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8.—3 ？特种气？体供应
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—8.3？.1 从目前薄】膜晶：体管液晶显示器工厂！特种气体使用的【具体情况看特种气】体多采用外购钢瓶气！体、：液态气？体在工厂《内设置？储存、分配系统
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8？.3.2、8.3.！3 根据现—行国家标《。准建筑设《。计防火？规范GB 50【016的规定特种气！体储存分配系统【设备应？根据特种气体的【性质和储存数量布置！在独立的建(构)筑！物内或生产厂—房的专用房》间，内
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8.3.4】 根？据自：燃、可燃特种—气体的性质》布置：在生产厂房内的【特种气体设》备分配间《的火：灾危险性应按—甲类：确定
】8，.3.5 》 根据硅烷的物理化！学性质硅《烷在：空气中？的燃烧范围为1.】37％～9》6％空？气中硅烷浓》度在1.37％～】4.5％时》遇外界火源会—。产生爆燃速度可达】5m／s；当空气中！硅烷浓度超过—4.5％处于亚稳】定状：。态会发生延迟自【燃性；？。浓度越高延迟—时间越短这种延迟自！燃性会导致爆燃甚】至爆轰硅烷的首要】危害是它的自燃【性毒性为次》要危害硅烷的半致】死浓度(《LC5？0)为9《600p《pm(白鼠4—小时吸？。入，)工：作场所最高允许浓】度为5p《pm
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》考虑员工及财产【的安全？规，定新建大宗硅烷站】应，布置在独立建筑物】或构筑物内但—是根据我国目前【在北京、《南京已？建成：的，几家TFT-L【CD工厂的》实际：情况看部《分硅烷？站与工厂《。。的其他气《体，供应站布置》。在，同一栋建《筑内因此《规范对该条作了灵】活处理规《定在平面布置—有困难时《改、扩建项目—。的大宗硅烷站可与】工厂：其他：气体供应站房布置】。在同一建筑物内【并用防爆墙与其他气！体供应间隔开
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8？.3.7 可燃】特种气体包括自燃】性、可燃性气体【此类气瓶柜的设【置应依据该类特种】气体的自《燃性、？可燃性特性规—。定了气瓶柜内—设置的相关规定如】。排风次数、紫—外红外火焰探测【器设置？、自动灭火系统【以及：自燃性气瓶之间【设置隔离钢板等安全！措施以确保》安，全可靠运行本条第1！款规定？。硅烷气瓶柜》的排风？换气次数不得低【于，1，200？。次／h该《款的依据是洁净【室消防标准NFP】A 318》-2006第—。8.5.3条的【相关条款当硅烷【。满瓶：时压力？为1500PS【I保证硅烷》安全的？体积浓度0.4【％(爆？炸下限为1.34％！)时的排风》量，为284L／s在】气瓶：。柜体积为0.—85：m3的状况下硅烷气！瓶柜的排气》次数为1200【次，／h
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8.—3.：8 为防》止自燃性、可燃【性、毒性、》腐蚀性特《种气：体系统的吹扫氮气】被，本质特种气体污【染引发着火、—中毒或设备》拉坏等事故应在吹扫！氮气管线设置止回阀！
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8.3.【9， 自燃性、可【燃性、毒性、—腐蚀性特种气体【。系统在抽真空或【吹扫过程中》排出的超过规定浓度！的特种气体》和特种气体混合气】对环境？与，人体将会造》成着火、中毒—和，损害设？备、管路等安—全危害？因此这？。些特种气体及混【。。合气应通过排气管道！进入尾气处》理装置进《行处理达到规定浓】度后才能排入工厂】排气系统
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， ？ 为防止《不相容性特种气【体发生反应引发【事，故不相？容性特？种气体应分别采用不！同的尾气处理—装置进行处》理，
8【。.，3.：10 生》产厂房内的》可燃和？毒性特种气体管道】应明敷穿过生—产区墙壁与楼—板处：。的，管段应设置套—管套管内的管—道不：得有焊缝套管—与管道之间应采用密！封措施可燃、—毒性、腐《蚀性：气体管道的》机械：连接处应置于排风】罩，内
8.！3.1？1， 工？程实践表明电子工厂！特种气体《和吹扫气《体，管道输送系统常用】管道材？料应采用SS304！、SS？3，16：、S：S3：16L等《不锈钢无缝钢—管和HC-》2，2哈氏合《金无缝钢管》。等根据特《。种气体品种和纯【度、杂质含量要求特！种气体管道内表面应！进，行洁净和钝化处理；！管，道内表面粗糙度【对BA？管，道要求小于R—a4：0，EP管道要》求小于Ra25【为此：作了本条的原则性】规定
】8.：3.1？2 管道系统【产生的静电会导致管！道系统发《生燃烧等危险—现象因此《规定：可燃、氧化性特种】气体管道应设置静电！泄导的接地设施【
8【.3.14 — 由于？自燃：性、剧毒性和—强腐：蚀，性气体一《旦泄漏危《。害性极大将会造成较！大，的，。人身伤亡和财产损失！目前在电子工—。。厂中较多地采用双】层管道输送这类特】种气体？属于：这类特种气体—的主要？有强反应性气体【B2H6、H2【S，e、G？eH4？、SiH4》、Si2H6、Si！。HC：。H3、C2H—2、B(《CH3？)3、F2、CIF！3等自燃性》气体B？2H6、G》eH4、SiH【4、S？i2H6、Si【HCH？3，、B(CH》3)3等剧毒性气】体AsH《。3、P？H，3、GeH4、B2！。H6、？H2Se《。、F2、B(CH3！)3、NO》、CIF3、PF】5，等但是在工程实际】中，由于每一个工厂对】气，体特性的理解不同】从而导致同一种高危！。险性气体《在不同工厂》所使用？的，管道不一致》为此本条为》推荐：性条文
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