， 7.》3  微振动控【制标准 — 《 ，7.3.1  有】微振控制要求—的工艺设备应—由制造厂商提供【设备台座处的振动评！价方法、微振动控制！标准及要《求， ， 7.【3.2  有—微振控制要求的工艺！设备的支《承面振动值应—在，相应微振动》标准曲线以下微【振动：标准曲线可按—本规范附录B采【用 7】.3.3  曝【光机：。、涂布机《。等工艺设《备应：满足生产厂》商对设备支承—部位的动态》刚度标准《值要求 》