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1 总 — : 则
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1.0.【1 : 本条阐《明了制定本规范的】目的随着电子—、液:晶,显示器、太阳能等行!业的发展其生产工艺!中对于清洗用水及配!制各:种溶液用《水的水质提出了更】高的要求而微—电子行业约有80】。%的:工序需要用超纯【水做清?洗水质的好》坏与集成电路产品】。的质量及成》品率的?高低有着很大的关】系集成电路产业发】。展到:超大规模集成电路阶!段时水质更成为提高!。集成度的主要因【素为规范电子工【。业纯水系统》安装工程的》施工管理统》一工程施工质量【的验收保证工程【质量制定本规范【
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1.0.2— 本条明确了本规!范,的适应范围本规【。范的适应范》围是电子工》业纯水系统的安装】及验收它是以—。微电子?、液晶?显示器、太阳能【等行业的各类纯水】系统安装的实践【经验为基础制定【的,电子工业其他行业的!纯水系统的安装【及验:收可参照本规范执】。行
! 同时近年来作】为节水措《施发展起来的—纯水回收系统也是】收,集生产?工艺及水处》理单元的《优质排水再采用部分!合适的处理装—置处理后作为纯水系!统,。的一部?分原水再加以—利用此类回收系【统也作?为电子工《业纯水系《统的:一部分包含在本规】范内
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1.0《。.,3 本条强调了】纯水系统的施工及】变更应执《行、遵照的原则明】确了责任的主体工程!施工是让《设计意图变为实【物但施工现场—。的情况?复杂:施工图纸《可能存在与现场【实际不相《符的情况需》要,修改图纸要修—改图纸?应有设计单位的【正式变更手续这【是工程质量的—重要保证
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1.0.》4, 电子《工业纯水系统工【程安装及《验收涉及的设备【、,。。专业的工程技—术较多国家现—行标:准已有规定》。的应执行相》。关,标准:的规定本规》。。范不再?重复本?规范只对电子—。工业纯水系统工程】。安,装及验?收的特殊要求—作出:了新的规定》因,此本条文《明确了除应执行本规!范的规定外尚应【符合国家现》行的有关标准、【规范的?规定这里所述的国家!现行有关标准是指】现行:的,国家标准和行业【。标,。准,。中的标?准、规范、》规程的统称》
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