。 4．2  精】密设备及仪器—容许振动值 ！ 4．《2．1  电子工】业、纳米实验室及理！化实验室等》所用精密设备—及仪器的《容许振值即》表4：．，2．1所规定—的微振动标准是一】。个与国际常用标【准接轨的容许振动标！准该标准于1983！年由美国BBN公司！提出即所谓的V【C曲线？1993年》美国环境科》学技术协会(I【nsti《-tut《e of 》Environme！ntal Scie！nces an【。d Tec》hnolog—。。y，)确：。认称为IES—T研究？报告由于电》子工业的《飞速发？。展，设备及工艺》方法的？快速更？新2007年—IEST又导入了】纳米技术采用—设备的容《许振动限《值从而形成了一个】比较完整的标准【 ？ ， ，。   ？  我？国自改革开放—以来电子工业发【展迅速特别是在【集成电路《、液晶显示器、【纳米技术《、新能源技术—、激光技术等方面】建成了一大批工厂及！实验室同时》由于产品更新而引起！的设：备更新及技术—进，步更是日新月异这】类，工程设计与》建设都有防微—振技术需求其中对于！精，密设：备及仪？器，。的容许振动值—。的确定几乎都采【用I：EST标准而且【在工程建成投产后均！。满足了生产要求因此！可以认？为采用该标准是恰当！的   ！  表4．2．【1所列容许振—动值有如下》特点 《。   —  (1)》由于精密设备—及仪：器本身是一个—多，自由度的复杂弹【性系统自身具有【多个固有振动频率】及，阻尼比当外》界振动频率》。与，其，固有振？动频率相一》致时系统产生—共振将影响其正【常工作而对于—外界环境振动—大量实？测，及研究结果表明是一！种随机振《动过程本身含有丰富！的简谐振动频率为】了确保设备及仪【器，的，正常工作在》频域对外界环境振动！幅值：进行限制以减弱因共！振等振动影》响是较为科学的【因此表4．2—．1所列容许振动】值采用？频域表达 》 ：。 ？    (》2)频？域采用1／》3倍频程带宽表示这！是因：为对于随机振动频】谱采用1／3—倍，频程带宽来描述带宽！振动的能量是合【适的同时设备制【造商提供《的容许？振动值？也基本采用1—／3倍频程带宽表】示 【   ？。 (3)由于—随机振动能量分【布在较宽的》频率范围内用—峰值描？述，难以反映随机—振动特性《采用均方根值—有利于数据的—检验：及比：对因此？表4．2．1—中振动幅值采用均方！根值 》   》  (4)在标准产！。生的初期由于—当时的设备及仪器对！于小于4H》。z的频段的》振，动不敏感《因此就不考》虑，其振动？影响对于4Hz～8！。Hz频段则反—映，对振：动加速？度敏感因此采—用振动加速度作为控！制指标随着时间【的，推移电子工业及以】后出现的激》光、纳？。米技术等《工艺精度越来越【高就需研发》精度更？高的精密设备及【仪器这类《新研发的设备及【仪，器自身带有空气弹簧！隔振装置而它们【的固有振动频率【往，往，在1Hz～3H【z为了防止在这些频！段的振动《影响对容许振动值】的频段范围延—至1Hz《。也即提高了对—低频段的振动—限值要求 》。 ， ： ：4．2．2 — 本条对实验室用】精密设备及仪器【的，。容许振动值》的规定沿用》了现行国家》标准隔振设计规范】GB 504—。63中的有关规【定 【4．2．3》  本条明确了消】声，室和半消声室容许振！动加速度《。值与：这些声学实验室所要！求的本底噪声级别有！关对于？要求本？底，噪，声级别？低的(？即严格的)其容许】振，动值也小《对于：这类声学实》验，室，振动频？率，限制在31》．5Hz～5—00Hz并按—倍频程计算 — ， ， 4．2．4】  消声水池是为】声学器件或声学装】置进行水池声学【实验的一个》建筑设施根据声学】实验的要《求需对消声水—池壁及池底》。的振动有所限制其容！许振：动值在频域衡—量通常频率》下限都在《400Hz以上而对！于1000Hz以上！的振：动，在土中及结构—中衰减较快可—以，忽略因此取频段【40：0Hz～1》000？Hz范围是》可行的 》