10.3 ! 纯 》 水
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《
10》.3.1 —纯水:系统除应符合—现行国家标准电子】工业洁净《厂房设计规范GB !50472》和电子?工,业纯水系《统设计规范GB 】50685的有关】规定外尚应符合下列!规定
】 1》 , 纯水系统应包括纯!水,。制备系统、纯水分】配,系统及纯水回收、】处理系统;
!。
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》。2 纯水》系统除应满足所【需水量?、水:质、水?。温和水?压的要求《外还应满足运行灵】活、安全可靠、便】于,操,作管理、《。。运行费用低的要求】;
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3 【 纯水输水及分【配系统的附加循环流!量,宜大:于设计用水》量的20%;
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? : 4 纯—水系统?的回收率应根据工】程实:际情况合理确—定
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10.3.2 !纯水制备用原水宜】选用符合条件的再生!水
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