14.1.1  洁净厂房工程施工完成后应进行验收，验收宜划分为竣工验收、性能验收、使用验收。

14.1.2  竣工验收应在分项验收合格后进行。

14.1.3  性能验收应在竣工验收完成后进行，并应进行检测。

14.1.4  使用验收应在性能验收完成后进行，并应进行测试。

14.1.5  洁净厂房验收的检测状态应分为空态、静态和动态。竣工验收阶段的检测宜在空态下进行，性能验收阶段宜在空态或静态下进行，使用验收阶段的检测应在动态下进行。