《4.4  设备【配置 【 4.》4.1  生产【。设备和辅助设—备的选择应符合【现行国家《标准电子工业—。洁，净厂房设计规范G】B ：50472的有关规！定且宜采用》自，动化程度高、耗能低！、，。排放少？的设备 —。 4.4.2 ！ 阵列？、彩膜和成盒工【序应采？用玻璃基板卡—匣或其？他专：用工装搬运产品批】量生产线宜》采用全自动物—料搬送系统生—产，区，采取多层布置方式】时跨层生产区—之间的？产，。品搬运宜设》置，自动垂直运输—设备 4！.4：.3  化》学气相沉积》和物理气《相沉积设备安装【区域应配置洁净室】专用的检修起—重，设备 《