8．5 —。 精密设《备及仪器隔振工程施！工质量验《收 【8．5．1  隔振！工程施工质》量验收应包括防微】振基台、空》气，弹簧隔振装置及主】动控制？隔振装置《的，工程施工质》量验收 《 8．【5．2  洁净厂房！精密设备防微振基】台的施工质量应符合！下列规定《 ，     ！1  应结合厂【房结构的《土建误差安装防微振！基台；？   】  ：2，  应在防微—振基台周围》设置隔振缝缝宽【宜为：10mm～15m】m； 【   ？  3  防微振基！台台板下《设置隔？振器时？应计算工艺》设备安？装后：隔振器的《压缩量？安，。装完成？后的台板顶面—标，高应满足工艺设备】的使用要《求； — ：    4  防】微振基台《台，板下无隔振器时台板！应与支撑系统刚性】连接 》 8．5—．3  防》微振基台《工程的施工》质量检？验标准应符合—表，8．5？．3的规定 】。 表8．5【．3  《防微振基台》工程的施工质—量检验标准 】 】 8．5．4 【 空气？弹，簧隔振装置的质量】检验标？准应符合表》8．5．4》。的规定 】。 ，表8．5．4  空！气弹簧隔振装置的质！量检：验标：准 ！ — 8．5【．5  主动—控制隔振装置的质量！检验标准应符合表8！．5．5的规定【。 表【8．5．5  主动！控制隔振装置的【质量检验《标准 — ？ ？  ！   注主动隔振装！置安装精《。度应符合主动—控制隔振装置供【应商在技术规格书】中的具体要求但不应！低于：。。本规范要《求 ？