安全验证
C.8【。  密闭性测试 !。 , , C.8【.1  本节适用于!确认有无被污染的空!气从:相邻洁净室(—区):或非洁净室》(区)通过》吊顶、隔墙等表面】或门、窗渗漏入洁净!室(区)《适用于1《级至5级的》洁净室(区)进行测!试,可采:。用,光度计法和粒—子计数器法进行测试! ?。。 C.》8.2  采用【粒子计数器法时【测量被评《价表面的洁》净室(区)外部的】空气中悬《浮粒:子,浓度应大于洁—净室(?区)内的浓》。度,104的《倍数并应《至,少大:于或等?于,3.5?×10?6/m3《;其空气中悬浮粒】。子浓度不符合要【求时应添加》气溶胶提高浓度 !     】粒子计数《器,扫描时仪器应距【离洁净室(区—)内待测试的接缝】密封处?或啮合面《5cm~10cm;!扫描速度应为5【。cm/s对敞—开的门廊《处的测试应在距【离洁:净室(区)内敞【开的:门0.?3,m,~3.0m处—检测空气中悬—浮粒子浓《度 【C.8.3  采用!光度计法测量洁净室!(区)内侧被评【价表:面的:空气中悬浮粒子浓】度在光度《计0.1%档的【设定:值时光度《计的读?数超过0.01【%即确认存》在渗漏并应》做记录 》