4.4  ！设备配置《。 【 4.4.1  生！产设备和《辅助设备的选择【应符合现行》。国家标准电子—工业洁？净，厂房设计规范—GB 50472】的有关？规，定且宜采《。用自动化程》度高、耗能低、排】放少的设备》 《 4.4.2【  阵列、彩膜和成！盒工序应采用—玻璃基板卡匣或其他！专用工装搬运产品批！量生产线宜》。。采用全自动物料搬】送系统生产区采取多！层布置？方式：时跨层生产》区之间？的产品搬运宜设置自！动垂：直运输设备 ！ ：4.4.3 — 化：学气相？沉积和物理》气相：沉积设？备安装区《域应配置洁净—室，专，用的检？修起重设备》 ：