， 2 》 术 ？。。 ，  语 — 》2，.，0，.1：  薄？膜晶体管液》晶显：。示器  thin ！fil？m tran—sistor— li？q，uid c》rystal 【dis？pla？。y，(TFT-LCD】) 【    使用薄【。膜晶：。体管：作为：控，制像素？开关采？用有源矩阵直接驱动！像素方式的液晶显示！器 — 2.0.2  全！自动物料搬送系【统    au【tomate—d mate—ri：al h《andling 】system(【AMH？S) 】 ， ，。。  在一个》过程或逻辑动作【系统中一系列相【。关的自动《化设备及装置—协调、合《理地对？。。物料进？行移：。动、储存或控制的】系统 》 2.0.3 ！ 玻璃基板  【  glas—s subst【r，ate 】。     由—表面极其平整—的薄玻璃片构成的】液晶显示器件的【。基本部件 ！ 2.0《.4：。  阵列    】a，r，ray —    — 在玻璃基板—上通过成膜、光刻】、刻蚀等半》导体工艺技术制作有！规则排列的》特定薄膜《晶体管(开关—器件)阵列以—形成：数据线、存储电容和！信号线？的工艺 ！2，.0.？。5  彩《膜   《 color fi！lt：er(C《。。F)： —    在》透明基板《上依规则排列红、】绿、蓝三基色的图】形只能使所需要的色！光通过的《滤，光片又称彩色滤色】片， 2.0！.6 ？ 成盒    ce！l，l 【    将已—制备好？的薄膜？。晶体管液《晶显示器阵列玻璃】基板和？。彩色滤光片玻璃基】。板，组装到一起》使两块玻《璃基：板之间充有液晶材料！加上：适应的电场》即可进行图》像显示的液》晶盒(屏)的工艺】过程 ？。 》2.0.7  空】间管理   — space 【manageme】nt 《     】为，。有，效利用？空间、缩短工—作流：程对大到整个厂区】。。的建筑物布局—、地下？管线：规划小到一》栋建筑物内部—各个专业间的配【置协调而进行的【设计 ？。 2.0】.8  干法刻蚀 ！ dry etch！ing 《process【 ？ ：    《 在气相中对—基板表面、被蚀刻】物质进行刻》蚀的方？法 —。 2.0.9  】等离：子体增强化学—。气相沉积  pla！sm：a enhanc】。e，d， che《mi-cal va！po：r dep》osition(】PECV《D) 【 ，  ：  利用等离子【体的活性促进反应能！在较低温度》下进行化学气相沉】积法的反应 【