:4.2 《 精密设备及—仪器容许振》动值
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4.》2.1?。 电子《工业、纳米实—。验室及理化实验【室等所用精》密,设备及仪器的容许】振值即表4》.2.1所》规定的微《振动标准是一个【。与国际常用标准【接轨的容《许振:动标准该标准于19!83年由美》国BBN《公司提出即所谓的V!C曲线1993年美!国环境科学技术协会!(Inst》i-tute of!。 Env《。ironme—nta?l :Sci?e,nces《 and Tech!n,。ology)确【认称为IEST【研究报告由于电子工!业的飞速发展设备】及工:艺方法的快速—更,新2007年I【EST又导入了纳】米技术采用设备【的容:许振动限值》从而形成了一个比】较完:整的标准
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》 我?。国自改革开放以来电!子工业发展迅速【。特别:是在集成电》路、液晶显》示器、纳《米技:术,、新:能源技?术,、激光技术等—方面建?成了一大《批,工厂及实验室—同时由于产品—更新而引起的设【备更:新及技术进步更【是日新月异这类【。工程:设计:与建设都有》防微振技术需求【其,中对于精《密设备?。及仪器的容许振动】值的确定几》。。。乎都采用IES【T标准而且在—工程:建成投产后均—满足:了生产要求因此可】以认为采用》该标准是恰》当的
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表4!.2.1《所列容许振动值【有如下特点
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《 (1)由于【精,密设:备及:仪器本身是一—个多自由度的复【。。杂弹性系统自身【具有多?个固有振动频率及】阻尼比当外界振【动频:率与其固《有振动频率相—一致时系统》产生共?振将影响《其正常工《作而对于外界环境振!动大量?。。实测及研究结果表明!是,一种随机振》动过程本身含有丰】。富的简谐振》动频率?为了确保《设备及仪器的正常】工作在频域对外界环!境振动幅值进—。行限制?以减弱因共振等振】动影响是较为科学】的因此?表4.2.1所列容!许振动值采用—频域:表达
! (2)频域采!。用1/3倍频程【带宽表?示这是因为对于随机!振动频谱采》用1/?3,倍频:程,带宽来描《述,带宽振动的能—。量是合?。适,的同时设备制造商提!供的容许振动值也基!本采用1《/3倍频《程带宽表示
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(3!)由于随机振动【能量分布在较—宽的频?率范:围内用峰值描述【难以反映随》机,振动特性采》用均:方,根,值,有利于数据的检验】及比对因《此表:4.2.1中振动】幅值采用均》方根:值
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— (4)》在标准产生》的初期?由于当?时的设备《及仪器对于小于4】H,z的频段的振动不敏!感因此就不考—虑其振动影响对【于4Hz《。~,8Hz频段则反映对!振动加速度敏—感因此采用》振动:加速度作为》控制指标随》。着时间的推移—电,子工业及以后出现的!激光、纳米》技术等工艺精度越来!越高就需研》发精度更高的—精密设备及仪器这类!。新研发的《设备:及,仪器自身带有—空气:弹簧:隔,振装置而它们的固有!振动频率往往在1H!z~3?Hz为了防止在【这些频段的振动影响!对容许振动》值的频段范围—延至1?Hz也即提高—。了对低频段的—振动限值《要求
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?4.:2.2 本—条对实验室用—。。精密设?备及仪器的》容许振动值的规定】沿用了?现行国家标准隔振设!计规:范G:B 50463中】的有:关规定
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4.?2.3 本条明】确了消声室和半【消声室容许》振动加速度》值与这?些声:学实验室所要求的】本,。底噪声级别》有关对于要求—本底噪声级别低的】(即严格的)其容】许振动值也小对于】这,类声学?实验室振动频率【限,制在31.》5Hz~5》00Hz并按—倍,频程计算
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4.2.4— , 消声水池》是为声?学器件或《声学装置进行水【池声学实验的—一个建?筑设施根据声学【实验的?要求需对消声水【池壁及池底的振动】有所限制其容—。许振动值在频域【衡量通常频率下限】都在40《0Hz以上而对【于1000Hz以上!。的振动在土中及【结构中衰减较快可】。以忽略因《。。此取频段400Hz!~,1,。000Hz范围是】可行的
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