1》 总 《 : 则:
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:。1.0.1 本条!阐明了制定》本规范的目》的随:着电子、液晶—显示器?、太阳能等行业的发!展其生产工艺—。中对于清洗用水及】配制各?种,溶液用水《的水:质提出了更高—的要求而微电子行业!约有80%的工序】需要用超纯水—做清洗?水,质,的好坏与集》成,电路产品的质量及】成品率的高低—有着很大的关—系集成电路产业发】展到超大规模—集成电?路阶段?时水质更成为—提高集成度的—主要因素为规范电】子工:业纯水系统》安,装工:程的施工管理—统一工?程施:工,质量的?验收保证工》程质量?制定:。本规范
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1.0.2】 本条明确了本规!范的适应《范围本?规范的适应范—围是电?。子工业纯水系统的安!装及验?收它是?以微电子、液—晶显示器、太—。阳能等行《业的各?类纯:水系统安装的—实践:经验为基础制—定的:电,子工业其他行业【的纯水系《统的安装及验收【可参:照本:规,。范执行
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同【时近年来作为—节水措施发》。。展起来的纯水—回收系统也是收集】生产工艺及水处理单!元的优质排水再采用!部分合?适的处理装置处【理后作?为纯:水系统的一部分【原水再加以》。利用此?类回收系统也作【为电子工业纯水系】。统的一部分包含在】本,规范内
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1.0【.3 《。本条强调《了纯水系统的施【工,及变更?应执:行、遵照的原则明确!了责:任的:主体工程施》工是让设计意图变为!。实物但施工现场的情!况复杂施《工图纸可能存—在与现?场实际不相符的【情况:需要:修改图纸《要修改图纸应有设】计单位的正》式变更手续这是【工,程,质量的重要保证
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:1.0.4 — 电:子工业纯水系—。统工程安装及验【收涉及的设》备、专业的工程技术!较,多,国家现行标准已【有规定的应执—行,相关标准的规定本】。规范不再重复本规范!只,对电子工业》。纯水系统《工程安?装,及验收的特殊—。要求作出了新的规】定因此?本条:文明确了除》应执行本规》范的规定外尚应【符合国家现》。行的有关《标准、规范的规定这!里所述的国家现【行有关标准是—。指现行的国家标准】和行业标准中的标准!、规:范、规?程的统称
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