附录C 】 测试?。。方法
【
C—.1 空气洁【净度等级《测试
》
C.【1.1~C》.1.8 》 为了方《便,实施本节的相关要】求,在本条文说明—中,列入2个《空气洁净度等级计】。算实例?供参考
《
》 ? (1)空气—洁净度等级》计算:例1
【。
》。本例摘自《国际标准洁净室【及相关受控环境 】 ,第4:部分设计、施工【、启动ISO 14!644-1附录D】中的例2是为了说】明95?%置:信度上限《值计:。算对结果的影响【
《
规定】一洁净室空气—悬浮粒子洁净—。度动态时为ISO3!级采样点数目定为】5个由于《采样点数《目多于1个少于10!个应计算9》5%置信度上—。。限值
》
— 只选择一》种粒:径限值(《。D≥0.1μm【)
?
【 1)IS!O3级、粒径大于】或等:于0.1μm—的粒子浓度限值Cn!(0.1μm)【=,1000个/m3
!
?
? 2)!。在各采?样,点仅采样《一次各点《。每立方米的粒—子数:目X记?录,见表4
【
,
表4 采样点】粒子数
【
?
【 D=0.—1,μm时各粒子浓【度值小于(1)中规!定的限值这个结果满!足,了,分级的相关规定【因此可进行95%】置信度上限值的计】算
?
】 3)按【公式计?。算总:平均值?。。
,
》
,
取80】0个/m《3
《
《 4)!按公式计算》采样:点平均值的标—准偏差?
】
—。 《 6)所有单【次采样量的粒—子浓度?。均低于规定的分级限!值但:是95%《置信度上限值—的计算表明》该洁净室的空—气悬浮粒子洁净【度不符合规》。定,的级别
《
】 本例说明一个【单次采样的限值【外低:粒,子浓度(即》第5个?采样点?)对95%》置信度上《限值:计算结果的》影响因为《空,气洁净度未》达标是由于》该9:5%置信度上限【值造成的而这一上限!值是:由单个的低》。。粒,子浓度值造成因此】。应记录、分》析造:成低粒子浓度的【可疑因素由相—关各方协商认可
!
(!2)空气《洁净度等级计算【例2
】 被》。测洁净室《(区)面积为10】00m2空气洁净度!等级为I《SO5?级规定受控粒子【粒径为0.》3μm(D1—)、0.5μm【(D2)根据测试结!果确定在《。。动态下是否》符合规定的悬浮粒】。子允许浓度限值
!
! 1)规定的】粒径均在现行标【准ISO5级—粒径范?围,并符合D2≥1.5!D,1的要求
》
】 《 2)?。计算最大允许悬【浮粒:。子浓度
《
】 对大于】。或等于0.3μm】的粒:子
:
》
《。
,。
: 选用采—样,量,为28L/min】的粒子计数》器这一选择满足V】。S>2L、Cnm】>20个《。/m3的要求其【采样时间大于或等于!1mi?n
【 】。5)在?每个采样点仅—作一:次,。采样(28L—/min)测—试得到的计数记录见!。表,5
—
表5 》计,数,表(:一)
!
!
(6】)以测试数据折算】为每立方米的粒【子数(?Xi)见《表6
》
表6 计数!表(:二,。)
】
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