安全验证
10.3 ! 纯   》 水 ? 《 10》.3.1  —纯水:系统除应符合—现行国家标准电子】工业洁净《厂房设计规范GB !50472》和电子?工,业纯水系《统设计规范GB 】50685的有关】规定外尚应符合下列!规定 】    1》 , 纯水系统应包括纯!水,。制备系统、纯水分】配,系统及纯水回收、】处理系统; !。 ,     》。2  纯水》系统除应满足所【需水量?、水:质、水?。温和水?压的要求《外还应满足运行灵】活、安全可靠、便】于,操,作管理、《。。运行费用低的要求】; —     3 【 纯水输水及分【配系统的附加循环流!量,宜大:于设计用水》量的20%; ! ?  :  4  纯—水系统?的回收率应根据工】程实:际情况合理确—定 — 10.3.2  !纯水制备用原水宜】选用符合条件的再生!水 ?