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10.》3 纯 — 水
《。
【10.3.1 】纯水系统除》。应符:合现行国家标—准电:。子工业?洁,净厂房设计规范G】B 50472【和电子工业纯水系统!设计:规范GB 5068!。5的:。。有关规定外尚应符合!下,列规定
《
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【1, 纯水系统—应包括纯《水制备系《统、纯水分》配系:。统及纯水回收—。、处理系统;
】
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? 2 》纯水系?统除:应满足所需》水量、水质、—水温:和,水压的要《求外还?应满足运行灵活、】安,全可:。靠、便于操作管理、!运行费用低》的要求;
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《 3 纯】水输:水及分配系》统的附加循环流【量宜大于设计用水】量的20%》;,
【 4《 , ,纯水:系统的回收率应【根,。据工程实际情况【合理确定
【
10.—3.2 纯—水制备用原水宜【选用符合《条件的再生》水
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