？ 7.3 》。 微振动《控，制标准 — 7.3.！1  有《。微振控制要求的工】艺设备应由制造厂商！提，供设备台《座处的振动》评价方法、》微振动？控制标准及要求【 7.】3.2  有微【振控制要求的工【艺设备？。的支承面振动—值，应在相应微振—动标准曲线以下微振！动标：准曲线可《按本规？范附录B采》用 — 7.3.3  】曝光机、涂》布机等工艺设备【应满足生产》厂商对设备》支承部位的》。。动态刚度《标准值要求 【