C.1.1～C.1.8  为了方便实施本节的相关要求，在本条文说明中列入2个空气洁净度等级计算实例，供参考。

    (1)空气洁净度等级计算例1：

    本例摘自国际标准《洁净室及相关受控环境  第4部分：设计、施工、启动》ISO 14644-1附录D中的例2，是为了说明95％置信度上限值计算对结果的影响。

    规定一洁净室空气悬浮粒子洁净度动态时为ISO3级，采样点数目定为5个。由于采样点数目多于1个，少于10个，应计算95％置信度上限值。

    只选择一种粒径限值(D≥0.1μm)。

        1)ISO3级、粒径大于或等于0.1μm的粒子浓度限值：Cn(0.1μm)＝1000个／m3。

        2)在各采样点仅采样一次，各点每立方米的粒子数目X记录见表4。

表4  采样点粒子数

    D＝0.1μm时各粒子浓度值小于(1)中规定的限值。这个结果满足了分级的相关规定，因此可进行95％置信度上限值的计算。

        3)按公式计算总平均值。

取800个／m3。

        4)按公式计算采样点平均值的标准偏差。

        6)所有单次采样量的粒子浓度均低于规定的分级限值，但是95％置信度上限值的计算表明，该洁净室的空气悬浮粒子洁净度不符合规定的级别。

    本例说明，一个单次采样的限值外低粒子浓度(即第5个采样点)对95％置信度上限值计算结果的影响。因为空气洁净度未达标是由于该95％置信度上限值造成的，而这一上限值是由单个的低粒子浓度值造成，因此应记录、分析造成低粒子浓度的可疑因素，由相关各方协商认可。

    (2)空气洁净度等级计算例2：

    被测洁净室(区)面积为1000m2，空气洁净度等级为ISO5级，规定受控粒子粒径为0.3μm(D1)、0.5μm(D2)。根据测试结果确定在动态下是否符合规定的悬浮粒子允许浓度限值。

        1)规定的粒径均在现行标准ISO5级粒径范围，并符合D2≥1.5D1的要求。

        2)计算最大允许悬浮粒子浓度：

        对大于或等于0.3μm的粒子：

    选用采样量为28L／min的粒子计数器。这一选择满足：VS＞2L、Cnm＞20个／m3的要求，其采样时间大于或等于1min。

        5)在每个采样点仅作一次采样(28L／min)，测试得到的计数记录见表5：

表5  计数表(一)

    (6)以测试数据，折算为每立方米的粒子数(Xi)，见表6。

表6  计数表(二)