10.1.1  微振控制设施应与洁净厂房主体结构、动力公用工程、净化空调系统、排风系统等相关设施同步施工安装。

10.1.2  微振控制设施的施工应根据具体工程项目特点，并按微振控制设施的设计、测试和建造程序进行。