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8.4 洁净设!计及装修
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8.4.1 】有关主厂房设—计要求说明如下
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!。1 半导体—级多晶硅产》。品纯度?高为:保证产品质》量避免硅棒和—多,晶硅在生产和—。运输:过程:中受污?染,还原炉室《工艺一般要求—。空气:的洁净度不低于【8级洁净区的出入】。口部应设置人—员净化、《物料:净,化用室和生活用室洁!净区的?口部平面设置—、防火?和疏散、室内装修均!应按现行国家标准】洁净厂房设计规范】G,B 5?00:73:执行还原炉室通【过,洁净连?。廊与:整理:。工段相连合用净化】口,部,房间可以简化—人流路线节省投【资连廊?的空气洁净度和室】内装修要求同还原】炉室
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由!。。于还原炉室为高大】厂,房体:积,较大从产品要求、投!资和运行成本考【虑生产太阳能—级,多晶硅的《还,。原炉室对空气的要求!考虑:三级过滤可不按洁】净厂房考虑
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3 】 为保证多晶—硅的产品质量—整理车间内从多【晶硅棒去石》墨到多晶硅》破,。碎、筛?选、酸洗干燥—、称量?、包装等《后,处理工段《的空气洁净度不【。宜低于?7,级,前处理多晶硅还原配!套的辅助工段(主要!包,括硅芯制备、石墨煅!烧等:)空气洁《净度不?宜低于8级洁净【区的出入口部—。应设置人员净—化用室、物料净【。化用室、生活用室洁!净区的口部平面设】置、防火和》疏散、室《内装修均《应,按现行国家》标准洁净厂》房设计规范G—B, 50073的有关!规定执行
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》8.4?.2 《本条对有空气洁【净度要求的其他【厂,房和建筑作出—规定
】。 1 高】差定为大于或等于3!00mm是因为【洁净房间有较高【的防潮?要求
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】3 现《。行国家标准洁净【厂房设计规范GB】 50?073中的》室内:装修条款对洁净室】的门:窗、墙壁、》顶棚:、地面都规》定得较为详细—故规定?按其执行
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? 4 本款【对,洁净区外没有空气】洁净度要求的其他辅!助房间的装修作了一!般性规定
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