8．5  精】密设备及《。仪器隔？振工程施工质量验】收 《 ，。 8．5．1 】 隔振工程施—工质量验收应包括】。防微：振基台？、空：气弹簧隔振装置【及主动控制隔振装置！的工程施工质量【验收 8！．5．2  —洁净厂房精》密设备防微振基【台的施工质量—应，符合下列规定 】 ：     1【  应？结合厂房结构的土】建误差安《装防微振基台； ！ ？    《 ，2  应在防微振】基台周围设置隔振】。缝缝宽宜为》10mm～15m】。m，； 》 ：    3》  ：防微振基《台台板下设置隔振】器时应计算工艺【设，备安装后隔》振器的压缩量安【装完成后的》台板顶面《标高应满足工—艺设备的使用要求】；，  【   4  防微振！基台台板下》无隔振器时台—板应与支撑系统【刚性连接 】 ， 8．？5．3  防微【振基台工程》的施工质量》检，验标准应《符合表？8．5．3的—规定 《 表8．5．！3  防微振基台】工程的施工》质量检验标准 ！ 》 ， 8．5．4 ！ 空气弹《簧隔振？。装置：的质量？检验标准应符—合表8．《5．4的规定 】 表8．5】．4：  空气弹簧隔【振，装，。置，的质量？检验标？准 ？ 】 【 8．5．5—  主动控制隔振】装置的质量检验【标准应？符合表8．5．【5的规定 】 表？8．5．5 — 主动控制隔—振，装置的质量检验标】准 — 》。 ， ：   【  注主动》隔振装置安装精【度应符合主动控【制隔振？装置供应商在—技术规格书中的【具体要求但不应低】于本规范要求— ， ，