，。 ， 7.3》  微振动控制标】准 ： 7】.3.1 》 有：微振控制要》求，的工艺设备应由制】造厂：商提供设备台座处的！振动评价方》法、微振动控—制标准及要》求 7.！3.2  》有微振控《制要求的《工艺设备的》支承面振动值—应在相应微振动【标准曲线以下微振】。动标准曲《线可：。按本：规范附录B采用 ！ 7.3.】。3  ？曝，光机、？。涂布机等工》艺设备应满足生产厂！商，对设：备支承部位的—动态刚度标》准值：要求：。 ：