?
,附录:C 测试方法
】
】
,C.1 空—气洁净度等级测【试
【
C.1.1【~C.1《.8 为了方便】实施本节《的相:关要求在《本条文?说明中列入2个空】气洁净?度等级计算实例供】参考
【
:。 (1)—空气洁净度等—级计算例1
!
本例】摘自国际标准—洁净室及相关受【。控,环境: 第4《部,分设计、施工、启动!ISO? 14644-1附!录D中?的例2?。是为了说明95%】置信度?上限值计算》对结果的影响
【
】 规定?一洁净室空气—悬浮粒子洁净度动】态时为IS》O,。。3,级采样点《数目定为5个由【于采:样点:数目多于1》个少于10个—应计算95%置信】。度上限值
》
!只选择一种粒径【限值(D≥0—.1μm)》。
— 《 1)IS】O3级、《粒径大于或等于0.!1μm的粒》子浓:度限值Cn(0.1!μm)=《1000个/—m3
?
【 ? ?2)在各采样点仅采!。样一次各点每—。。。。立方米?的粒子数目X记【录,见表4
《
表—4 采样》。点粒子?数
?
】
,
: : D=0.1μm时!各粒子浓《度值小于(1)【中规定的限值—。这个结果满》足了分级的相关规定!因此可进《行95?%置信度上》限值的计算
!
【 ?3)按公《。式计算总《平均:值
【
》
取800》。个/m?3
—
—。 ?。4,)按公式计算—。采样点平均值的标】准,偏差
》。
?
》
?。。 》 ,6)所有单》次采样量的粒子浓度!均,低,于规定的分级限【值但:。。是95%置信度上】。。限值的计算》表明该洁净室的【空气:悬浮粒子洁净—度不符合规定的【。级别
》
【本例说明《一个单次采样的【限值外低粒子浓度】(即第?5个采样点)—对95%置信度【上限:值计算?。结果的影响》因,为空:气洁净度未达标【。是由于该《95%置《信度上?限值造成的》而这一上限》值是由?。单个的低粒子浓度值!造,成因此应记录、【分析造成低粒子浓度!的可疑因素由相【关各方协商认—可
】 (2)空【气洁净度等级计【算例2
【
? 被《测洁净?。室(区?)面积为10—00m2空气—洁净度等《级为I?SO5级规》定受控粒子粒径为0!。.3μm(》D1)、0.5【μm(D2)根据】测试结?果确定在《动态下?是否符合规定的【悬浮粒?子允:许浓度限《值
:
— 《 1)规—定,的粒径均《在现行标准ISO】5,级粒径范《围并符合D2—≥1.?5D1的要求
【
【 2)】计算最?。大,允许悬浮粒子浓度】
—。 , 对】。大于或等于0.3μ!m的粒子
—
!。
《 ,选用采样量》为28L/min的!粒子计?数器这一选》择满足VS>2L】、,Cnm>20—个/m3的》要求其采样时—间大于或等》于,1min
》
:
,
: 【 5)在每个采【样点仅作一次采样(!。28L/min)测!试得到的《计,数记录见表5
!
表5 — ,计数表?(一)
《
》
》。
,
?
《。 (6)以测】试数据折算为—每立方米的粒子数(!Xi:)见表6
!
表6 计—数表(二)
【
》
,