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10.3 纯! 《水
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10—.3:。.1 纯水系统】除,应符合现行国家【标准电?子工业?洁净厂房设》计规:范G:B 504》72和电《子工业纯水系统设】计规范?GB ?50685的—。。有关规定外尚应符合!下列规定
】
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《 1 《纯水系统应包括【纯水:制备系?统,。、纯:水分配系《统及纯水回收—。、,处理系?统;
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,。
2 】。 ,。。纯水系统除应满足】所,需水量、水质、【水温和?水压的要求外—还应满足运行灵活、!安全可靠、便于操】作管理?、,运行费用低的要求】;
》
3【 纯水输》水及分配系统的【附加循环流》。量宜大于设计用水量!的20%《;
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4 【 纯水系统》的回收率应》根据:工程实际情》况合理确定
】
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10.》3.:。2 纯水制备用】原水宜选用符合【。条件的再生水—
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