4．《2  精密设备及】仪器：容许振动值 】。。 ： 4．2．》1  电子》工业：、纳米实验室—。及理化实验室等【所用精密设备及【仪器的？容许振值即表4．2！．1所规定的微振】动标准是《一个与国际常—用标准接《轨的容许振动—标准该标准》于1983》年由美国BBN【公司提出即所谓的】VC曲线19—。93年？美国环境科学技术】协会：(Insti-tu！te o《f E？nvir《onmen》tal Scien！ce：s and》 Technolo！gy)确认称为I】EST研究报—告由于电子》工业的？飞速发展设备及工艺！方，法的快速更新—2007年I—E，ST又导入了—纳米技术采用设备】的容许振动限—值从而？形成：了一个比较完整的标！准 《     我国！自改：革开放以《来电子工业发展迅速！特别是在《。集成电路、液晶显示！器、纳米技术、【新能：源技术？、，激光技术等方—面建：成了：一大批工《厂及实验室同—时由：于产品更新》而引起的设备更新】及技术进步更是日】新，月异：这类工程设》计与建设都有—防，微振技术需求其中对！于精密设备及仪器】的容许振动值—的确定几乎都采用I！EST标准而—且在工程建成—投产：后均满？。足了生产要求—因此可以认为—采用该标准是恰【当的 》  《   表4．2【．1所列容许—振动值有如下特点】。 —    (1)由于！。精密设备《及仪器本身是一个】多自：由，度的复？杂弹性系统自身【具有多个《固，有振：动频率及阻尼比【当外界振动频率【与其固有振动频率】相一致时系统产生】共振将影响》其正：常工作？而对于外界环境【振动大量实》测及研究结果表【明是一种随机振动过！程本：身含：有丰富的简谐—振动频率为了确【保设备及仪器的正常！工作在频域对—。外，界环：境振动？幅，值进行限制以减弱因！共振等振动影—响，是较为科学》的因此表4．2．1！所列容？许振动值采用频域】表达 ？    】 (2)频域采【用1：／3倍频程带宽【表示这是因为对于】随机振动频谱采用1！／3倍频程带宽来描！述带宽振动的能【量是合适的同时设备！制造商提《供的：。容许振动《值也基本采用1／3！。倍频程带宽表示【 ， ：  《  ： (3)由于—随机振动能量分【布在较？宽的频率范围内用】峰值描述难以反映】随机振动特》性采用均方根值【有，利于数据的检—。验及：比对因此表4．2．！1中振动幅值采用】均方：根值 】 ，   (4)在标准！产生的初《期由于当时的设【备及仪器对于小于】。4Hz的频段的振动！不，敏感因此就不—考虑其振动影响对于！4H：z～8Hz频—。段则反映对振—动加速度《敏感因？此采用振动加速【度作为控制指标随】着时间的推移—电子工业及以后【出，现的激光《、纳米技《术等工艺精度越来越！高就需？研，发精度更高的精【。密设备及仪器这类】新研：发的：设备：及仪：。器自身带有空气弹簧！隔振装置而它们【的固有振动频—率往往在《1Hz～3H—z，为了防止在这些【频段的振动》影响对容许振—动值的频段范围延至！1Hz也即》提高了对低频段的】振动限值要求 【 》4．：2．2  本—条对实验室》。用精：密设备及仪》器的容许振动值【的规定沿用了—现行国家标》准隔振设计》规范GB《 50463中【的有：关规定 】 4：．2．？3  本条明—。确了消声《室和半消声室容许振！动加速度值与这【些声学实验室—所要求的本底—噪声：级别：有关对于《要求本底噪声级别低！的(即严格》的)其容许振动【值也小对《于这类？声学实验《室振动？频率：限制在31．5H】z，～500Hz—并，按倍频程计算 ！ 4．2—．4：  ：消，声，。水池是为声学器件】或声学装置进行水池！声学实验的一个建】筑设施？根据：声学实？验的要求需》对消声？水池壁及池底的【振动有所限制其容】许振动值在》频域衡量通常频率下！限都：在400Hz以【上而对于100【0Hz以上》的振：动在土中及结构中】衰，减，较快可以忽略因此取！频段4？00Hz～1000！Hz范围是可行的 ！。 ，