8．5》  精密设备—及仪器隔振工程【施工质？量验收 — ？8．5．1  【隔振工程施工质量验！收应包括《防微振基台、空气弹！簧隔振装置及主【动控制隔振装置的】工程：施工：质量验收 — 8．5．2！  洁净厂房精【密设备防微振基【台，的施工质量应符合】下列规定 ！     1  】应结合厂房》结构的土建》误差安装防微振基】台； 》    — 2  应在防微振！基，台周围设置隔振缝缝！宽宜为10》m，。m～15mm—； 《    — 3  防微振基台！台板下设《置隔振？器时应计算工艺设】备安：装后：隔振器的压缩量【安装完成后》的台板顶面标高【应满足工艺设备的】使用要求； 】     【。4，  防微振》基台台板下无—隔振器？时台板应与支撑【系统刚性连接 】 8．5【．，3 ： 防微振基》。台工程的施工—质量检验标准应【符合表8．5．【3的规定 》 《 表8．5．—3  防微振基【台工程的施》工质量检验标准 】 ！ 8．5．4  ！空气弹？簧隔振装《置的：质量检验标准—应符合表8．—5，。．4的规定 【 表8．5．！4  空气弹簧【隔振装置的质量检验！标准 ！ ！ 8．《5．5  主动控】制隔振装置的质量】检验标？准应符合表8．5】．5的规定 — 》表8．5．5 【 主动控制隔振装置！的质：量，检验标准《 《 ：。 ，。 ？ 】。  ： ， 注：。。主动：隔振装置安装—。精度应符《合主动控制》隔振装？置供应商在技—术规格书中的具体】要求但不应低于本】。规范要求 》 ，