安全验证
: 4.4  【设,备配置? 》。 ?4.4.《1  生产》设备和辅助设—备,的选择?应符合现行国—家标准?电子工业洁》净厂房设《计规范?GB 504—72的有《关规定且宜》采用自动化》程度:高、耗能低、排放】少,。的设备 !4.4.2  阵】列、:彩膜和?成盒工序应采用玻】璃基板卡匣或—其他专用工装搬运产!品批量生产》线宜:采用全?。自动物料搬》送系统生产区—。采取多层《布,置方:式时跨?层生产?区之间的产品搬运】宜设置自动垂—直运输设《。备 : 《 4.4.3—  化学气相沉积和!物理:气相沉积设备安装】区域应配置洁净室专!用的检修起重设备 ! ,