C.8 !密闭性测试
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C.【8.1 本—节适用于确》认,有无被污染的空气】。从,相,邻洁净室《(区)或非洁—净室(区)通过【吊顶、?隔墙等表《面或门、窗渗漏入】洁净室?(区)适用于1级】至5级的洁》净室(区《。)进行?测试可采用光度计】。法和粒子《。计数:器法:进,行测试
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C.8.2 】 采:用粒子?计数器法时》测量被评价表面【。的洁净室(区—。),外,部,的空气中悬浮粒子浓!度应大于《。洁,净室(?区)内的浓度10】。4的倍数并应至少】大于或等于》3.5×《106/m3—;其空气《中悬浮粒《子浓:度不符合要》求时应添加气溶胶提!高浓度
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《 粒子计数器扫描】时仪器应距离—洁净室(区)内待测!试的接缝《密封:处或:啮合面?5,cm~10》cm;?扫描:速度:应为5cm/s【对敞开?的门:廊,处的测试应在距离洁!净室(区)内敞【开的门0.3m~3!.,0m:处检:测空气?中悬浮粒子》浓度:
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C.8.】3 采用光度计】法测:量,洁,净室(区)内侧被评!价表面的空气中悬浮!粒子浓度在光—度计0?.1%档《。。的设定值时光度计】的读数超过0.0】1%即确认存在渗漏!并应做记录
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