《附录:C 测《试方法
】
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C.—1 ?空气洁净度等级【测试
《
—C.1.《1~C.1.8 !为了方便《实施本节《的相关要求》在本条文《说明中列入》2个空?。气洁净度等级计算实!例供参考
!
》(1)空气洁—净度等级计算例1
!
— 本《。例摘:自国际标准洁净室及!相关受?控环境 第—4部分设《计、:施工、启动ISO !14644-1附】录D中的《例2是为了说明95!%置:信度上限值计—算对结果的影—响
《
— ,规,定一洁净室空气悬】浮粒:子洁:。。净度动?态时为ISO3级采!样点数目《定为5个由于采【样点数目多》于1:个少于10个应计算!95%置信度—上限值
》
,
【只选择一种》粒,径限值(D≥0.】。。。1μm)
【
《 — ,1)ISO》3级:、粒径大于或—等于0.《1μm的《粒子浓?度限值?Cn(0《。.1μ?m,。)=:1000个/—m3
《
,
— 2)【在各采样点仅采【样一次各点每立方米!的粒子数目X记录】见表4
《。
表4 】。 采样?点粒子数
】。
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】 D=》0.1μm时各粒】子浓度值《小于(1)中规定】的限值这个结果【满足了分级的—相关规定因此可【进行9?。5%置信度上限值】的计算
》
,
《 3】)按公式计算—总平均值
》
!
:取800个/—m3
】 ? 4)按公!式计算采样点平【均值的标准偏—差
:
,
,
【
? , 》 6:)所有?单,次采样量的粒子【浓度均?低于规定的》分级限?值但是95%置信】度上限值的计算【表明该洁《净室的?空气悬浮粒子—洁净度不符合规定】的级别?
— 本例说明一!个单:次采:样的限值外》低粒子?浓度(即第》5个采样《点)对?95%置信》度上限值计算—。结果的影响因为【空气洁净度未—达标是由于该—95%置《信度上限值造成的而!这一上限值是由单个!的低粒子浓度值造成!因此应?记录:、分析造成低粒子】浓度:。的可:疑因素由相关各方协!商认可
—
? (2)空气!洁净度?等级计算例2
!
? 被测洁净】室(区?)面积为10—00:m2空气洁净度等级!为ISO5》级规定受控粒子粒】径为0.3μm【(D1)、0.5μ!m(D2)根据测】。试结果确定在—动,态下:是否符合规定的【悬浮粒子允许浓【度,限值:
》
? —1)规定《。的粒径均在现行【标准ISO5—级粒:。径范围并符》合D2≥1.5【D1:的要求
《
! 2》)计:算最:大允许悬《浮粒子浓度
!
《 》 对大于《或,等于:0.3μ《m的粒子《
】
— 选用采样量为】28L/min的粒!子计:数器这一选择满足】V,S>2L、C—nm>20个/m】3的要求其采—样时间大于或—等于1m《in:
】 》 5)在每个—采样点仅《作一次?采样(28L/mi!n)测试得到的【计数记?。录,见表5
!。表5: 计数表(一【)
【
【。
:
《。 (6)—以测试数据折算为每!。立方米的《粒,子数:(Xi)见表6
】。
表6 】。 计数表(二)
】
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