8．《5，  精密设备—及仪器隔振工—程施工质量验收 ！ ， ： 8：．5．1  —隔振工程《施工质量验收应【包括防微《振基：台、空气弹簧隔【。振装置及主动控制】隔振装置的》工程施工质量—验收 】。8．5．2 — ，洁净厂房精密设备防！微振基台的施—工质量应符合下列规！定 ：   【  1  应—结合厂房结构的【。。。土建误差安》。装防微振基》台； 【     2  】应在防？微振基？台周围设置隔振缝缝！宽宜为10m—m～15《mm； ！   ？ 3  防》微振基台台板下设置！隔振器时应计算工艺！设备安装后隔振【器的压缩量安—装完成后的台板【顶，。面标高应满足—工艺设备的使用要】求； 》 ？ ，。   4  —防微振基台台—板下无？隔振器时台板—应与支撑《系统刚性连》接 《 8．5—．3  防微振基台！工，程，的施：工质量检验标准应符！合表：8．5？．3的规定 ！ 表？8．：5，．3  防微—振，。基台：工程的施工质量检验！标准 ！ 8．5．！4  空气弹簧隔振！装置的质量检验标准！应符合表《8．5．4的—规定 《 ： 表8．》5．4  空气弹】簧隔振装置的质【量检验标准 — 》。 ！ ？8．5．5  主】动控制隔振装置的】。质量检验标准应【符合表8．5—．5的？规定 【 表8．5．5  ！主动控制隔振装【置的质量检验标【准 《 ？ ， 》    ！ 注主动隔振—装置安装《精度应？符合主动控制—隔振装置供》应商在技术规—格书中的《具体：要求：但不应低于本规【范要求 》