附录C 】 测试方法
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》。
C.1 】 空气洁《净度等级测试
!
C.【1.1~C》.1.8《。。 为了方便—实施本节的相—关要求在本条文说】。明中列入2》个空气洁净度等级】计算实?例供参考
》
【 (1)空气洁】。净度等级计》算例1
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? 本》例,摘,自,国际标准洁》净室及相关受控环境! 第4部分设【计、施工、》启动ISO》 ,14644-—1,附录D?中的例2《是为了说明95%置!信度上限值计算【对结果的影》响
! 规定一洁净【室空气?悬,浮粒:子洁净?度动态时为ISO3!级,采样点数目》定为5个《由于采样《点数目?。多于1个少于—。10个应《计算95《%置信度上限值
!
】只选择一种粒—径限值(《D≥0.1μm)
!
,
?
,。 — 1?)ISO《3级、粒径》大于或等于0.1μ!m的粒子浓度—限值Cn(0.1μ!m):。=1000个/m】3
?
:
: 【 ,2)在各采样点仅采!样一次各点每立方米!的粒子数《目X:记,录见表4
》
》表4 采样—点粒子数
【
】
》。D,。=0.1μm时各粒!子浓度值小》。于(1)中规定的限!值这:个结果满足了分【级的相关规》定因此可进行9【。5%置信度》上限值的计算
【
?
【 3)》按,。公式:计算总平均值—
,
《
》。
取800个【。/m3
! 》。 4)按公【式计算采样点—平均值的标准—偏差
?
—
】 :。 : 6)?所有:。单次采样量的粒子浓!度均低于规定—的,分级限值但是95%!置信度上限值的计】算表明该《洁净室的空气悬【浮粒子洁净度不【符合规定的级别
!
《 本例—说明一个单》次采样的限值外低】粒子浓度(即第5】个采样点)对—95%置《信度上限值计算结果!的影响因为空气洁】净度未达标是由于该!。95%置信度—上限值造成的而【这一上限值是由单】。个的低?粒,子,浓度值造成》因此应记录》、分析造成》低粒子浓度的可疑因!素由相关各方协【。商认可
》
,
(】2)空气《。洁净度等级计算例】2
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, 被测洁净】。室(:。区,)面积为1》000m2空气【洁净:度等级为ISO【。5级规定《受控粒子《粒,径为0?.3:μm(D1)、0】。.5μm(》D2)根据测试【结果:确定:在动:态下是否《符合规定的》悬浮粒子允许浓度限!值
《
:
【 1)规定的粒】。径均在现行标准I】SO5级粒径范围并!符合:D2≥1.5D1】的要求
】
— 2)》。计,算最大允许悬—浮粒子?浓度
?
【 《 对大于》或等于?0.3μm的粒子】
:
!
选用采样!量为2?8L/mi》n,的粒子?计数器这一选择满足!VS>2L、—Cnm>20—个/m3的要求【其,采样时间大于—或等:。于1mi《n
【 , 《 , :5)在每个》采样点仅作一—次采样?(28L/min)!测试得?。到的计数记录见表】5
表5! 计数《表(一)
!
!
— (6)以—。测试数据折算为【每立方米的粒子数】(Xi)见表—6
?
表6 】计数表(二)
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》