7.3【  微振《动控：制标准 — 《 7：.3.1  —有微振控制》要求的工《艺设备应由制—造厂：商提供？设备台？座处的振动评价方】法，、微振动控制—标，准及要求 【 7.3.【2  有微振控制要！求的：工艺设备的支—。承面振动值应在相】应微振动标准—曲，线以下微振动标准曲！线，可按本规范》附录B采用 — 7.3】.3 ？。。。 曝光机、涂—布机等工艺设备应满！足生产厂商对设【备支承部位的动【态刚：度标：准值：要求 《