4．2》  精密设备—及仪器容《许振动值《 ， 4．2】．1  《电子工业、纳—米实验？室及理化实》验，室等所用精》密设备？。。及仪器的容许振【值即表4．2．1】所规定？的微振动标准—是一个？与国：际常用标《准接轨的容许—振动：标准该标准于—1983年由美国】BBN公《司提出即所谓的VC！曲线1993年【美，国环境科学技—术协会(I》nsti-t—ute of— Envi》ron？me：nta？l ：Sciences ！and Te—chnolo—gy)确认称为【IEST研究报告】由于：电，子工：业的飞速《发展设备《及工艺方法的—快速更新200【7年IEST—又导入了纳米技术采！用设备的容许振动限！值，。从而形成了一个比较！完，整的标准 】  ？   我《国自改革开》放以来电子工业发】展迅：速特别是在集成电路！、液晶显示器—、纳米技术、新能】源技术、激光技【术等方面建》成了一大批工—厂及实验《室同时由于》。产品更新而引—起的设备更新及【技术进步更》是日新月异这类【工程设计与建设都】。有防微振《技术需求其中—对于精密设备及仪器！的容许振《。动值的确《定几乎都采用IES！T标准而且》在工程建成投产【后均满足了》生产要求《因此可以《。认为采用该》标准是恰当的 ！   》 ， 表4．2．1【所列容许振》动值有如下特点 】 》  ：  (1《)由于精密设备及】仪器本身是一个多】自，由度：的复杂弹性》系统自？身具：有多个固有》振动频？率，及，阻尼比当《外界振动频率与【其固有振《动，频率相一致时系【统产生共振将影响】。其，正，常工：作，而，对于外界《。环，。境振动大量实—测及研究结果表明】是一：种随机振动过程本身！含有丰富《的，简，。谐振动频率》为了确保设备及仪】器，的正常工《作在：频域对外《。。界环：境振动幅值进行限制！。以，。。减弱因共振等振动影！响是较为科学的【因此表4．2．1】所列容许《振，动值：采用频域表达 【  —   (2)频【域采：用1／？3倍：频程带宽表示—这是因为对于—随，机振：动频谱采用1／【3倍：频程带宽来》描述带宽《振动的能量》是合适的同时设备制！造商提供的容—许振动值也》基本采用1／3倍】频程带宽表示— ：。     (！3)由于《随机振动能量分布在！较宽的频率范围内用！。峰值描述难以—反映随机振动特性】采用均方《。根值有利于数据的检！。验及比对因此表4．！2．1？中振动幅值采用均】。方根值 ！。    (4)在标！准产生的初期由于】当时的？设备及仪器对于小于！。4H：z的频段的振动不】敏感因此就不—考虑其振动影—响对于4《。。Hz：～8Hz频》段则反映《。对振动加速度—敏感因此采用振【动加：速度作？为控制？指标：。随着时间的推移电】子工业及以后—出，现的激光、纳米【技，术等工艺精度—越，来越高就需研—发精度更高的精密】设备及仪器这类【新研发的设》备及仪器自身带有空！气弹簧隔振装置而】它们的固有振动频】率，往往在1Hz～3】Hz：。为了防？止在这些《频，段的振动影响对【容许振动《值的频段范围延【至1Hz《也即提高了对—低频段的振动限值】要求 —。 4．2．2【  本条对实—验室用精密设—备及仪器的容许【振动值的规定沿用】了现行国《家标准？隔振设计规范GB】 504《63中的有关—规定 4！．2．3 》 本条明确了消【声室：和半消？声室容许振动加【速度值与这些—声学实验室所—要，求的本底噪》声级别有关对于要】。求本：底噪声级别低的(即！严格的)其容许【振动值也小对于这】类，声，学实验室《振动频？率限制在3》1．5Hz～5【00Hz《并按倍频程计—。。算 4】．，2．4  消声水池！是为声学《器件或声学装置进】。行水池声学实验的】一个建筑《设施根据《声学实验的要求需】对消声？水池壁及《池，。底的振动有所限【制其容许振动值在频！域衡量通常频率【下，限，都在400Hz【以上而对《于1000H—z以上的振动在土中！及结构中衰减较快可！以忽略？因，此取频段《4，。0，。0，Hz：～1：000Hz范围是】可行的 》