。 8．5  精】密设备？及仪器隔振工程施工！。质量验收 ！ 8．5．》1  隔振工程施工！质量验收《。应包括防微振基台】、空气弹《簧隔振装置》及主动控《制隔：振装置的工》程施工质量验收 】 《 8．5《．2  洁净厂房精！密设备？防微振基台的施工质！。量应：符合下列规定 】  》   1  应结合！厂房结构的》土建误差安装—防微振基台》； —     2  】应在防微振》基台：周围设置隔》振缝缝宽宜为1【0m：m～15mm；【 ？ ？ ，。   3  防【微，振基台？台板：下设置隔振器时【应计算工艺》设备安？装后隔振器的压缩】量，安装完成后的台板】顶面标？高应满足工艺—设，。备的使用要求； 】 ， ，   》  4  防微振基！台台板下无隔振器时！台板应？与支撑系统刚性连】接 《 8．5．3 ！ 防微振基台工程】的施工？质量检验标准应符】合表8．《5．：3，。的，规定 【 表：8．：5．3  防微振】基台工程的施工质】量检验标准》 【 《 ，8．5．4  【空气弹簧《隔振装置的质量检】验标准应《符合表8．5．4】的，规定 》 表8．5．】4，  空气弹》簧隔振装置的质量】检验标？准， 【 】 8．5．【5  ？主动控？制隔振？装置的质量检—验标准应符合表8】．5．5的规—。定 【表，8．5．5  主动！控制隔振装置的质】量检验标准 【 ！ ： 》    注主动【隔振装置安》装精度应符合主动】控制隔振装》置供应商《在技术规格》书中的具体》。要求：但不应？低于本规范要—求， ：