7.3  ！微振动控制标准 ！ ？ 7《.3.1  有【微振：控制要求的工艺设】备，应由制造厂商提供】设备台座处》。的振动评价方—法、微？振动控制标准及【要求 【 7.3《.2  《。有，微振控制要求的工】艺，设备的？支承面？振动值应在相应微振！动标准曲《线以下微振动标准曲！。线，可按本规范附录B采！用 》 7.《3，.3  曝光机、】涂布机？等工：艺设：备应满足生》产厂商对设》。备支承部位的动态】刚度标准值要—求 ： ，