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4.《2  精密设备【及仪器容许振动【值 》 , 4.2.1  】电子工业《、纳米实验》。室及理化实验室等所!用,精密设备及》仪器的容许》振值即表4.—2.1?所规定的微振动【标准是一个与—国际常用《标,准接轨的容许振动标!。准该标准《于1983年—由美国B《B,N公司?提,出,即所谓的VC—曲线1993年美国!环境科学技术—协会:(,Inst《i-:t,ute of— Environ】mental Sc!i,en:ces a》nd: Te?chnology】)确:认称为IEST研究!报告由于电》子工业?的飞速发展设备及工!艺方法的《快速更新200【7年IE《。S,T又导入了纳米技术!采,用设备?的容许?振动限值从而形【成了一个比较完【整的标?准   !。  我?国自改革开放以来电!子工业?。发展迅?速特:。别是在集成电路、】液晶显示器》、纳米技术、新能源!技术、激光技术【等方面建《成,了一:大批工厂及》实验室同时由于产】品更新而《引起的设备》更新及技术进步更】是日新月异这—类工程设计》与建设都有防微振】技术需求其中对【于,精密:设备:及仪器的容许振动值!的确定?几乎都采《用I:EST标《准而且在工程建成投!产后均满足了—生,。产要求因此可以认】为采用该标准是恰】当的 】  :。  表4.2.1所!列容许振动》值有:如下特点 》 :    — (1)由于精密】设备及仪器本身是一!个多自由度的复【杂弹性系统》自身具?有多:个固有振《动频:率及阻尼比》当外界振《动频:率与:其固有振动频率【。相一致?时系统产生共振【将影响其《正常:工作而对《于外界环境振动大】量实测及研究结果】表明是一种随机振动!过,程本身含有丰—富的简谐振动频率为!了确保设备》及仪:器的正常工作在频】域对外界环境振【动幅值进行限制以减!弱因共振等》振,动影响是较为科学】的因此表4.—2.1所《列容许振动值采用频!域表达 》     】(2)频域采用1/!3倍:频程带宽《表示这?是因为对于随—机振动频谱》采用1/3倍—频程带宽来描—。述,带宽振动的能量【是,合,。。适的同时《设备制造商提供的】容许振动值也基本】采用1/3倍频程】。带宽表示 》   【  (3)由于随机!振动能量分布—在较宽的频》率范围内用》峰值描述难以反映随!。机振动?特,性采用均方根—值有利?于数:据的检验及》比对因?此表:4.2?.1中振动》幅值:采用均方根》。值 ? 《。。    (》4)在标准产生【的初期由《。于当时?的设备及仪器对于】小于4Hz》的,频段的振《动不敏?感,因此:就不考虑其振动【影响对于4Hz【~,8Hz频段则—反映对振动加—速度:敏感因此采用振动加!速度作为控》制指标?随着时间的推移电子!工业及以后出—现的激光、纳—米技术等工艺精度】。越来越?高就需研发》精度:。更,高的:精密设备及仪器这类!新研发的设》备及仪器自身带有空!气弹簧隔振装置【而它们的《固有振动频率往往在!。1Hz?。~3:Hz为了防止在【这,些,频段的振动影响对容!许振动值的频—段范围延至1H【z,也即提高了对低频段!的振动?限,值要求 》 《4.2.2  【本条对实验室—用,精密设备及仪器的】容许:振动:值的规定《沿用了现行国家标准!隔振设计规范GB】 504《63:中的有关规定 】 ? ,4.2.3  【本条明确《了,消声室和半消—声室:容许振动加》速度值与《。这,些声学实验》室所要求的》本底噪声级别有关对!于要求本《底噪声级别》低的(即《严格的?)其容许振动—。值也小对于这类【声学实验《室振动频率限制在】31.?5Hz~50—0Hz并按倍—频程计算 【 4.2.【4  消声水池是】为,声学器件《或声学?装置进行水池声学实!验的:一个建筑设》施根据声《学实验的要求需对消!声水池壁及池底【的振动有所限制其】容许振动值在—频域衡量通常频率】下限都在400Hz!。以上而对于1—000H《z以上的振》动在土?中及:结构中衰减较快可】以忽略因此取频段】400Hz》~100《0Hz范围是可【行,的, :