10.3 !。 空气调节与净【化
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10】.3.?2 : 本条主《要是从安《全、:节能、环保及—便于运行管理—等,方面考虑的》
1【0.3.3》 本条《中空气洁净度—等,级及送风量主要依】据现行国家标准洁净!厂房设计规范G【B 50073洁】净室送?风量(静态》),和气流流型见表1】
表1 ! ,洁净室送风量(静态!)和气流《流型:
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! 表1中【换气次数适用于【层高:小,。于4.0《m的洁净室;室【内人员少《、热源少时宜采【用下限值
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根据国】内现有?多晶硅生产》厂房的实际》情况制订的“三级过!滤”就是将粗、中】。、高效过滤》段全部设在净—。。化空:调,机组内?用风管将净化的空】气直接送入洁净【室或房间不》再设:高效过?滤器送风《口这种空气净化【形式可?以满足?多晶:硅厂房部分工艺生】。产的要?求减:少投资运行》管理方便这里规【。定还原炉室》。的送风换气次数主要!是对应还原》炉,室的排风量》不得小?。于6:次/h的换气次数
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10.3!.4 本条—是强制?性条文关于洁净室新!鲜空气量《的问题现行》国家标准工业企业】设计卫?生标准?GBZ 1和采暖通!风与空气《调,节设:计,规范GB《。 50?019都对空调【房间人员所需最小新!风量作了强》制规定“工业建【。筑应保证每人不小于!30m3/h的新风!量”现行国》家,标准:洁净厂房设计规范】GB 500—7,3规:定“:。保证供给《洁净室每人每小时】的新鲜空气量不【。小于:40m?3”因此《本规定对洁》净区和非洁净区的新!风量:采用了不同标准以】保障人身安》全
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10.【3.5 “集【中,送,风”:是指净化空》。调机组设在空—调机:房空气经过过滤、】加热、制冷、加【湿等集?中处理?之后:由风管?送入洁净室“风机过!滤机组”是指—由,风机和高效过—滤单:。元组成的机组多【晶硅厂?房净化空调系统【。。一般洁净《等级在6《。级以下时采用集【中送风形式;洁【。净等级在《5级:以上(?包括5级《)时采用集中送【风加风机过》滤机组的形式
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10—.,3.6 《 本:条是强制性条文对洁!。净室压差控制—作出规定为了保证洁!。净,室在正常工》作或空?气,平,衡暂时?受到:。破坏时气《流能从空《气,洁净:度,高的区域流》向空气洁净》度低的区《域,而且洁净室的—洁净度不受污染空气!的,干扰所以洁净室与】周围环境应保持一】定的:压,差
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1—0.3.《7 ?本条是保证洁—净室压?。差控制?的措施?
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10.《3.8 本—条对洁净室噪声级提!。出要求“空态”是指!洁净室?设施已经建成所有动!力接通?并运行?但无生产设备—、材料及人》员的阶段
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10.3】.9 本条是强】制性条文还原车间】生产使?用氢气火灾危险【性分类为甲类现【行,国家:标准:采暖:通风与空气调节设】计,规范G?B 500》19相关条》文,强制规定甲、乙【类生产厂房不应使】用,循环空气
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以保障《人身安全
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10.3.1!0, 腐蚀清》洗室、配件清洗室】、硅棒破碎室空气洁!净度分别为7级【以上、8级、—7级工艺生》产有酸性《腐蚀性气体或有粉】尘局部排风不—能完全排除》酸气及?粉尘这样净》化空调?系统:就,不应:回,风
【10.3.11【 本条是洁—净厂房设《置多套净化空调系】统新风集中处理的】时候对新房机—组功能的要》求主要是《为了安全和节能【
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10.3.】12 空气过【滤器分?类、性能指标—参照了现行国家标】准空气过滤》器GB/T —142?95和?高效空气《过滤:器GB/T —13554的规定在!多晶硅厂房设计【中一般常用的过滤】器有粗效过》滤器、?中效:过滤器、亚高效过】滤器、高《。效过滤器
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过】滤器的额定风量【是过滤器在一定的过!滤风:速下其效率和阻【力最合理时的—风量如果大于额定风!量过滤?器阻:力,增大导致系统阻【。。力增加对于高效过滤!器,风速过大有可—能吹破滤纸
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【 中效过滤—器集中设置在净【化空调机组的正压段!主要是考虑到机【组的负压《段,向内漏风影响过【滤效果
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一般有!洁净等?级的:洁净室?高效过滤器宜—设在:空调:。系统末端;对于三】级过滤净化空—调高效过滤器—可设在净化空—调机组内中效过【滤器后的正压段上
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10.3.14! , ,在净化空调系统中】空气过滤器的阻力占!空调系统总阻—力的比例很大空气】过滤器的《阻力会随着容尘【量的增多《。而增加使系统的风】量减少?因此在计算系统【。阻力:时应按过滤器的终】阻力计算系》。统初运行时过—滤器初阻力较—小,系统阻力低风机采】用变频装置》可以调节风》量达到节能目的【
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