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C:.8 ?。 ,密闭性测《试
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C.8.1 【 ,本节:适用于确认有无【被污染的空气从相】邻洁净室(》区)或非洁净—室(区)《通过吊顶、隔墙等】。表面或门、窗渗漏】入洁净室(》区)适用于1级【。至5级的洁净—室(区)进》行测试可采用光度】计法和粒子计数器】法进行测试
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C.8】.2 采》用粒:子计数器法时测量被!评价表面的》洁净室(区)—外,部的空?气,。中悬浮粒《子浓度应《大于洁净室(区【。。)内的浓度1—04的倍数并应至少!大于或等于3.5】×106/m3;】其空气中悬》浮,粒,子,。浓度不符《合要求时应添加气】溶胶提高浓》度
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粒子【计数器扫《描时:仪器应距离洁—。净室(?区)内待测试—的接缝密《封处:或啮合面5cm【。~10cm;—扫,描速度应《为5cm《/s对敞《开的门廊处》。的测试应在》距离洁净室(区【)内敞开《的门0.3m—~3.0m处检【。测空气?中悬浮粒子》浓度
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C?.8:.3 采》用光度计法测—。量洁净室(区—),内侧被评《价表面的空》气中:悬浮粒子浓度在光】度计0.1%档【的设定值时光度【计的读数《超,过0.01%即【确,认存在渗漏并应做】记录
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