C.—8 ?密闭性测试》
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C.?8.1 本节【适用于确认有无【被污染的《。空气从相《邻洁净室《(区)或非洁—。净室(区)通—过吊顶、隔墙等表】面或门、窗》渗漏入洁净》室(区)适用于1级!至5级的洁净室(区!)进行测试可采用光!度计法?和,粒子计?。数器法进《行测试
!C.8?。.2 采用—。粒子计数器法时测】量被评价表面—的洁净室(》。区)外部的空—气中悬浮粒》子浓度应大于洁【净室(区)内的【浓度1?04的?倍数并应至少大于或!。等于3.5×10】。6,/m3;其空气中】悬浮粒子浓度不符】合要求时应》添加:气溶胶提高浓度
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!粒子:计数器扫描时仪【器应距?离洁净?室,(,区):内待测试的接缝密封!处或啮?合面5?cm~10c—m;扫描速度应【为5cm/s对敞开!的门廊处的测—试应在距离洁净室】(,区)内敞开的门0.!。3m~?3.0m处检测空】气中悬浮粒子浓度】
—C.8.3》 采用光度计法测!量洁:净室:(区)?内侧被评价表面的空!气中悬浮粒》子,浓度在光度计0.】1%档的设定值时】光度计的读数超【过,0.01%即—确认存在渗漏并应】做,记录
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