7.3 】 微振动控制标【准 》 7.3.】1  有微振控制要！求的工？。艺设备应由制造厂】商提供设备》台，座，处的振动评价—方法、微振动—。控制：标准及要《求 ？ 《7.3.2》  有微振》控制要？求，的，工艺设备的支承面振！动值应在相》应微振动《标，准曲线以下微振【动标准曲线可—。。按本规范附录B采用！ 《 ， 7.3.3  】曝光机、涂布机等工！艺设备应满》足生产厂商对—设备支承部位的动态！刚度标准值》要，求，。 ：