4．2  精密！设备及仪器容—许振动值《 《 4．2．1  ！电子工业、》。纳米实验《室及：理化实验室等所【用精密设备及仪器的！容许振值即表4．2！．1所规《定，的微：振，动标准是一个—与，国际常用标准接【轨的容许振动—。标准该标准于19】83：年由美国B》。BN公司提出即所谓！的V：。C曲线？19：93年美国环境【科学技术《协会(In》sti-tu—te of —Envi《ro：。n，m，ent？a，l Scienc】es and T】echnology！)确认称为IES】T研究报告》由于电子工业的【飞速发展设备及【工艺方？法的快速更新2【0，0，7年IE《ST：。又导入了《纳米技术采用设备】的容许？振动限值从而形成了！一个：。。比较完整的标准 ！。 《   ？ 我国自改革开【放以来电子》工业发展迅速特【别是在集成电路、液！晶显示器、纳—米技术、新能源技术！、激光技术》等方面？建成了一大批工厂及！。实验室同《时由于产品》更新：而引起的《设备更新《及技：术进步更是日新月异！这类工程《设计与建设都—有防微？振，技术需求《其中对于精》。密设备？及仪器的容许—振，动值的确定几乎都】采用I？。EST标准而且在】工程建成投产后均】满足了生产》要求因此《可以认为采用该【标准：是恰当的 ！    《 ，表，4．2．1》所，列容许？振动值有如下特点 ！。 ： ，   《  (1)由于精】密设备及仪器本【身，是一个多自》由度的？。复杂：弹性：系统自身具有多个固！有振动频率及阻【尼比当外界》振动频率与其固有振！动频率相一致时【系统产生共振将【。影响其正常工作而】对于：外界环境振动—。大量实测及研究【结果表明是一种【随机：振动过？程本身含有》丰富的？简谐振动频》率为了确保设备【及仪器的正常工作在！频，域对外界环境—。振，动幅值进行》限制以减弱因共【。振等振动影》响是较为科学的因此！表4．？2．1所《列容许振《动值：采用频域《表达 ？ ：     (2！)，频域采？用1／3倍频程带】宽，表示这是《因为对于随机振【动频谱采《用1：／3倍频《程带宽来描述带【宽振动的能量—是合适？的同时设备》制，造商提供的容许振】动值也？基本：采，用1／？3倍频程带宽—表示 ？ 《。     (—3)由于《随机振动能量分布在！较宽的频率范围内】用，峰值描述难》以反映随《机振：动特性采用均方根】值，有利于数据的—检验：及比：对因此表4．2．】1中振动幅值采用】均方根值 —     】(4)在标准—产生的初期由于当】。时的设备及仪器对于！小于4H《z，的频段？的，振动不敏感因—此，就不考虑其振动影响！对于4？。Hz～8H》z频段则反》映对振动加速—度敏：感因：此采用振动加速【度作为控制》指标随着时间的推移！电子：工业及以后出—现的激光、纳米技术！等工艺精度》越来越高就需研【发精：度更高的精密设备及！仪器这类新研发的设！备及仪器自身—带有空气《弹簧隔振《装置而它们》的固有振《。动频率往往》在1H？z，～3：Hz：为了防止在》这些频段的振动【影响对容《许振动值《的频段范围》延至1Hz也即提】高了对低频段的振】动限值要求》。 》 4．2．2  本！条对实验室用—精，。密设备及仪器的容许！振动值？的规：定，沿用了？现行国家标准—隔振设计规范GB ！5046《3，。中的有关规定— 《 4．2．3 】 本条明确》了消声室《。和半：。消声室容许振动加速！度值与这《。些，声学实验室所要【求的：本底噪？声级别有关对—于要求本底噪声级别！低的(即严格的【)其容许振动值也】小对于这《类声学实验室—振动频率限制在【31：．5Hz《～500H》z并按倍频程计【算 ？ ： 4．2．4【  消声水》池是为？声，学器件或声》学装置进《行水池声学实验【。。的一个？。。建筑：设施根据声学实验】的要求需对消—声水池壁及池—。底的振动有所限【制其容许振动—值在频域衡量通常频！率下限都在40【0Hz以上而对【于1000Hz【以上：的振动在土》中及结构中衰减【较快可以《忽略因此取频段40！0H：z～1？000Hz范围是可！行的 《