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附:录C ? 测试方法
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《C.1 空气洁】净,度等级测试
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C.1!.1~C.》1.8? , 为了方便实—施本节的相关要求在!本条文?说明中列《入2个空气洁净【度等级?计,算实例供参考—
【 (《1)空气洁》净,度等级?计算例1《
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《。
《 本例摘自国际标】准洁:净室及相《关受控环境 第4!部分设计、施工【。、启动I《S,O 14《644?-1附录D中—的例2是《为,了说明95%置信】度上限值计算对结果!。的影响
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— 规定一洁净室【空气悬浮粒子洁净度!动态时?为,ISO3级采—样点数目定为—5个由于《采样点数目多于1】个少于10个应【计算95%置—。。信度上限值
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【 只选择一种粒【径限值(《D≥0.1μ—。m)
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【 , 1:)ISO3级、粒径!大于或等于》0.1μm的粒子浓!度限值Cn(0.】1μm)=1000!个/m?3
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— , ? 2)在各采】样点仅采《样一次各点每立【。。方米的粒子数目【X记录见表》4
表】4 采《样点粒子数
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】。 D=?0.1μm》时各粒子浓度值小于!(1)中规定—的限值这个结—果,满足了分级的相关规!定因此?可进行95%置信】度上限值《的计算
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! 3)按【公,式计算总平均值
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取》。800个《/m3
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: :。 4【)按公式《计算采样点平均值的!标准偏差《
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: 6)!所,有单次采《样量的粒子浓—度均:低于规定的分级限值!但是95%置—信度上限值的—计算表明该》洁净:。室的空气悬浮粒子洁!。净度:。不符:合规定的级》别
【 , ?本例说?明一:个单次?采样的?。限值外?低粒子浓度(即第5!个采样点)对95%!置信:度上:限值计算《结果的影《响因为空气》洁净:度未达标是》由于该95%置信】度上限?值造成的而》这一上限值是—由单个的低粒—子浓度值《造成因此应记录、分!析造成低粒》子,浓度的可疑因—素由相?关,各方协商认可
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— , (?2)空气洁净度【等级计算例2
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!被测洁净室(区)面!积为1000—m2空气洁净度【等,级为ISO5—级规定受控粒子粒】。径为0.3μ—m(D1《)、:0.5μm(D2】)根据测试结—果确定在《动态下是否符合规】定的悬浮粒子—允许:浓度限值
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!。1)规定的》粒径均在现行标准】ISO?5级粒径范围并【符,合D2≥1.5【D1的要求
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:。 】2)计算最大—允许悬浮粒子—浓度
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!。对,大于或等于0.3μ!m的粒子
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【选用采样量》为2:8L/?。min的粒子计数】器这一?。选择满足《V,S>2L《、Cnm>20【个/:。m3的要求》其采样时间大于或】等于1mi》n
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】 5)在每【个采样点仅作一次】采样(2《8L/?min?)测:试得到的计数记录见!表5
】表5 计》数表(一)
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【。
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】。 (6)以测试】数据折算《为每立方米的粒子】数(Xi)见—表6
】表6 计数表【(,二)
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