4》.4  设》备配置？ 4！.4.1  生产】设备和？。辅助设备《的选择应符合现【行国家标准电子工】。业洁净厂房设计【规范GB 50【472的有关规定】。且宜采用自》动，化程度高、耗—。能低、排放少的【设备：。 》 4.4.2  】。阵列：、彩膜和成盒工【序应采用玻璃基【板卡匣或其》他，专，用工装搬运产—品批量生《产线宜采《用全自动《物料搬送系统—生产区采取多层【布置方式时跨—层生产区之间—。的，产品搬运《宜设置自动垂直【运输设备 — 4.4.3！。 ， ，化学气相沉积和物】理，气相沉？积设备安《装区域应配置洁净室！专用的检修起—重设备 》