： 7？.2  制》  氮？。  站 — 7.2】.4 ？ 氮气？一般用作多晶—硅工厂的保护和置换！用气：。；工厂投运》后对氮气《的需求？就不能间《断而氮气机组一旦出！现事故？停车后再次启动或】备用机组《启动都需要大约2h！～20h这》期间：需，要汽化液《氮补充氮气》因此：液氮储量需》要保：证这：期间的？系统用气量 【