？ 4.？。4  设备配置【 》 ， 4.4.1 】 生产设备和辅助】设备的选择应符合现！行，国家标准电子—工业洁净厂房—设计规范GB— 50472的【有关规定《且宜采用自动化【程，度高、耗能低、排】放少的？设备 —。 ：4.：4，.2  《阵列、彩膜和成盒】工序应采《用玻璃基板卡匣或】其他专？用工装搬运产—品批量？。生产线宜采用全【自动物料搬送系统生！产区采取多层布置】方式时跨层生产【区之间的产品—搬运宜？设置：自动垂直运输设备】 4.4！.，3  化学气—相沉积和物》理气相沉积设备【安装区域应配置洁】净室专用的检—。修起重设《备 ？