10.3 ! 纯 水
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10.3.】1, 纯水系统除【应符合?现,行国家标准》电子工业洁净厂【房设计规《范GB 5》0472和电子【工业纯水系统—设,计规范GB —50685的有关】规定外尚应符合下列!规定
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1 】 纯水?系统应包括纯水制备!系统:。、,纯,水分配系统及纯水回!收、处?理系统;
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》2 纯水系—统除应满足所—需水量、水》质、水温和水压的要!求外还应满足—运行灵活、》安全可靠、便于【操作:管理、运《行费用低的要求【;
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》 3 纯水【。。输水及分配》系统的附加循环流量!宜大于?设计用水量的2【0%;
》。
4! , 纯水系统》的回收率应根—。据,工程实际情况合理】确定
1!0.3.2 — 纯水制《备用原水宜选用【符合条件的》再生:水
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