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《8，.3 特种—。气体供应
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8.3.1！。 从目《前薄膜？晶体管液晶显示器】工，厂，特种气体使用的具体！情，况，看特种气体》多采用外购钢瓶气体！、液：态气体在工》厂内设置储存、分】配，系统
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《8.3.2、8【.3：.3： 根？据现行国家标准建筑！设计防火《规范：GB 50016】的规定？。特种气体储存分配】系统设？备应根据特种气【体的：性，质和：储存数？量布置？在独立？的建：(，构)：筑，物内：或生产？厂房：。的专用房间》内
【8.3.4 【根据：自燃：、可燃特种气体【的性：质布：置在生产厂房—内的特种气体设【备分配间的火—。。。。灾危险性应按甲类】确，定，
8【.3.？5 ？根据硅烷的物理【。化，学性质硅《烷在空气中的燃【烧范：围为1？.37％《～，。96％空气中硅烷浓！度在1.37—％～4？.5％时遇外界【。火源会产生爆—燃速度可达5m／】s；当空气》中硅烷浓度超—过4.5％》处于亚稳定状态会发！生延迟自《燃性；浓度》越高延迟时间越【短这：种延迟？自，燃，性会导致《。爆，燃甚至爆轰》硅烷的首要危害是它！的自燃性毒性—为次要危害硅烷【的半致死浓度(【LC50)》为9600pp【m(白鼠4》小时吸入《)工作场所最高允】许浓度为5pp【m
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考【虑员工及财产—的安全规《定新建大宗硅—烷站应？布置在独立建筑物或！构，筑物内？但是根据我国—目，前在北京、南京已】建成的？几家：TFT-L》CD工厂《的，实际情况《。看部：。分，硅烷站与工厂的其】他气体？供应站布置在同【一栋建筑内因此【规范对该条作了灵活！处理规？定，。在平面布置有困难时！改，、扩建项目的—大，宗硅烷站可与工厂其！他气体供应站房【。布置在同一建筑物】内并用防爆墙—与其他气体供应【间隔：开
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8—.3.7《 可燃《。特种：气体包括《自，。燃性、可燃性—。气体此？类气瓶柜的设—置应依据该类特【种气体的《自燃性、可燃性特】性规定？了气瓶柜内设—置的相关规定如排风！次数、紫《外红外火焰》。探测：器设置、自动—灭火系统以及自燃性！气，瓶，之间设？置隔离钢板等安【全措施？以确：保安全可靠运行【本条第？1款规定硅烷气瓶柜！的排风换气次数【不得低于《120？0次／h该款的依据！是洁净室消防—标准NF《PA 3《18：。-200《6第8.5.3条】的相关条款当硅【。烷满瓶时《压力为15》00PSI保证硅烷！安全的体积浓度【0.：4％(爆炸下—限为1？.34％)时—的，排风量为《284L／s在气】瓶柜体积《为0.85m3的状！。况，下硅烷气《瓶柜的排气次数【为12？00次？。／h
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8.3.8 ！。为防止自《燃性、可《燃性、毒性、腐蚀性！特种气体系》统的吹扫氮气被本质！特种气？。体污染引发着火、】中毒或设备拉坏【等事：。故应在吹扫氮气【管线设置止回阀【
8.】3.9 自—。燃，性、可燃性、毒性、！腐蚀性？特种气体系统—在抽真空或吹扫过程！中排出的超》过规定浓《度的特种气体—和特种？气体：混合气对环境与【人体：。将会造成着》火、中毒和损害【设备、？管路等安全》危害因此《这些特种《气体及？混合：气，应通过排《气管道？。进入尾气处》理，装置：进行处理达到规定】浓度后？才能排？入工厂排气》系，统
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？ 为？。防止不相容性特种气！体发生反应引发事故！不相：容，性特种气体应—分别采用不》同的尾气处理装置】进行处理
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8.3《.10 生—产厂：房内的？可燃和？毒性特？种气体管道应明【敷穿过生产区墙壁与！楼板处的管》段应设置套管套管内！的管道不得》有焊缝套《管与管道《之间：应采用密封措施可】燃、毒性、腐蚀性气！体管道的机械连接】处应：置，于排风罩内
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8.3.》。11： 工程《实践表明电》子工厂？特种气体和吹扫气体！管道输送系统常用管！道材料应采用S【S304、SS3】16：、SS316L【等不锈钢无缝钢管和！HC-22哈氏【合，金，。无，缝钢管等根据特种】气体品种和》纯度：、杂质含量要—求特种气《体管道内表面应【进行洁净和钝—化处理；《管道内表面粗—糙度对B《A管：道要求小于Ra4】0EP？管道要求小于—。Ra25为此作了】本条的原则性规定
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8—.3.12 管道！系统产生的静电会】导致管道系统发生】燃烧等危险现象因此！规定可燃、氧化性】特种气体管道应设置！静电泄导的接地设】施，
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8.3—.14 《 由于自燃》性、剧毒性和—强腐蚀性气体一旦】泄漏危害性极大将】。会造成？较，大，的人身伤亡和财产损！失目前在电子—工厂中较《多地采用双层管道】。输送这类特种—气体属于《这类特种气体的【主要有强反应性气体！B2H6《、H2Se》、GeH4、—S，iH4、Si2H】6、SiH》C，H，3、C？2H2、B(CH】3)3、F2、【CI：F3等自燃性气体】B2：H6、G《eH4、SiH4、！Si2H6、SiH！C，H3、B(CH3】)3等剧《毒性气体AsH3、！PH3？、Ge？H4、B2H6、H！2Se、F2—、B(CH3)3、！。NO、CI》。F3、PF5等【但是在？工程实？际中：由于每一个工厂对气！体特性的理解—不同从而导致同【。一种高？危险性气体在—。不同工厂所使—用的管道不一—致为此本条为—推荐性条文》
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