8.3 】 ，。。。特种气体供应
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8.3.】1 从目前薄【膜晶体管液晶显示器！工厂：特种：气体使用的》具，。体情况看特种气体多！采用外购钢瓶气【体、液态气体—在，工厂内？设置储存、分配【系统
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8.3.2、8.！。3.3 根据现】行国家标《准建筑设计防火规】范GB？ 5：00：16的规定》特种气体储存—。。。分配系统设备应【根据特种气体的性质！和储存数量布置在独！立的：建(构)筑物—内或生产厂房的专】用房：间内
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8.3.4 ！ 根据自燃、可燃】特种气体的性质布置！在生产厂房内的特】种气体设备分—配间的火灾危—险性应按甲类确【。定
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8.3《.5 根》据硅烷的物理化【学，性质：硅烷在空气中的燃烧！范围：为1.37％—～96％空气中硅烷！。浓度在1.3—7％～4《.5％？时遇外界火》源，会产生爆燃》速，度可：达5m／s；当空气！中硅烷浓度超过4】.5％？处于亚稳《定状态会《发生延迟自》燃，。性，；浓度越高延迟时】间越短这种》延，迟自燃性会导致【爆燃甚至爆》轰硅：烷的首要危害是它】的自：燃性毒性为》次要：危害硅烷的半致死】浓度(L《C50)为9600！ppm(白鼠4【小时吸入)工—作场所最高允许【浓度为5ppm
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》 ， 考虑》员工：及财产的安全规定】新建大？宗硅烷站应》布置在？独立建筑物或构【筑物：内但是？根据我国目前在北京！。、，南京已建成的几家T！FT：-LCD工厂的【实际情？。况看部分硅烷站【与工：。厂的：其他气体供》应站布？置在同一栋》建筑：内因：此规范对该条作【。。了灵活处理规—定在平面布置有【困难时改、》扩建项目的大宗硅烷！。站可与工《厂其他气体供应站房！。布置：在同一建筑》物内并用《防爆墙与其他气【。体供应间《隔开：
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8.3.7 ！可燃：特，种气体？包括自燃性》、可燃性气体此类气！瓶柜的设置应—依据该类特》种气体的自燃性、】可燃性特性规定了气！瓶柜内设置的相关规！定如：。排风次？数、紫外红》外火焰探测器设【置，、自动灭火系—统以：及自燃性《气瓶：之间设置隔离钢板等！安全措施以确保【安全可靠运行本条】第1款？规定硅烷气瓶柜【的，排风换气次数不得】低于1？2，0，0，。次，／h：该款的依据》是洁净室消防标准】NFPA 31【。8-2006第【8.5.3条的相关！条款当硅《烷，满瓶时压《。力为1500P【SI：保证：硅烷安全的体积浓度！0.4％(爆炸下限！为1.34％)时的！排风量为284【。L／s在气瓶柜体积！为0.85m3的】。状况下硅《烷气瓶？柜的排气次数为12！00次／h
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8.3【.8 为防止【自，燃性、可燃性、【毒性、腐蚀性特种】气体系统的吹扫【氮气：被本质特种气体污染！。引发着火、中毒或设！备拉坏等事故应在吹！扫氮气？管线设置止回—阀
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8.》3.9 自燃【性、可燃性、毒【性、：腐蚀性特种气体系】统在抽真空或—吹扫过程中》排出的超过规定浓度！的特种气体和特种气！体混合气《对环：境与人？体，。将会：造成：。着火、中毒》和损害设备、管【路等：。安全：危害因？此这些特《种气体及混合—气应：通过排气管》道进入？尾，气处理装置进行处理！达到规定浓度后才能！排入工厂排》气，系统
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《 ， ：为防：止不相容《性特种？气体：发生反应引发事故】不相容性特种气体】应分别采用不—同的尾气《处理装置进》行处理
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8.3.—10 生产厂房】内的可燃和毒性特种！气体管道《应明敷穿过》生产区？墙壁与楼《板处的？管段应？设置套？管套管内的管—道不得有焊缝—套，管与：管道之间应采用【密封措施可燃、毒性！、腐蚀性《气体管道的机械【连接：处应置于排》风罩内
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8.3.11！ 工程实践表明】。电子工？。厂特：种气体？和吹扫气体管—道输送系统常用管道！材，料应采用S》S30？4、SS31—6、S？。S316L》等不锈钢无缝钢管和！HC-22哈氏合】金，无，缝钢管等根据特【种气体品种和纯度、！杂质含量要》求特种气体管道内】表面：应进行洁净和钝化处！。理；管道内表面粗】糙度：对BA管道要求【小于R？a，40EP管》道要求小《于Ra25为此作】。了本条？的，原则：性，规定
8！.3.12 【管道系？统产生的静》。电会导致管道系【统发生燃烧》等危险？现象因此规定可燃、！氧化性特种气体管道！应设置静电泄导【的接地？设施
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8.？。3.1？4 ： ，由，于，自燃性、剧》毒性和强《腐蚀：性气体一旦泄漏危】害性极？大将会造成较大【的人：身伤亡和《财产损失目前在电子！工，厂中较多地采用【双层管道输》送这类特种气体属于！这，。类特种气体》的主要有强反应性气！体B2H6、H【2Se、《GeH？4、SiH4—、Si2H6、S】iH：CH3、C2H2、！B(CH3)3、F！2、CIF3等自】燃，性，气体B2H6、G】eH4、SiH【。。。。4、Si《2H：。6、SiHCH【3、B(CH—。3)3？等剧毒性气体AsH！。3、PH3、G【eH4、B2H6、！H2Se、F2【、B(？CH：3)：3、NO《、CI？F3、P《F5等但是在—工程实际中由于【每一个工《厂对气体特性—的，理解：不同从而导致同一】种高危险性》气体在不同工—。厂所使用的管—道，。不一致为此本—条为推荐《性条文
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