： 4.4  设】备配：置 — ？4.4.1  生产！设备：和辅助？设，备的：选择：应符合现《行国家标《。准电子工《业洁：。净厂房设计规范G】B 5047—2，的有关规定且—宜采用自动化—程度高、耗能低、】排放少的设备—。 4.4！.2  阵列、彩】膜和：成盒：工序应采用玻璃【基板卡匣或其他【专用工装搬》运产品批《量生：。产线宜采用全自【动物料搬送系统【生产区采取》多层布置方式时【跨层：生，产区之间的产—品搬运宜设》置，自动垂直运输设备 ！。 《 4.4.》3  ？化学气相沉积和物理！气相沉积《设备安装《区域应配《置洁净室《。专用的检修》起重设备 —