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4.4 【设,备配置?
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?4.4.《1 生产》设备和辅助设—备,的选择?应符合现行国—家标准?电子工业洁》净厂房设《计规范?GB 504—72的有《关规定且宜》采用自动化》程度:高、耗能低、排放】少,。的设备
!4.4.2 阵】列、:彩膜和?成盒工序应采用玻】璃基板卡匣或—其他专用工装搬运产!品批量生产》线宜:采用全?。自动物料搬》送系统生产区—。采取多层《布,置方:式时跨?层生产?区之间的产品搬运】宜设置自动垂—直运输设《。备
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4.4.3— 化学气相沉积和!物理:气相沉积设备安装】区域应配置洁净室专!用的检修起重设备
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