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《8.3 特种气】体供应
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8.3.》1 从目前—。薄，膜晶体管液晶显示】器工厂特种气—体，使用的具体情况看】特，种气体多采用外购】钢瓶气体《、液：态气体在工》厂，内设置储存》、分配系统》
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8.《3.2、8.3【.3 根据现行】国家标准建筑—设计防火规范GB ！500？16的规定特种气】体储存分配系—统设备？应根据特种气体的】性质和储存数量布置！在独立的建(构)】筑物内？或生产厂房》的专用房间》内
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8.3.4 】根据自燃、》可燃特？种气体的性质—布置在生产厂房内】的特种气体设—备分配间的火灾【危，险性应按甲》类确定？
8.】3.5 根据【硅烷的物理化学【。性，质硅：烷在空气中》的燃烧范围为—1.37％～96％！。空气中硅烷浓—度在1.37％～】4.5％时》遇外：界火：源会产生爆》燃速度可达》5m／s；当空气】中硅：烷浓度超过4.5％！处于亚稳定状态会】发生延？迟自燃性；浓度越】高延迟时间》越短这种延迟—自燃性会导致—爆，燃甚至爆轰硅烷的】首要危害是》它的自燃性毒性为】。次要危害硅烷的【半，致死浓度(L—C50)为》。9600ppm(】白鼠：4小时吸入)—工作场所最高—允许浓？度为5ppm
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》 考》。。虑员工及财产的安全！规，定新建大《宗硅烷？站，应布置在独立建筑物！或构筑物内但是根】据我国目前》在北京、《南京已建《成的几家TFT-】L，CD工厂《的实际情《。况看部分硅烷—。站，与工厂的其他气体供！应站布置在同一栋】建筑内因此规—范对该条作了灵活处！理规定在平面—布，置有困难时改—、扩：建，项目的大宗》硅烷站可与工—厂，其他气体供应站【房布置？在同一建筑》物内并用防爆—墙与其他气体供【。应间隔开《
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8.3【。.7 可燃特种】气体包括自》燃，。性、：可燃性气体此—类气瓶柜的设置应】依，据该类特种》气体的自燃性—、可燃性特性—规定了气《瓶柜内设置》的，相关规？定如排风次数、紫外！红外火焰《探测器？设置、自动灭—火系统以及自燃性】气瓶之间设置隔离】钢板等？安全措施以确保安】全可靠？运行本条第1款【规定硅烷气》瓶柜的排风换—气次数不得低于【1200次／h【。该款：的依据是洁净室消】防标准N《FPA 318-】2006第8.5.！3，条的相关条款当硅】烷满瓶时压》力为1500PSI！保证硅烷安全的体积！浓度0？.4％(爆炸下限为！1.34％)时的排！。风量为2《84：L／s在气瓶柜【体积为？0.8？5m3的状况下【硅烷气瓶柜》。的排气次数》为1200次／h】
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8》.3.8 —为防止自燃性、【可燃性？、毒性、腐蚀—。。性特种气《体系统的吹》扫氮气被《本质特种气体污染】。引发着火、中—毒或：设备：拉，坏等事故应在吹扫】氮气管？线设置止回阀
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》8.3.9 自】燃性、可《燃性、毒性、腐蚀】性特种气体系统在】抽真空或《吹扫过程中排出【的超：过规定浓《。度的特种《气，体和特？种气体混合》气对环境与人—体将会造《成着火、《。中毒：和损：害设备、管路等安】全危：害因此这些》特种气？体及混合气》应通过排气》管道：进，入，。尾气处理装置—进行处理达到规【定浓度后才能排【入工厂排气系统【
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？。 为防止【不相容性特种气体】发生反应引发事故】不相容性特种气体应！分别采用不同的【尾气处理装置—进行处？。理
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》8.3.《。10 生产厂【房内的可燃和毒性】。特种气体管》道，应明敷穿过生产区】墙壁：与楼板？。处的：管段：应设：置套管套管内—的，管道不？得有焊？缝套管与管道之【间应采用《密封措施可》燃、：毒性：、腐蚀？性气体管道的—机，械连接处《应置于？排，风罩内
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8？.3.？。11 工程实践】。表明电子《工厂：特种气体和》吹，扫气体管道》输送系统常用管道材！。。。料应采用《SS304》、SS31》6、S？S316L等—不锈：钢无缝钢管和HC-！22哈？氏合金无缝钢管【。等，根据特种气体品种】和纯度？、，杂质含量要求特种】气，体管道内表面应【进行洁净和钝化【处理；管道内—表，面粗糙度对BA【管道要求小于Ra4！0E：P管道？要求小于R》a25为此作了【。本条的原则性规定】
—8.3.12 】管道系统产》生，的，静电：会，导致管道系》统发生燃烧等危险】。现象因此《规定可？燃，、氧化性特种气体管！道应设置静》电泄导的接地设施
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8—.3：。。.14 由于【。自燃性、剧毒性【和，强腐蚀性《气体一旦泄漏危害】性极大？将会造成较》大的人？身伤：亡和财产损失目【前在电子工厂中较多！地，采，用双层管道输送【这类特种气体属于】这类特种《气体的主要有强反应！性气体B2H—。。6、：H2：Se、GeH4【、S：iH：。4、Si2H6【、Si？HC：H3、C2H—2、：B(CH3)—。。3、F2、》C，IF3？等自燃性气体B【2H6？、GeH4、SiH！4、Si2》H6：、SiHCH—3、：B(CH3》)，。3，等剧毒性气体A【sH3、P》H3、GeH4【、B2H6、—H2Se、F2、B！。(CH3《)3、NO、C【。IF3、PF5等但！是，在工程实际中由于】每一个工厂对—气体：。特性的理解》不同从而导》致同：一，。种，高危险性气体在【。不同：工厂：所，使用的管《。道不一致为》此本条为推》荐性条文
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