1 【总 《 则
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1.0.》1 : 本条阐明了制【。定,本规范的目的随着】。电子、液晶显示器】、,。太阳能等行业的发展!其生产工艺》。中对于清洗用水及】配制各种溶液用水的!水质提出了更高【。的要求而《微电子行业》约有80%的工序】需要用超《纯水做清洗水质的】好,。坏与集成电》路产品的质量及【成品率的《高低有着很大的关系!集成:电,路产业发展到超【大规模集成电—路阶段?时水质更成为—提高:集成度的主要因素】为规:范电子?工,。业,纯水系?统安装工程的施工】管理:。统一工程《。施,工,。质量的验收保证【工,程质:量制定本规范—
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1.0.—2, 本条明确—了本规范《的适应?范围本?。规范的适应范—围是电子工业纯水系!统的安?装及:验,收它是以《微电子、液》晶,显示器、太》阳能等行业的—各类:纯水系统安》装的实践经验—为,。基础制定的电子工】。业,其他行业的纯水【系统的?安装及验收可参照】本规:范执行?
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《 同时近年来—作,为节水措施》发展起来的纯—水回收系统》也是收集生产工艺】及水处理单元的【优质排水再采—用,部分合适的处理【装置处理后作为纯水!系统的一部分原水再!加以利用此类回【收系:统也作为电子—工业纯水系》。统的一部《分,包含在本规范内
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1.—0.3 本条强调!了纯水?系统的施工及—变更应?执行、遵照的—原则明?确了责任的主—。体工:程施工是《让设计意图》变为实物但施工【现场的情况复杂施】工图纸可能》存在:与现场实际不相符的!情况需要《修改图纸要修改图纸!应有设计单位的正】式变更手《续这是工程质量的】重要保证
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1.0.4 !电子工?业纯水系统工程安装!及,验收涉及的设备【、专业的工程技【术较多国家现行【标准:已有规定的应—执行相关标准的【规定本规范不再【重复本规范只对电】子工业纯水系统工】程安装?及验收的特殊要求作!出了新的规》定,因此本条文》明确了除应执行本】规范的?规定外?尚,应符合国家现行的有!关标准、规范的【规定这?里所述的国》家现行有关》标准是指现》行的国?家标准和《行业标准中的标准】、规范?、规程的统称
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