《10.3《 空气《调节与?净化
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—10.3.2— 本条主要—是从安?全、节能、环保及便!于运行管理等—方面考虑的
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1《0.3.《3 ?本条中空气洁净度等!级及送风量主要依】据现:行国家标《。准洁净厂房设计【规范GB 500】73洁净室送—。风量(静态)和【气流流型见表1
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表1— 洁净室》送风量?(,静态)和气流流型
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! ? 表1中换气次数】适用于层《高,小于4.0m的洁净!室;室内《人员:少、热源少时宜【采用下限《值
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— 根据国内现】有多晶硅《生产厂房的实—际情况制订的“三】级过滤?”就是?将粗、中、高效【过滤:段,全部:设在净化空调—机组内用风管将净】化的空?气直接送入》洁净室或《房间不再设》。高,效过滤器送风口这种!空气净化形式可以】满足多晶硅厂—房部分工艺》生产的要求》减,少投资运《行管理方《便这里规定还原【炉室的?送风换气次数主要是!对应还原炉室的排】。风量不?得小于6《次/h?的换气次数
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1《0.3.《4 本条是强【制,。性条文?关于洁净室新鲜【。空气量的问题现【行国家标准工—。。业企业设计》卫生标准《GBZ 1和采暖通!风与:空气调节设计—规范GB 》5001《。9都对?空调房间人员所需最!小新风量作》了强制规《定“工业建筑应保】证每人不小于—30m3《/h的?新风量?”,现行:国家标准《。洁净厂房设计—。规,范G:B 50073规定!“保证供给洁净室每!人每小时《的新鲜空气量不小于!40m3《”因此本规定对洁】净区和非《洁净区?的新风?量,采用了不同标准以】保障人身安全
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10.—3.5 《 “集中送风”是】指净化空调机组设在!空调机?房空气经过》过滤、加热》、制冷、加湿等集中!处理之?后由:风管送入《洁净室“风机过滤】机组”是《指由风机和高效【过滤单元组》成的机?组多晶硅厂房—。净化空调系统一般洁!净等级在《6级以下时采用集】中送风形式;洁净等!级在5级以上—(包括5级》)时采用集中送风加!。风机过滤机组的形】式,。。
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10.《3.6 本—条是强?制性条文对洁净【室压差控制作出【规定为了《保证洁净《室在正常工作—。或空气平《衡,暂时受到破坏时气流!能从空气洁净—度高的区域》流向空气洁净—度低的区域》而且洁净室的洁【净度不?。受污染空气的—干扰所?以,洁净室?与,周围环境应保—持一定的压差
【
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10.3.7 ! 本:条是保证洁净室【压差控制《的措施
!10:.3.8 本【条对洁净室噪声级提!出要:。。求“空态”是指【洁净室设施已经建成!所有:动力接通《并运行但无生产设备!。、材料及人员—。的阶段
!10.3.9 本!条是强?制性条文还》。原车间生产使用氢】气火灾危险性分类为!甲类现行《国,家标准?采暖通?风与:。。空,气调节设计》规范G?B :。50:019相关条—文强制规定甲、乙】类生产厂房不—应使用循《环空气
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以保【障人身安全》
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10.3.10】 , 腐蚀?清洗室、《配件清洗室、—硅棒破碎室空气【洁净度?分别为7级》以上、8级、—7级工艺生产有【酸性腐蚀性气—体或有粉尘局部排风!不能完全排除酸气】及粉尘这样》净化空调系》统就不应回风
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10.3】.11 本条是洁!净厂房设置多套【净化空调系统新风】集中处理的时—。候对新房机组功【能的要求主要是为了!安全和节《能
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10.3.12 ! ,空气过?滤器:分类、性能指标参】。照了:现,行国家标准空气过滤!器GB/T 1【4295《和高:效空气过滤器G【B/T 13554!的规定在多晶—硅厂房设计》中一般常《用的过?滤器有粗效过滤器】、中:效,过滤器、亚》高效过滤器、—高效过滤器
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】过滤器?的额定风量是过【滤器在一定的过滤】风速下其《效率和?。阻力:最合理时的风—。量如果大于额—定风量过滤》器阻力?增大导?致,系统阻力增加对【于高效?过滤器?风速过大有可能吹破!。滤纸
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《。 中—效过滤?器集:中设置在《净,化空调机组》的正压段主要是考】虑,到机组的《负压段向《内漏风影响》过滤效?果
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: 《一般有洁净等级【的洁净室高效—过滤器宜设在空【调系:统末端;对》于三级过滤净—化空调?。高,效,过,。滤器可设在净化空调!机组内中效过滤【器后的正压段—上
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:10.?3.:。14 《在净:化空调系统中空气过!滤器的阻力占空调系!统总阻力的比—例很大空气过滤器】的阻力会随着容尘】量的:。增多而增加使系【统的风量减少因此在!计算系统阻力—时应按过滤》器的终阻力计算系】统初运行时过—滤器:初阻力?较小:系统阻力低风机采】用变频装《置可以?调节风?。量达到?节能目的
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