安全验证
C.8【。  密闭性测试 ! C【.8.?。1,  本节适用于确认!有无被污染的空气从!相邻:洁净室?(区)?或非洁?净室(区)通—过吊顶?、隔墙等表面—或门、窗《渗漏入洁净室(区)!适用于1《级至5?级的洁净室(区)进!行,测试可采用》光度计法和》粒子计数器法—进行测试 【 C.》8.2?  采用粒子计数】器,法时测量《。被,评价表面的洁净室(!区)外?部的空气中悬浮粒子!浓度:应,。大于洁?。净室(区)内的【浓度104的倍数】并应至少大于或等于!3.5×10—6/m3;其空【。气中悬浮粒》子浓:度不符合《要求时?。。。应添加气溶》胶提高浓度 — 《    《 ,粒子计数器》扫描时仪器》应距离洁净室(【。区)内待测试的【接缝密封处或啮合】面5:c,m~1?0c:m;扫?描速度应《为5:cm/s对敞开的】。门廊:处,的测:试应在距离洁—净室(区)内敞开】的门0.3m~3.!0m处检测空气【中悬浮粒子浓度 ! , C《.8.3  采【用光度计《。法,测量洁净《室(区)内侧被【评价表面的》空气中悬浮粒子浓】。度在光度《计0.1%档的【设定:值时光度计的—。。读数超过《0.01%》即确认存在渗—漏并:应做记录 —