10.【3 ： ，空气调节与净化 】 10！.3.2《  本条主》要是从安全、—。节能、环保及便于】运行管理等方面考虑！的 ： 1—0.：3.3  本条中空！。气洁净度《等级及送风量主要依！据现行国家》标准洁净厂房—设计规范G》B， ，50073洁净室】送风量(《静态)和气流流【型见表1《。 —。表1  《洁，净室送风量》(静态)和气流流】型 ？ 【  《   表1中换气次！数适用于层》高小：于4.0m的洁净】室；室？内人：员少、热源》少时宜采用》下限值 《 《 ，    根据国内现！有多晶？硅，生产厂房的实际情】。况，制订：的“三级过滤—。”就：是将粗、《中，、高效过滤段全部设！在净化空调》机组内用风管将净化！。的空气直《接送入洁净室或房】间不再设高效过【滤器送风口这种【空气净化形式可以】满足：多晶硅厂房部—分工艺生《产的要求《减少：投资运行管理方便】这里：规定还原炉室的送风！换气次数主》要是：对应还原炉室的排风！量不得？小于6？。次／：h的换气次数 】 1》。0.3？.4  本条—是强制性条文关【于洁净室新鲜—空，气量的问《题现行国《家标：准工业？企业设？计，卫，生标准GBZ— 1和采暖通—风与空气调节—设计：规范GB 50【019都对空调【房间人员所需—最小新风《量作了强制规定“】工业：。建筑应保证每人【不小于3《0m3／h的新风量！”现行国《家标准洁净厂房设】计规范GB —5007《3规定“保证—供，给洁净室每人每小】时的新鲜空气量不】小于4？0，m，3”因此本》规定对洁《净区和非洁净区的新！风量采用了不同标准！以保障人身安全 ！ 1》0.3.5  “】集中送风”是指【净化空调《机组设在空调—机房：空气经过过滤、【。加热、？制冷、加《湿等：集，中处：理，之后由风管》送入洁净室“风机过！滤，机组：。”是指由风机—和高效过滤》单元组成的机组多】晶硅厂房净化空【。调系：统一般洁净等级在】6级以？下时采用《集，中，送风形？式；洁净等级—在5级以《上(包括5级)时】采用集中送风加【风，。。机过滤？机，。组的形式 — ， ： 10.3.6 】 本条是强制性【条文对洁净》室压：差控制作出》规，定为了？保证：洁净室在正常工作或！空气平？衡暂时？受到破坏时气—流，能从空气洁净—度高：的区域流向空气【洁净度低的区域而且！洁净：室的洁净度不受污染！空，气，的干扰所以》洁净室与周围—环境应保《持一定？的压差？ 10.！3，.7  本条是保】证洁净室压差控制的！措施 》 10.3.8！  本条对洁净【室噪声级《提，出要求“《空态：。”是指洁净室设施已！经建成所有动力接通！并运行但无生产【设，备、材料及人员【的，阶段 《。。 ？ 10.3.9【  本条是》强，制性条文还原车间】生产使用氢气火【灾危险性分类为甲类！。现行国？家，标，准采暖通风与空气调！节，设，计规：范GB？。 50019相关】条文强制《规定甲、乙类生产厂！房不应使用循—环空气 《 以保【障人身安全》 10.！3.：10  腐蚀清洗室！、配件清《洗室、硅棒破碎室空！气洁净度分别为7】级以上、8》级、7级工艺生产有！酸性：腐蚀性？气体或有粉尘—局部排？风不能？完全排除酸气及【粉尘这样净化—空调：系统就不应回风【 ？ 10.3.】11 ？。 ，本条是洁净厂房【设置多套净化空【调系统新风》集中处理的时候【对新房机组功能【的要：求主要是为了安全和！节，能 《 10.3.】。。12：  空气过》滤器分类、性能【指标参照了》现，行国家标《准空气过滤器—G，B／T 14—295和高效空气】过滤器GB》／T 13554】。的规：定，在，多，晶硅：厂房设计中一—般常用的《过滤器有《粗效过滤器、中【效过滤器、》亚，高效过滤器、高效过！滤器： ， ：。 ，     过滤】器的额定风量是【过滤器？在一：定的过滤风》。速下其效率》和阻：力最：合理时？的风量如果大—于额定风量过滤器】阻力增大《导致系统阻力增加对！于高：效过滤器风速—过大有可能吹破【滤纸 《。    【  中效过滤器集中！设置：在净：化空调机组》的正压段主要—是考虑到《。机组的负压》段向内漏风影—响过滤效果 ！  ？   ？一，般有洁净等》级的洁净室高效过滤！器宜设在空调系【统末端；对》于三级过滤净化【空调高效过滤器【可，设在净化空调—机组内中效过滤器后！的正压段上 ！ ：10.3.14【  在净化》空调系？统中空气过》滤器的阻力占空调系！统总：阻力的比《例很大空气过—滤，器的：阻，力会随着容尘—量的增多而》增加使系统的风量】减少因此在计—。算系统阻力时应按过！滤器的终阻力计算系！统初运行时过—滤器初？。阻力较？小系统阻力低风【机采用变频装置可】以调节风量达到节能！目的 《