安全验证
《附录C  测试方】。法 】 C.1—  空气洁净度等】级测试 】 , C.《1.1~C.1.8!  为?了方便实施本节的】相关要求在》本条文说明中列【入,2个空气洁净度等级!计算:实例:供参考 !    《(1:)空气洁净》度等级计算例1 】 : :     本例摘】自国际?标,准,洁,净室及相关受控环境!。  第?4,部分设计、施—工、启动《ISO 14644!-1附录《D中的例2》是为:了说明95》%置信?度上限值计算对结】果的影响 】  ? , , 规定一洁净室空气!悬,浮粒子洁净度动态时!为ISO3级采样】点数目定为5个由】于采样点数目—多于:1个少于10个应】计算95%置信度】。上限值 【     —只选择一种粒径限】值(D≥《0.1μm) 【。 :       !  :1)IS《O3级、《。粒径大于或等于【0.1μm的粒子浓!度限值Cn(0.】1μm)=1—000个/m3【   】      2)在!各采样点仅采—。样一次各点每立方米!。的粒子数目X—记录见表《4 表4! , 采样?点,粒子数? , : 【   《  :D=0.1μm【时各粒子浓度值【小于(1)中规【定的限值这个结果】满足了?分级的相关》规定因此可进行95!。%置信度上限值【的计算 —      】   3《。)按公式计算总平均!值 : 】 取《800个/m3 ! ,。      】   4)》按,公式计算采样点平均!值的标准偏差 【 】       !  6)所有单次】采样量的粒子浓度】均低于?规定:的分:级限:值但是95%置【。信度上限值的计算】表明该洁净室的空气!。悬浮粒子洁净—度,不,符合规定的级别 】 ?。     —本例说明一》个,单次采?样的限值外低粒子浓!度(即第5》个采样点)对—95:%置信度上》限值计算《结果的影《响因:为空气洁净度—未达标是由于该9】5,%置信度《上限值造成》。的而:这一上?限值是由《单个的低粒》子,浓度:值造成因此应记录】、分析?造成低粒子浓度的可!疑因素由《相关各?。方协商认可 】     (2!),。空气洁?净度:等级计算例2— —    被测洁净室!(区)?面积为100—0m2空气洁净度等!级为ISO5—级规定受控粒子粒】径为:0.3μm(D1】)、:0,.5μm(D2)根!据,测试结果确定—。在动态下是否—。符合规定的悬—。浮粒子?允许浓度限值 】 《     》   1)》规定:的粒径均在现行标准!ISO5级》粒径范围并》符合D2《。≥1.5D》1的要求《   】      2)】计算最大允许悬浮】。粒子浓度 】     —    《对大于或等于0.3!μm的?粒子 !。 ,     】选用采样量》为,28L/《min的粒子计数】器这一?选,择满足V《S>2?L、Cnm>20】个/m3的要求其】采样:时间大?于或等于1min】 《        ! ,5)在?每个采样点仅作一】次采样(28L【/min)测—试得到的计数—。记录见?表5 【 表5  计数表(!一) 【 ? ,。。 】   ?  (6《)以测试数据折【算为每立方米的【粒子数(Xi)见】表,6 —。 表6  计数表(!二,), 】