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8.3 】 特种气体供—应
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8.3.1 ！从目前薄膜晶体管】液晶显示器工厂特种！气体使用的具体【情况看特《种气体多采用—外购钢瓶气体—、液态气《体，在工厂内设置—储存、分《配系统
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》8.3？.2、8.3—.，3 根据现行【国家标准建筑设【计防火规范GB 5！0016的》规定特种气体—。储存分？配系统设《备应根据特种气体】的性质和储存数量布！置在独立的建(构)！筑物内或生产厂房】的专用房间内—。
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8.3.4 【 根据自燃、可燃特！种气体的性质布置在！生产厂房内的特种气！。体设备分配》间的：。火，灾危险性应按—甲类：确定
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8.》3.5 》根据硅烷的物—理化学？性质硅烷《在空气中的燃烧范】围为1.37％【～96％空气中【硅烷浓？度在1.37％～4！。.，5％时遇外界火源会！产生爆燃《速度可达5》m／s；当空气中硅！烷浓度超《过4.5％处—于亚稳定状态会发】生延迟自燃性；浓】度，。越高延迟时间—越短这种《延迟自燃性会—导致爆？燃甚至爆轰硅—烷的首要危》害是它的自》燃性毒性为次要【危害硅烷的半致死】浓度(LC50)为！960？0ppm《(白鼠4小时吸入】)工作场所最高允】许浓：度为5ppm—
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考虑员工！及财产？的安：全规定新建大宗硅】烷站应布置在独立建！筑物或构筑物内但】。是根据我国》。目前：在北京、南》京已建成《的几家TFT-L】CD工厂《的实际情《况看部分《硅烷站与工厂的其】他，气体供应站布置【。在，同，一，栋建筑内因此—规，范，对该条作了灵活【处理规定《在平面布置》有困难时改、—扩建项目的大宗【硅烷站可与工厂其】他，气体供应站房布【置在同一建筑物内并！用防爆墙与其他【气体供应间隔开
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8.3】.7 可》燃特种气体包括【自燃性？。、可燃性气》体此类？气，瓶柜的设《。置应依据该类特种】。气体的自《。。燃性、可燃性特性规！定了气瓶柜》内设置的相关规定】如排风次数、紫【外红：外火焰探测》器设置、自动灭【火系统以及自燃【。性气瓶之间》设置隔离钢板等安全！措施以？确保安全可》靠运行本条第1【款规定？。硅烷气瓶柜》的排风换气次—数不得低于》1200次／h该款！的依据是洁净—室消防标准NFPA！ 318-20【0，6第8.5.—3条的相关条款当】硅烷满瓶时》压力为1500【。PSI保证硅烷安全！的体积浓《度，0.4％(爆—炸下限为1.—34％)时的排风量！为284L／—s在气瓶柜体积为0！.，85m3的》状况下？硅，烷气瓶柜的排气次】数为1200次【／h
】。8，.3.8 为【防止自燃《。。性、可？燃性、？毒性、腐蚀性特种】。气体系统《的吹扫氮气被本质特！种气体污染引发【着火、中毒或设【。备拉坏？。。等事故应在吹—扫，。氮气管线设置止回】阀
【8.3.9 自】燃性、可燃性、【毒性、腐蚀性—。特种气？体，系统：在抽真空或吹扫过】程中排出的超过【规定：浓度的特种气体和特！。种气体混合》。。气对环境与人—。体将会造成着—火，、中毒？和损害设备》、管：路等安全危害因此这！些特种气体及混合】气应：通，过，排气管？道，进，入尾气处理》装置进行处理达【到规：定浓度？后才能排入工厂排气！系统
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《。 为防止不相容性！特种：气体发生反应—引发：事故不相容性—特种气体应分别【采用不同的尾气处】理装置进行处—理
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？8.3.10 生！产厂房？内的可燃和毒—性特种气体》管道应明敷穿过生】产区墙壁与》楼板：处的管段应》设置套管套管内【的管道不得有焊缝】套管与管道之间【应采：用密封措施可燃、毒！性、腐蚀性气体管】道的机械连接—处应置于排风—罩内
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8.3.11【 ， ，工程实？践，。表明电子工厂—特种气体和吹扫气体！管道输送系统—常用管？道材料应采用—SS：304、SS316！、SS31》6L等不锈钢—无缝钢管和HC-】22哈？氏合金无缝钢管【等根据特种》。气体品种和纯度、】杂质含量要求特【种，气体管？道内表面应进行洁】净和钝化处》理；：管道内表面粗糙【度对：BA管道要求小【于Ra40》EP管道要求小于R！。a25为此作了【本条的原则性规定】
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8.》3.：12 管道—系统产生的静电会】导致管道系统发生燃！烧等危险现象因此】规定可燃、氧化性】特种气体管道应设置！静电泄导的》接地设施
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8：.3.14》。 由于自》燃性、剧毒性和强】腐，蚀性气体一旦—泄漏：。。危害性极大将会造】成较大的《人身伤亡和财—产损失目前在电子】工厂中较多地采用双！层管道输送这—类特种气体属于这】类特种气体的主【要有强反应性—气，体，B2H6、H2【Se、G《eH4、SiH【4、Si2H6【、SiHC》H3、C2H2、B！(，CH3)3、F2、！CIF3等自燃性】气体：B2H6《、Ge？H4、SiH—。4、：Si：2H：6、SiHCH【3、B(CH3)】3等剧毒《性气体As》H3、PH3、G】eH：4、B？2，H6、H2》Se、F2、B【(CH3)3、NO！、CI？。F，3、：PF5等《但是在工程实际【中由于每《一，个工厂？对气体特性的理解】不同从？而，导致同一种》高危险？性气：体在不同工厂所【使用的管《道，不一致为此本条为推！荐性条文
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