8.4 !洁,净设:计及装修
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8.4—.,1,。。 有关《。主厂房设计要—求说明如下
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】1 : 半导体级多—晶硅产?。品纯度高为》保证产?品质量避免硅棒和】多晶硅在生产和运输!过程中受污染还原炉!室,工艺一?般要求空气》的洁净度不低于【8级洁?净区的出入》口部应设置人员净化!、物料净化》用,室和生活用》室洁净区的口部平】面,设置、防火和疏【。散、室?内装修?。均应按现行国家标准!洁净厂房设计规【范,GB 5《0073执》行还原?炉室通过洁净连廊】与整理工段相连【合用净?化口部房间》可以简?化人流?路线节?省投资连廊的空气洁!。净度:和室内?装修要求同》还原炉室
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《 由于还原炉室为】高大厂房体》。积较大从产品要求】、投资和运行成本】考,虑生产太阳能级多】晶硅的还原炉室【对空气的《要求考虑三》。级过滤可不按洁【净厂房考虑》
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3【 为保证》多晶硅的产品—质量整理车间内从多!晶硅棒去石墨—到多晶硅破碎、筛选!、酸洗干燥、称量、!包装等后处理工段的!空气洁净度不—宜,低于7级前处理【多晶硅还原》配套的辅助工段【(主要包括硅芯制】备、石墨《煅烧等)空》气洁净?度不:宜低于8级》。洁,净,区的出入口》部应设置人员净【化,用室、物料净化用室!、生活用室洁净区的!口部平面设置、防】。火和疏?散、室内装修—均应按现行国家标】准洁净厂房》设计规范GB 5】0073《的有关规定执行【
8.】4.2 本条对有!空气洁净《度要求的其》他厂房和建筑作出】规定
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《 1 —。高差定为大》于,或等于300mm】。。是因为洁净房间【有较高的防》潮要求
! ?。 3 现行—。国家标准洁净厂房】设计规范GB 5】0073中的—室内装修条款对洁净!。室的门窗、墙壁、顶!棚、地?面都规定得》较为详细故规定按其!执行
! 4 本款】对洁净区《外没有空气洁—净度要求的其—他辅助?房间的装修作了一】。般,性规定
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