， 2  —术，    语 ！ ： 2.0.—1  薄膜晶体【管，液，晶显：示器 ？ ，。thi？n film 【transi—stor liqu！id cr》yst？al displa！y(TFT》-LCD)》   】  使用薄膜晶体管！作为：控制像素开关—采用有源矩阵—直接驱动像素方式的！液晶显？示器 】2.0？.，。2  全自动物料搬！。送系统？    a》utomated】 mat《eri？al handli！ng syst【em(？AM：HS) 》   —  在一个过—程，或，逻辑动作系》统中一系《。列相关的《自动化设备及—装置协调、合理地】对物料进行移—动、储存或控制的】系统： 2【.0.3 》 玻璃基板    ！glass s【ubstrate】 ：     】由，。。表面：极其平整《。的，薄，。。玻璃片构成的液晶】显，示器件的基》本部件？ 》。 2.0.》4  阵列   】 array 】 ？   ？  在玻璃基—板上通过《成，膜、光刻《、刻蚀等半》导体工？。艺技术制作有规则】排列的特《定，薄膜晶体管(开关器！。件)阵？列以形成《数据线、存》储电容和信》号线的工艺 ！ 2.0.—5  彩《膜  ？  color 】filt《er(CF》。) 《 ：     在透明基！板，上依规则排》列红、绿《、蓝三基色的图形只！能使所需要的色光通！过的滤光片又称彩】色滤色片 》 《 2.0.6—  成盒    】cell 】     将已】制备好的薄膜晶【。体管液？晶显示器阵列—玻璃基板和彩色滤】光片玻璃基板组装】到，一起：使两块玻璃基板之】间充有液晶材料加上！适应的电《场即可进行图—像，显示的液《。晶盒(屏《)的：工艺过程 】 ， 2.0.7  空！间管：理  ？  space 】man？agement ！ ：     为有效！利，用空间、缩短工【作流程对大到整个厂！区的建筑物布局、地！下管线规划小到【。一栋建筑物内部各】个专业间的配—置协：调而进行的》设计 】2.0.8 — ，干法刻？。。蚀 ：。 dry etc】hing pr【ocess》   】 ， 在：气相中对基板表【面、被蚀刻物质【进行刻蚀的方法 】 2—.0.9《 ， 等离子体增强化学！气相沉积  —plasma— enhanced！ chemi-ca！l vap》or deposi！tion(PECV！D) 【     》利用等？离子体的活性促【进反应能在较低温】度下进行化学气相】沉积法的《反应：。 ：