8．5》。  精密设备及仪器！隔振工程《施工质量验》收 【8，．5．1  隔【振工：程施工质《量验收应包括—防，微，。振基台、空气—弹簧隔振装》置及主？。动控制隔振装置【的工程施工》质量验收 》 《 ，8．5．2 — 洁：净厂房精《密，设备防？微振基台的施—工质量应符》合下列？规定 】    1》  应结合厂—房结构的土建误差】安装防微振》基台； 【 ，     2  应！在防微振基台—周围：设置隔？振缝缝宽宜》为10mm～15m！m； 》。    — 3  防微振基台！台，板下设置隔》振，器时应计算》工艺设备安装后隔振！器的压缩量安装【完成后的台》板，顶面标高应满足工艺！设备：的，使，用要求； —    【 ，4  防微振—。基台台板下无隔振】器时台板应》与支撑系统》刚性：。连接 】8．：5，。．3： ， 防微振基台工程】的，施，工质：量检验标准应符【合，表8：。．5．3《的规定 】 表8．5．3 】 防微振基台工程】。的施工质量检验【标准 — 《 8．5．4！  空气弹簧隔【。振装置的质》量检：验标准应符合表8．！5．4的规定 】 表8．【5．4 《。 空气弹簧隔振【。装置的质量检验【标准 】 ？ ！8．5．5》  主？动控：制隔振装置的质【量，检验标准应符合表8！．5．？5的规定《 》。 表：8．：5．5  主动控制！隔振装置的质—量检验标《准 《 《 ？ ？ ？。     —注主动隔振装置安装！精度应符合主动控制！隔振：装置供？应商在技术规格【书中的具体要—求但不？应，低于：本规范要求》 ：