8．5  精】密设：备及仪器隔振工程】施工质？量验收？ ？ 8．5—．1  隔振工程施！工质量验《收，应包括防微振基台、！空气弹簧隔振装【。置及主动控制隔【振装置的工程施工】质量验收 】 8．5．—2  ？洁净厂房《精密设备防微—振基台的施工质量应！符合下列规》定， 》     1  】应结合厂《房结构？的土建误差》安装防微振基台【；   ！  2  应在防微！振基台周围设置隔】振，缝缝宽宜为》1，0mm～1》5mm； —    【 3  《防微振基台台—板下设置隔》振器时应计算工艺设！。备安装后隔振器的压！缩量安装完成后的】台板顶面标高应【满足工艺设备的使用！要，求；： —   ？ 4  防》微振基台《台板下无隔》振，器时：台，板应：与支撑系统》刚性连接 】。。 ， 8．5．》3 ：。 防微振基台—工程的施《工质量检验》标准：应，符合表8．5．3】的规定 ！表8．5．3  】。。防微振基台》工，程的施工质量检【验，标准 《 ， ： ， 》 8．？5．4 《 空气弹簧》隔振装置《的质量检验标准应符！合表8？．5．？4的：规定 》 表8．—5．4  》空气弹簧隔振装置】的质量检验》标准 【 【。 》 8．5．》。5  主《动控制隔振》装置的质量检—验标准应符合—表8．5《。．5的规定 —。 》表8．5《．5 ？ 主动控制隔振装】置的质量检验标【。。准 ！ — ，     注主！动隔振装置安—装精度应符合主动控！制隔振装置供应商】在技术规格书—中的具？体，要求但不应》低于：。本规范要《。。求 ？