10.3】 纯 【水,
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10.3.】1 纯水系统除】。应符合现行国家【。标准电子工业洁净厂!房设计规范GB 】50472》和,电子:工业纯水系统设【计规范GB》 50685的有】关规定外尚应符合】下列规定
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1 】。 纯水系统》应包括纯水制备系统!、纯水分配》系,统及纯水回收、处】理系统;
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》 ? 2 ? 纯水系统除应【满足:所需水量、水质、】水温和?水压:的要求外还应满足】运行灵活、安—全可:靠,、便于操作管理、运!行费用低的要求;
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《
? 3?。 纯水输水及【分,配系统的附加—循环流?量宜:大于:设计用水量的20%!;
》。
4【 纯水系统—的回收?率应根据工程—实际情况合理确【定
10!.3.2 》 ,纯水制备用原—水宜选用符合—条,件的再?生水
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