8》.，3  特种气体供】应 ： 》 ， 8.3.1  】从目前薄膜晶体管】液晶显示器工厂【特种气体使用的具体！情况看特种》气体多？采用外购钢瓶气体】、液态气体在工厂】。内设置储存》、分配系统 ！ 8.《3.2？、8.3.3—  根据现行国【家标准？建筑：设计防火规范—。GB ？500？16：的规：定特种气《体，储，存分配系统设备应根！据特种气《体的性质和储存【。数，量布置在独立的建(！构)筑物内或生【产厂房的专用房间】内 ？ 8.—3.：4  根据》自，燃、可燃特种气体】的性质布置在生【产，厂房内的特种气体】设备分配间的火【灾危险性应按—甲类确定 ！ 8.3.》5  根据硅烷的】物理化学《性，质硅烷在空气中的燃！烧，范围：为，1.37％～9【6％空气中》硅烷浓度在1—.37？％～4.5％时【遇外界火《源会产？生爆燃？速，度可达5m／s；当！空气中？硅烷浓度超过4.5！％处于亚稳定状【态会发生《延迟自？。。燃性；浓度越—高延迟时《间越：短这种延迟自—燃，性会导致《爆燃甚至爆》轰硅烷的首要危【害，是它的自燃》性，。毒性为次要》危，害硅烷的半致死浓度！(LC50)为【9600p》p，m(白鼠4小时【吸入)工作场所最高！允许浓度为5ppm！  【   考虑员工【及财产的《安全规？。定新建大宗硅烷站应！布置在？独立建筑物或—构筑：物，内但是根据》我国目？前，在北：京、南京已建—成的几家TFT-L！CD工厂的》实际情况看部—分，。硅烷站与工》厂的其他气体—供应站布置在同一】栋建：筑内因？此规范对该》条作了灵活处理【规定在？平面：布，置有困？难时改、扩》建，项，目的大宗硅烷站可与！工厂其他气体供【应站房布置在同【一建筑？物，内并用防爆》墙，与，其他气体供应间隔】开 《 8.》3.7  可—燃特种气《体包括自燃性、可燃！性气体？此类气瓶柜的设【。置应依据该》类特种气体》的自燃性、可燃性】特性规定《了，气瓶柜内设置的相关！规，定如排风次数、紫外！红外火焰《探，。测器设置《、，自动灭火系统以及】。自燃：性气瓶之间设置隔离！钢板：等安全措施以确保安！全，可，靠运行本条》第1款规定硅—烷气瓶柜的排风换气！次数不得《低于1200次【／h该款《的依据是洁净室【消防标准NFP【A， 318-200】。6第8.《。5.3条的相关条】款当硅烷满瓶时压力！为1：500PSI保【证硅烷安全的体积】浓度0.4％(【爆炸下限为1—.34？％)时的排风—量为2？8，4L／s在气—瓶柜体积为0.【85m3的》状况下硅烷》气瓶柜？的排气次《数为1200—次／h？ —8.3.8  为防！。止自燃性、可燃性、！毒性、腐蚀性特种气！体系统的吹扫氮气被！本质特？种气体污《染引发着《火、：中毒或？设备拉？坏等事故应在吹扫氮！。。。。。气管：线设置止《回阀： 》 8.3.9 【 自燃性、可燃性】、毒：性、腐蚀性特种【气体系统在抽真【空或吹扫过程中排出！的超过规定浓度的】特种：气体和？特种气体混合—气，对环境与人体将【会造成着火、中毒】和，损害设备、管路【等安全危害因此这些！特种：气体及混合气应【通过排气《管道：进，入，尾气：。处理：装置进行处理—达到规定浓度—后才能排入》工厂排气《系统 ？ ： ： ，。 ， ，  为防止不相【容，性特：种气体发《生反应引发事—故不：相容性特种气体应】分别采用不同的【尾，气，处，理装置进行处理 ！ ：。 8.3.1【0  生产》。厂房内的可燃和毒性！特种气体《管道应明敷穿—过生产区墙》壁，与楼板处的》。管段应？设置套？管套管内的管道【。不得有焊《缝套管与管道之间应！采用密封措施—可燃、毒性、腐【蚀性气体管道的机械！连接处应置于—排风：罩，内 《。 8.3—.11  工程实】践表明？电子工厂特》种气体和吹扫气体】。管道输送系》统常用管道材—料应：采用SS《304、S》S316、S—S3：16：L等不锈钢无—缝钢管和H》C-22哈》氏合金无缝》钢管等根据》特，。种气：体品种和纯》度、杂质含量要【求特种？气体：管道内表面》应进行？。洁净和钝化处—理；管道内表面粗】糙度对BA管—。道要求小于Ra40！EP：管道要求小》于R：。a25？为此作了本》条的原则性》规定 — ， 8.？3.12 》 管道系统产生【的静电会导致管【道系统发《生，燃烧等危《。险现象因此规定【可燃、氧化》性特种？气体管道应设置静电！泄导的接《地设施？ —8.：3.14  —由于自燃《性，、剧毒性和强—腐蚀性气体一—旦泄漏危害》性极大将会造成较】大的人身伤亡—和财：产损失目前在电子工！厂，中较：多地采用双》层管：。道输送这类特—种气体属《于，这，类，特种气体的主—要有强反应》性，气体：B2H6、》H2Se、》G，e，H4、SiH4【。、Si2H6、【S，iHCH3》、C2H2、B(】CH3)3、—。F2、C《IF3等自燃性气体！B2H6《、GeH4、S【iH4、Si2【。H6、Si》HCH3《。、，B(CH3》)3等剧《毒性气体《AsH3、PH【3、Ge《H4、？B，2H6、《H2Se、》F，2、：B(CH3)3、】。N，O、CI《F3、PF5等【但是在工程实际中由！于，每一：个工厂对气体特性的！理解不同从而导【致同一种高危险【性气体在不》同工厂所使用的管道！不，一致为此《本条为推荐性—条文 《