7.3  ！微，。振动控制标准 】 ： 7.3【。.1 ？ 有微振控制要求】的工艺设备应由制造！厂商提供设备台座处！。。的振动评价方法【、微振动《控，制标准及要求— 7.3！.2  有》微振控？制要求的《工艺设备《的支承？面，振动值应在相—应微振？动标：准曲：线，。以，下微振动标准曲线可！按本规范附录B采】用 — 7.3.3—。  曝光机、涂布机！等工艺设备应满足】生产厂商《对设备支承部位【。的，动态刚度标准—值，要求 《