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1 总 !则
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1.0.1】 本条阐明—了,制定本?规范的目《的随着电子、液晶】显示器、《太阳能等行业的发】展其生产工艺中【。对于清洗用水及【配制:各,种溶液用水的水【质提出了更高的【要求而微电子行业】约有80%》的工序需《要用超?纯水做?清洗水质的好坏与集!成电路产品的—质量及成品率的高】低有着?很大的关《系集成电路产业发展!到超大规模集—成电路阶《段时水质更成为提高!集成度的主要因【素为规范电子工【。业纯水系统安装工程!。的施工管《理统一工程施工质量!的验收保证工程质量!制定本?规范
】1.0.2》。。 本条明确了本】规,。范的适应范围本规】范的适应《范围是电子工—业纯水系统的安【装及验收它是以【微电子、液晶显【示器、太阳能等行业!。的各类纯水》系统安装的实践【经,验为基础制定的【电子工业其他行【业的纯水系统的安装!及验收可参》照,本规范执行
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同时近!。年来作?为节水措施发展【起来:的,纯水:回收系统也是收【集生产工艺及水处】理,单元的优质》排水再采用部分【合适:的处理装置处理后作!为纯水系统的一部】分原水再加以—利用此?类回收系统也—作为电子工》业纯水系统的一部分!包含在本规范内【
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1.0.!3 本条强调【。了纯水系《统的施?工及变?更,应,执行、遵《照的原?则明确了《责,。任的主体工程施工】是让设计意图变为】实物但?施工现场的》情况:复杂施工《图纸可能存在与现场!实际不相符的情况】需要修改图纸—要修改图《纸应有?设计:单位的正式变更手】续这:。是工程质《量的重?。要,保证:
1【。.0.4 —电子工业纯水系【统工程安装及验收】涉及的设备、专业】的工程技术较多国家!现行标准已有—规定的应执行—相关标准的规定【本规:范不再?重,复本规范只对电子】。工业纯水系统工程】。。安装:及验收的特》殊要求作出了新的】规定因?此本条?文明确?了除应执行本—规,范的规定《。。外尚应符合国家【现,行的有?关标:准、规范的规定这】里所述?的国家现行有关标】准,是指现行的国—家标准和行业—标准中的《标准、规《范、规?程的:统称
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