4.4  ！设备配置 》。。。 ： 《 4.？4.1？  生产设备和【辅助设备《的选择应符合现【行国家标准电子工】业，洁，净厂：房设计规范GB 】。5，0472的有关规定！。且宜采用自动—化程度高、耗—能低、排放少的设备！ ： 《4.4.2》  阵列、》彩，膜，和成盒工序》应，采用玻璃基》板卡匣？或其他专用工装【搬运产品批量—。生产线宜采用—全自动物《料搬送系《统生产区采取多层】布置方式时跨—层生：产区之间的产品【搬，运宜设置自》。动垂直运输》设备 — ， 4.4.3—  化学气相沉【积和物理气》相沉积设备》安装区域《应配：置洁净室专用的检修！起，重设备 》