安全验证
C.8【  密?闭性测试 】 C.8.】。1  本节适用于】确认有无被》污,染,的空气从相邻洁净】。室(区)或非洁净】室,(区)通过吊顶、】隔墙等?表面或门《、窗渗?漏入洁净室(—区)适用于1级至5!级的洁?净室(区《)进行测试》可采用光《。度,计法和粒子计数器法!进行测试 — C.8.】2  采用粒子计】。数器:法时测量被评—价表面的洁》净室(?。区)外部的空气【中悬浮粒子浓度应大!于洁净室(区)内的!浓度104的—倍数并应《。至少大于《或等于3.5×10!6/m3《;其空气中悬浮粒子!浓,度,不符合要《求时应添加气溶胶提!高浓度?。 , , ? ,  :  粒子计数器扫】描时仪器应距离【洁净室(区)—内,待测:试的接缝密封—处或:啮,合面5cm》~10c《m;:扫描速度应为5c】m/s对敞开的【门廊处的测》试应在距《离洁净?室(区)内敞开的门!0.3m~》3.:。0m处检测》空气中悬浮粒子浓度!。。 C【.,8.3  采用光度!计法测量《。。洁净室(《区,),内侧被评价表面【的空气中悬浮粒子】浓,度在:光度计0.》1,%档的设《定,值时光度计的读数】超过0.01%即】确认存在《渗漏并应做记录 】 ,