安全验证
4.2》。  精密设备及仪器!。容许振?动,值 《 4《.2.1  电【子工业、纳米实【验室及理化实—验,室等所用精密设备】及仪器的容许—振,值,即表4.2》.,1所规定的微振【动标准是一个与国】际常用?标准接轨的容许振】动标准该《标准于?1983年由美国】BBN公《。司提出即所谓的【VC曲线1》99:3年美国环境—科学技术《协,会(Insti【-tut《e of 》Env?iron《ment《al: S:cience—s an《d T?e,chnology】)确认称为IEST!研,究报:告由于电《子工业的飞速—发展设备及工艺方法!的快速更《。新200《7年IEST又【导入了纳米技—术采用设备》的,容许振动限值从而形!成,了一个比较完—整的标准 !    《。 ,我国自改革开放以来!电,子工:业发展迅速特—别是在集成电路、】。液晶显示器、纳【米技术、《新能源技术》、激光技术等—方面建成《。了一:。大批工厂《及实验室同时由于产!品更新而引》。起的设备更》新及技术进步更【。是,日新:月异这类工程设【计与建设都有防微振!技术需求其中对于】精密:设备及仪器》的,容许振动值的—确定几乎都采用【IEST标准而且在!工程建?成投产后均满足了生!产要求因此可以认为!采用该标准是恰当】的  】   表4.—2.1所列容—许振动值有如—下,特点  !   (《1)由于精密设【备及仪?器本身是一》个多:自,由度的复《杂弹:。性系统自身具有多】个固有振动频率及】阻尼:比,当外界振动频率与】其固有振动频率相】一致时系统》产生共振将影—响其正常工作而对于!外界环境振动大量】实,测及:研究结果表明是一种!随机振动过程本身含!有丰富的《简谐振动频率—为了确?保,设备及仪器的—。正常工作在频域对外!界环境振《动幅值进行限制以减!弱因共振等》振,动影响是较为—科学的因《此表4?.2.?1所列容许振—。。动值采用频域表达 ! 》    (2)频域!采,用,1/3倍频程带宽】。。表示这?是因为对于随机振动!频谱采用1/—3倍频程带宽来描】。述带宽振动的—能量是合适》的同时设备制造商】提供的容许振动值也!基本采用1/3倍频!程带宽表示 】。     【(,3,)由于?随机振动能量分布在!较宽的频率范—。围,内用峰?值,描述难?以反映?随机振动特性采【用,均方根?值有利?于数据的检验及比对!因此:表4.2.》1中振动幅》。值采用均方根—值 —。     (4)】在,标准产生的》初期由于《当,时的设备及仪—器对于小《于4Hz《的频段的振动不【敏感因此就不考虑其!振动:影响对于4Hz【~8Hz《频段则反映》对,振动加速度》敏感因此采用振动】加速度作为控制指标!随着时间的推—移电:子工业及以》后出:。现的激光、纳米技】术等工?艺,精度越来越高就需】研发精度更高—的精密?设备及?。仪,器这类新研》发,的设备及仪》器自身带有空气弹】。簧隔振装置》。而它们的固有振【动频率往往在1【Hz~3Hz为了防!止在这些频段—的振动影响对容【许振动值的频段范】围延至1H》z也即提高了对低频!段的振动《限,。值要求 【 , 4.2.2  本!条对实验《室用精密《设备及仪器》。的容许振动值—的,规定沿用了现行国家!标准隔振设计规【范GB 504【。63中的《有关规定 !。 4:.2.?3  本条明确了消!声室和?半消声室《容许:振动加速度值与这】些声学实验室所要求!的本底噪《声级别有关对—于要求本底噪—声级:。别低的(即严格【的):其容许振《动值也小对》于这类?声学实验室》振动频率限制在31!.5:。Hz~500—。Hz并按倍频程【计算 ? 《 ,4.2.4  消声!水池是为声学器件或!声学装置进行水池】声学:实验的一个建筑设】施根据声学实验【的要求?需对消声水池—壁及池底《的振动有所限制【其容许振动》值在频域《衡量:通常频率下限都在4!00Hz以上而对于!1000Hz以【上的振动在土中及结!构中衰减较快可以】忽略因此取频—段40?0Hz~10—00:Hz:范围是可行的— :