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10.3— :纯 水—
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10.3.1 !纯水系统《除应符合现行—国家标准电子工业洁!净厂房设计规范【GB 50472】和电子工业》纯水系统设计—规范GB 5—0685《的,有关规定外尚应符合!下列规定
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? :1 纯水系统应包!括纯:水,制备系统、纯—水分:配系统及纯水—回收、处理系统;
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【 2 纯水系统!除应满足所》需水量、水质、水】温和水压的要求【。外还应满足》运,行灵活、安全—可靠、便于操作管】。。理、运行费用—低的要求;
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: 3 纯水】输水及分配系统的】附加循环流量宜大】于设计用水量—的2:0%;
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》 4 —纯水系统的回收率应!根据工程实际情况】合理确定
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10.3【.2 纯水制备用!原水宜选《。用符合条件的—再生水
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