气瓶柜的排气次数！为1200次／h】
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？8.3.8 为防！止，自燃性、《可燃性、毒性、【腐蚀：性特种气体系统的吹！扫，氮气被本《质特种气体污—染引发着火、—。中，毒或设备拉》坏等事故应》在吹：扫氮气管《。线设置止《回阀
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8.3.—9 自燃性—、，可燃性、毒性—、腐蚀？性特种气体系统【在抽真空或吹扫过】程中排出《的，超过规定浓》度的特种气体和特种！气体混合气对环境】与人体将会造成着】火、中毒和损害设】备、管路等安全危】害因此这些特—种气体及混合气应】通过排气管道进入】尾气：。处理装置进行处【理达到规《定浓度后才能排【入工厂？排，气系统
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《 为防止不相容【性特种气体发生【反应引发《事故不相容》性，特种气体应分别【采用不同的尾气【处理装置进行处理】
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8.？3.10《 生产厂房内的可！燃和毒性特种气体管！道应明敷穿过生【产区墙壁与楼板处】的，管段应？设置套管套管内【的管道不得有焊缝套！管与管？道之间应采用—密封措施可燃、毒】性、腐蚀《性气体管道的机械连！接，处应置于排风罩内】
8【.3.1《1 工程实践【表明电子《工厂特种气体和吹】。扫气体管《道输送系统常用【管道材料《应采用？SS304、—。S，S316、SS【316？L等不锈钢无缝【钢，管和HC-2—2哈：氏合金无缝》钢管等根据特种【气体品种和纯—度、：杂质含？量要求特种气体管道！内表面？应进行洁《净和钝？化，处理；管道》。内表：面粗糙度对》BA管道要求小于】R，。a40？EP管道要》求小于Ra》25为此《作了本条《的原：则性：规定
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8.》3.：12 管》道系：。统产生的静电会导致！管道系统发生—燃烧等危险现象【因此规定可燃—、氧化性特》。种，气，体管道应《设置静电《泄导的接《地设施
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8.3—.14 由于自燃！性、：剧毒性和《强腐蚀性《气体：一旦泄漏危害—性极大？将会造？成较大的人身—。伤亡和财产损失目】前，在电子工厂》中较多？地采用双层管道【输送这类特种气体】属于这类特种—气体的主要有强【反应：性气体？B，2H6、H2Se、！Ge：H4、SiH—。4、Si2H6、】SiHCH3、C2！H2、B(CH3】)3、F2、CIF！3，。等自燃性气体B2】H6、？GeH4、》SiH？4、S？。i2H6、SiH】CH3？、B(CH3—)3等剧毒性—气体AsH》。3、PH3、G【eH4、B2H6】、H2S《e、F2、》B(CH3)3【、NO、《CIF3、》PF5等但是在【工程实际中由于【每一个？工厂对气体特性【的理解不同》从而导致同一种高危！险性气体在不同工厂！所使用的管道不【一致为此《本条为推《荐性条文
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